JPH0468279B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0468279B2 JPH0468279B2 JP61160608A JP16060886A JPH0468279B2 JP H0468279 B2 JPH0468279 B2 JP H0468279B2 JP 61160608 A JP61160608 A JP 61160608A JP 16060886 A JP16060886 A JP 16060886A JP H0468279 B2 JPH0468279 B2 JP H0468279B2
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- JP
- Japan
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- core tube
- furnace core
- quartz glass
- furnace
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体ウエーハの熱処理に用いられ
る石英ガラス製炉芯管の改良に関し、特に炉芯管
本体の端部近傍を微細気泡入り半透明石英ガラス
で構成するとにより、炉芯管端部からの輻射熱を
低減した炉芯管の提供を目的とする。 （従来の技術とその問題点） 一般に、半導体ウエーハの熱処理に使用される
炉芯管１は、第５図に示すように、処理物の搬出
入側端部２が熱処理用横型炉３から露出し装着さ
れている。このため加熱体４で加熱を行なうと、
石英ガラスは赤外線の透過性がきわめて高いの
で、赤外線による輻射熱の一部が石英ガラスを通
して搬出入側端部２に達し、端部近傍の温度を上
昇させ、さらに熱エネルギーを無駄に外部へ捨て
ることになる。また搬出入側端部２の温度が上が
ると、これと嵌合している蓋５にとりつけたシー
ル用ゴムパツキン（図示せず）等が劣化し、密閉
性が悪くなり、また蓋５の排気管６に結合してい
る有機材系の配管（図示せず）が焼損し易いとい
う不利があるので、これらの改良が望まれてい
た。 この対策として、搬出入側端部２の表面をスリ
ガラスにし、これによつて輻射熱の外部への洩れ
を抑制する提案があるが、この効果は必ずしも充
分ではなく、しかも端部の温度上昇をおさえるこ
とはできない。そのうえ表面をスリガラスに加工
すると、ここには微細な粉塵が付着し易く、これ
は洗浄しても完全に除去することは不可能で、こ
の粉塵が半導体ウエーハを汚染するという不利が
ある。さらにスリ合せ加工によりマイクロクラツ
クが多数発生して炉芯管の機械的強度を低下させ
る。 （問題点を解決するための手段） 本発明者らは、前記問題点を検討し、これを解
決する手段として本発明を完成したものであつ
て、これは石英ガラス製炉芯管において、炉芯管
本体の端部近傍さらには該本体に付属する石英ガ
ラス製部品を微細気泡入り半透明石英ガラスで構
成したことを特徴とする石英ガラス製炉芯管を要
旨とするものである。 （作用） 以下図面によつて本発明を説明する。 第１図ａに例示するように、本発明の石英ガラ
ス製炉芯管１は、右端が処理物を出し入れする搬
出入側端部２である。前述したように本発明で
は、この搬出入側端部２が微細気泡７を含む石英
ガラスから構成されている半透明部８を有するこ
とが重要な点である。かかる本発明の炉芯管１の
中央を加熱体４によつて加熱すると、炉芯管内に
収容されている処理物（図示せず）は所望温度に
加熱される。輻射熱の一部は石英ガラスを透過し
て炉芯管の搬出入側端部２に達するが、半透明部
８に含まれている微細気泡７により散乱、反射さ
れ、端部近傍の温度上昇が防がれる。 このとき微細気孔の大きさは15〜1000μｍであ
ることが適当で、この範囲より小さいと製造が困
難であり、一方大きいと機械的強度が低下する。 また、半透明部８は第１図ｂに示すように、尾
管側端部９に設けてもよく、さらにｃに示すよう
に、搬出入側端部２と尾管側端部９の両側に設け
れば前記効果は一層大きい。 半透明部８は端部先端まで設けず、第２図ａ，
ｂ，ｃに示すように、やや内側に設けても同様の
効果を得ることができる。 さらに本発明の炉芯管では、本体に限らず、こ
れに付属する石英ガラス部品、たとえば第３図に
示すように、尾管１０、枝管１１あるいは排気管
６の先端近くに半透明部８を設ければ、これらに
接続する有機材系配管の焼損を防ぐことができ、
また第４図ａ１，ｂ１およびａ２，ｂ２に示すよ
うに、蓋１２あるいは取手１３を半透明ガラスと
すれば、これらが過熱しないため取り扱い易い。 （実施例） 1050℃に加熱した炉長2000mm、均熱長1000mmの
半導体ウエーハ熱処理用横型炉内に、長さ2300mm
の石英ガラス製炉芯管を装着した。このとき両端
部は各々150mmづつ炉外部に露出していた。No.１、
No.２は本発明の炉芯管で、No.１は搬出入側端部よ
り10cmを微細気泡を含む半透明石英ガラスとし、
No.２は搬出入側端部および尾管側端部よりおのお
の10cmを微細気泡を含む半透明石英ガラスとし
た。炉芯管No.３は従来どおり搬出入側端部より10
cmをスリガラスとし、炉芯管No.４は半透明石英ガ
ラスを全く用いないで全体を透明石英ガラスとし
た。 上記炉芯管No.１〜４を、半導体ウエーハ熱処理
用横型炉内で30分加熱した後、各炉芯管両端部の
温度を測定した結果を第１表に示す。
る石英ガラス製炉芯管の改良に関し、特に炉芯管
本体の端部近傍を微細気泡入り半透明石英ガラス
で構成するとにより、炉芯管端部からの輻射熱を
低減した炉芯管の提供を目的とする。 （従来の技術とその問題点） 一般に、半導体ウエーハの熱処理に使用される
炉芯管１は、第５図に示すように、処理物の搬出
入側端部２が熱処理用横型炉３から露出し装着さ
れている。このため加熱体４で加熱を行なうと、
石英ガラスは赤外線の透過性がきわめて高いの
で、赤外線による輻射熱の一部が石英ガラスを通
して搬出入側端部２に達し、端部近傍の温度を上
昇させ、さらに熱エネルギーを無駄に外部へ捨て
ることになる。また搬出入側端部２の温度が上が
ると、これと嵌合している蓋５にとりつけたシー
ル用ゴムパツキン（図示せず）等が劣化し、密閉
性が悪くなり、また蓋５の排気管６に結合してい
る有機材系の配管（図示せず）が焼損し易いとい
う不利があるので、これらの改良が望まれてい
た。 この対策として、搬出入側端部２の表面をスリ
ガラスにし、これによつて輻射熱の外部への洩れ
を抑制する提案があるが、この効果は必ずしも充
分ではなく、しかも端部の温度上昇をおさえるこ
とはできない。そのうえ表面をスリガラスに加工
すると、ここには微細な粉塵が付着し易く、これ
は洗浄しても完全に除去することは不可能で、こ
の粉塵が半導体ウエーハを汚染するという不利が
ある。さらにスリ合せ加工によりマイクロクラツ
クが多数発生して炉芯管の機械的強度を低下させ
る。 （問題点を解決するための手段） 本発明者らは、前記問題点を検討し、これを解
決する手段として本発明を完成したものであつ
て、これは石英ガラス製炉芯管において、炉芯管
本体の端部近傍さらには該本体に付属する石英ガ
ラス製部品を微細気泡入り半透明石英ガラスで構
成したことを特徴とする石英ガラス製炉芯管を要
旨とするものである。 （作用） 以下図面によつて本発明を説明する。 第１図ａに例示するように、本発明の石英ガラ
ス製炉芯管１は、右端が処理物を出し入れする搬
出入側端部２である。前述したように本発明で
は、この搬出入側端部２が微細気泡７を含む石英
ガラスから構成されている半透明部８を有するこ
とが重要な点である。かかる本発明の炉芯管１の
中央を加熱体４によつて加熱すると、炉芯管内に
収容されている処理物（図示せず）は所望温度に
加熱される。輻射熱の一部は石英ガラスを透過し
て炉芯管の搬出入側端部２に達するが、半透明部
８に含まれている微細気泡７により散乱、反射さ
れ、端部近傍の温度上昇が防がれる。 このとき微細気孔の大きさは15〜1000μｍであ
ることが適当で、この範囲より小さいと製造が困
難であり、一方大きいと機械的強度が低下する。 また、半透明部８は第１図ｂに示すように、尾
管側端部９に設けてもよく、さらにｃに示すよう
に、搬出入側端部２と尾管側端部９の両側に設け
れば前記効果は一層大きい。 半透明部８は端部先端まで設けず、第２図ａ，
ｂ，ｃに示すように、やや内側に設けても同様の
効果を得ることができる。 さらに本発明の炉芯管では、本体に限らず、こ
れに付属する石英ガラス部品、たとえば第３図に
示すように、尾管１０、枝管１１あるいは排気管
６の先端近くに半透明部８を設ければ、これらに
接続する有機材系配管の焼損を防ぐことができ、
また第４図ａ１，ｂ１およびａ２，ｂ２に示すよ
うに、蓋１２あるいは取手１３を半透明ガラスと
すれば、これらが過熱しないため取り扱い易い。 （実施例） 1050℃に加熱した炉長2000mm、均熱長1000mmの
半導体ウエーハ熱処理用横型炉内に、長さ2300mm
の石英ガラス製炉芯管を装着した。このとき両端
部は各々150mmづつ炉外部に露出していた。No.１、
No.２は本発明の炉芯管で、No.１は搬出入側端部よ
り10cmを微細気泡を含む半透明石英ガラスとし、
No.２は搬出入側端部および尾管側端部よりおのお
の10cmを微細気泡を含む半透明石英ガラスとし
た。炉芯管No.３は従来どおり搬出入側端部より10
cmをスリガラスとし、炉芯管No.４は半透明石英ガ
ラスを全く用いないで全体を透明石英ガラスとし
た。 上記炉芯管No.１〜４を、半導体ウエーハ熱処理
用横型炉内で30分加熱した後、各炉芯管両端部の
温度を測定した結果を第１表に示す。
【表】
このように、本発明の炉芯管No.１、No.２は従来
の炉芯管No.３、No.４に比べ、端部温度が明らかに
低温化されている。 （発明の効果） 以上説明したように、炉芯管の端部を微細気泡
を含む石英ガラスの半透明部とすることにより加
熱エネルギーのロスが少なく、端部近傍の温度上
昇がおさえられ、ガス洩れまたはシール用ゴムパ
ツキン等の劣化を防止し、あるいは尾管、枝管ま
たは排気管等につなぐ有機材系の配管の焼損もな
いので、本発明は産業上すぐれたものである。
の炉芯管No.３、No.４に比べ、端部温度が明らかに
低温化されている。 （発明の効果） 以上説明したように、炉芯管の端部を微細気泡
を含む石英ガラスの半透明部とすることにより加
熱エネルギーのロスが少なく、端部近傍の温度上
昇がおさえられ、ガス洩れまたはシール用ゴムパ
ツキン等の劣化を防止し、あるいは尾管、枝管ま
たは排気管等につなぐ有機材系の配管の焼損もな
いので、本発明は産業上すぐれたものである。
第１図ａ，ｂ，ｃおよび第２図ａ，ｂ，ｃおよ
び第３図は本発明を例示する、端部に半透明石英
ガラス部分を設けた炉芯管の正面図を、第４図ａ
１，ｂ１はそれぞれ本発明を例示する蓋を半透明
石英ガラスとした炉芯管の側面図、正面図を、第
４図ａ２，ｂ２はそれぞれ本発明を例示する取手
を半透明石英ガラスとした炉芯管の側面図、正面
図を、第５図は従来の炉芯管を熱処理用横型炉に
装着したときの説明図を示す。 １……炉芯管、２……搬出入側端部、３……熱
処理用横型炉、４……加熱体、５……蓋、６……
排気管、７……泡、８……半透明部、９……尾管
側端部、１０……尾管、１１……枝管、１２……
蓋、１３……取手。
び第３図は本発明を例示する、端部に半透明石英
ガラス部分を設けた炉芯管の正面図を、第４図ａ
１，ｂ１はそれぞれ本発明を例示する蓋を半透明
石英ガラスとした炉芯管の側面図、正面図を、第
４図ａ２，ｂ２はそれぞれ本発明を例示する取手
を半透明石英ガラスとした炉芯管の側面図、正面
図を、第５図は従来の炉芯管を熱処理用横型炉に
装着したときの説明図を示す。 １……炉芯管、２……搬出入側端部、３……熱
処理用横型炉、４……加熱体、５……蓋、６……
排気管、７……泡、８……半透明部、９……尾管
側端部、１０……尾管、１１……枝管、１２……
蓋、１３……取手。
Claims (1)
- １ 石英ガラス製炉芯管において、炉芯管本体の
端部近傍さらには該本体に付属する石英ガラス製
部品を微細気泡入り半透明石英ガラスで構成した
ことを特徴とする石英ガラス製炉芯管。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61160608A JPS6317300A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 石英ガラス製炉芯管 |
| KR1019870001654A KR900003251B1 (ko) | 1986-07-08 | 1987-02-26 | 석영유리제 노심관 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61160608A JPS6317300A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 石英ガラス製炉芯管 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5782594A Division JPH0774122A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製の炉芯管 |
| JP5777494A Division JPH0774121A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製炉芯管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6317300A JPS6317300A (ja) | 1988-01-25 |
| JPH0468279B2 true JPH0468279B2 (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=15718619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61160608A Granted JPS6317300A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 石英ガラス製炉芯管 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6317300A (ja) |
| KR (1) | KR900003251B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0614480Y2 (ja) * | 1988-04-26 | 1994-04-13 | 信越石英株式会社 | 半導体熱処理装置 |
| JP3412735B2 (ja) * | 1996-08-07 | 2003-06-03 | 株式会社山形信越石英 | ウエーハ熱処理装置 |
| JPH10163122A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Fukui Shinetsu Sekiei:Kk | 半導体ウエハの熱処理装置及び炉心管 |
| FR2824663B1 (fr) * | 2001-05-14 | 2004-10-01 | Semco Sa | Procede et dispositif de dopage, diffusion et oxydation pyrolithique de plaquettes de silicium a pression reduite |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP61160608A patent/JPS6317300A/ja active Granted
-
1987
- 1987-02-26 KR KR1019870001654A patent/KR900003251B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6317300A (ja) | 1988-01-25 |
| KR900003251B1 (ko) | 1990-05-12 |
| KR880002240A (ko) | 1988-04-29 |
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