JPS6348907A - ガラス封止圧電振動子の製造方法 - Google Patents
ガラス封止圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6348907A JPS6348907A JP19242686A JP19242686A JPS6348907A JP S6348907 A JPS6348907 A JP S6348907A JP 19242686 A JP19242686 A JP 19242686A JP 19242686 A JP19242686 A JP 19242686A JP S6348907 A JPS6348907 A JP S6348907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- sealing
- stem
- heating
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はガラス封止圧逍振動子とその製造方法に関する
。
。
従来のガラス封止圧４振動子とその製造方法の１例とし
てガラス封止音叉型水晶振動子とその製造方法の例′ｆ
！：特開昭５７５７−１ｌ５１１号公報によシ第４図に
より説明する。１１Ｖｉガラスステムであり２本のリー
ド線１２ａ、１２ｂＱ球状のガラス１３で封着し次もの
である。リードＨ１２ａ＋１２１）の先端には音叉型水
晶発振片１４が固着される。１５はガラスケースであり
その内径はステムのガラス１３の外径より大きい。音叉
型水晶発振片１４を固着し次ガラスステム１１にガラス
ケース１５を被せ、封着部をヒーター１６で加熱してガ
ラス封止音叉型水晶振動子を完成させていた。
てガラス封止音叉型水晶振動子とその製造方法の例′ｆ
！：特開昭５７５７−１ｌ５１１号公報によシ第４図に
より説明する。１１Ｖｉガラスステムであり２本のリー
ド線１２ａ、１２ｂＱ球状のガラス１３で封着し次もの
である。リードＨ１２ａ＋１２１）の先端には音叉型水
晶発振片１４が固着される。１５はガラスケースであり
その内径はステムのガラス１３の外径より大きい。音叉
型水晶発振片１４を固着し次ガラスステム１１にガラス
ケース１５を被せ、封着部をヒーター１６で加熱してガ
ラス封止音叉型水晶振動子を完成させていた。
しかし、前述の従来技術ではガラスステムとガラスケー
スの間にクリアランスがある几め加熱封着するときに多
い熱量を必要とし、このときガラスからガスが出るため
に高真空封止ができないという問題点を有していた。
スの間にクリアランスがある几め加熱封着するときに多
い熱量を必要とし、このときガラスからガスが出るため
に高真空封止ができないという問題点を有していた。
そこで本発明はこのような問題点を解決するものでその
１的とするところ（１、高真空にして高信頼性のガラス
封止圧電振動子を提供するところにある。
１的とするところ（１、高真空にして高信頼性のガラス
封止圧電振動子を提供するところにある。
本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は、筒状のガ
ラスケースと、圧電発振片がその先端に固着されている
２本のリード線を封着してなるガラスステムを加熱溶着
により封止する時、ケースとステムのクリアランスをな
くす工程として封着される熱量よりも少ない熱量をかけ
る工程と、封着する工程と封止工程が２工程以上である
ことを特徴とする。
ラスケースと、圧電発振片がその先端に固着されている
２本のリード線を封着してなるガラスステムを加熱溶着
により封止する時、ケースとステムのクリアランスをな
くす工程として封着される熱量よりも少ない熱量をかけ
る工程と、封着する工程と封止工程が２工程以上である
ことを特徴とする。
本発明の上記製造方法によれば、１工程でケースとステ
ムのクリアランスをなくシ、パッケージ内のガスが抜け
る程度のすきまを残し、２工程でそのすきまをふさぐだ
けの封着を行なう九めに、封着時の加熱時間が短かくて
すむ之め、ガラスから出るガスが減少し高真空封止がで
きる。
ムのクリアランスをなくシ、パッケージ内のガスが抜け
る程度のすきまを残し、２工程でそのすきまをふさぐだ
けの封着を行なう九めに、封着時の加熱時間が短かくて
すむ之め、ガラスから出るガスが減少し高真空封止がで
きる。
第１図は、本発明の一実捲例における製造例である。第
１図（ａ）は封止前の状態でケース５とステム１の間に
クリアランス６がある。第１図ｒｂ）は封止中筒１工程
後の状態でケース５とステム１の間のクリアランス６が
ほぼなくなっているが封着はされていない。第１図（Ｃ
）は第２工程封止後の完成品でケー２５とステム１が封
着された状態を示す。
１図（ａ）は封止前の状態でケース５とステム１の間に
クリアランス６がある。第１図ｒｂ）は封止中筒１工程
後の状態でケース５とステム１の間のクリアランス６が
ほぼなくなっているが封着はされていない。第１図（Ｃ
）は第２工程封止後の完成品でケー２５とステム１が封
着された状態を示す。
低融点ガラス（例えば日本電気硝子のＴ・Ｇ−１６軟化
温度５７５℃だが加圧封着により５２０〜５５０℃程度
で加工できる。〕のケースとステムを使用した場合、加
熱時、従来は５５０℃で１０秒の加熱をしないと封着で
きなかった。このとき真空度は１０−ｓ程度でしかない
。本発明の製造方法では、第１工程の加熱で５２０℃で
１０秒間の加熱を行ないケースとステム間のクリアラン
スを縮める。このとき、完全に封着してはならないこの
とき出たガスを抜くために一度常温付近まで落とす（ガ
ラスを一度硬化状態に戻す）。その後再び第２工程の加
熱を５３０℃で５１秒間行なう。第２図は本発明の実楕
例における加熱パターン図である。また、第５図は従来
の加熱パターン図である。この方法によって真空度は１
０−４以上まで向上した。２つの工程に分けて加熱する
ので１つの工程で行なう場合よりも温度が低くてすむ（
熱量の関係による）ため発振片に与える熱影響も少ない
。加熱時間が長いため発振片に影響があるように考えら
れるが実際は熱容量の関係でステムよりもケースの変形
の方が大きい次めステム及び発振片に熱はあまりかから
ず第１工程における発振片への影４１Ｖｉはとんどない
。よって、従来よりも温度が低く、時間も短かい封着加
熱である本発明のガラス封止圧電振動子の方が熱影響が
少ない。
温度５７５℃だが加圧封着により５２０〜５５０℃程度
で加工できる。〕のケースとステムを使用した場合、加
熱時、従来は５５０℃で１０秒の加熱をしないと封着で
きなかった。このとき真空度は１０−ｓ程度でしかない
。本発明の製造方法では、第１工程の加熱で５２０℃で
１０秒間の加熱を行ないケースとステム間のクリアラン
スを縮める。このとき、完全に封着してはならないこの
とき出たガスを抜くために一度常温付近まで落とす（ガ
ラスを一度硬化状態に戻す）。その後再び第２工程の加
熱を５３０℃で５１秒間行なう。第２図は本発明の実楕
例における加熱パターン図である。また、第５図は従来
の加熱パターン図である。この方法によって真空度は１
０−４以上まで向上した。２つの工程に分けて加熱する
ので１つの工程で行なう場合よりも温度が低くてすむ（
熱量の関係による）ため発振片に与える熱影響も少ない
。加熱時間が長いため発振片に影響があるように考えら
れるが実際は熱容量の関係でステムよりもケースの変形
の方が大きい次めステム及び発振片に熱はあまりかから
ず第１工程における発振片への影４１Ｖｉはとんどない
。よって、従来よりも温度が低く、時間も短かい封着加
熱である本発明のガラス封止圧電振動子の方が熱影響が
少ない。
以上述べたように本発明によれば、封止工程を２工程以
上にすることによって、発振片に与える熱影響を小ざ〈
シ、ガラスから封着時に出るガスを少なくし高真空、高
信頼性のガラス封止圧電振動子を得ることができる。
上にすることによって、発振片に与える熱影響を小ざ〈
シ、ガラスから封着時に出るガスを少なくし高真空、高
信頼性のガラス封止圧電振動子を得ることができる。
第１１図（ａ）〜（（り Ｖｉ本発明の実癩例における
工程図。 第２図は本発明の実椀例における加熱パターン図。 第３図は従来の加熱パターン図。 第４図は従来のガラス封止圧電振動子の正面図。 １・・・ステム ２ａ、２ｂ・・・リード線 ３・・・ガラス ４・・・圧電発振片 ５・・・ケース ６・・・クリアランス １１・・・ステム １２ａ、１２ｂ・・・リード線 １３・・・ガラス １４・・・圧電発振片 １５・・・ケース １６・・−ヒーター 以 上
工程図。 第２図は本発明の実椀例における加熱パターン図。 第３図は従来の加熱パターン図。 第４図は従来のガラス封止圧電振動子の正面図。 １・・・ステム ２ａ、２ｂ・・・リード線 ３・・・ガラス ４・・・圧電発振片 ５・・・ケース ６・・・クリアランス １１・・・ステム １２ａ、１２ｂ・・・リード線 １３・・・ガラス １４・・・圧電発振片 １５・・・ケース １６・・−ヒーター 以 上
Claims (1)
- 筒状のガラスケースと、圧電発振片がその先端に固着
されている２本のリード線を封着してなるガラスステム
を加熱溶着により封止する時、ケースとステムのクリア
ランスをなくす工程として封着される熱量よりも少ない
熱量をかける工程と、封着する工程と封止工程が２工程
以上であることを特徴とするガラス封止圧電振動子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19242686A JPS6348907A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19242686A JPS6348907A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348907A true JPS6348907A (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16291117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19242686A Pending JPS6348907A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6348907A (ja) |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP19242686A patent/JPS6348907A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6348907A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
| JPS6348908A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
| JPS62259329A (ja) | 螢光表示管 | |
| JPS6348909A (ja) | ガラス封止圧電振動子とその製造方法 | |
| JPH02270303A (ja) | ガラス封止型サーミスタの製造法 | |
| JPS6348906A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
| JPS6348910A (ja) | ガラス封止圧電振動子とその製造方法 | |
| JPS63244912A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JP2000188348A (ja) | 気密パッケージ、その製造用構体、その製造用構体の製造方法および気密パッケージの製造方法 | |
| KR810000674B1 (ko) | 초자 봉함 반도체장치의 제조방법 | |
| JPS63262911A (ja) | ガラス封止圧電振動子 | |
| JPS58212187A (ja) | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管の製造方法 | |
| JPS5998538A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH0455332B2 (ja) | ||
| JP2539069B2 (ja) | 中空構造物の拡散接合方法 | |
| JPS63207032A (ja) | 蛍光表示管の製造方法 | |
| JPS5818805B2 (ja) | チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト | |
| JPH01235304A (ja) | ガラス封入形サーミスタの製造法 | |
| JPS5846548A (ja) | マグネトロン用陰極構体の製造方法 | |
| JPH0197006A (ja) | 圧電振動子とその製造方法 | |
| JPS61147612A (ja) | 弾性表面波装置の製造方法 | |
| JPH0589857A (ja) | 電球の製造方法 | |
| JPH0364953A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
| JP2713433B2 (ja) | 一端封止型ハロゲン電球の製造方法 | |
| JPH01260837A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 |