JPH08152709A - ペリクル剥離方法及びペリクル剥離装置 - Google Patents

ペリクル剥離方法及びペリクル剥離装置

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JPH08152709A
JPH08152709A JP29301794A JP29301794A JPH08152709A JP H08152709 A JPH08152709 A JP H08152709A JP 29301794 A JP29301794 A JP 29301794A JP 29301794 A JP29301794 A JP 29301794A JP H08152709 A JPH08152709 A JP H08152709A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、フォトマスクを傷付けずにペリク
ルを容易に剥離させ、かつ人体への悪影響が生じるのを
防止するとともに、粘着剤がフォトマスクに付着するの
を防止することを目的とするものである。 【構成】 ペリクル５のフォトマスク１への接着部を５
０℃〜１００℃の温水に浸漬し、接着部に設けられた粘
着剤の粘着力を低下させた後、ペリクル５をフォトマス
ク１から引き剥がすようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体装置の
製造工程に使用されるペリクル付きガラスフォトマスク
等からペリクルを剥離させるためのペリクル剥離方法及
びペリクル剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は従来の半導体装置の写真製版工程
を示す概略の説明図である。図において、遮光膜による
パターン（図示せず）が設けられたガラスフォトマスク
１の下方には、光学系２を挟んでウエハ３が配置されて
いる。このようなガラスフォトマスク１のパターン形成
面に異物４が付着すると、異物４の像がウエハ３上に結
像されてしまう。
【０００３】このため、図９に示すように、ガラスフォ
トマスク１にペリクル５を設け、パターンを異物４から
保護している。このペリクル５は、例えばアルミニウム
製のペリクルフレーム６と、例えばニトロセルロース製
の透明なペリクル膜７とを有しており、ペリクルフレー
ム６がガラスフォトマスク１に粘着剤（図示せず）によ
り接着されている。ガラスフォトマスク１のパターン形
成面とペリクル膜７との間は所定距離離れており、ペリ
クル膜７に付着した異物４の像は、デフォーカスされて
ウエハ３上に結像されない。
【０００４】しかし、ペリクル膜７の汚れがひどくなっ
てくると、ペリクル膜７の光の透過率が低下し、正常な
写真製版が行えなくなるため、ペリクル５を交換する必
要が生じてくる。また、付着した異物が大きい場合やペ
リクル膜７が破損した場合にも、ペリクル５の交換が必
要となる。
【０００５】図１０は従来のペリクル剥離方法の一例を
示す断面図であり、この例ではガラスフォトマスク１の
両面にペリクル５が接着されている。図に示すように、
従来、不要となったペリクル５をガラスフォトマスク１
から剥がす場合、先端部が屈曲した治具８を使用してい
た。この治具８は、梃の原理を利用してペリクル５を物
理的に剥離させるものである。
【０００６】また、図１１は従来のペリクル剥離方法の
他の例を示す断面図である。図において、容器９内には
有機溶剤１０が入れられており、この有機溶剤１０中に
ペリクル５及びガラスフォトマスク１が浸漬されてい
る。ガラスフォトマスク１は、保持装置１１により保持
されている。
【０００７】この方法では、ペリクル５とガラスフォト
マスク１との間に介在する粘着剤に有機溶剤１０を浸透
させ、粘着剤の粘着力を低下させた後、ペリクル５をガ
ラスフォトマスク１から剥離させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のペ
リクル剥離方法のうち、治具８を使用する方法において
は、ガラスフォトマスク１上の治具８が接触する部分に
傷が付き、遮光膜の金属粉がパターンに付着してしまう
ことがあるという問題点があった。また、有機溶剤１０
を使用する方法では、作業者が有機溶剤１０の蒸気を微
量ではあるが吸入する可能性があるため、作業者の定期
的な健康診断が必要であり、さらに粘着剤が溶解した有
機溶剤１０によりガラスフォトマスク１が濡れるため、
粘着剤がガラスフォトマスク１に不要に付着することが
あるなどの問題点があった。
【０００９】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、フォトマスク
を傷付けずにペリクルを容易に剥離させることができ、
かつ人体への悪影響が生じるのを防止するとともに、粘
着剤がフォトマスクに付着するのを防止することができ
るペリクル剥離方法及びペリクル剥離装置を得ることを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るペ
リクル剥離方法は、ペリクルのフォトマスクへの接着部
を５０℃〜１００℃の温水に浸漬し、接着部に設けられ
た粘着剤の粘着力を低下させた後、ペリクルをフォトマ
スクから剥離させるものである。
【００１１】請求項２の発明に係るペリクル剥離方法
は、ペリクルのフォトマスクへの接着部を、高温の水蒸
気にさらし、接着部に設けられた粘着剤の粘着力を低下
させた後、ペリクルをフォトマスクから剥離させるもの
である。
【００１２】請求項３の発明に係るペリクル剥離装置
は、フォトマスクに接着されたペリクルのペリクルフレ
ーム側面部を把持する把持部を有し、フォトマスクを支
持する支持部と、高温の水蒸気を発生させ、発生した水
蒸気をペリクルのフォトマスクへの接着部に接触させる
水蒸気発生部とを備えたものである。
【００１３】請求項４の発明に係るペリクル剥離装置
は、ペリクルのフォトマスクへの接着部に対向する位置
に水蒸気の吹出口が設けられている容器と、この容器内
に設けられた水を沸騰させるヒータとを備えた水蒸気発
生部を用いたものである。
【００１４】
【作用】請求項１の発明においては、ペリクルとフォト
マスクとを接着している粘着剤の粘着力を温水により低
下させ、ペリクルがフォトマスクから容易に剥がれるよ
うにする。
【００１５】請求項２の発明においては、ペリクルとフ
ォトマスクとを接着している粘着剤の粘着力を高温の水
蒸気により低下させ、ペリクルがフォトマスクから容易
に剥がれるようにする。
【００１６】請求項３の発明においては、把持部により
ペリクルフレーム側面部を把持しつつ、支持部によりフ
ォトマスクを支持し、その状態で水蒸気発生部からの水
蒸気をペリクルのフォトマスクへの接着部に接触させ
て、接着部に設けられた粘着剤の粘着力を低下させ、さ
らにペリクルフレーム側面部を把持部により把持した状
態でフォトマスクをペリクルから引き剥がす。
【００１７】請求項４の発明においては、ヒータにより
水を沸騰させて容器内に水蒸気を発生させ、この水蒸気
を吹出口から吹き出させてペリクルのフォトマスクへの
接着部に当てる。
【００１８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例１．図１はこの発明の実施例１によるペリクル剥
離方法を示す断面図であり、図８ないし図１１と同一又
は相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００１９】図において、容器２１内には、純水を５０
℃〜１００℃に加熱してなる温水２２が入れられてい
る。この温水２２の中には、ペリクル５が接着されたガ
ラスフォトマスク１が浸漬されている。この実施例１で
は、加熱された温水２２の中にペリクル５及びガラスフ
ォトマスク１を所定時間浸漬した後、これらを引き上
げ、ペリクル５を剥離させる。
【００２０】この方法によれば、粘着剤の周囲に温水２
２が浸透し、粘着剤の粘着力が低下するため、特別な治
具等により無理な力を加えることなく、手等によりペリ
クル５を容易に剥離させることができ、従ってガラスフ
ォトマスク１に傷が付くことはない。また、温水２２を
使用するため人体への悪影響もなく、さらにペリクル５
を剥離させる際に、粘着剤はペリクル５に付着したまま
でガラスフォトマスク１からきれいに剥がれるため、粘
着剤によりガラスフォトマスク１が汚染されることもな
い。
【００２１】なお、温水２２へのガラスフォトマスク１
の出し入れやペリクル５の剥離作業は手で行ってもよい
が、温水２２の温度が高い場合には、ガラスフォトマス
ク１を傷付けないような把持具等の治具を使用すればよ
い。
【００２２】ここで、図２はペリクル剥離時間温度依存
性についての実験結果を示す水温と浸漬時間との関係図
である。図２において、浸漬時間は、ペリクルが人手に
より容易に剥離できるようになるまでに温水中に浸漬し
た時間を示している。この図から、水温が高い程、短時
間の浸漬で済むことがわかる。また、５０℃未満では、
粘着剤の粘着力が十分に低下せず、長時間浸漬しても剥
離が難しかった。従って、水温は、５０℃〜１００℃の
範囲が良いことがわかる。さらには、作業効率の点から
見ると、浸漬時間は１分程度までに抑えるのが好ましい
ため、水温としては８０℃前後、即ち７０℃〜１００℃
の範囲がより好適である。
【００２３】なお、上記実験では、接着強度１２０７ｇ
／ｉｎｃｈのアクリル系粘着剤を使用したが、接着強度
に応じて図２の特性はある程度変化すると考えられる。
【００２４】実施例２．次に、この発明の実施例２につ
いて説明する。上記実施例１では、ペリクル５及びガラ
スフォトマスク１を温水２２に浸漬した後、温水２２外
へ引き出してペリクル５を剥離させたが、この実施例２
では、そのまま温水２２中で剥離させるというものであ
る。
【００２５】上記のように、ペリクル５及びガラスフォ
トマスク１を温水２２中に浸漬すると、ペリクル５等に
付着した汚れが温水中に溶け出した後、ガラスフォトマ
スク１に付着する危険がある。ガラスフォトマスク１に
付着した汚れは、一度乾燥してしまうと落ちにくくなる
が、この実施例２のように温水２２中で剥離作業を行
い、そのまま（濡れて温度が高いまま）次工程の洗浄工
程等に移れば、比較的容易に落とすことができる。
【００２６】実施例３．次に、この発明の実施例３につ
いて説明する。この実施例３では、上記実施例１，２の
温水２２に界面活性剤を混入する方法である。界面活性
剤としては、例えばポリビニルフェニルエーテルを主成
分とするものなどが使用される。
【００２７】このように、界面活性剤を使用することに
より、ペリクル５の剥離が一層容易になり、条件によっ
ては、温水２２中で人手によらず自然に剥離させる程度
にまでなる。但し、界面活性剤を使用する場合には、界
面活性剤の吸着残留を防ぐため、ペリクル５の剥離後
に、例えばエタノール又はイソプロピルアルコール等で
ガラスフォトマスク１をリンスする必要がある。
【００２８】実施例４．図３はこの発明の実施例４によ
るペリクル剥離方法を示す断面図である。この実施例４
のペリクル剥離方法は、容器２１内の温水２２を沸騰さ
せ、その水蒸気にペリクル５及びガラスフォトマスク１
をさらすものである。これにより、ペリクル５の粘着剤
の粘着力が低下し、人体への悪影響やガラスフォトマス
ク１の汚れ等を防止しつつ、ペリクル５を容易に剥離さ
せることができるようになる。
【００２９】また、温水２２に浸漬する場合は、ペリク
ル５等に付着した異物が温水２２に溶け出した後、ガラ
スフォトマスク１を汚染する恐れがあるが、水蒸気によ
る方法では、ペリクル５の異物が溶け出すことはなく、
清浄な状態で剥離作業を行うことができる。
【００３０】ここで、水蒸気の温度は、上記実施例１の
水温の場合とほぼ同様に５０℃以上で、ペリクル５やガ
ラスフォトマスク１に悪影響を及ぼす温度以下とするの
が好ましい。さらに、水蒸気を十分に発生させるために
は、この実施例４のように水を沸騰状態とするのが好ま
しい。
【００３１】実施例５．図４はこの発明の実施例５によ
るペリクル剥離装置の概略の断面図である。図におい
て、容器２１内の温水２２は、ヒータ（図示せず）等に
より加熱され沸騰している。容器２１の上部には、蓋２
３が設けられている。蓋２３には、ペリクル５より大き
くガラスフォトマスク１よりも小さい開口部が設けられ
ており、この開口部内にペリクル５が挿入されている。
【００３２】このような装置では、容器２１の上部開口
部が蓋２３及びガラスフォトマスク１により閉じられ、
水蒸気の吹出口以外が密閉されるため、容器２１内の水
蒸気の熱が維持され、ペリクル５の粘着剤の粘着力を効
率良く低下させることができる。
【００３３】実施例６．図５はこの発明の実施例６によ
るペリクル剥離装置の概略の断面図である。図におい
て、容器２１内の温水２２は、ヒータ等により加熱され
沸騰している。容器２１の一内壁面には、ガラスフォト
マスク１及びペリクル５の側面部にそれぞれ当接する固
定爪２４，２５が固定されている。また、上記の内壁面
に対向する内壁面には、ガラスフォトマスク１及びペリ
クルフレーム６の側面部にそれぞれ当接する可動爪２
６，２７が、ばね２８，２９を介して取り付けられてい
る。
【００３４】このような装置では、固定爪２４，２５及
び可動爪２６，２７がガラスフォトマスク１及びペリク
ルフレーム６の側面部にそれぞれ当接しているため、ペ
リクル５とガラスフォトマスク１との接着部に十分に水
蒸気を当てることができるとともに、ガラスフォトマス
ク１を傷付けずに保持することができる。
【００３５】実施例７．次に、図６はこの発明の実施例
７によるペリクル剥離装置を示す平面図、図７は図６の
装置の使用状態を示す断面図である。図において、例え
ばステンレス鋼からなる容器本体３１内にはヒータ３２
が設けられており、このヒータ３２上にはビーカ３３が
置かれている。ビーカ３３内の温水３４がヒータ３２に
より加熱されることにより、容器本体３１内に水蒸気が
発生している。
【００３６】容器本体３１の開口部には、蓋３５が設け
られている。蓋３５には、スリット状の吹出口３６ａ及
び多数の円形の吹出口３６ｂが設けられている。これら
の吹出口３６ａ，３６ｂは、容器本体３１内の水蒸気を
上方へ吹き出すためのものであり、その形状や配置位置
は図６に限定されない。
【００３７】容器本体３１の一内壁部には、一対の固定
爪３７が互いに間隔をおいて固定されている。上記の内
壁部に対向する内壁部には、一対の可動爪３８が図の左
右方向へ往復動自在に設けられている。可動爪３８は、
容器本体３１の外周部に取り付けられた板ばね３９によ
り容器本体３１の内側へ付勢されている。固定爪３７と
可動爪３８とは互いに対向しており、板ばね３９のばね
力によりペリクルフレーム６の側面部を両側から把持す
る。可動爪３８には、板ばね３９に逆らって可動爪３８
を図の左方へ移動させるためのレバー４０が取り付けら
れている。
【００３８】なお、容器４１は、容器本体３１及び蓋３
５により構成されている。また、水蒸気発生部４２は、
容器４１，ヒータ３２及びビーカ３３により構成されて
いる。さらに、把持部４３は、固定爪３７，可動爪３
８，板ばね３９及びレバー４０により構成されている。
さらにまた、支持部４４は、挟持部４３及び容器本体３
１により構成されている。
【００３９】上記のように構成されたペリクル剥離装置
においては、レバー４０を引いて可動爪３８を引っ込ま
せた状態でペリクル付きのガラスフォトマスク１を容器
３１上にセットする。この後、図７に示すように、レバ
ー４０を戻して可動爪３８と固定爪３７との間にペリク
ルフレーム６の側面部を把持させる。
【００４０】一方、ヒータ３２により温水３４を加熱し
て、容器本体３１内に水蒸気を発生させる。この水蒸気
は、吹出口３６ａ，３６ｂから吹き出し、ペリクル５の
ガラスフォトマスク１との接着部に接触する。これによ
り、粘着剤の粘着力が低下し、ガラスフォトマスク１を
引き離すことによりペリクル５が容易に剥離させる。こ
のとき、ペリクルフレーム６の側面部が把持されている
ので、ガラスフォトマスク１に傷が付くのが防止され
る。
【００４１】上記装置によるペリクル剥離実験では、接
着強度１２０７ｇ／ｉｎｃｈのアクリル系粘着剤の場
合、水蒸気への暴露時間１分で容易に剥離可能となり、
接着強度１８１０ｇ／ｉｎｃｈのアクリル系粘着剤の場
合、水蒸気への暴露時間３分で容易に剥離可能となっ
た。
【００４２】なお、フォトマスクはガラスフォトマスク
に限定されるものではなく、またレチクル，マスターマ
スクのいずれでもよい。さらに、液晶用ペリクル付きフ
ォトマスクにもこの発明は適用できる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
ペリクル剥離方法は、ペリクルのフォトマスクへの接着
部を５０℃〜１００℃の温水に浸漬し、接着部に設けら
れた粘着剤の粘着力を低下させるようにしたので、治具
等により無理な力を加えずに、ペリクルを容易に剥離さ
せることができ、これによりフォトマスクに傷が付くの
を防止することができ、また温水を使用しているので、
人体への悪影響が生じるのを防止するとともに、粘着剤
がフォトマスクに付着するのを防止することができるな
どの効果を奏する。
【００４４】また、請求項２の発明のペリクル剥離方法
は、ペリクルのフォトマスクへの接着部を、高温の水蒸
気にさらし、接着部に設けられた粘着剤の粘着力を低下
させるようにしたので、フォトマスクを傷付けずにペリ
クルを容易に剥離させることができ、かつ人体への悪影
響が生じるのを防止するとともに、粘着剤がフォトマス
クに付着するのを防止することができ、またペリクルに
付着した異物がフォトマスクに付着するのを防止するこ
とができるなどの効果を奏する。
【００４５】さらに、請求項３の発明のペリクル剥離装
置は、フォトマスクに接着されたペリクルのペリクルフ
レーム側面部を把持する把持部を有し、フォトマスクを
支持する支持部と、高温の水蒸気を発生させ、発生した
水蒸気をペリクルのフォトマスクへの接着部に接触させ
る水蒸気発生部とを備えたので、フォトマスクを傷付け
ずにペリクルを容易に剥離させることができ、かつ人体
への悪影響が生じるのを防止するとともに、粘着剤がフ
ォトマスクに付着するのを防止することができ、またペ
リクルに付着した異物がフォトマスクに付着するのを防
止することができ、さらにペリクルフレーム側面部を把
持部により把持した状態でフォトマスクをペリクルから
引き剥がすことができ、これによりフォトマスクが傷付
くのを防止することができるなどの効果を奏する。
【００４６】さらにまた、請求項４の発明のペリクル剥
離装置は、ペリクルのフォトマスクへの接着部に対向す
る位置に水蒸気の吹出口が設けられている容器と、この
容器内に設けられた水を沸騰させるヒータとを備えた水
蒸気発生部を用いたので、上記請求項３の発明と同様の
効果に加えて、水蒸気を効率良く接着部に当てることが
できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施例１のペリクル剥離方法を示
す断面図である。
【図２】 ペリクル剥離時間温度依存性についての実験
結果を示す水温と浸漬時間との関係図である。
【図３】 この発明の実施例４のペリクル剥離方法を示
す断面図である。
【図４】 この発明の実施例５のペリクル剥離装置の概
略の断面図である。
【図５】 この発明の実施例６のペリクル剥離装置の概
略の断面図である。
【図６】 この発明の実施例７のペリクル剥離装置を示
す平面図である。
【図７】 図６の装置の使用状態を示す断面図である。
【図８】 従来の半導体装置の写真製版工程を示す概略
の説明図である。
【図９】 図８のガラスフォトマスクにペリクルを付け
た場合を示す説明図である。
【図１０】 従来のペリクル剥離方法の一例を示す断面
図である。
【図１１】 従来のペリクル剥離方法の他の例を示す断
面図である。
【符号の説明】
１ フォトマスク、５ ペリクル、６ ペリクルフレー
ム、２２ 温水、３２ヒータ、４１ 容器、４２ 水蒸
気発生部、４３ 把持部、４４ 支持部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 茂 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式会 社北伊丹製作所内 (72)発明者 楠瀬 治彦 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式会 社北伊丹製作所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ペリクルのフォトマスクへの接着部を５
    ０℃〜１００℃の温水に浸漬し、上記接着部に設けられ
    た粘着剤の粘着力を低下させた後、上記ペリクルを上記
    フォトマスクから剥離させることを特徴とするペリクル
    剥離方法。
  2. 【請求項２】 ペリクルのフォトマスクへの接着部を高
    温の水蒸気にさらし、上記接着部に設けられた粘着剤の
    粘着力を低下させた後、上記ペリクルを上記フォトマス
    クから剥離させることを特徴とするペリクル剥離方法。
  3. 【請求項３】 フォトマスクに接着されたペリクルのペ
    リクルフレーム側面部を把持する把持部を有し、上記フ
    ォトマスクを支持する支持部と、 高温の水蒸気を発生させ、上記ペリクルの上記フォトマ
    スクへの接着部に上記水蒸気を接触させる水蒸気発生部
    とを備えていることを特徴とするペリクル剥離装置。
  4. 【請求項４】 水蒸気発生部は、ペリクルのフォトマス
    クへの接着部に対向する位置に水蒸気の吹出口が設けら
    れている容器と、この容器内に設けられた水を沸騰させ
    るヒータとを備えていることを特徴とする請求項３記載
    のペリクル剥離装置。
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