JPS5970486A - レ−ザエネルギ−分布変換方法 - Google Patents
レ−ザエネルギ−分布変換方法Info
- Publication number
- JPS5970486A JPS5970486A JP57180215A JP18021582A JPS5970486A JP S5970486 A JPS5970486 A JP S5970486A JP 57180215 A JP57180215 A JP 57180215A JP 18021582 A JP18021582 A JP 18021582A JP S5970486 A JPS5970486 A JP S5970486A
- Authority
- JP
- Japan
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- energy distribution
- energy
- laser beam
- laser
- distribution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/073—Shaping the laser spot
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザエネルギー分布変準方法に関−シ、熱
処理、マスキング加工等、レーザ加工においン、均一な
エネルギー分布が要求される分野に適用せんとするもの
である。
処理、マスキング加工等、レーザ加工においン、均一な
エネルギー分布が要求される分野に適用せんとするもの
である。
従来例の構成とその問題点
従来、レーザビームのエネルギー分布変換装置としては
、第１図に示すような光学的積分器がある。図において
、１は入射レーザビーム、２は集束ミラー、３は積分器
、４は投影ミラー、６はレーザビームの特定の範囲であ
る。すなわち、第２図（ＩＬ）に示すような正規分布も
しくは非対称なエネルギー分布状態にある入射レーザビ
ーム１を集束ミラー２、および積分器３、さらには投影
ミラー４を用いて変換し、第２図（ｂ）に示すような平
担なエネルギー分布を特定の範囲５に得るというもので
ある。
、第１図に示すような光学的積分器がある。図において
、１は入射レーザビーム、２は集束ミラー、３は積分器
、４は投影ミラー、６はレーザビームの特定の範囲であ
る。すなわち、第２図（ＩＬ）に示すような正規分布も
しくは非対称なエネルギー分布状態にある入射レーザビ
ーム１を集束ミラー２、および積分器３、さらには投影
ミラー４を用いて変換し、第２図（ｂ）に示すような平
担なエネルギー分布を特定の範囲５に得るというもので
ある。
このような光学的変換装置においては、ミラー２．４や
積分器３における反射のため、数チのエネルギー損失が
生ずるという欠点の他、所定のエネルギー分布が得られ
る範囲が限定されるという欠点があった。
積分器３における反射のため、数チのエネルギー損失が
生ずるという欠点の他、所定のエネルギー分布が得られ
る範囲が限定されるという欠点があった。
発明の目的
本発明は、平担なエネルギー分布のビームを使用範囲を
限定することなく、かつエネルギー分布変換に伴うエネ
ルギー損失をなくして得ようとするものである。
限定することなく、かつエネルギー分布変換に伴うエネ
ルギー損失をなくして得ようとするものである。
発明の構成
上記目的を達成するために本発明は、レーザビームの有
する特定の波長において、ビームの通過する媒質すなわ
ち空気の屈折率が温度的に変化す３ 〆 ることを利用し、ビーム経路の一部の空気を強制的に加
熱することにより、ビームの進路変更作用を行わせ、全
体のエネルギー分布の平担化を図るものである。
する特定の波長において、ビームの通過する媒質すなわ
ち空気の屈折率が温度的に変化す３ 〆 ることを利用し、ビーム経路の一部の空気を強制的に加
熱することにより、ビームの進路変更作用を行わせ、全
体のエネルギー分布の平担化を図るものである。
実施例の説明
以下本発明の方法を実施するだめに使用する装置の一実
施例を第３図に示す。この図においては、マスキング加
工への適用例を示す。
施例を第３図に示す。この図においては、マスキング加
工への適用例を示す。
発振器からの入射レーザビーム６のエネルギーは正規分
布７をなしており、反射ミラー８によってワーク９に照
射褥れる。ワーク９上にはビーム６に対し反射性の材質
、例えば銅板などでできたマスク・１ｏが設置され、こ
のマスク１０のスリット１１を通過したビームエネルギ
ーにより、彫刻パターン焼付等が行われる。
布７をなしており、反射ミラー８によってワーク９に照
射褥れる。ワーク９上にはビーム６に対し反射性の材質
、例えば銅板などでできたマスク・１ｏが設置され、こ
のマスク１０のスリット１１を通過したビームエネルギ
ーにより、彫刻パターン焼付等が行われる。
このような加工においては、むらの々い加工を達成する
ため、出来るだけ均一なエネルギー分布であることが望
まれる。そのため、ヒータ１２を内蔵するエアチャンバ
１３に多数のノズル１４を設け、供給口１６からの空気
を 加熱し、ビーム６に向かって吹き付ける構造として
いる。
ため、出来るだけ均一なエネルギー分布であることが望
まれる。そのため、ヒータ１２を内蔵するエアチャンバ
１３に多数のノズル１４を設け、供給口１６からの空気
を 加熱し、ビーム６に向かって吹き付ける構造として
いる。
、ここで、ノズル１４から吹き出た空気は、それ゛ ま
でのビーム経路における空気よりも相当品＃ｌＩ！にな
っており、そのため、ビーム６けエアチャンバ１３を通
過するに従い、無数の不規則な屈折率変化による進路変
更が行われ、その結果としてｉｌ／−Ｊ１４なエネルギ
ー分布１６ｆ示すようになる。
でのビーム経路における空気よりも相当品＃ｌＩ！にな
っており、そのため、ビーム６けエアチャンバ１３を通
過するに従い、無数の不規則な屈折率変化による進路変
更が行われ、その結果としてｉｌ／−Ｊ１４なエネルギ
ー分布１６ｆ示すようになる。
１だ上述やように、加熱した空気を供給する代りに、ビ
ーム６、のエネルギーを利用し、可燃性ガス、例えばオ
イルミストを含んだ圧縮空気などを送給することも可能
である。 。
ーム６、のエネルギーを利用し、可燃性ガス、例えばオ
イルミストを含んだ圧縮空気などを送給することも可能
である。 。
ただし、この場合鰹１、ミスト燃焼のために、ビーム６
のエネルギーが一部消費される。
のエネルギーが一部消費される。
発明の効果
以上述べたように本発明においては、エネルギー分布を
平担化させる方法として、ビーム経路の媒質の屈折率変
化を利用しているため、エネルギーの損失がなく、捷だ
変換された後のビームの使用範囲も制限されないという
利点がある。またレーザエネルギーの平和化を簡単な装
置で容易に図６、 ・ ることかできる。さらにノズル形状、方向、加熱温度の
調整等により、エネルギー分布を変化させることも可能
であり、種々の加工への対応が期待でき゛るものである
。
平担化させる方法として、ビーム経路の媒質の屈折率変
化を利用しているため、エネルギーの損失がなく、捷だ
変換された後のビームの使用範囲も制限されないという
利点がある。またレーザエネルギーの平和化を簡単な装
置で容易に図６、 ・ ることかできる。さらにノズル形状、方向、加熱温度の
調整等により、エネルギー分布を変化させることも可能
であり、種々の加工への対応が期待でき゛るものである
。
第１図は従来の積分器を用いたエネルギー分布変換装置
の概略断面正面図、第２図（ＩＬ）（ｂ）はレーザー録
−ギーの分布特性図、第３図は本発明によるエネルギー
分布変換方法を実施するために使用する装置の一実施例
の概略断面正面図である。 ６・・・・・・レーザビーム、７・・・・・・レーザビ
ーム６のエネルギー分布、１２・・・・・・ヒータ、１
３・・・・・・エアチャンバ、１４・・・・・・ノズル
、１６・・・・・・平担化されたエネルギー分布。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
の概略断面正面図、第２図（ＩＬ）（ｂ）はレーザー録
−ギーの分布特性図、第３図は本発明によるエネルギー
分布変換方法を実施するために使用する装置の一実施例
の概略断面正面図である。 ６・・・・・・レーザビーム、７・・・・・・レーザビ
ーム６のエネルギー分布、１２・・・・・・ヒータ、１
３・・・・・・エアチャンバ、１４・・・・・・ノズル
、１６・・・・・・平担化されたエネルギー分布。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (1)
- □発振器より出たレーザビームの経路の一部の気体を加
熱し、レーザビームの波長に対する気体の屈折率を変化
させることを特徴とするレーザエネルギー分布変換方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180215A JPS5970486A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180215A JPS5970486A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5970486A true JPS5970486A (ja) | 1984-04-20 |
Family
ID=16079410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57180215A Pending JPS5970486A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5970486A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105882A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-23 | Toshiba Corp | レ−ザ照射装置 |
| JPS6360091A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機用集光装置 |
| EP1524096A3 (en) * | 2003-10-14 | 2008-03-19 | Denso Corporation | Resin mold and method for manufacturing the same |
| DE102006055738A1 (de) * | 2006-11-25 | 2008-05-29 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Verändern des Strahldurchmessers eines durch ein optisches Element hindurchgehenden Laserstrahls mittels Temperaturänderung |
-
1982
- 1982-10-13 JP JP57180215A patent/JPS5970486A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105882A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-23 | Toshiba Corp | レ−ザ照射装置 |
| JPS6360091A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機用集光装置 |
| JPH0446676B2 (ja) * | 1986-08-29 | 1992-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | |
| EP1524096A3 (en) * | 2003-10-14 | 2008-03-19 | Denso Corporation | Resin mold and method for manufacturing the same |
| US7527760B2 (en) | 2003-10-14 | 2009-05-05 | Denso Corporation | Resin mold and method for manufacturing the same |
| DE102006055738A1 (de) * | 2006-11-25 | 2008-05-29 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Verändern des Strahldurchmessers eines durch ein optisches Element hindurchgehenden Laserstrahls mittels Temperaturänderung |
| DE102006055738B4 (de) * | 2006-11-25 | 2010-10-07 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung zum Verändern des Strahldurchmessers eines durch ein optisches Element hindurchgehenden Laserstrahls mittels Temperaturänderung |
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