JPS60210687A - 接着剤で接着された被着体同士のはく離を促進する方法 - Google Patents
接着剤で接着された被着体同士のはく離を促進する方法Info
- Publication number
- JPS60210687A JPS60210687A JP6568884A JP6568884A JPS60210687A JP S60210687 A JPS60210687 A JP S60210687A JP 6568884 A JP6568884 A JP 6568884A JP 6568884 A JP6568884 A JP 6568884A JP S60210687 A JPS60210687 A JP S60210687A
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- Japan
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- adhesive
- vessel
- pressure
- water
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は接着剤で接着された被着体に傷を付けずに短時
間ではく離する方法に関するものである。
間ではく離する方法に関するものである。
微細加工の研摩工程、切削工程では、被加工物を治具に
接着剤を用いて接着して加工し、加工後被加工物を治具
から取り外さなければならない。また接着不良等で被着
物を取り外すこともある。
接着剤を用いて接着して加工し、加工後被加工物を治具
から取り外さなければならない。また接着不良等で被着
物を取り外すこともある。
従来被着体をいためずに、はく離するには被着体を高温
炉中で接着剤が熱分解する温度まで加熱する方法と、ア
セトン等の溶剤中に浸して接着剤を溶解する方法がある
。
炉中で接着剤が熱分解する温度まで加熱する方法と、ア
セトン等の溶剤中に浸して接着剤を溶解する方法がある
。
前者は、被着体が高温にさらされるので熱に弱い被着体
には応用できないと同時に接着剤の熱分解によって有毒
ガスが発生する恐れがある。
には応用できないと同時に接着剤の熱分解によって有毒
ガスが発生する恐れがある。
例えば比較的熱に弱いシアノアクリレート系接着剤は４
００°Ｃ前後で熱分解するが、熱分解によってシアンガ
スが発生する場合がある。
００°Ｃ前後で熱分解するが、熱分解によってシアンガ
スが発生する場合がある。
このシアンガスの発生を防止する為にはシアンガスが炭
素とチッ素に分解する温度すなわち１５００℃以上に加
熱する必要がある。
素とチッ素に分解する温度すなわち１５００℃以上に加
熱する必要がある。
後者は、人体に有害な溶紬を用いる為に作業環境が悪く
、また、はく離に必要な時間も２４時間から４８時間、
場合によってはそれ以上である。
、また、はく離に必要な時間も２４時間から４８時間、
場合によってはそれ以上である。
本発明はこれらの欠点を解決する為に接着剤で接着され
た被着体を密閉容器中で加圧し、接着剤の強度が劣化す
る程度の温度で加熱し必要時間圧力と温度を保持した後
減圧することによって被着体の接着面をはく離するよう
にしたものである。
た被着体を密閉容器中で加圧し、接着剤の強度が劣化す
る程度の温度で加熱し必要時間圧力と温度を保持した後
減圧することによって被着体の接着面をはく離するよう
にしたものである。
加熱媒体は空気、ガス、水蒸気、水等あらゆる気体及び
液体が考えられるが、特に液体中で加熱した場合、加熱
された液体の温度が大気圧における沸点を超えていれば
、減圧時に液体が大気圧における沸点の温度に下がるま
で沸騰を続けるので若干のキャビテーションが発生し被
着体の洗浄効果も生ずる。
液体が考えられるが、特に液体中で加熱した場合、加熱
された液体の温度が大気圧における沸点を超えていれば
、減圧時に液体が大気圧における沸点の温度に下がるま
で沸騰を続けるので若干のキャビテーションが発生し被
着体の洗浄効果も生ずる。
実施例として、前述のシアノアクリレート系接着剤によ
って接着された金属は熱媒体に水を使った場合１１５℃
１．７気圧で２０分間また１４０°Ｃ３，７気圧で５分
間また１８０°ｃｌＯ気圧では１秒間の温度及び圧力の
保持径大気圧まで減圧することによって、はく離できる
。
って接着された金属は熱媒体に水を使った場合１１５℃
１．７気圧で２０分間また１４０°Ｃ３，７気圧で５分
間また１８０°ｃｌＯ気圧では１秒間の温度及び圧力の
保持径大気圧まで減圧することによって、はく離できる
。
以下図面について詳細に説明する。
第１図は本発明の実施例であって、加熱媒体に水を使っ
た例である。
た例である。
密閉容器（１）に水（２）を入れ棚（３）に被着体（４
）を置きフタ （５）をする。次に水加熱用ヒーター（
６）で加熱する。加熱された水（２）は一部が水蒸気と
なり気体部（７）に充満する。この時バルブ（８）を開
１すると空気と水血気が密閉容器（１）の外に放出され
ることによって気体部（７）は水蒸気だけとなる。目的
の分量だけ空気を排除した後バルブ（８）を閉じると密
閉容器（１）内の圧力が上昇する。密閉容器（１）内の
圧力は水の温度と密閉容器（１）内の空気等の気体の存
在する割合で決定される。
）を置きフタ （５）をする。次に水加熱用ヒーター（
６）で加熱する。加熱された水（２）は一部が水蒸気と
なり気体部（７）に充満する。この時バルブ（８）を開
１すると空気と水血気が密閉容器（１）の外に放出され
ることによって気体部（７）は水蒸気だけとなる。目的
の分量だけ空気を排除した後バルブ（８）を閉じると密
閉容器（１）内の圧力が上昇する。密閉容器（１）内の
圧力は水の温度と密閉容器（１）内の空気等の気体の存
在する割合で決定される。
目的の温度、圧力に達した後その状態を目的の時間保持
すると、接着剤の微細な孔から水分が侵入し接着剤中の
圧力は密閉容器（１）内の圧力に近くなると同時に接着
剤の強度が劣化する。この時点でバルブ（８）を開くと
密閉容器（１）内の圧力が低下すると同時に加熱、加圧
中に高められた接＠剤中の圧力で接着剤あるいは接着剤
と被着物の界面を磁界し、はく離する。また接着剤の種
類によっては接着剤中の成分が熱によって蒸気圧を持ち
、減圧時にこの圧力ではく離する。
すると、接着剤の微細な孔から水分が侵入し接着剤中の
圧力は密閉容器（１）内の圧力に近くなると同時に接着
剤の強度が劣化する。この時点でバルブ（８）を開くと
密閉容器（１）内の圧力が低下すると同時に加熱、加圧
中に高められた接＠剤中の圧力で接着剤あるいは接着剤
と被着物の界面を磁界し、はく離する。また接着剤の種
類によっては接着剤中の成分が熱によって蒸気圧を持ち
、減圧時にこの圧力ではく離する。
第２図は本発明の実施例であって加熱媒体を水蒸気にし
たものである。
たものである。
この場合、第１図と異る所は密閉容器（１）の外周（内
周でも良い）に気体部加熱用ヒーター（９）を設けたこ
とと、被着体（４）を気体部に設値したことである。−
例として水加熱用ヒーター（６）で水（２）を加熱し蒸
気発生と同時にバルブ（８）を開けて空気を抜き気体部
（７）を水蒸気のみにした後バルブ（８）を閉じると圧
力が上昇する。例えば水（２）を１８０℃まで上昇させ
ると密閉容１ａ（１）の中は約１０気圧となる。バルブ
を閉じた後に気体部加熱用ヒーター（９）によって気体
部（７）を加熱することにより２５０°Ｃにすれば気体
部（７）は２５０°Ｃ１０気圧の状態が得られる。この
状態を保持して、接着剤の強度劣化を待ちかつ水分の侵
入を待つ、接着剤が熱によって蒸気圧を持つものは、接
着剤の蒸気圧の上昇を待つ、目的の時間保持した後バル
ブ（８）を開けて減圧し、接着剤中の圧力によって、は
く離させる、第３図は被着材の拡大図であり被着体（４
；及び被着体（イ；“が接着剤（４）によって接着され
ている。
周でも良い）に気体部加熱用ヒーター（９）を設けたこ
とと、被着体（４）を気体部に設値したことである。−
例として水加熱用ヒーター（６）で水（２）を加熱し蒸
気発生と同時にバルブ（８）を開けて空気を抜き気体部
（７）を水蒸気のみにした後バルブ（８）を閉じると圧
力が上昇する。例えば水（２）を１８０℃まで上昇させ
ると密閉容１ａ（１）の中は約１０気圧となる。バルブ
を閉じた後に気体部加熱用ヒーター（９）によって気体
部（７）を加熱することにより２５０°Ｃにすれば気体
部（７）は２５０°Ｃ１０気圧の状態が得られる。この
状態を保持して、接着剤の強度劣化を待ちかつ水分の侵
入を待つ、接着剤が熱によって蒸気圧を持つものは、接
着剤の蒸気圧の上昇を待つ、目的の時間保持した後バル
ブ（８）を開けて減圧し、接着剤中の圧力によって、は
く離させる、第３図は被着材の拡大図であり被着体（４
；及び被着体（イ；“が接着剤（４）によって接着され
ている。
以上説明したように本発明は被着体に傷を付けずに、か
つ比較的低温で短時間に被着体の、はく離ができる方法
で摺脂系接着剤、ワックス系接着剤等に幅広く利用でき
る。
つ比較的低温で短時間に被着体の、はく離ができる方法
で摺脂系接着剤、ワックス系接着剤等に幅広く利用でき
る。
第１図は本発明の実施例で水を加熱媒体に水を使った例
である。 ｌは密閉容器 ２は水 ３は棚 ４は被着体 ５はフタ
６は水加熱用ヒーター ７は気体部 ８はバルブ 第２図は本発明の実施例で水蒸気を加熱媒体にしたもの
である。 １は密閉容器 ２は水 ３は棚 ４は被着体 ５はフタ
６は水加熱用ヒーター ７は気体部 ８はバルブ ９
は気体部加熱用ヒーター第３図は第１図及び第２図にお
ける被着体（４）の拡大図であり４゛は被着体 ４゛は
接着剤 ４１゛は被着体第１図
である。 ｌは密閉容器 ２は水 ３は棚 ４は被着体 ５はフタ
６は水加熱用ヒーター ７は気体部 ８はバルブ 第２図は本発明の実施例で水蒸気を加熱媒体にしたもの
である。 １は密閉容器 ２は水 ３は棚 ４は被着体 ５はフタ
６は水加熱用ヒーター ７は気体部 ８はバルブ ９
は気体部加熱用ヒーター第３図は第１図及び第２図にお
ける被着体（４）の拡大図であり４゛は被着体 ４゛は
接着剤 ４１゛は被着体第１図
Claims (1)
- 接着剤で接着された被着体を密閉容１社加圧及び加熱し
、接着剤の強度を劣化させた後謁圧することによって被
着体の接着面をはく離する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6568884A JPS60210687A (ja) | 1984-04-04 | 1984-04-04 | 接着剤で接着された被着体同士のはく離を促進する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6568884A JPS60210687A (ja) | 1984-04-04 | 1984-04-04 | 接着剤で接着された被着体同士のはく離を促進する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60210687A true JPS60210687A (ja) | 1985-10-23 |
| JPS645075B2 JPS645075B2 (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=13294193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6568884A Granted JPS60210687A (ja) | 1984-04-04 | 1984-04-04 | 接着剤で接着された被着体同士のはく離を促進する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60210687A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5368675A (en) * | 1992-08-21 | 1994-11-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for the preparation of a frame-supported pellicle for photolithography |
| US5772842A (en) * | 1994-11-28 | 1998-06-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for stripping pellicle |
-
1984
- 1984-04-04 JP JP6568884A patent/JPS60210687A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5368675A (en) * | 1992-08-21 | 1994-11-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for the preparation of a frame-supported pellicle for photolithography |
| US5772842A (en) * | 1994-11-28 | 1998-06-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for stripping pellicle |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645075B2 (ja) | 1989-01-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |