JPS6348908A - ガラス封止圧電振動子の製造方法 - Google Patents
ガラス封止圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6348908A JPS6348908A JP19242886A JP19242886A JPS6348908A JP S6348908 A JPS6348908 A JP S6348908A JP 19242886 A JP19242886 A JP 19242886A JP 19242886 A JP19242886 A JP 19242886A JP S6348908 A JPS6348908 A JP S6348908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- case
- stem
- sealed
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010024229 Leprosy Diseases 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はガラス封止圧電振動子の製造方法に関する。
従来のガラス封止圧電振動子の製造方法の一例としてガ
ラス封止音叉型水晶振動子の製造方法の例を特開昭57
−115812号公報により第5図により説明する。1
01はガラスステムであり2本のリード線102a、1
02bを球状のガラス103で封着したものである。リ
ード線102a、102bの先端には音叉型水晶発振片
104が固着される。105fiガラスケースでありそ
の内径はステムのガラス103の外径より太きい。
ラス封止音叉型水晶振動子の製造方法の例を特開昭57
−115812号公報により第5図により説明する。1
01はガラスステムであり2本のリード線102a、1
02bを球状のガラス103で封着したものである。リ
ード線102a、102bの先端には音叉型水晶発振片
104が固着される。105fiガラスケースでありそ
の内径はステムのガラス103の外径より太きい。
音叉型水晶発振片104を固着したガラスステム101
にガラスケース105を被せ、封着部を加熱してガラス
封止音叉型水晶振動子を完成させていた。
にガラスケース105を被せ、封着部を加熱してガラス
封止音叉型水晶振動子を完成させていた。
[発明が解決しようとする問題点〕
しかし従来のガラス封止水晶像動子の製造方法では、封
止の際、加熱により軟化したガラスケースがその光面張
力によってガラススラムのガラスを包むため、ガラスス
ラムとガラスケースの間のクリアランスが大きいと、封
止の際の加PA温度が高く、封正に要する時間が長くな
り、その結果、圧電発振片の熱による劣化、また封止時
のガラスからのガス放出が多くなり、たとえ真空中で封
止しても内部真空度が低くなる等により、特性の悪い圧
電振動子しか得られなかった。
止の際、加熱により軟化したガラスケースがその光面張
力によってガラススラムのガラスを包むため、ガラスス
ラムとガラスケースの間のクリアランスが大きいと、封
止の際の加PA温度が高く、封正に要する時間が長くな
り、その結果、圧電発振片の熱による劣化、また封止時
のガラスからのガス放出が多くなり、たとえ真空中で封
止しても内部真空度が低くなる等により、特性の悪い圧
電振動子しか得られなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところハ、特性の浸れたガラス封止圧電振
動子を提供することである。
の目的とするところハ、特性の浸れたガラス封止圧電振
動子を提供することである。
本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は、a)
2本のリード線をガラスにより封着して、ガラスステム
を形成する工程。
2本のリード線をガラスにより封着して、ガラスステム
を形成する工程。
b) 2本のリード線の先端に圧電発振片を固着する
工程。
工程。
C〕 加熱治具に、前記ガラスステムと、前記ガラスス
テムのガラスの外径より大きな内径のガラスケースをセ
ットし、前記ガラスケースを加熱時に加圧して、封止す
る工程。
テムのガラスの外径より大きな内径のガラスケースをセ
ットし、前記ガラスケースを加熱時に加圧して、封止す
る工程。
以上の工程からなることを特徴とする。
本発明の上記の構成によれば、ガラスケースを加熱時に
加圧して封止することから、ガラスケースが軟化した時
点で、ガラスステムのガラスを包むようになり、封止温
度を下げ、封止時間が少なくなり、特性の良いガラス封
止型振動子が得られる。
加圧して封止することから、ガラスケースが軟化した時
点で、ガラスステムのガラスを包むようになり、封止温
度を下げ、封止時間が少なくなり、特性の良いガラス封
止型振動子が得られる。
本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法の1実抱例を
ガラス封止音叉型水晶振動子の製造方法を例として第1
図(、) 、 (b)により説明する。1はガラスステ
ムであり、ジュメット線等からなるリード線2a、2b
f:低融点ガラス(例えば日本電気硝子のL−29f
、 LG−16、L()−71鉛ガラス、5R−1等)
のガラス部5で封着されている。本実癩例では、通常、
最も低コストに作ることのできる球状にガラス部5はな
っている。ガラスステム1のリード12a、2bには音
叉型水晶発振片4が、その表面に蒸着、スパッタ等で、
Or、Au、Ag、等の金属を付着させたマウント部5
a、5bに、Au−8n 、 Au−8i 。
ガラス封止音叉型水晶振動子の製造方法を例として第1
図(、) 、 (b)により説明する。1はガラスステ
ムであり、ジュメット線等からなるリード線2a、2b
f:低融点ガラス(例えば日本電気硝子のL−29f
、 LG−16、L()−71鉛ガラス、5R−1等)
のガラス部5で封着されている。本実癩例では、通常、
最も低コストに作ることのできる球状にガラス部5はな
っている。ガラスステム1のリード12a、2bには音
叉型水晶発振片4が、その表面に蒸着、スパッタ等で、
Or、Au、Ag、等の金属を付着させたマウント部5
a、5bに、Au−8n 、 Au−8i 。
A u−G e 、 P b−8n等の共晶合金による
ロー付け、Agペースト等の導電性接着剤による接着、
溶接等の方法で固着される。
ロー付け、Agペースト等の導電性接着剤による接着、
溶接等の方法で固着される。
カーボン等の形成され次加熱治具6に、音叉型水晶発振
片4を固着し次ガラスステム1と、ガラスステム1のガ
ラス部の外径より大きな内径を有するガラスケース7を
セットし、加熱治具6に直接通電して加熱した後、ガラ
スケース7にプレス8等により圧力を加え、軟化したガ
ラスケース7の下部をガラスステム1のガラス部3に押
しつけて封止する。なおガラスケ−27の長さは、加圧
の際の縮み分全長くしておくのは言うまでもない。
片4を固着し次ガラスステム1と、ガラスステム1のガ
ラス部の外径より大きな内径を有するガラスケース7を
セットし、加熱治具6に直接通電して加熱した後、ガラ
スケース7にプレス8等により圧力を加え、軟化したガ
ラスケース7の下部をガラスステム1のガラス部3に押
しつけて封止する。なおガラスケ−27の長さは、加圧
の際の縮み分全長くしておくのは言うまでもない。
第1図(b)は封止金層えたガラス封止音叉型水晶振動
子を示す図である。
子を示す図である。
また加熱方法としては、治具をヒーターとする方法を示
したが、治具はただ型として用い、レーザー光線の照射
、通炉等による加熱等、他の手段を用いても良い、また
ガラスステムの形状は球のみでなく第2図に示すような
円柱状のものでも良い。
したが、治具はただ型として用い、レーザー光線の照射
、通炉等による加熱等、他の手段を用いても良い、また
ガラスステムの形状は球のみでなく第2図に示すような
円柱状のものでも良い。
更に以上の実施例では音叉型の水晶搗動子全例として示
したが、本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は厚
みすべり、縦振動等の他の振動形態の、LiTa0.、
LiM、O,、圧電セラミック等の他の材質の圧電逗動
子にも連用できる。
したが、本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は厚
みすべり、縦振動等の他の振動形態の、LiTa0.、
LiM、O,、圧電セラミック等の他の材質の圧電逗動
子にも連用できる。
[発明の効果]
以上述べたように本発明によれば、ガラスケースを加熱
時に加圧して封止することから、ガラスケースが軟化し
た時点で、ガラスステムのガラスを包むようになり、封
止温度を下げ、封止時間が少なくなり、特性の良いガラ
ス封止圧電振動子が得られる。
時に加圧して封止することから、ガラスケースが軟化し
た時点で、ガラスステムのガラスを包むようになり、封
止温度を下げ、封止時間が少なくなり、特性の良いガラ
ス封止圧電振動子が得られる。
第1図(a) 、 (1:=)はガラス封止圧電振動子
の製造方法を示す図。第2図は円柱型のガラスステムを
用いた場合のガラス封止圧電摂動子の製造方法を示す図
。第3図は従来Dガラス封止圧電振動子の製造方法を示
す図。 1・・・ガラスステム 2a、2b・・・リード線 3・・・ガラス部 4・・・音叉型水晶発振片 5a、5b・・・マウント部 6・・・加熱治具 7・・・ガラスケース 8・・・プレス 101・・・ガラスステム 102a、1021)−・・リード線 103・・・ガラス 104・・・音叉型水晶発振片 105・・・ガラスケース 以 上
の製造方法を示す図。第2図は円柱型のガラスステムを
用いた場合のガラス封止圧電摂動子の製造方法を示す図
。第3図は従来Dガラス封止圧電振動子の製造方法を示
す図。 1・・・ガラスステム 2a、2b・・・リード線 3・・・ガラス部 4・・・音叉型水晶発振片 5a、5b・・・マウント部 6・・・加熱治具 7・・・ガラスケース 8・・・プレス 101・・・ガラスステム 102a、1021)−・・リード線 103・・・ガラス 104・・・音叉型水晶発振片 105・・・ガラスケース 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 a)2本のリード線をガラスにより封着して、ガラスス
テムを形成する工程。 b)2本のリード線の先端に圧電発振片を固着する工程
。 c)治具に、前記ガラスステムと、前記ガラスステムの
ガラスの外径より大きな内径のガラスケースをセットし
、前記ガラスケースを加熱時に加圧して、封止する工程
。 以上の工程からなることを特徴とするガラス封止圧電振
動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19242886A JPS6348908A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19242886A JPS6348908A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6348908A true JPS6348908A (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16291148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19242886A Pending JPS6348908A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6348908A (ja) |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP19242886A patent/JPS6348908A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3670008B2 (ja) | 気密ろう接合部の作成方法 | |
JPS6348908A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
JP3401781B2 (ja) | 電子部品用パッケージおよび電子部品用パッケージの製造方法 | |
JPH10256415A (ja) | 圧電デバイスのパッケージ構造 | |
JPS6348906A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
JPS62147805A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
JPS6150413A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JPS6348910A (ja) | ガラス封止圧電振動子とその製造方法 | |
JPH08213864A (ja) | 素子チップの実装方法 | |
JP3431524B2 (ja) | 気密パッケージ、その製造用金属キャップ、その金属キャップの製造方法および気密パッケージの製造方法 | |
JP2546178B2 (ja) | リードレスダイオード | |
JPH01173787A (ja) | 気密封止容器及びその製造方法 | |
JPS63262911A (ja) | ガラス封止圧電振動子 | |
JPH01235304A (ja) | ガラス封入形サーミスタの製造法 | |
JPS6348907A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
JPH0116054B2 (ja) | ||
JP2918676B2 (ja) | 気密封止用ステムの製造方法 | |
JPS5846548A (ja) | マグネトロン用陰極構体の製造方法 | |
JPS63244912A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JPS6348449B2 (ja) | ||
JP3290736B2 (ja) | 圧電共振部品 | |
JP2000195977A (ja) | 電子部品用パッケ―ジおよび電子部品用パッケ―ジの製造方法 | |
JPH02124612A (ja) | 電子部品 | |
JP2004312470A (ja) | 水晶振動子製造方法 | |
JPS60260221A (ja) | 圧電振動子の保持構造及び保持方法 |