JPH0197006A - 圧電振動子とその製造方法 - Google Patents
圧電振動子とその製造方法Info
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- JPH0197006A JPH0197006A JP25487387A JP25487387A JPH0197006A JP H0197006 A JPH0197006 A JP H0197006A JP 25487387 A JP25487387 A JP 25487387A JP 25487387 A JP25487387 A JP 25487387A JP H0197006 A JPH0197006 A JP H0197006A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はｆｆｉ産性に優れ、特性の良い圧電振動子とそ
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
従来の圧ｒｉｇ＠子とその製造方法の１例としてＡＴ型
水晶振動子とその製造方法を第３図により説明する。１
０１はリードフレームであり、ＡＴ水晶発振片１０２を
導電性接着剤１０３等で固着してなる。１０４．１０４
’は、プレス加−工等で作ったガラスケースであり、リ
ードフレーム１０１を両側からはさみ、低融点ガラスペ
ースト１０５．１０５’を溶融゛固着して封止される。
水晶振動子とその製造方法を第３図により説明する。１
０１はリードフレームであり、ＡＴ水晶発振片１０２を
導電性接着剤１０３等で固着してなる。１０４．１０４
’は、プレス加−工等で作ったガラスケースであり、リ
ードフレーム１０１を両側からはさみ、低融点ガラスペ
ースト１０５．１０５’を溶融゛固着して封止される。
しかし、従来の圧電振動子と、その製造方法では、ガラ
スケースの封止のための、低融点ガラスペーストの塗布
及び焼成のための工数が多く、高価格になる点及び、封
止時のガス発生のために、特性の低下した圧電振動子し
か得られなかった。
スケースの封止のための、低融点ガラスペーストの塗布
及び焼成のための工数が多く、高価格になる点及び、封
止時のガス発生のために、特性の低下した圧電振動子し
か得られなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、低価格で、特性の良い圧電振動
子とその製造方法を提供するととである。
の目的とするところは、低価格で、特性の良い圧電振動
子とその製造方法を提供するととである。
（１） 本発明の圧電振動子は、周囲に凹部を有する
区画を形成したガラス基板に、圧電発振片を固着した後
、ガラス蓋の凸部が当接され、直接封止してなることを
特徴とする。
区画を形成したガラス基板に、圧電発振片を固着した後
、ガラス蓋の凸部が当接され、直接封止してなることを
特徴とする。
（２）本発明の圧電振動子の製造方法はａ） 周囲に凹
部を有する区画のガラス基板を形成する工程。
部を有する区画のガラス基板を形成する工程。
ｂ） 圧電発振片を固着する工程。
Ｃ） ガラス基板の凹部に、ガラス蓋の凸部を当接し封
着する工程。
着する工程。
以上の工程からなることを特徴とする。
本発明の圧電振動子とその製造方法の一実施例をＡＴ水
晶振動子とその製造方法を例として第１図により説明す
る。
晶振動子とその製造方法を例として第１図により説明す
る。
１はガラス基板であり、１つ１つ切り離されてＡＴ水晶
振動子を構成するための区画が、縦方向及び横方向に連
設されている０区画の、１つ１つには、裏面へ４通をと
るための４通部２．２′が設けられている。本例では、
デュタット線等の線を、ガラス基板に溶融植設してなる
。また区画の周囲は凹部３が設けられている。ガラス基
板１の各区画に、ＡＴ水晶発振片４が、導電ペースト等
の接着剤、高融点のＰｂ５ｎ、ＡｕＳｎ等の共晶材、も
しくは超音波溶接等の方法で固着され、４通部２．２′
に４通がとられている。５はガラス蓋であり、ガラス基
板１と同一ピッチで設けられた区画を有する。各区画の
周囲は凸部６があり、ガラス基板１の凹部３に嵌合する
形杖で設けられている。ガラスＭ５を、ＡＴ水晶発振片
４の固着されたガラス基板１に当接し、嵌合部を真空中
、もしくは不活性ガス中等でレーザー光線、赤外線加熱
することによって封止し、同時に切断する、もしくは、
後工程で切削等の方法で切断することにより個々のＡＴ
水晶振動子が得られる。
振動子を構成するための区画が、縦方向及び横方向に連
設されている０区画の、１つ１つには、裏面へ４通をと
るための４通部２．２′が設けられている。本例では、
デュタット線等の線を、ガラス基板に溶融植設してなる
。また区画の周囲は凹部３が設けられている。ガラス基
板１の各区画に、ＡＴ水晶発振片４が、導電ペースト等
の接着剤、高融点のＰｂ５ｎ、ＡｕＳｎ等の共晶材、も
しくは超音波溶接等の方法で固着され、４通部２．２′
に４通がとられている。５はガラス蓋であり、ガラス基
板１と同一ピッチで設けられた区画を有する。各区画の
周囲は凸部６があり、ガラス基板１の凹部３に嵌合する
形杖で設けられている。ガラスＭ５を、ＡＴ水晶発振片
４の固着されたガラス基板１に当接し、嵌合部を真空中
、もしくは不活性ガス中等でレーザー光線、赤外線加熱
することによって封止し、同時に切断する、もしくは、
後工程で切削等の方法で切断することにより個々のＡＴ
水晶振動子が得られる。
また本発明の応用例を第２図に示す。本例ではガラス基
板７の凹部８がガラス基板７の下面より突出して設けら
れ、ガラス蓋８の凸部１０が、それに即して深く設けら
れた例を示す０本例上よれば、ガラス基板７の凹部８が
ガラス基板７の下面より突出しているため、加熱された
ヒーター１１に押しあてることにより封止部のみ確実に
封止さ、 れる。
板７の凹部８がガラス基板７の下面より突出して設けら
れ、ガラス蓋８の凸部１０が、それに即して深く設けら
れた例を示す０本例上よれば、ガラス基板７の凹部８が
ガラス基板７の下面より突出しているため、加熱された
ヒーター１１に押しあてることにより封止部のみ確実に
封止さ、 れる。
なお本例のようにガラス蓋９の凸部１００対面を凹んで
設けであるために、封止時に同時に個々のＡＴ水晶振動
子に分離することができる。
設けであるために、封止時に同時に個々のＡＴ水晶振動
子に分離することができる。
以上、本発明をＡＴ水晶振動子の例を示したが本発明の
圧電振動子とその製造方法は、音叉型振動子等、他の振
動姿態のもの、及び水晶以外のＬｉＴａＯ３、Ｌ ｉＭ
ｏ０３、圧電セラミック等の他の、材質の発振片を用い
た振動子にも適要できる。
圧電振動子とその製造方法は、音叉型振動子等、他の振
動姿態のもの、及び水晶以外のＬｉＴａＯ３、Ｌ ｉＭ
ｏ０３、圧電セラミック等の他の、材質の発振片を用い
た振動子にも適要できる。
以上述べたように本発明によれば、ガラス基□板にガラ
ス蓋を低融点ガラスフリフト等を介さずに直接封止され
るため工数が少なく低価格となり、更に、ガラス基板に
凹部、ガ□ラス蓋に凸部を有するため、封止部が表面に
近い部分になり、封止に要する加熱エネルギーを小さ（
することができ、ガラス自体のガス発生を低融点ガラス
フリフトよりはるかに少なくすることが可能となり特性
の優れた圧電振動子が得られる。
ス蓋を低融点ガラスフリフト等を介さずに直接封止され
るため工数が少なく低価格となり、更に、ガラス基板に
凹部、ガ□ラス蓋に凸部を有するため、封止部が表面に
近い部分になり、封止に要する加熱エネルギーを小さ（
することができ、ガラス自体のガス発生を低融点ガラス
フリフトよりはるかに少なくすることが可能となり特性
の優れた圧電振動子が得られる。
第１図は本発明の圧電振動子とその製造方法として、Ａ
Ｔ水晶振動子とその製造方法を示す図。 １￥２図は本発明の応用例を示す図。 第３図は従来の圧電振動子とその製造方法を示す図。 １・・・ガラス基板 ２．２′・・・導通部 ３・・・凹部 ４・・・ＡＴ水晶発振片 ５・・・ガラス蓋 ６・・・凸部 ７・・・ガラス基板 ８・・・凹部 ９・・・ガラス蓋 １０・・・凸部 １０１・・・リードフレーム １０２・・・ＡＴ水晶発振片 １０３・・・導電性接着剤 １０４．１０４’・・・ガラスケース １０５．１０５’・・・低融点ガラスケース以 上 第２図
Ｔ水晶振動子とその製造方法を示す図。 １￥２図は本発明の応用例を示す図。 第３図は従来の圧電振動子とその製造方法を示す図。 １・・・ガラス基板 ２．２′・・・導通部 ３・・・凹部 ４・・・ＡＴ水晶発振片 ５・・・ガラス蓋 ６・・・凸部 ７・・・ガラス基板 ８・・・凹部 ９・・・ガラス蓋 １０・・・凸部 １０１・・・リードフレーム １０２・・・ＡＴ水晶発振片 １０３・・・導電性接着剤 １０４．１０４’・・・ガラスケース １０５．１０５’・・・低融点ガラスケース以 上 第２図
Claims (2)
- （１）周囲に凹部を有する区画を形成したガラス基板に
、圧電発振片を固着した後、ガラス蓋の凸部が当接され
、通接封止してなることを特徴とする圧電振動子。 - （２）ａ）同囲に凹部を有する区画のガラス基板を形成
する工程 ｂ）圧電発振片を固着する工程 ｃ）ガラス基板の凹部に、ガラス蓋の凸部を当接し封着
する工程 以上の工程からなることを特徴とする圧電振動子の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25487387A JPH0197006A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 圧電振動子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25487387A JPH0197006A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 圧電振動子とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0197006A true JPH0197006A (ja) | 1989-04-14 |
Family
ID=17271020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25487387A Pending JPH0197006A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 圧電振動子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0197006A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6018211A (en) * | 1993-04-28 | 2000-01-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP25487387A patent/JPH0197006A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6018211A (en) * | 1993-04-28 | 2000-01-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
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