JPS5818805B2 - チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト - Google Patents

チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト

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Publication number
JPS5818805B2
JPS5818805B2 JP13890875A JP13890875A JPS5818805B2 JP S5818805 B2 JPS5818805 B2 JP S5818805B2 JP 13890875 A JP13890875 A JP 13890875A JP 13890875 A JP13890875 A JP 13890875A JP S5818805 B2 JPS5818805 B2 JP S5818805B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
vibrator
equivalent impedance
sealing
unit
Prior art date
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Expired
Application number
JP13890875A
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English (en)
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JPS5263094A (en
Inventor
海老原靖紀
畑守中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
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Publication of JPS5263094A publication Critical patent/JPS5263094A/ja
Publication of JPS5818805B2 publication Critical patent/JPS5818805B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は振動子を収納するケースの一部が少くともセラ
ミックまたはガラスから成る腕時計用振動子ユニットの
小型化に関するものである。
圧電振動子、特に水晶振動子の固有振動数は非常に安定
で、それを時間標準に備えた水晶時計の精度は極めて優
れている。
しかしながら水晶時計は従来の機械式時計に比べ形状的
に厚く、かつ小型化が難しいという欠点がある。
水晶時計の薄型化、小型化を実現させるには時計を構成
する部品を薄型、小型にすることが要求されるが、構成
部品のなかでスペース的に大きな比率を占める振動子ユ
ニットを如何に薄型化、小型化するかが重要となる。
かかる趣旨にもとづき、最近、振動子を収納するケース
がセラミックまたはガラスで構成された振動子ユニット
が開発されるに至った。
この振動子ユニットは、水晶振動子、振動子を収納する
セラミック製またはガラス製のステムおよびガラス製の
蓋(ステム、ガラス蓋いづれも半田付を可能とするため
、接合面にAuメッキが施されている)から構成され、
ステムと蓋の間にハンダワッシャー(一般に60%5n
−40%Pb合金)を介し、真空中において高周波誘導
加熱あるいは赤外線加熱等によってハンダワッシャーを
溶融させ気密封止をおこなう。
気密封止にあたっては空気の粘性抵抗によるエネルギー
ロスを少くするため、ケース内を所要の真空度とするこ
とが肝要である。
(一般には1O−2Torr以下) この様にして作られた振動子ユニットは、従来の金属ケ
ースを用いたユニットに比べ形状的に薄く、しかも製造
方法が多量生産に好適であり、水晶時計の低廉化および
小型化に大きく寄与することが期待できる。
ところがこの様にハンダワッシャーを用いて気密封止す
る場合、封入時の加熱による影響で各構成材料からガス
が発生し、ケース内の真空度低下を招き、その結果水晶
の等価インピーダンスを著しく上昇させるという問題が
ある。
等価インピーダンスの上昇は封止条件とケースの内容積
に依存し、特に内容積が小となるとその上昇が著しく、
従来ケースの小型は極めて困難であった。
本発明は上記欠点を除去するためになされたものであり
、ハンダワッシャー材質に90%5n−10%Au合金
を用いることで気密封止による等価インピーダンスの上
昇を減じ、振動子ユニットの小型化を可能としたもので
ある。
以下図面により本発明の実施例について説明する。
第1図は本発明のユニットを構成するパーツを示すもの
で、図において1はセラミック製の蓋、2はハンダワッ
シャー、3はフォトエツチング技術によって作製される
水晶等の圧電振動子、4は振動子を収納するセラミック
製のステムである。
また各パーツにおいてイと口は蓋1とステム4を半田封
止するために設けられたAuメッキを施こしたシール面
であり、ハはリード端子である。
次に本発明の振動子ユニットの製造方法について簡単に
説明する。
まずステム4の二の部分に水晶等の振動子を接着剤で固
定し、固定後電極の接続をおこなう。
しかる後に、ユニットを構成する各パーツを150℃に
加熱した恒温槽に装入して脱ガスをおこなう。
脱ガス終了後、ハンダワッシャー2を蓋1とステム4の
間に挾み込み、真空槽の中で適当な荷重を加えながら、
赤外線ヒーターでハンダワッシャーを溶融させて気密封
止を完了する。
以下に実施例1について説明する。
前記した様に気密封止後の振動子の等価インピーダンス
はケース内容積の他に封止条件によっても大きく異り、
封止条件のなかで最も影響を及ぼすのはハンダを溶融さ
せる時の加熱温度である。
第2図は内容積が9. Omvt2のステム(=内容積
)を用い、加熱温度を変え気密封止をおこなったときの
、加熱温度と振動子の等価インピーダンスの関係をグラ
フ化したもので、図において5はハンダワッシャー材質
に60%Sn−,40%pb合金を用いた従来品、6は
ハンダワッシャー材質に90%S n−10%Au合金
を用いた本発明を示すものである。
また図においてホは従来品においてハンダワッシャーが
溶融せず封止が不可能な範囲、へは本発明においてハン
ダワッシャーが溶融せず封止が不可能な範囲を示す。
図によれば本発明は従来品に比べ明らかに加熱温度の増
加に伴う等価インピーダンスの上昇は少いことがわかる
(加熱温度の増加に伴い等価インピーダンスが上昇する
理由は、加熱によりハンダワッシャーが溶融し、ケース
内が真空に引かれなくなった後も、加熱が続けられアウ
トガスが発生するためである。
)本発明が従来品に比べ等価インピーダンスが低くなっ
た理由は、ハンダワッシャーの材質が異るためアウトガ
ス発生が従来品に比べ少なくなったものと推定できる。
また、封止が完全におこなわれているかを調査するため
封止した試料を80℃にセットされた恒温槽に装入し強
制劣化テストを試みた結果、本発明はハンダワッシャー
が溶融し封止が可能となる230℃から封止歩留が良好
であるのに対し、従来品は破線で示した範囲では非常に
高い率で不良(リーク)を発生する。
すなわち信頼性を考慮すれば従来品は210℃以上の加
熱温度で封止をおこなわなければならず、得られる振動
子の等価インピーダンスは最低でも300(KΩ)であ
り、本発明の200(KΩ)に比べ著しく高い。
以上説明した如く、本発明は従来品に比べ加熱温度によ
る等価インピーダンスの上昇は少く、効果が顕著である
次に図3により実験例2について説明する。
図3は振動子を収納するケースの内容積(2mm3〜1
2mm3)と振動子の等価インピーダンスの関係をグラ
フ化したものであり、図において7は従来品、8は本発
明を示し、気密封止をおこなうための加熱温度は最も低
い等価インピーダンスを得る・温度(実験例1から)と
し、従来品は210℃。
そして本発明は230℃である。
図によれば従来品は、ケース内容積が小となるに伴う等
価インピーダンスの上昇は極めて大きく9m7IL3で
は350(KΩ)となり、実用性を考慮するとこれ以下
の内容積では実用不可能である。
ところが本発明によれば、ケース内容積が小となっても
等価インピーダンスの上昇は非常に僅かで、例えば内容
積2.5 mm3でも等価インピーダンスはおよそ35
0(KΩ)で実用可能範囲であり、;実用可能なケース
の容積は従来品の9m7rL3に比べ著しく小である。
従来、セラミックケースを用いた振動子ユニットの小型
には限度があり、より小型化することは極めて困難とさ
れていたが、以上詳述した様にハンダワッシャーに5n
−Au合金;を用いた本発明は、振動子ユニットを著し
く小型化することが可能で、水晶時計の薄型化及び小型
化に大きく寄与する。
なお本実症例では、収納する振動子に水晶振動子を用い
た場合について述べたが、水晶以外の圧;型振動子を用
いても同様の効果が期待できる。
おわりに、特許請求範囲においてケース内容積を2.5
mrrt3から8.5 mm3に限定した理由を述べ
る。
上限を8.5 mm3としたのは、従来技術で実用可能
な最小の容積9.0 mm3以下としたもので、これを
越えた場合は本発明の効果がなくなる。
また下限を2.5 mm3とした理由は、これ以下の容
積では振動子の等価インピーダンスが350にΩを越え
実用上問題となること、更に振動子をケースに収納する
場合、スペースが狭く作業性を著しく阻害するためであ
る。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明を構成する各パーツを示す図、第2図は
加熱温度と振動子の等価インピーダンスの関係を示すグ
ラス、第3図はケース内容積と等価インピーダンスの関
係を示すグラフ。 第1図、1・・・・・・セラミック製の蓋、2・・・・
・・ハンダワッシャー、3・・・・・・圧電振動子、4
・・・・・・セラミック製のステム、42口・・・・・
・Auメッキ面(シール面)、ハ・・・・・・リード端
子、二・・・・・・振動子を固定する位置、第2図、5
・・・・・・従来品、6・・・・・・本発明、ホ・・・
・・・従来品において、ハンダワッシャーが溶融せず気
密封止不可能な範囲、へ・・・・・・本発明においてハ
ンダワッシャーが溶融せず気密封止不可能な範囲、第3
図、7・・・・・・従来品、8・・・・・・本発明。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 少なくともケースの一部がセラミックまたはガラス
    から構成された振動子ユニットにおいて、ケースの内容
    積が2.5 mrn3〜8.5 mm3であることを特
    徴とする圧電振動子ユニット。
JP13890875A 1975-11-19 1975-11-19 チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト Expired JPS5818805B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13890875A JPS5818805B2 (ja) 1975-11-19 1975-11-19 チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13890875A JPS5818805B2 (ja) 1975-11-19 1975-11-19 チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5263094A JPS5263094A (en) 1977-05-25
JPS5818805B2 true JPS5818805B2 (ja) 1983-04-14

Family

ID=15232938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13890875A Expired JPS5818805B2 (ja) 1975-11-19 1975-11-19 チヨウコガタアツデンシンドウシユニツト

Country Status (1)

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JP (1) JPS5818805B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62103716U (ja) * 1985-12-20 1987-07-02
JPS63149308U (ja) * 1987-03-24 1988-09-30

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62103716U (ja) * 1985-12-20 1987-07-02
JPS63149308U (ja) * 1987-03-24 1988-09-30

Also Published As

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JPS5263094A (en) 1977-05-25

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