JPS6320989Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 ホトマスク、レチクルのためのペリクルフレー
ムをテーパをもたせた形状にし、ゴミの取り易さ
と洗浄時の洗浄液の落ち（きれ）を良くする。

〔産業上の利用分野〕

本考案はペリクルフレームに関するもので、更
に詳しく言えば、ペリクルフレームを従来の垂直
型のものからテーパをもたせた構造としたものに
関する。

〔従来の技術〕

第２図ａとｂの斜視図と正面断面図に示される
ペリクルフレームは知られたものであり、同図に
おいて、２１はペリクルフレーム、２２はペリク
ル膜、２３はレチクルをそれぞれ示す。ペリクル
（Pellicle）とは、それに照射された光の一部を反
射し、残りの部分を透過させる光のビームを分離
する場合などに用いられるものであるが、露光関
係の分野では光を透過させる透明な薄膜をペリク
ル膜と呼称する。第２図ｂに示される如く、使用
いおいてはレチクル２３の両側にペリクルフレー
ムが配置され、図に見て上方の光学系からの光は
ペリクル膜／レチクル／ペリクル膜を通つて例え
ば下方に配置されたウエハ上に照射される。

ペリクルフレーム２１は一般にアルミニウムま
たは硬質樹脂で作られた枠で中空になつており、
その一方側にペリクル膜２２が貼り付けてある。
ペリクル膜はレチクルやホトマスクなどをゴミの
汚染から保護するためのもので、レチクルの両側
に第２図ｂに示す状態でレチクルを保護し、また
露光時も前述した如く第２図ｂに示した状態で使
用される。

ペリクル膜は使用の前に空気またはガスを吹き
付けて（パージ）その外側がきれいに保たれる。
しかし、ゴミを皆無にすることは難しく、露光時
にペリクル膜の上にゴミ２４ａが付着したままで
あることがある。しかし、露光時には光学系の焦
点をレチクルに合せ、レチクルのパターン２３ａ
をウエハ上に投影するものであるので、ペリクル
膜上のゴミは特に問題にならない。しかし、ゴミ
２４ｂがレチクル上にあると、そのゴミはウエハ
上に投影され、集積回路（IC）形成の妨げとな
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕 ペリクル膜２２をペリクルフレーム２１に貼り
付けるとき、ゴミ２４ｃが第２図ｃの左に示す如
くペリクル膜２２の内側に付着していたとする
と、露光時にそのゴミ２４ｃがレチクル２３上に
落下し、そこに留まつて前記した如くゴミ２４ｃ
がウエハ上に投影されるおそれがある。そこで、
ペリクル膜を貼り付けた後にペリクル膜２２の内
側と外側とを洗浄する。ペリクル膜の外側にある
ゴミは重大な問題にならぬとしても、ペリクル膜
は清浄であることが好ましいので、その内側のみ
ならず外側も洗浄する。そのとき、ペリクルフレ
ーム２１が従来の中空柱状（また箱状）のフレー
ムが水平面に対し垂直なものであると、洗浄後に
洗浄液が落ちきれず（または十分にきれないで）
洗浄液２５が第２図ｃの右側に示される如くフレ
ームの近くのペリクル膜上に残存する。この中に
ゴミが含まれていると、洗浄液が乾いたときゴミ
と洗浄剤の乾燥したものがそのまま残り、それが
レチクル上に落下して前記した問題を惹起するお
それがある。また、空気またはガスをゴミをパー
ジしようとするとき、ペリクル膜がフレームと接
する部分は図示の如く隅の直角部分であるので、
そこにはゴミが溜り易い問題がある。

ペリクル膜２２をペリクルフレーム２１に貼り
付けるとき、ペリクルフレームが現在の形状のも
のであると作業者の指でペリクル膜をペリクルフ
レームに押し付けて貼らなければならない。ペリ
クル膜は前記した如く薄い膜であるので、この貼
付けのときにペリクル膜が破損され易いという問
題もある。

本考案はこのような点に鑑みて創作されたもの
で、ゴミが溜り難く、洗浄のとき洗浄液の落ちま
たはきれが良く、ペリクルフレームに貼り付ける
ときペリクル膜の破損のおそれがないペリクルフ
レームを提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図ａは本考案実施例の斜視図、同図ｂは当
該実施例の正面断面図、同図ｃは同図ａのペリク
ル膜がペリクルフレームに接する部分の拡大断面
図である。

第１図において、ペリクル膜１２が貼り付けら
れるペリクルフレーム１１は、中空の枠状の構造
であるが、ペリクル膜の貼り付けられた側から外
方にテーパして末広がりになる構造のものであ
る。

〔作用〕

上記のペリクルフレームにおいては、ペリクル
フレームにテーパが付けてあるので、ペリクル膜
を貼り付けたところでは同膜とペリクルフレーム
が形成する角は鈍角であるので、ゴミが溜り難
く、また空気、ガスでパージするとゴミは容易に
除去され、また洗浄液の落ちも良くなるのであ
る。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本考案の実施例を詳細に
説明する。

本考案においては、第１図ａとｂに見られる如
く、ペリクルフレーム１１を、ペリクル膜１２が
貼り付けられたところから図に見て下方にテーパ
を付け、ペリクルフレーム１１がペリクル膜に接
する側から外側に末広がりになるよう形成する。
ペリクルフレーム１１の１辺とペリクル膜１２が
なす角αは90℃より大であればよいが、図示の例
ではαは約120℃に設定した。なお、ペリクルフ
レーム１１は第２図ｂに示した如くにレチクルと
共に使用されるが、ホトマスクのためにも使用可
能である。

このようにペリクルフレームを形成することに
より、先ず、ペリクル膜１１を貼り付けるとき、
ペリクル膜１２に触れることなく、ペリクルフレ
ーム１１を押すことによつて貼付けが可能になる
ので、ペリクル膜の破損が防止される。

第２に、ペリクル膜１２とペリクルフレーム１
１の接触部が前記した如く鈍角に開いているの
で、ゴミが溜り難くなる。

洗浄について説明すると、第１図ｃの左側に示
される如く、洗浄時にペリクル膜がペリクルフレ
ームに接する部分の近くにゴミ１３があつても、
それは洗浄水によつて運び去られ、洗浄液は同図
の右側に示される如く矢印Ａに沿つて流れるの
で、落ちまたはきれが良い。洗浄液には水また洗
浄剤溶液を用いる。また、洗浄後にゴミ１３が図
示の場所に位置したとしても、それは空気または
ガスの吹付け（パージ）によつて容易に除去され
る。

〔考案の効果〕

以上述べてきたように、本考案によれば、ゴミ
が溜り難くなり、洗浄後に洗浄液が流れ易くな
り、ペリクル膜をきれいな状態で保管し使用する
ことが可能になり、またペリクル膜を貼り付ける
ときペリクル膜の破損が防止され、半導体装置製
造の歩留りと信頼性の向上に効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案実施例の斜視図、第１図ｂは
本考案実施例の正面断面図、第１図ｃは本考案実
施例のパージと洗浄状態を示す断面図、第２図ａ
は従来例の斜視図、第２図ｂは従来例とレチクル
の断面図、第２図ｃは従来例のパージと洗浄状態
を示す断面図である。 第１図において、１１はペリクルフレーム、１
２はペリクル膜、１３はゴミである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ペリクル膜１２を貼り付けた状態でレチクル、
   ホトマスクなどの保護のために用いるペリクルフ
   レーム１１にして、 該ペリクルフレーム１１はペリクル膜１２が貼
   り付けられた側から外方にテーパして末広がりに
   なつた形状の枠状体のものであることを特徴とす
   るペリクルフレーム１１。