JPS6358822A - 石英ガラス製ウエ−ハ搬送・保持用治具 - Google Patents
石英ガラス製ウエ−ハ搬送・保持用治具Info
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- JPS6358822A JPS6358822A JP61203149A JP20314986A JPS6358822A JP S6358822 A JPS6358822 A JP S6358822A JP 61203149 A JP61203149 A JP 61203149A JP 20314986 A JP20314986 A JP 20314986A JP S6358822 A JPS6358822 A JP S6358822A
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 41
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、石英ガラス製ウェーハ搬送・保持用治具の改
良に関し、特にフォーク等の治具における端部近傍を微
細気泡入り半透明石英ガラスで構成することにより、フ
ォーク端部からの輻射熱の放射を低減させることを目的
とするものである。
良に関し、特にフォーク等の治具における端部近傍を微
細気泡入り半透明石英ガラスで構成することにより、フ
ォーク端部からの輻射熱の放射を低減させることを目的
とするものである。
（従来の技術とその問題点）
半導体ウェーへの熱処理に用いられる石英ガラス製のフ
ォークＪは、第８図に示すように、複数の半導体ウェー
ハ１１を積載した治具（ポート）１２をａ２１した状態
で炉芯管９の中に搬入・搬出使用される。
ォークＪは、第８図に示すように、複数の半導体ウェー
ハ１１を積載した治具（ポート）１２をａ２１した状態
で炉芯管９の中に搬入・搬出使用される。
上記フォーク↓は、ウェーハの熱処理に際し、通常、千
萌の端部２を駆動部材６に連結し、炉芯管内に搬入させ
るが、搬入状態においては、この取付は端部は、常時加
熱炉３から露出している。
萌の端部２を駆動部材６に連結し、炉芯管内に搬入させ
るが、搬入状態においては、この取付は端部は、常時加
熱炉３から露出している。
石英ガラスは、赤外線の透過性がきわめて高いので、赤
外線による輻射熱の一部が石英ガラスを通って容易に取
付は端部２に達し、上記フォークの取付は端部近傍の温
度を上昇させて、そこから熱エネルギーが無駄に外部へ
逃散する。また、取付は端部近傍の温度上昇は、これと
接するフォーク駆動部材６のポリマー材料、例えばゴム
パツキン等の劣化をまねくという不利がある。
外線による輻射熱の一部が石英ガラスを通って容易に取
付は端部２に達し、上記フォークの取付は端部近傍の温
度を上昇させて、そこから熱エネルギーが無駄に外部へ
逃散する。また、取付は端部近傍の温度上昇は、これと
接するフォーク駆動部材６のポリマー材料、例えばゴム
パツキン等の劣化をまねくという不利がある。
この対策として、取付は端部の表面をスリガラスにする
ことによって、輻射熱の外部への漏れを抑制する提案が
あるが、この効果は必ずしも充分ではなく、しかもこの
提案では取付は端部近傍の温度上昇をおさえることはで
きない、その上、スリガラス加工した表面には微細な粉
塵が付着し易く、これを洗浄によって完全に除去するこ
とは極めて困難である。さらに、上記粉塵は半導体ウェ
ーハを汚染するという不利があるばかりでなく、スリ合
せ加工によるマイクロクラックが多数発生して炉芯管の
機械的強度を低下させるという不利がある。
ことによって、輻射熱の外部への漏れを抑制する提案が
あるが、この効果は必ずしも充分ではなく、しかもこの
提案では取付は端部近傍の温度上昇をおさえることはで
きない、その上、スリガラス加工した表面には微細な粉
塵が付着し易く、これを洗浄によって完全に除去するこ
とは極めて困難である。さらに、上記粉塵は半導体ウェ
ーハを汚染するという不利があるばかりでなく、スリ合
せ加工によるマイクロクラックが多数発生して炉芯管の
機械的強度を低下させるという不利がある。
（問題点を解決するための手段）
本発明者は、前記問題点を検討し、試作試験を重ねた結
果、これを解決する手段として本発明を完成したもので
ある。
果、これを解決する手段として本発明を完成したもので
ある。
すなわち、本発明は、石英ガラス製ウェーハ搬送・保持
用治具において、その石英ガラス構造体の端部を微細気
泡入り半透明石英ガラスで形成させたことを特徴とする
石英ガラス製ウェーハ搬送・保持用治具を提供する。
用治具において、その石英ガラス構造体の端部を微細気
泡入り半透明石英ガラスで形成させたことを特徴とする
石英ガラス製ウェーハ搬送・保持用治具を提供する。
本発明の石英ガラス製ウェーハ搬送・保持用治具は、そ
の取付は端部を微細気泡入り半透明ガラスで形成させる
ことが重要である。
の取付は端部を微細気泡入り半透明ガラスで形成させる
ことが重要である。
本発明において、治具の端部とは、たとえば第１図に例
示したフォークの右端、即ち炉芯管９内に被処理物を出
し入れする！ａｍ入把持部側の端部であって、第３図（
ａ）および（ｂ）に示すように端縁およびその近傍部を
包含する。
示したフォークの右端、即ち炉芯管９内に被処理物を出
し入れする！ａｍ入把持部側の端部であって、第３図（
ａ）および（ｂ）に示すように端縁およびその近傍部を
包含する。
このような微細気泡入りガラスにおける気泡は、例えば
径が１５〜１０００ｇｍの球状もしくは楕円球が好適で
、この範囲より小さいと製造が困難であり、一方大きい
と機械的強度が低下するので好ましくない。
径が１５〜１０００ｇｍの球状もしくは楕円球が好適で
、この範囲より小さいと製造が困難であり、一方大きい
と機械的強度が低下するので好ましくない。
本発明の治具は、例えば気泡入り石英ガラス棒もしくは
管を製造し、これを適当な厚さもしくは長さにカットし
たものを治具の取付は側端部に融着一体化することによ
り容易に形成させることができる。また、要すれば、さ
らにその気泡入り石英ガラス棒もしくは管の端部に透明
石英ガラスを融着一体化してもよい。
管を製造し、これを適当な厚さもしくは長さにカットし
たものを治具の取付は側端部に融着一体化することによ
り容易に形成させることができる。また、要すれば、さ
らにその気泡入り石英ガラス棒もしくは管の端部に透明
石英ガラスを融着一体化してもよい。
以下、添付図面によって本発明を説明する。
第１図は、本発明の治具の一例の使用状態を示す模式図
、第２図は、その治具の取付は端部の拡大斜視図で、第
３図（ａ）、（ｂ）は、本発明の治具の微細気泡入り半
透明石英ガラスの異なる形成個所を示す側面図、第４図
〜第７図は、本発明の各種治具の模式的図である。また
第８図は、従来のフォークの使用状態を示す模式図であ
る。
、第２図は、その治具の取付は端部の拡大斜視図で、第
３図（ａ）、（ｂ）は、本発明の治具の微細気泡入り半
透明石英ガラスの異なる形成個所を示す側面図、第４図
〜第７図は、本発明の各種治具の模式的図である。また
第８図は、従来のフォークの使用状態を示す模式図であ
る。
図において、石英ガラス製のフォーク１は、フォーク駆
動部材６が連結された取付は端部２に微細気＠５入り、
半透明石英ガラス４が形成されている。石英ガラス製フ
ォーク１は、先端部７に石英ガラス製ポート（図示せず
）を載せ、炉内の加熱体８において加熱される石英ガラ
ス製炉芯管９内に搬入・搬出される。この場合、ウェー
ハのそりやスリー、プの発生を防止するため石英ガラス
製フォークの搬送速度は非常にゆっくり行われる。それ
故、輻射熱の一部は石英ガラスを透過して、容易にフォ
ークの搬送取付は端８１１２に達するが、上記輻射熱は
、取付は端部２に形成された半透明石英ガラス４に含ま
れる無数の微細気泡５により、散乱、反射され、端部近
傍の温度上昇が防止される。
動部材６が連結された取付は端部２に微細気＠５入り、
半透明石英ガラス４が形成されている。石英ガラス製フ
ォーク１は、先端部７に石英ガラス製ポート（図示せず
）を載せ、炉内の加熱体８において加熱される石英ガラ
ス製炉芯管９内に搬入・搬出される。この場合、ウェー
ハのそりやスリー、プの発生を防止するため石英ガラス
製フォークの搬送速度は非常にゆっくり行われる。それ
故、輻射熱の一部は石英ガラスを透過して、容易にフォ
ークの搬送取付は端８１１２に達するが、上記輻射熱は
、取付は端部２に形成された半透明石英ガラス４に含ま
れる無数の微細気泡５により、散乱、反射され、端部近
傍の温度上昇が防止される。
また、半透明石英ガラス４は、第３図（ｂ）に示すよう
に、搬送取付は端部２よりやや内側の端部近傍に設けて
も同様の効果が得られる。
に、搬送取付は端部２よりやや内側の端部近傍に設けて
も同様の効果が得られる。
更に、第４図〜第７図は、本Ｑｌｌに包含される他の各
種治具の例を示す図で、例えば逆フォーク［第４図（ａ
）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）１等の各種フォーク、引出
Ｊｐ＃［第５図（ａ）、（ｂ）］、カンチレバー［５Ｓ
６図］、各種縦型ポート［第７図（ａ：つり下げ式）、
（ｂ：押りげ式）］等の治具である。
種治具の例を示す図で、例えば逆フォーク［第４図（ａ
）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）１等の各種フォーク、引出
Ｊｐ＃［第５図（ａ）、（ｂ）］、カンチレバー［５Ｓ
６図］、各種縦型ポート［第７図（ａ：つり下げ式）、
（ｂ：押りげ式）］等の治具である。
（実施例）
次に、具体例により本発明をさらに詳細に説明する。
実験に使用した下記四種のフォークは、すべて長さ約２
０００ｍｍ、外径的１２０ｍｍ、肉厚５ｍｍの同一形状
のものである。
０００ｍｍ、外径的１２０ｍｍ、肉厚５ｍｍの同一形状
のものである。
フォーク１
搬出入把持部側端縁より１００ｍｍまでを微細気泡を含
む半透明石英ガラスとしたもの。
む半透明石英ガラスとしたもの。
フォーク２
同端縁より１００ｍｍ 〜２００ｍｍ（７）間を、微細
気泡を含む半透明石英ガラスとしたもの。
気泡を含む半透明石英ガラスとしたもの。
フす−り３
同端縁より１００ｍｍまでをスリガラスとした従来品。
フ士−り４
半透明石英ガラスを全く形成させない、全体が透明のも
の。
の。
上記１〜４のフォークを、１０５０℃に加熱した炉長２
０００ｍｍ、均熱長１０００ｍｍの半導体ウェーハ熱処
理用模型炉内に搬入し、３０分経過後のフォーク端縁部
の温度を測定した。
０００ｍｍ、均熱長１０００ｍｍの半導体ウェーハ熱処
理用模型炉内に搬入し、３０分経過後のフォーク端縁部
の温度を測定した。
測定結果を表１に示した。
表 １
このように、本発明に係るフォークＮｏ、１ 。
Ｎｏ、 ２は、従来の７ｆ−りＮｏ、 ３ 、 Ｎｏ、
４ に比べて取付は端縁部の温度が１１らかに低い
ことがわかる。
４ に比べて取付は端縁部の温度が１１らかに低い
ことがわかる。
（発ＩＪｌの効果）
以上説明したように、本９：、１１の石英ガラス製ウェ
ーハ搬送・保持用治具は、端部近傍の温度上昇がおさえ
られ、加熱エネルギーのロスが少なくなる。したがって
、上記治具の駆動部材や保持部材に用いられるポリマー
材等の劣化を防止することができる等、その産業上の価
値は高いものである。
ーハ搬送・保持用治具は、端部近傍の温度上昇がおさえ
られ、加熱エネルギーのロスが少なくなる。したがって
、上記治具の駆動部材や保持部材に用いられるポリマー
材等の劣化を防止することができる等、その産業上の価
値は高いものである。
第１図は、本発明の治具の一例の使用状態を示す模式図
、第２図は、その治具の取付は端部の拡大斜視図で、第
３図（ａ） 、 （ｂ）は、本発明の治具の微細気
泡入り半透ＩＪ石英ガラスの異なる形成個所を示す側面
図、第４図〜第７図は、本発明の各種治具の模式的図、
また第８図は、従来のフォークの使用状態を示す模式図
である。 図中 １争や・石英ガラス製フォーク ２Φ・・取付は端部 ４・−・半透明ガラス ５会・・微細気泡６・・・
フォーク駆動部材 ８・・・加熱体９・・・炉芯管
、第２図は、その治具の取付は端部の拡大斜視図で、第
３図（ａ） 、 （ｂ）は、本発明の治具の微細気
泡入り半透ＩＪ石英ガラスの異なる形成個所を示す側面
図、第４図〜第７図は、本発明の各種治具の模式的図、
また第８図は、従来のフォークの使用状態を示す模式図
である。 図中 １争や・石英ガラス製フォーク ２Φ・・取付は端部 ４・−・半透明ガラス ５会・・微細気泡６・・・
フォーク駆動部材 ８・・・加熱体９・・・炉芯管
Claims (1)
- １、石英ガラス製ウェーハ搬送・保持用治具において、
その石英ガラス構造体の端部を微細気泡入り半透明石英
ガラスで形成したことを特徴とする石英ガラス製ウェー
ハ搬送・保持用治具。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203149A JPH0824109B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 石英ガラス製ウエ−ハボート搬送治具 |
| KR1019870001655A KR900003252B1 (ko) | 1986-08-29 | 1987-02-26 | 석영유리제 웨이퍼 반송 및 보지용지그 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203149A JPH0824109B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 石英ガラス製ウエ−ハボート搬送治具 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2099800A Division JPH0648679B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 石英ガラス製ウエーハボート保持治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6358822A true JPS6358822A (ja) | 1988-03-14 |
| JPH0824109B2 JPH0824109B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=16469237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203149A Expired - Fee Related JPH0824109B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 石英ガラス製ウエ−ハボート搬送治具 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0824109B2 (ja) |
| KR (1) | KR900003252B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162234U (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-10 | ||
| JPH01162233U (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-10 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
| JPS62259434A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-11-11 | Shinetsu Sekiei Kk | 石英ガラス製治具 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61203149A patent/JPH0824109B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-02-26 KR KR1019870001655A patent/KR900003252B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
| JPS62259434A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-11-11 | Shinetsu Sekiei Kk | 石英ガラス製治具 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162234U (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-10 | ||
| JPH01162233U (ja) * | 1988-04-26 | 1989-11-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0824109B2 (ja) | 1996-03-06 |
| KR880003394A (ko) | 1988-05-16 |
| KR900003252B1 (ko) | 1990-05-12 |
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Legal Events
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