JPH0774122A - 石英ガラス製の炉芯管 - Google Patents
石英ガラス製の炉芯管Info
- Publication number
- JPH0774122A JPH0774122A JP5782594A JP5782594A JPH0774122A JP H0774122 A JPH0774122 A JP H0774122A JP 5782594 A JP5782594 A JP 5782594A JP 5782594 A JP5782594 A JP 5782594A JP H0774122 A JPH0774122 A JP H0774122A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- quartz glass
- furnace core
- main unit
- attached
- Prior art date
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- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 石英ガラス製炉芯管本体１の端部に着脱自在
に取付けられる石英ガラス部材１２を15〜1000μｍの範
囲内の大きさの微細気泡７を含む半透明石英ガラス８で
構成させて成る石英ガラス製の炉芯管。 【効果】 本発明に係る炉芯管は、その本体の端部に嵌
合状に着脱自在に取付けられる部材が半透明の石英ガラ
ス部材で構成されるから、端部からの熱のロスが少なく
且つ取扱が容易で、工業的に有利である。
に取付けられる石英ガラス部材１２を15〜1000μｍの範
囲内の大きさの微細気泡７を含む半透明石英ガラス８で
構成させて成る石英ガラス製の炉芯管。 【効果】 本発明に係る炉芯管は、その本体の端部に嵌
合状に着脱自在に取付けられる部材が半透明の石英ガラ
ス部材で構成されるから、端部からの熱のロスが少なく
且つ取扱が容易で、工業的に有利である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエ−ハの熱処
理に用いられる石英ガラス製炉芯管に関し、特に、炉芯
管本体に着脱自在に取付けられる付属部材にかかる改良
された石英ガラス製の炉芯管に関する。
理に用いられる石英ガラス製炉芯管に関し、特に、炉芯
管本体に着脱自在に取付けられる付属部材にかかる改良
された石英ガラス製の炉芯管に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体ウエ−ハの熱処理に使用
される炉芯管１は、添付図面の図３に示されるように、
その処理物の搬出入側端部２が熱処理用炉３から露出状
態に装着されている。その炉芯管の中央部を加熱体４で
赤外線加熱すると、石英ガラスは赤外線透過性がきわめ
て高いので、その赤外線の輻射熱の一部が石英ガラスを
透過して搬出入側端部２に達し、炉芯管の端部を高温に
上昇させる。そのため、熱エネルギ−は無駄に外部に捨
てれら、更に、その端部に嵌合している蓋５が搬出入側
端部２から伝達された輻射熱により加熱された排気管６
に結合している有機材系の配管（図示せず）が損傷し易
いので、そのような炉芯管の不都合の改善が望まれてい
た。
される炉芯管１は、添付図面の図３に示されるように、
その処理物の搬出入側端部２が熱処理用炉３から露出状
態に装着されている。その炉芯管の中央部を加熱体４で
赤外線加熱すると、石英ガラスは赤外線透過性がきわめ
て高いので、その赤外線の輻射熱の一部が石英ガラスを
透過して搬出入側端部２に達し、炉芯管の端部を高温に
上昇させる。そのため、熱エネルギ−は無駄に外部に捨
てれら、更に、その端部に嵌合している蓋５が搬出入側
端部２から伝達された輻射熱により加熱された排気管６
に結合している有機材系の配管（図示せず）が損傷し易
いので、そのような炉芯管の不都合の改善が望まれてい
た。
【０００３】この対策として、搬出入側端部の表面を見
掛け上不透明なすりガラスにし、これによって輻射熱の
外部への洩れを抑制する提案がなされたが、その熱洩れ
防止効果は必ずしも充分ではなく、端部や蓋部の温度上
昇を抑えることもできない。そのうえ、表面をすりガラ
スに加工すると、そのすりガラス面には微細な粉塵が付
着し易く、その付着粉塵は洗浄しても完全に除去するこ
とは不可能で、この粉塵が半導体ウエ−ハを汚染すると
いう不利は回避できない。更に、すり合わせ加工によっ
て多数のマイクロクラックが発生し易く、炉芯管の機械
的強度を低下させるので好ましくないこともわかった。
掛け上不透明なすりガラスにし、これによって輻射熱の
外部への洩れを抑制する提案がなされたが、その熱洩れ
防止効果は必ずしも充分ではなく、端部や蓋部の温度上
昇を抑えることもできない。そのうえ、表面をすりガラ
スに加工すると、そのすりガラス面には微細な粉塵が付
着し易く、その付着粉塵は洗浄しても完全に除去するこ
とは不可能で、この粉塵が半導体ウエ−ハを汚染すると
いう不利は回避できない。更に、すり合わせ加工によっ
て多数のマイクロクラックが発生し易く、炉芯管の機械
的強度を低下させるので好ましくないこともわかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、半導体
ウエ−ハ熱処理用炉芯管の上記のような課題を解決すべ
く、炉芯管端部に付属する接合部材に着目して試作検討
を重ねた。すなわち、本発明の課題は、上記のような加
熱体からの赤外線の輻射熱による炉芯管の端部が高温加
熱される欠点を炉芯管端部に付属する接合部材によって
解消する実用的に望ましい炉芯管を提供することにあ
る。
ウエ−ハ熱処理用炉芯管の上記のような課題を解決すべ
く、炉芯管端部に付属する接合部材に着目して試作検討
を重ねた。すなわち、本発明の課題は、上記のような加
熱体からの赤外線の輻射熱による炉芯管の端部が高温加
熱される欠点を炉芯管端部に付属する接合部材によって
解消する実用的に望ましい炉芯管を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体ウエ−
ハの熱処理に用いられる石英ガラス製炉芯管において、
炉芯管本体の端部に着脱自在に取付けられる石英ガラス
部材を15〜1000μｍの範囲内の大きさの微細気泡を含む
半透明石英ガラスで構成したことを特徴とする石英ガラ
ス製の炉芯管を要旨とするものである。
ハの熱処理に用いられる石英ガラス製炉芯管において、
炉芯管本体の端部に着脱自在に取付けられる石英ガラス
部材を15〜1000μｍの範囲内の大きさの微細気泡を含む
半透明石英ガラスで構成したことを特徴とする石英ガラ
ス製の炉芯管を要旨とするものである。
【０００６】上記のような構成を有する本発明の炉芯管
の炉芯管本体を透明の石英ガラスで形成させ、その端部
に着脱自在に且つ嵌合状に取付けられる石英ガラス部材
を、15〜1000μｍの範囲の微細気泡によって半透明に形
成させた点に技術的特徴がある。微細気泡含有によって
形成された半透明石英ガラス部材は、炉芯管本体に比べ
て熱処理間の汚染が少なく、しかも小形で取扱及び洗浄
が容易であるから、繰返しの半導体ウエ−ハ熱処理用と
して極めて有利である。
の炉芯管本体を透明の石英ガラスで形成させ、その端部
に着脱自在に且つ嵌合状に取付けられる石英ガラス部材
を、15〜1000μｍの範囲の微細気泡によって半透明に形
成させた点に技術的特徴がある。微細気泡含有によって
形成された半透明石英ガラス部材は、炉芯管本体に比べ
て熱処理間の汚染が少なく、しかも小形で取扱及び洗浄
が容易であるから、繰返しの半導体ウエ−ハ熱処理用と
して極めて有利である。
【０００７】この半透明石英ガラス部材に含有させる微
細気泡の径が、1000μｍを超えると機械的強度が低下
し、また15μｍより小さいと製造が困難となるので、工
業的に著しく不利であり、工業的に採用し難い。
細気泡の径が、1000μｍを超えると機械的強度が低下
し、また15μｍより小さいと製造が困難となるので、工
業的に著しく不利であり、工業的に採用し難い。
【０００８】
【作用】本発明の石英ガラス製の炉芯管は、炉芯管本体
が透明石英ガラスで形成され、その本体端部に嵌合され
る比較的小形の着脱自在の半透明石英ガラス部材で構成
されるから、炉芯管の洗浄が容易であり、その半透明石
英ガラス部材によって、炉芯管の端部における熱洩れが
効果的に防止される。
が透明石英ガラスで形成され、その本体端部に嵌合され
る比較的小形の着脱自在の半透明石英ガラス部材で構成
されるから、炉芯管の洗浄が容易であり、その半透明石
英ガラス部材によって、炉芯管の端部における熱洩れが
効果的に防止される。
【０００９】
【実施例】以下、図面により本発明を説明する。図１及
び図２は、本発明の石英ガラス製炉芯管の異なる例の説
明用の模式図であって、図１は、蓋１２本体が半透明石
英ガラス８で構成されたもの、また、図２は、透明な蓋
１２に取付けられている取手１３のみが半透明石英ガラ
ス８で構成されている例である。
び図２は、本発明の石英ガラス製炉芯管の異なる例の説
明用の模式図であって、図１は、蓋１２本体が半透明石
英ガラス８で構成されたもの、また、図２は、透明な蓋
１２に取付けられている取手１３のみが半透明石英ガラ
ス８で構成されている例である。
【００１０】本発明の石英ガラス炉芯管本体１は透明な
石英ガラス管体で構成され、熱処理されるウエ−ハ等が
搬出入されるその端部２には、図１には、15〜1000μｍ
の大きさの微細気泡７を含んだ半透明石英ガラス製の蓋
１２が炉芯管本体の端部に取付けられ、また、図２には
半透明石英ガラス製の取手１３が取付けられる。
石英ガラス管体で構成され、熱処理されるウエ−ハ等が
搬出入されるその端部２には、図１には、15〜1000μｍ
の大きさの微細気泡７を含んだ半透明石英ガラス製の蓋
１２が炉芯管本体の端部に取付けられ、また、図２には
半透明石英ガラス製の取手１３が取付けられる。
【００１１】
【発明の効果】本発明に係る炉芯管は、その本体の端部
に嵌合状に着脱自在に取付けられる部材が半透明の石英
ガラス部材で構成されるから、取扱が容易で工業的に有
利である。
に嵌合状に着脱自在に取付けられる部材が半透明の石英
ガラス部材で構成されるから、取扱が容易で工業的に有
利である。
【図１】本発明の石英ガラス製の炉芯管の一例の説明用
の模式図である。
の模式図である。
【図２】本発明の石英ガラス製の炉芯管の他の一例の説
明用の模式図である。
明用の模式図である。
【図３】従来の炉芯管を熱処理用横型炉に装着したとき
の説明図である。
の説明図である。
１・・・石英ガラス炉芯管 ２・・・搬出入側端部 ３・・・熱処理用横型炉 ４・・・加熱体 ５・・・蓋 ６・・・排気管 ７・・・微細気泡 ８・・・半透明石英ガラス ９・・・尾管側端部 １２・・・蓋 １３・・・取手
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 剣持 克彦 福島県郡山市田村町金屋字川久保88 信越 石英株式会社石英技術研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエ−ハの熱処理に用いられる石
英ガラス製炉芯管において、炉芯管本体の端部に着脱自
在に取付けられる石英ガラス部材を15〜1000μｍの範囲
内の大きさの微細気泡を含む半透明石英ガラスで構成し
たことを特徴とする石英ガラス製の炉芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5782594A JPH0774122A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製の炉芯管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5782594A JPH0774122A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製の炉芯管 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61160608A Division JPS6317300A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 石英ガラス製炉芯管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774122A true JPH0774122A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=13066708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5782594A Pending JPH0774122A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製の炉芯管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774122A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6181648A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP5782594A patent/JPH0774122A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6181648A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
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