JPH0446676B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0446676B2 JPH0446676B2 JP61203089A JP20308986A JPH0446676B2 JP H0446676 B2 JPH0446676 B2 JP H0446676B2 JP 61203089 A JP61203089 A JP 61203089A JP 20308986 A JP20308986 A JP 20308986A JP H0446676 B2 JPH0446676 B2 JP H0446676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- path duct
- laser beam
- workpiece
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ加工機に関し、特にレーザ光
の集光装置の改良に関するものである。
の集光装置の改良に関するものである。
第２図はレーザ加工機における、従来の加工ヘ
ツドの一例であり、レーザ発振器１から出たレー
ザ光１ａは光路ダクト２を通してベンドミラ３へ
伝送され、ベンドミラ３によりレーザ光１ａは集
光レンズ４側へ偏向される。集光レンズ４は偏向
されて照射されて来るレーザ光１ａを集光し、該
レーザ光１ａを被加工物５上の一点にレーザ加工
に必要なエネルギー密度の得られる微少スポツト
に収束する。このように、微少スポツトに収束さ
れた高エネルギー密度のレーザ光を被加工物上に
照射するので、被加工物上の照射点は溶融されレ
ーザ加工がなされる。
ツドの一例であり、レーザ発振器１から出たレー
ザ光１ａは光路ダクト２を通してベンドミラ３へ
伝送され、ベンドミラ３によりレーザ光１ａは集
光レンズ４側へ偏向される。集光レンズ４は偏向
されて照射されて来るレーザ光１ａを集光し、該
レーザ光１ａを被加工物５上の一点にレーザ加工
に必要なエネルギー密度の得られる微少スポツト
に収束する。このように、微少スポツトに収束さ
れた高エネルギー密度のレーザ光を被加工物上に
照射するので、被加工物上の照射点は溶融されレ
ーザ加工がなされる。
従来の加工ヘツドにおけるレーザ光の集光系は
ガラスレンズを使用している為、機械的強度に問
題を有している上、高価であり、更にレーザ加工
時には溶融物がレンズ表面に飛散して汚染された
りしてレーザ光の集光性の劣化、レンズの破損を
招きかねない問題点があつた。
ガラスレンズを使用している為、機械的強度に問
題を有している上、高価であり、更にレーザ加工
時には溶融物がレンズ表面に飛散して汚染された
りしてレーザ光の集光性の劣化、レンズの破損を
招きかねない問題点があつた。
この発明は従来のレーザ光集光系の問題点を解
決するためになされたもので、ガラスレンズを使
用しないレーザ光集光装置を提供することを目的
とする。
決するためになされたもので、ガラスレンズを使
用しないレーザ光集光装置を提供することを目的
とする。
この発明に係るレーザ加工機用集光装置は、レ
ーザ光路ダクト内に揮発性ガスを封入するととも
に、前記レーザ光路ダクトにおける集光系近傍に
ダクト内の揮発性ガスを一部加熱し、レーザ光路
ダクト内において加熱部位周囲に気体の疎密を生
成する発熱手段を設けたものである。
ーザ光路ダクト内に揮発性ガスを封入するととも
に、前記レーザ光路ダクトにおける集光系近傍に
ダクト内の揮発性ガスを一部加熱し、レーザ光路
ダクト内において加熱部位周囲に気体の疎密を生
成する発熱手段を設けたものである。
この発明における加熱手段によれば、加熱手段
設置近傍の光路ダクト内の揮発性ガスは熱せら
れ、そのガス分子は、非加熱部位のガスの分子と
比較して密状態となつて光路ダクト内には揮発性
ガスよりなる気体の疎密部が生じ、空間的なレー
ザ光屈折率分布が生じることで、等価的なレーザ
光集光用レンズが加熱気体により形成される。
設置近傍の光路ダクト内の揮発性ガスは熱せら
れ、そのガス分子は、非加熱部位のガスの分子と
比較して密状態となつて光路ダクト内には揮発性
ガスよりなる気体の疎密部が生じ、空間的なレー
ザ光屈折率分布が生じることで、等価的なレーザ
光集光用レンズが加熱気体により形成される。
第１図はこの発明によるレーザ加工機用集光装
置の一実施例の構成図である。なお、第２図と同
符号は同一または相当部分を示す。図中４ａは光
路ダクト２において集光作用を行なわせる部位に
周設した加熱部であり電熱コイル４ｂを内蔵して
いる。今、加熱部４ａの電熱コイル４ｂに通電を
行うと、電熱コイル４ｂの発熱により、加熱部４
ａ近傍の光路ダクト２内の気体、即ち揮発性ガス
（例えばエーテル）は加熱され膨張する。この気
体の膨張により、光路ダクト２の気体分子密度
は、光路ダクト２内の他の部位の密度より密状態
となり、加熱部４ｂ近傍の光路ダクト２内に気体
の疎密状態が生じ、空間的にはレーザ光１ａの屈
折率分布を生じさせることになる。
置の一実施例の構成図である。なお、第２図と同
符号は同一または相当部分を示す。図中４ａは光
路ダクト２において集光作用を行なわせる部位に
周設した加熱部であり電熱コイル４ｂを内蔵して
いる。今、加熱部４ａの電熱コイル４ｂに通電を
行うと、電熱コイル４ｂの発熱により、加熱部４
ａ近傍の光路ダクト２内の気体、即ち揮発性ガス
（例えばエーテル）は加熱され膨張する。この気
体の膨張により、光路ダクト２の気体分子密度
は、光路ダクト２内の他の部位の密度より密状態
となり、加熱部４ｂ近傍の光路ダクト２内に気体
の疎密状態が生じ、空間的にはレーザ光１ａの屈
折率分布を生じさせることになる。
上記のように光路ダクト２内の一部の空間に屈
折率分布を生じさせた後、レーザ発振器１から射
出されたレーザ光１ａが光路ダクト２を通してベ
ンドミラ３に伝送されると、レーザ光１ａはベン
ドミラ３により空間的な屈折分布域に偏向され
る。その結果、レーザ光１ａは屈折率分布域で集
光され、被加工物５上に加工に必要なエネルギ密
度の作られるスポツトに収束される。
折率分布を生じさせた後、レーザ発振器１から射
出されたレーザ光１ａが光路ダクト２を通してベ
ンドミラ３に伝送されると、レーザ光１ａはベン
ドミラ３により空間的な屈折分布域に偏向され
る。その結果、レーザ光１ａは屈折率分布域で集
光され、被加工物５上に加工に必要なエネルギ密
度の作られるスポツトに収束される。
なお、上記実施例では、加熱部をダクト外周面
に周設したが、ダクト内周面に周設してもよい。
に周設したが、ダクト内周面に周設してもよい。
以上のように、この発明によれば、加熱手段を
設けて光路ダクト内に封入した揮発性ガスの一部
を加熱し、ガス気体分子の疎密状態を生じさせる
ことで、光路ダクト内に空間的なレーザ光屈折率
分布域を形成し得る為、光学的集光レンズを使用
せずともレーザ光集光系を形成できるので、集光
系の保守作業を容易となり、更に集光装置全体が
安価となり、また機械強度が向上するとともに、
封入ガスの種類、加熱温度を設定することでレー
ザ光屈折率を変え、所望のレーザ光スポツト径を
得られる効果がある。
設けて光路ダクト内に封入した揮発性ガスの一部
を加熱し、ガス気体分子の疎密状態を生じさせる
ことで、光路ダクト内に空間的なレーザ光屈折率
分布域を形成し得る為、光学的集光レンズを使用
せずともレーザ光集光系を形成できるので、集光
系の保守作業を容易となり、更に集光装置全体が
安価となり、また機械強度が向上するとともに、
封入ガスの種類、加熱温度を設定することでレー
ザ光屈折率を変え、所望のレーザ光スポツト径を
得られる効果がある。
第１図はこの発明によるレーザ加工機用集光装
置の一実施例の構成図、第２図は従来のレーザ加
工ヘツドの構成図である。 図において、１はレーザ発振器、１ａはレーザ
光、２は光路ダクト、４ａは加熱部、４ｂは電熱
コイル、５は被加工物。なお、各図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
置の一実施例の構成図、第２図は従来のレーザ加
工ヘツドの構成図である。 図において、１はレーザ発振器、１ａはレーザ
光、２は光路ダクト、４ａは加熱部、４ｂは電熱
コイル、５は被加工物。なお、各図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- １ レーザ発振器より射出されたレーザ光を光路
ダクトを通して被加工物上へ導出し、該被加工物
をレーザ照射により加工するレーザ加工装置にお
いて、上記光路ダクト内に揮発性ガスを封入する
とともに、被加工物に対する光路ダクトの対向面
直上部の一部全周域に発熱手段を設けて発熱手段
設定域の光路ダクト内の揮発性ガスを加熱し、発
熱手段近傍の光路ダクト内に気体の疎密性能を生
じさせることを特徴とするレーザ加工機用集光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203089A JPS6360091A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | レ−ザ加工機用集光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203089A JPS6360091A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | レ−ザ加工機用集光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360091A JPS6360091A (ja) | 1988-03-16 |
| JPH0446676B2 true JPH0446676B2 (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=16468184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203089A Granted JPS6360091A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | レ−ザ加工機用集光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6360091A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100850845B1 (ko) | 2004-04-23 | 2008-08-06 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 회전식 유체기계 |
| WO2005111427A1 (ja) | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Daikin Industries, Ltd. | 回転式圧縮機 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970486A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61203089A patent/JPS6360091A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970486A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6360091A (ja) | 1988-03-16 |
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