JPS6344152A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPS6344152A JPS6344152A JP18898486A JP18898486A JPS6344152A JP S6344152 A JPS6344152 A JP S6344152A JP 18898486 A JP18898486 A JP 18898486A JP 18898486 A JP18898486 A JP 18898486A JP S6344152 A JPS6344152 A JP S6344152A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 abstract 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、被検査物における周期性のある欠陥を感度
よく検出し得ろ外観検査装置に関する。
よく検出し得ろ外観検査装置に関する。
〈従来の技術〉
従来、外観検査装置においては、被検査物ｒコとえば軸
受の円筒コロの表面にレーザー光を一定の速度で走査し
、上記円筒コロの表面からの反ｑ−１光を光電変換装置
で光電変換し、この光電変換装；Ｕで光電変換された信
号を判別装置で比較レベルと比較して二値化を行い、円
筒コロの異；：３・正群、）判定を行っていた。
受の円筒コロの表面にレーザー光を一定の速度で走査し
、上記円筒コロの表面からの反ｑ−１光を光電変換装置
で光電変換し、この光電変換装；Ｕで光電変換された信
号を判別装置で比較レベルと比較して二値化を行い、円
筒コロの異；：３・正群、）判定を行っていた。
〈発明か解決しようとする問題点〉
ところで、円筒コロの表面には、砥石のドレス後におい
て周期的欠陥か生じる場合がある。この周期的欠陥は砥
石に対するドレス針の送り運変、砥石の回転数に依で７
しており、同一砥石を使っノー同一加工物によｊいては
同一周期で現れる。そして、第３図に示すように、光電
変換された信号に円筒コロのに面の周期的欠陥に対応し
た一定周波数の微少レベルの周１υ１信号が存在４゛る
。
て周期的欠陥か生じる場合がある。この周期的欠陥は砥
石に対するドレス針の送り運変、砥石の回転数に依で７
しており、同一砥石を使っノー同一加工物によｊいては
同一周期で現れる。そして、第３図に示すように、光電
変換された信号に円筒コロのに面の周期的欠陥に対応し
た一定周波数の微少レベルの周１υ１信号が存在４゛る
。
ところが、上記従来の外観検査装置では、周期性を（゛
にっｒ二微少欠陥が存在してら光学（３号ａｉＦ′／を
単に基部レヘルと比較して二値化して欠陥の汀（１１（
を判定していたため、周期性のめる欠陥がめってら、検
出が不可能であるという問題があった。すなわち、第３
図に示すような周期的な欠陥がある状態と、第４図に示
すような周期的な欠陥かない状態とを識別することがで
きなかった。
にっｒ二微少欠陥が存在してら光学（３号ａｉＦ′／を
単に基部レヘルと比較して二値化して欠陥の汀（１１（
を判定していたため、周期性のめる欠陥がめってら、検
出が不可能であるという問題があった。すなわち、第３
図に示すような周期的な欠陥がある状態と、第４図に示
すような周期的な欠陥かない状態とを識別することがで
きなかった。
そこで、この発明の目的は、光学信号波形の二値化によ
り判定していた従来の方法では検出できなかった周期的
な微少欠陥を感度よく検出できる外観検査装置を提供す
ることにある。
り判定していた従来の方法では検出できなかった周期的
な微少欠陥を感度よく検出できる外観検査装置を提供す
ることにある。
〈問題点を解決するための手段〉
上記目的を達成するため、この発明の外観検査装置は、
コヒーレント光の光源と、被検査物の表面に上記コヒー
レント光を一定の速度でスキャンする走査装置と、上記
被検査物の表面からの反射光を受光して光電変換装置に
結像する受光装置と、上記光電変換装置の出力のうち上
記被検査物の表面の周期的欠陥を表す特定周波数成分の
信号を通過させるフィルタと、上記フィルタの出力と基
準値とを比較して上記被検査物の周期的欠陥を検出する
判別装置とを備えたことを特徴とする。
コヒーレント光の光源と、被検査物の表面に上記コヒー
レント光を一定の速度でスキャンする走査装置と、上記
被検査物の表面からの反射光を受光して光電変換装置に
結像する受光装置と、上記光電変換装置の出力のうち上
記被検査物の表面の周期的欠陥を表す特定周波数成分の
信号を通過させるフィルタと、上記フィルタの出力と基
準値とを比較して上記被検査物の周期的欠陥を検出する
判別装置とを備えたことを特徴とする。
〈実施例〉
以下、この発明を図示の一実施例により詳細に説明する
。
。
第１図において、１はコヒーレント光の光源であるレー
ザー、２はミラー、３は走査装置である光スキャナ、５
は集光レンズである。また、６は図示しない駆動ローラ
上に載置されて回転させられる被検査物である円筒コロ
、１４は増幅器、２０は受光装置、この受光装置２０は
フレネルレンズ７と光彩絞り８と集光レンズ９とスリッ
ト１１と光電変換装置としての光電子倍増管１２とから
なる。また、２２はオン・オフ信号を受けて増幅７５１
４の出力の通過を制御するアナログゲート、２３は円筒
コロの表面の周期性を伴った傷に対応した特定周波数成
分の信号を通過させるバンドパスフィルタ、２４はバン
ドパスフィルタ２３の出力を整流して低域周波数成分を
通過させる整流ローパスフィルタ、２５は整流ローパス
フィルタ２．１の出力と予め設定した基準値とを比較し
て円筒コロの周期性を伴った傷を検出する判別装置であ
る。
ザー、２はミラー、３は走査装置である光スキャナ、５
は集光レンズである。また、６は図示しない駆動ローラ
上に載置されて回転させられる被検査物である円筒コロ
、１４は増幅器、２０は受光装置、この受光装置２０は
フレネルレンズ７と光彩絞り８と集光レンズ９とスリッ
ト１１と光電変換装置としての光電子倍増管１２とから
なる。また、２２はオン・オフ信号を受けて増幅７５１
４の出力の通過を制御するアナログゲート、２３は円筒
コロの表面の周期性を伴った傷に対応した特定周波数成
分の信号を通過させるバンドパスフィルタ、２４はバン
ドパスフィルタ２３の出力を整流して低域周波数成分を
通過させる整流ローパスフィルタ、２５は整流ローパス
フィルタ２．１の出力と予め設定した基準値とを比較し
て円筒コロの周期性を伴った傷を検出する判別装置であ
る。
上記構′成において、回転される円筒コロ６の円筒面に
光スキャナ３からレーザー光を端から端までを一定走査
速度で走査する。円筒コロ６にはたとえば砥石のドレス
時に周期的欠陥は発生するしのであり、その周期はドレ
ス針の送り速度、ドラムの回転数に依存して同一周期で
現れる。この円筒コロ６のＩＴ１筒面からの反射光が受
光装置３０の光電子倍増管１２で光電変換され、光学信
号波形が得られこの光学信号波形が増幅器１４で増幅さ
れ、アナログゲート２２を通してバンドパスフィルタ２
３に入力されろ。レーザー光の走査速度が一定であるの
で、上記光学信号波形には、円筒コロ６の周期的な傷と
走査速度に応じた一定周波敢をしつｙ、側υ１性信号が
現れる。この周期的な傷に対応する特定周波数成分の信
号のみがバンドパスフィルタ２３を通過し、さらに整流
ローパスフィルタ２．１で整流されろ。このようにして
周期的な傷に対応した周波数成分の信号のみが得られる
。判別装置２５でこの周波数成分の信号と居学値とが比
較５れて周期的傷の有無が判定される。このように、円
筒コロ６の周期的な傷に対応する特定周波数成分の信号
のみが検出されるので、周期的な微小傷でら感度よく検
出できる。
光スキャナ３からレーザー光を端から端までを一定走査
速度で走査する。円筒コロ６にはたとえば砥石のドレス
時に周期的欠陥は発生するしのであり、その周期はドレ
ス針の送り速度、ドラムの回転数に依存して同一周期で
現れる。この円筒コロ６のＩＴ１筒面からの反射光が受
光装置３０の光電子倍増管１２で光電変換され、光学信
号波形が得られこの光学信号波形が増幅器１４で増幅さ
れ、アナログゲート２２を通してバンドパスフィルタ２
３に入力されろ。レーザー光の走査速度が一定であるの
で、上記光学信号波形には、円筒コロ６の周期的な傷と
走査速度に応じた一定周波敢をしつｙ、側υ１性信号が
現れる。この周期的な傷に対応する特定周波数成分の信
号のみがバンドパスフィルタ２３を通過し、さらに整流
ローパスフィルタ２．１で整流されろ。このようにして
周期的な傷に対応した周波数成分の信号のみが得られる
。判別装置２５でこの周波数成分の信号と居学値とが比
較５れて周期的傷の有無が判定される。このように、円
筒コロ６の周期的な傷に対応する特定周波数成分の信号
のみが検出されるので、周期的な微小傷でら感度よく検
出できる。
上記実施例では、円筒コロ６の円筒面に生じた周期的な
傷を検査したが、円筒コロ６の端面に生じた周期的な傷
を検査してらよい。
傷を検査したが、円筒コロ６の端面に生じた周期的な傷
を検査してらよい。
第２図は上記実施例の変形例を示す。この変形例ハ、バ
ンドパスフィルタ２３、整！ローパス７（ルタ２４、判
別装置２５からなる周期傷検出回路ｒ、、ｒ、、・・・
を複数並設し、各バンドパスフィルタの中心周波数を異
なる周波数に調整して、異なる周期をもって現れた幾つ
もの周期的欠陥を検出できるようにしたしのである。
ンドパスフィルタ２３、整！ローパス７（ルタ２４、判
別装置２５からなる周期傷検出回路ｒ、、ｒ、、・・・
を複数並設し、各バンドパスフィルタの中心周波数を異
なる周波数に調整して、異なる周期をもって現れた幾つ
もの周期的欠陥を検出できるようにしたしのである。
〈発明の効果〉
以上の説明より明らかな如く、この発明の外観検査装置
は、コヒーレント光の光源と、被検査物の表面にコヒー
レント光を一定の速度でスキャンずろ走査装置と、被検
査物の表面の周期的欠陥を表す特定周波数成分の信号を
通過させるフィルタと、フィルタの出力と基学値とを比
較して周期的欠陥を検出する判別装置とを備えているの
で、彼検査物の表面の微少な周期的欠陥を感度よく検出
することができる。
は、コヒーレント光の光源と、被検査物の表面にコヒー
レント光を一定の速度でスキャンずろ走査装置と、被検
査物の表面の周期的欠陥を表す特定周波数成分の信号を
通過させるフィルタと、フィルタの出力と基学値とを比
較して周期的欠陥を検出する判別装置とを備えているの
で、彼検査物の表面の微少な周期的欠陥を感度よく検出
することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す光学系統図、第２図
は別の実施例のバンドパスフィルタ、判別装置を）９数
並設した状態を示すブロック図、第３図は周期性を有す
る信号を含む光学信号波形を示す図、第４図は周期性の
ない光学信号波形を示す図である。 ３・・走査装置、２０・・受光装置、 ２３ フィルタ、２５・・・判別装置。
は別の実施例のバンドパスフィルタ、判別装置を）９数
並設した状態を示すブロック図、第３図は周期性を有す
る信号を含む光学信号波形を示す図、第４図は周期性の
ない光学信号波形を示す図である。 ３・・走査装置、２０・・受光装置、 ２３ フィルタ、２５・・・判別装置。
Claims (1)
- （１）コヒーレント光の光源と、被検査物の表面に上記
コヒーレント光を一定の速度でスキャンする走査装置と
、上記被検査物の表面からの反射光を受光して光電変換
装置に結像する受光装置と、上記光電変換装置の出力の
うち上記被検査物の表面の周期的欠陥を表す特定周波数
成分の信号を通過させるフィルタと、上記フィルタの出
力と基準値とを比較して上記被検査物の周期的欠陥を検
出する判別装置とを備えたことを特徴とする外観検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61188984A JPH06105225B2 (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61188984A JPH06105225B2 (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344152A true JPS6344152A (ja) | 1988-02-25 |
| JPH06105225B2 JPH06105225B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=16233352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61188984A Expired - Lifetime JPH06105225B2 (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105225B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH064606U (ja) * | 1992-06-23 | 1994-01-21 | 古河電気工業株式会社 | 被検査対象物の表面検査装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49129585A (ja) * | 1973-04-13 | 1974-12-11 | ||
| JPS528888A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-24 | Hitachi Denshi Ltd | Running object surface fault classify detector system |
| JPS5578217A (en) * | 1978-12-11 | 1980-06-12 | Babcock Hitachi Kk | Prediction system for resonant oscillation |
| JPS57184958A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-13 | Nippon Steel Corp | Roll mark detecting device |
| JPS59107758A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-22 | Kobe Steel Ltd | 連鋳材表面熱間探傷におけるノロかみ検出法及びその装置 |
| JPS6035609A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Ohtsu Tire & Rubber Co Ltd | ラジアルタイヤ |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP61188984A patent/JPH06105225B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49129585A (ja) * | 1973-04-13 | 1974-12-11 | ||
| JPS528888A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-24 | Hitachi Denshi Ltd | Running object surface fault classify detector system |
| JPS5578217A (en) * | 1978-12-11 | 1980-06-12 | Babcock Hitachi Kk | Prediction system for resonant oscillation |
| JPS57184958A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-13 | Nippon Steel Corp | Roll mark detecting device |
| JPS59107758A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-22 | Kobe Steel Ltd | 連鋳材表面熱間探傷におけるノロかみ検出法及びその装置 |
| JPS6035609A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-02-23 | Ohtsu Tire & Rubber Co Ltd | ラジアルタイヤ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH064606U (ja) * | 1992-06-23 | 1994-01-21 | 古河電気工業株式会社 | 被検査対象物の表面検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06105225B2 (ja) | 1994-12-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |