JPS6348906A - ガラス封止圧電振動子の製造方法 - Google Patents
ガラス封止圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6348906A JPS6348906A JP19242586A JP19242586A JPS6348906A JP S6348906 A JPS6348906 A JP S6348906A JP 19242586 A JP19242586 A JP 19242586A JP 19242586 A JP19242586 A JP 19242586A JP S6348906 A JPS6348906 A JP S6348906A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- stem
- sealing
- sealed
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 12
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009412 basement excavation Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 Au-Gθ Substances 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス封止圧電伝動子の製造方法に関する。
従来のガラス封止圧電振動子の製造方法の１例としてガ
ラス封止音叉型水晶振動子の製造方法の例を特開昭５７
−１１５８１２号公報に第３図により説明する。１０１
はガラスステムであり２本のリード線１０２ａ、１０２
ｂｉ球状のガラス１０３で封着したものである。リード
線１０２ａ。
ラス封止音叉型水晶振動子の製造方法の例を特開昭５７
−１１５８１２号公報に第３図により説明する。１０１
はガラスステムであり２本のリード線１０２ａ、１０２
ｂｉ球状のガラス１０３で封着したものである。リード
線１０２ａ。
１０２ｂの先端には音叉型水晶発掘片１０４が固着され
る。１０５ｉ１ガラスケースでありその内径はステムの
ガラス１０３の外径より太きい。凹状の加熱治具１０６
に、音叉型水晶発振片１０４を固着し次ガラスステム１
０１とガラスケース１０５をセットし、封着部を加熱し
てガラス封止音叉型水晶蛋動子を完成させていた。
る。１０５ｉ１ガラスケースでありその内径はステムの
ガラス１０３の外径より太きい。凹状の加熱治具１０６
に、音叉型水晶発振片１０４を固着し次ガラスステム１
０１とガラスケース１０５をセットし、封着部を加熱し
てガラス封止音叉型水晶蛋動子を完成させていた。
しかし、従来のガラス封止水晶県勤子の製造方法では、
封止の際加熱治具の凹部の底面が平面であるため、ガラ
スステムとガラスケースの接点より下に生ずるクリアラ
ンス１０７が大きくなり、そ九を埋めるために各号のガ
ラスケース４溶かす必要がある。又軟化したガラスケー
スがガラスケースを包むのに流れにくいため封止の際の
加熱温度が高く、封正に要する時間が長くなり、その結
果、圧電発振片の熱による劣化、また封止時のガラスか
らのガス放出が多くなり、たとえ真空中で封止しても内
部真空度が低くなる等により、特性の悪い圧電振動子し
か得られなかった。
封止の際加熱治具の凹部の底面が平面であるため、ガラ
スステムとガラスケースの接点より下に生ずるクリアラ
ンス１０７が大きくなり、そ九を埋めるために各号のガ
ラスケース４溶かす必要がある。又軟化したガラスケー
スがガラスケースを包むのに流れにくいため封止の際の
加熱温度が高く、封正に要する時間が長くなり、その結
果、圧電発振片の熱による劣化、また封止時のガラスか
らのガス放出が多くなり、たとえ真空中で封止しても内
部真空度が低くなる等により、特性の悪い圧電振動子し
か得られなかった。
そこで本発明はこのような問題点１に解決するもので、
その目的とするところは、特性の優れたガラス封止圧電
振動子の製造方法を提供することである。
その目的とするところは、特性の優れたガラス封止圧電
振動子の製造方法を提供することである。
［問題点を解決するための手段］
本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は、ａ）
２本のリード線をガラスにより封着して、ガラスステム
を形成する工程。
２本のリード線をガラスにより封着して、ガラスステム
を形成する工程。
ｂ） ２本のリード線の先端に圧電発振片を固着する
工程。
工程。
Ｃ）前記ガラスステムと、前記ガラスステムのガラスの
外径より大きな内径のガラスケースを凹部の底面がテー
パー状の加熱治具にセットし、封止する工程。
外径より大きな内径のガラスケースを凹部の底面がテー
パー状の加熱治具にセットし、封止する工程。
以上の工程からなることを特徴とする。
本発明の上記の構成によれば、凹部の底面がテーパー状
の加熱治具の凹部にガラスステムとガラスケースをセッ
トし封止することから、ガラスケースが軟化し九時点で
、加熱治具の凹部のテーパー面に沿って流れるためガラ
スステムのガラスが包みやすくなり、封止温度を下げ、
封止時間が少なくなり、特性の良いガラス封止圧電振動
子が得られる。
の加熱治具の凹部にガラスステムとガラスケースをセッ
トし封止することから、ガラスケースが軟化し九時点で
、加熱治具の凹部のテーパー面に沿って流れるためガラ
スステムのガラスが包みやすくなり、封止温度を下げ、
封止時間が少なくなり、特性の良いガラス封止圧電振動
子が得られる。
本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法の１実捲例を
ガラス封止音叉型水晶振動子の製造方法を例として第１
図（ａ）〜（ｂ）により説明する。１はガラスステムで
あり、ジュメット線等からなるリード線２ａ、２ｂｉ低
融点ガラス（例えば日本電気硝子のＬ−２９ｆ 、 Ｌ
Ｇ−１６、ＬＧ−７＋鉛ガラス、ＥＩＲ−１等〕のガラ
ス部５で封Ｓｉｔされている。本実施例では、通常、最
も低コストに作ることのできる球状にガラス部３はなっ
ている。ガラスステム１のリード線２ａ、２ｂには音叉
型水晶発振片４が、その表面に蒸着、スパッタ等で、Ｏ
ｒ、Ａｕ、Ａｇ、等の金属を付着させたマウント部５ａ
、５ｂに、Ａｕ−Ｅｌｎ 、 Ａｕ−８’ｉ 。
ガラス封止音叉型水晶振動子の製造方法を例として第１
図（ａ）〜（ｂ）により説明する。１はガラスステムで
あり、ジュメット線等からなるリード線２ａ、２ｂｉ低
融点ガラス（例えば日本電気硝子のＬ−２９ｆ 、 Ｌ
Ｇ−１６、ＬＧ−７＋鉛ガラス、ＥＩＲ−１等〕のガラ
ス部５で封Ｓｉｔされている。本実施例では、通常、最
も低コストに作ることのできる球状にガラス部３はなっ
ている。ガラスステム１のリード線２ａ、２ｂには音叉
型水晶発振片４が、その表面に蒸着、スパッタ等で、Ｏ
ｒ、Ａｕ、Ａｇ、等の金属を付着させたマウント部５ａ
、５ｂに、Ａｕ−Ｅｌｎ 、 Ａｕ−８’ｉ 。
Ａｕ−Ｇθ、Ｐｂ＝Ｓｎ等の共晶合金によるロウ付け、
Ａｇペースト等の導電性接着剤による接着、溶接等の方
法で固着される。
Ａｇペースト等の導電性接着剤による接着、溶接等の方
法で固着される。
カーボン等の形成された凹部の底面がテーパー状の加熱
治具６に、音叉型水晶発振片４金固着したガラスステム
１と、ガラスステム１のガラス部の外径より大きな内径
を有するガラヌケ−スフをセットし、加熱治具６に直接
通電して加熱した後、軟化したガラスケース７の下部を
ガラスステム１のガラス部３にセットし封止する。
治具６に、音叉型水晶発振片４金固着したガラスステム
１と、ガラスステム１のガラス部の外径より大きな内径
を有するガラヌケ−スフをセットし、加熱治具６に直接
通電して加熱した後、軟化したガラスケース７の下部を
ガラスステム１のガラス部３にセットし封止する。
第１図（ｂ）は封止全路えたガラス封止音叉型水晶振動
子を示す。
子を示す。
この時使用するテーパー状の加熱治具は、第２図（ａ）
に示す様な直線状の斜面形状である。この時の傾斜の度
合としては、ガラスケース外形寸法２■、ガラスケース
厚み（Ｌ２ｍｓ、ガラスケース直径１．５箇の場合、図
中に点線で示しである部分のテーパー角度が４５°〜１
５ｏ０とするが、ガラスケースの厚みにより増減させる
。
に示す様な直線状の斜面形状である。この時の傾斜の度
合としては、ガラスケース外形寸法２■、ガラスケース
厚み（Ｌ２ｍｓ、ガラスケース直径１．５箇の場合、図
中に点線で示しである部分のテーパー角度が４５°〜１
５ｏ０とするが、ガラスケースの厚みにより増減させる
。
さらに他の例としては、第２図（ｂ）の様な曲線状の斜
面形状も考えられる。
面形状も考えられる。
尚、本例によれば、ガラスケース自体の重さにより、封
入されるが、加熱時にガラスケースを加圧すればより確
実に封止され効果大である。尚その際はガラスケースの
長さは加圧の際の縮み分を考慮し長くしておく事は言う
までもない。
入されるが、加熱時にガラスケースを加圧すればより確
実に封止され効果大である。尚その際はガラスケースの
長さは加圧の際の縮み分を考慮し長くしておく事は言う
までもない。
また加熱方法としては、治具をヒーターとする方法を示
したが、治具にただ型として用い、Ｖ −ザー光線の照
射、通炉等による加熱等 他の手段を用いても良い。″
ｉ次ガラヌステムの形状は球のみでなく円柱状のもので
も良い。
したが、治具にただ型として用い、Ｖ −ザー光線の照
射、通炉等による加熱等 他の手段を用いても良い。″
ｉ次ガラヌステムの形状は球のみでなく円柱状のもので
も良い。
更に以上の実施例では音叉型の水晶奈動子を例として示
したが、本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は、
厚みすべり、縦県動等の他の振動形態の、ＬｉＴａＯ３
，ＬｉＭ６０．、圧電セラミック等の他の材質の圧電撮
動子にも適用できる。
したが、本発明のガラス封止圧電振動子の製造方法は、
厚みすべり、縦県動等の他の振動形態の、ＬｉＴａＯ３
，ＬｉＭ６０．、圧電セラミック等の他の材質の圧電撮
動子にも適用できる。
Ｃ発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、凹部の底面がテーパ
ー状の加熱治具の凹部にガラスステムとガラスケースを
セットし封止することから、クリアランスが小さくなり
、かつガラスケースが軟化した時点で、加熱治具の凹部
のテーパー面に沿って流れるためガラスステムのガラス
が包みやすぐなり、封止温度を下げ、封止時間が少なく
なり、特性の良いガラス封止圧電振動子が得られる。
ー状の加熱治具の凹部にガラスステムとガラスケースを
セットし封止することから、クリアランスが小さくなり
、かつガラスケースが軟化した時点で、加熱治具の凹部
のテーパー面に沿って流れるためガラスステムのガラス
が包みやすぐなり、封止温度を下げ、封止時間が少なく
なり、特性の良いガラス封止圧電振動子が得られる。
第１図（ａ） （ｂ）はガラス封止圧電振動子の製造方
法を示す図。第２図（ａ）（ｂ）はテーパー状の加熱治
具の正面図。第５図は従来のガラス封止圧電振動子の製
造方法を示す図。 １・・・ガラスステム ２ａ、２ｂ・・・リード線 ６・・・ガラス部 ４・・・音叉型水晶発振片 ５ａ、５ｂ・・・マウント部 ６・・・加熱治具 ７・・・ガラスケース ８・・・クリアランス １０１・・・ガラスステム １０２ａ、１０２に＋−・・リード線 １０３・・・ガラス １０４・・・音叉型水晶発掘片 １０５・・・ガラスケース １０６・・・加熱治具 １０７・・・クリアランス 以 上
法を示す図。第２図（ａ）（ｂ）はテーパー状の加熱治
具の正面図。第５図は従来のガラス封止圧電振動子の製
造方法を示す図。 １・・・ガラスステム ２ａ、２ｂ・・・リード線 ６・・・ガラス部 ４・・・音叉型水晶発振片 ５ａ、５ｂ・・・マウント部 ６・・・加熱治具 ７・・・ガラスケース ８・・・クリアランス １０１・・・ガラスステム １０２ａ、１０２に＋−・・リード線 １０３・・・ガラス １０４・・・音叉型水晶発掘片 １０５・・・ガラスケース １０６・・・加熱治具 １０７・・・クリアランス 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ａ）２本のリード線をガラスにより封着して、ガラスス
テムを形成する工程。 ｂ）２本のリード線の先端に圧電発振片を固着する工程
。 ｃ）前記ガラスステムと、前記ガラスステムのガラスの
外径より大きな内径のガラスケースを凹部の底面がテー
パー状の加熱治具にセットし、封止する工程。 以上の工程からなることを特徴とするガラス封止圧電振
動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19242586A JPS6348906A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19242586A JPS6348906A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348906A true JPS6348906A (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16291103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19242586A Pending JPS6348906A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | ガラス封止圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6348906A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5785718A (en) * | 1996-05-31 | 1998-07-28 | Bayer Aktiengesellschaft | Substantive stilbene-azo dyestuffs |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP19242586A patent/JPS6348906A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5785718A (en) * | 1996-05-31 | 1998-07-28 | Bayer Aktiengesellschaft | Substantive stilbene-azo dyestuffs |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5274297A (en) | Quartz resonator vibrating in a fundamental torsion mode | |
| JP4647677B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| JPS6348906A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
| JPH0936690A (ja) | 薄型水晶振動子 | |
| JP5504927B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスの製造方法 | |
| JPS59159583A (ja) | 半導体発光装置 | |
| JPS6348908A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
| JPS6348910A (ja) | ガラス封止圧電振動子とその製造方法 | |
| JPS5827548Y2 (ja) | 結晶振動子 | |
| JP3164891B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JP3164890B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法 | |
| JPH04367111A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JPS62147805A (ja) | ガラス封止圧電振動子の製造方法 | |
| JPS63262911A (ja) | ガラス封止圧電振動子 | |
| CN211507685U (zh) | 一种优化的适用于激光封焊的气密型陶瓷封焊结构 | |
| JPH01809A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5855656Y2 (ja) | ガスレ−ザ管 | |
| JPS5922404B2 (ja) | 水晶発振体 | |
| JPH01235304A (ja) | ガラス封入形サーミスタの製造法 | |
| JPH0563118U (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
| JPH07105689B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS6222911A (ja) | セラミツクグロ−プラグ | |
| JPH01173787A (ja) | 気密封止容器及びその製造方法 | |
| JPS58123218A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS5837706B2 (ja) | ガスレ−ザカンノ ミラ−フウチヤクホウホウ |