JPS6342223B2 - - Google Patents
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- JPS6342223B2 JPS6342223B2 JP55020965A JP2096580A JPS6342223B2 JP S6342223 B2 JPS6342223 B2 JP S6342223B2 JP 55020965 A JP55020965 A JP 55020965A JP 2096580 A JP2096580 A JP 2096580A JP S6342223 B2 JPS6342223 B2 JP S6342223B2
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- JP
- Japan
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- inspected
- television camera
- scanning direction
- image
- flaw
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 18
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 102100023185 Transcriptional repressor scratch 1 Human genes 0.000 description 1
- 101710171414 Transcriptional repressor scratch 1 Proteins 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は欠陥検査方法、特にテレビカメラを用
いた欠陥検査方法に関する。
いた欠陥検査方法に関する。
従来のテレビカメラを用いた欠陥検査装置は、
テレビカメラの特性からして、検出又は検査不可
能な欠陥が生ずる、と云う欠点がある。以下、こ
の従来例を、第1及び第2図を参照して説明しよ
う。
テレビカメラの特性からして、検出又は検査不可
能な欠陥が生ずる、と云う欠点がある。以下、こ
の従来例を、第1及び第2図を参照して説明しよ
う。
第1及び第2図は、夫々欠陥が検査されるべき
被検査物の上面図である。同図に於て、符号S及
びS′は、夫々被検査物を全体として示す。第1図
に示す被検査物Sは、それがテレビカメラ(図示
せず)により撮像検査される際の、テレビカメラ
の走査(スキヤンニング)方向aに対して略々直
角に伸びる、例えば線状のキズ等の欠陥1を有す
るが、第2図に示す被検査物S′は、テレビカメラ
のスキヤンニング方向aに対して、略々平行に伸
びる線状のキズ等の欠陥2を有している。斯る被
検査物S及びS′の欠陥1及び2を、テレビカメラ
を用いて検査する場合、テレビカメラのスキヤン
ニング方向が、第1及び第2図に於て矢印aで示
す方向とすると、第1図に示す被検査物Sのキズ
1は、テレビカメラのスキヤンニング方向aと
略々直交するので、テレビカメラの出力中、キズ
1に対応する部分に異状レベルが発生するとか、
或はそのモニターテレビ(図示せず)にキズ1が
再生される等により、容易に検出され得る。然
し、第2図に示す被検査物S′のキズ2は、スキヤ
ンニング方向aと平行なので、テレビカメラのビ
ームによりスキヤンニングされない場合が多く、
従つて、極めて検出し難い。
被検査物の上面図である。同図に於て、符号S及
びS′は、夫々被検査物を全体として示す。第1図
に示す被検査物Sは、それがテレビカメラ(図示
せず)により撮像検査される際の、テレビカメラ
の走査(スキヤンニング)方向aに対して略々直
角に伸びる、例えば線状のキズ等の欠陥1を有す
るが、第2図に示す被検査物S′は、テレビカメラ
のスキヤンニング方向aに対して、略々平行に伸
びる線状のキズ等の欠陥2を有している。斯る被
検査物S及びS′の欠陥1及び2を、テレビカメラ
を用いて検査する場合、テレビカメラのスキヤン
ニング方向が、第1及び第2図に於て矢印aで示
す方向とすると、第1図に示す被検査物Sのキズ
1は、テレビカメラのスキヤンニング方向aと
略々直交するので、テレビカメラの出力中、キズ
1に対応する部分に異状レベルが発生するとか、
或はそのモニターテレビ(図示せず)にキズ1が
再生される等により、容易に検出され得る。然
し、第2図に示す被検査物S′のキズ2は、スキヤ
ンニング方向aと平行なので、テレビカメラのビ
ームによりスキヤンニングされない場合が多く、
従つて、極めて検出し難い。
扨て、実際問題として、被検査物のキズは、千
差万別で、第2図に示す如き線状のキズ2が屡々
にして存在する。即ち、テレビカメラのスキヤン
ニング方向aと平行に伸びる線状のキズ等が存在
する場合が、多い。ところが、従来の装置は、
かゝる欠陥を検出することができない場合が多い
と云う、重大な欠点がある。
差万別で、第2図に示す如き線状のキズ2が屡々
にして存在する。即ち、テレビカメラのスキヤン
ニング方向aと平行に伸びる線状のキズ等が存在
する場合が、多い。ところが、従来の装置は、
かゝる欠陥を検出することができない場合が多い
と云う、重大な欠点がある。
従つて、本発明の主目的は、どのような形状又
はどのような方向のキズでも、確実に検出又は検
査し得る欠陥検査方法を提供せんとするにある。
はどのような方向のキズでも、確実に検出又は検
査し得る欠陥検査方法を提供せんとするにある。
本発明による欠陥検査方法の特徴とするところ
は、被検査物に対し、反射体を、それによる被検
査物の像をどのように平行移動しても被検査物と
重なり合わないような角度で配置し、被検査物と
その反射体による像とを、共に同一のテレビカメ
ラで撮像するようになした点に存する。
は、被検査物に対し、反射体を、それによる被検
査物の像をどのように平行移動しても被検査物と
重なり合わないような角度で配置し、被検査物と
その反射体による像とを、共に同一のテレビカメ
ラで撮像するようになした点に存する。
以下、第3図を参照して、本発明の一例を説明
しよう。第3図に於て、符号S1は、検査台Bに
配置された被検査物で、これは、テレビカメラ
(図示せず)のスキヤンニング方向aと略々直角
方向の線状のキズの如き欠陥3と、同じくスキヤ
ンニング方向aと略々平行な線状のキズの如き欠
陥4とを有するものとする。
しよう。第3図に於て、符号S1は、検査台Bに
配置された被検査物で、これは、テレビカメラ
(図示せず)のスキヤンニング方向aと略々直角
方向の線状のキズの如き欠陥3と、同じくスキヤ
ンニング方向aと略々平行な線状のキズの如き欠
陥4とを有するものとする。
扨て、本発明に於ては、鏡(ミラー)の如き反
射体5を、検査台B上に、被検査物S1に対し
て、被検査物S1の像が、例えば同図に於て、符
号S2で示す如く、両者、即ちS1及びS2が、
どのように平行移動しても重なり合わないように
形成されるように配置する。この第3図の例で
は、被検査物S1のキズ3及び4に対応するミラ
ー5による像S2のキズの像3′及び4′が、キズ
3及び4に対して、例えば夫々略々90゜となる如
く、被検査物S1に対するミラー5の角が選択さ
れている。
射体5を、検査台B上に、被検査物S1に対し
て、被検査物S1の像が、例えば同図に於て、符
号S2で示す如く、両者、即ちS1及びS2が、
どのように平行移動しても重なり合わないように
形成されるように配置する。この第3図の例で
は、被検査物S1のキズ3及び4に対応するミラ
ー5による像S2のキズの像3′及び4′が、キズ
3及び4に対して、例えば夫々略々90゜となる如
く、被検査物S1に対するミラー5の角が選択さ
れている。
次に、図示せずも、従来と同様のテレビカメラ
で、被検査物S1及びその像S2を両者が共にテ
レビカメラの撮像面に於て、例えば第3図に示す
如き配置となるように撮像する。斯くすれば、テ
レビカメラの撮像面、或るいはそのモニターテレ
ビの画面(図示せず)には、被検査物S1及びそ
の像S2が、共に第3図の如き関係を以つて現わ
れる。従つて、被検査物S1のテレビカメラのス
キヤンニング方向aと直角なキズ3は、その状態
で従来と同様、容易に検査又は検出され得る。一
方、被検査物S1のテレビカメラのスキヤンニン
グ方向aと平行なキズ4は、そこでは検出されな
いが、スキヤンニング方向aと略略直角となるミ
ラー5による像S2のキズ4′(これは、上述の
如く、スキヤンニング方向aと略々直角)となる
ので、スキヤンニング方向aに対し、キズ3と同
様となり、容易に検出又は検査される。即ち、テ
レビカメラのスキヤンニング方向aと略々平行な
被検査物S1のキズ4は、その状態では検出又は
検査が困難であるが、ミラー5による像S2に於
ては、テレビカメラのスキヤンニング方向aと
略々直角なキズ4′となり且つこのキズ4′も同一
テレビカメラの被撮像面に入つているので、容易
に検出又は検査され得る。
で、被検査物S1及びその像S2を両者が共にテ
レビカメラの撮像面に於て、例えば第3図に示す
如き配置となるように撮像する。斯くすれば、テ
レビカメラの撮像面、或るいはそのモニターテレ
ビの画面(図示せず)には、被検査物S1及びそ
の像S2が、共に第3図の如き関係を以つて現わ
れる。従つて、被検査物S1のテレビカメラのス
キヤンニング方向aと直角なキズ3は、その状態
で従来と同様、容易に検査又は検出され得る。一
方、被検査物S1のテレビカメラのスキヤンニン
グ方向aと平行なキズ4は、そこでは検出されな
いが、スキヤンニング方向aと略略直角となるミ
ラー5による像S2のキズ4′(これは、上述の
如く、スキヤンニング方向aと略々直角)となる
ので、スキヤンニング方向aに対し、キズ3と同
様となり、容易に検出又は検査される。即ち、テ
レビカメラのスキヤンニング方向aと略々平行な
被検査物S1のキズ4は、その状態では検出又は
検査が困難であるが、ミラー5による像S2に於
ては、テレビカメラのスキヤンニング方向aと
略々直角なキズ4′となり且つこのキズ4′も同一
テレビカメラの被撮像面に入つているので、容易
に検出又は検査され得る。
上述の如く、本発明によれば、どのような欠陥
でも、極めて簡単な構成で、確実に検査し得るも
のである。
でも、極めて簡単な構成で、確実に検査し得るも
のである。
尚、第3図の例に於ては、ミラー5を、被検査
物S1に対して、その像S2が略々90゜回転され
るように配置した場合であるが、ミラー5の配置
は、この例に限定する必要はないもので、要は、
テレビカメラのスキヤンニング方向aと平行な被
検査物S1の欠陥4が、ミラー5による像S2に
於て、スキヤンニング方向aと交叉するような角
を以つて、ミラー5を被検査物S1に対して配置
すればよい。極言すれば、ミラー5の被検査物S
1に対する角は、被検査物S1に対して、平行以
外ならば、どのような傾斜角でもよい。勿論、被
検査物S1及びミラー5によるその像S2の両者
が、共に、同時にテレビカメラにより撮映される
ことが必要である。
物S1に対して、その像S2が略々90゜回転され
るように配置した場合であるが、ミラー5の配置
は、この例に限定する必要はないもので、要は、
テレビカメラのスキヤンニング方向aと平行な被
検査物S1の欠陥4が、ミラー5による像S2に
於て、スキヤンニング方向aと交叉するような角
を以つて、ミラー5を被検査物S1に対して配置
すればよい。極言すれば、ミラー5の被検査物S
1に対する角は、被検査物S1に対して、平行以
外ならば、どのような傾斜角でもよい。勿論、被
検査物S1及びミラー5によるその像S2の両者
が、共に、同時にテレビカメラにより撮映される
ことが必要である。
尚、上述は本発明の一例であつて、本発明の精
神を逸脱せずに、多くの変化変更が当該業者によ
りなされ得ることは、明らかであろう。
神を逸脱せずに、多くの変化変更が当該業者によ
りなされ得ることは、明らかであろう。
第1及び第2図は夫々被検査物の上面図、第3
図は本発明の一例の説明に供する略線図である。 図に於て、S,S′,S1は被検査物、S2は
像、3,4は欠陥、3′,4′は欠陥の像、5は反
射体、aはテレビカメラのスキヤンニング方向、
Bは検査台を夫々示す。
図は本発明の一例の説明に供する略線図である。 図に於て、S,S′,S1は被検査物、S2は
像、3,4は欠陥、3′,4′は欠陥の像、5は反
射体、aはテレビカメラのスキヤンニング方向、
Bは検査台を夫々示す。
Claims (1)
- 1 被検査物に対し反射体を該反射体による上記
被検査物の像をどのように平行移動しても上記被
検査物と重なり合わないような角度で配置し、上
記被検査物と上記反射体によるその像とを共に同
一テレビカメラで撮像し、その出力を処理して上
記被検査物の欠陥を検査するようになしたことを
特徴とする欠陥検査方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2096580A JPS56117154A (en) | 1980-02-21 | 1980-02-21 | Inspecting apparatus of flaw |
GB8105374A GB2073409B (en) | 1980-02-21 | 1981-02-20 | Defect inspection system |
FR8103385A FR2476875B1 (fr) | 1980-02-21 | 1981-02-20 | Systeme de detection de defauts |
CA000371383A CA1158743A (en) | 1980-02-21 | 1981-02-20 | Defect inspection system |
DE19813106398 DE3106398A1 (de) | 1980-02-21 | 1981-02-20 | Fehlstellenueberpruefungssystem |
US06/236,229 US4403858A (en) | 1980-02-21 | 1981-02-20 | Defect inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2096580A JPS56117154A (en) | 1980-02-21 | 1980-02-21 | Inspecting apparatus of flaw |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS56117154A JPS56117154A (en) | 1981-09-14 |
JPS6342223B2 true JPS6342223B2 (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=12041879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2096580A Granted JPS56117154A (en) | 1980-02-21 | 1980-02-21 | Inspecting apparatus of flaw |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4403858A (ja) |
JP (1) | JPS56117154A (ja) |
CA (1) | CA1158743A (ja) |
DE (1) | DE3106398A1 (ja) |
FR (1) | FR2476875B1 (ja) |
GB (1) | GB2073409B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58219441A (ja) * | 1982-06-15 | 1983-12-20 | Hajime Sangyo Kk | 凸面体の表面欠陥検査装置 |
JPS60157037A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-17 | Hajime Sangyo Kk | 物体の表面検査装置 |
DE3412076A1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-10-03 | Isco-Optic GmbH, 3400 Göttingen | Vorrichtung zur zweidimensionalen vermessung von lichtpunkten |
US4664520A (en) * | 1984-09-29 | 1987-05-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Camera for visual inspection |
US4691231A (en) * | 1985-10-01 | 1987-09-01 | Vistech Corporation | Bottle inspection system |
DE4217623B4 (de) * | 1992-05-27 | 2008-02-07 | Windmöller & Hölscher Kg | Verfahren zur Prüfung der Ausbildung kontinuierlich geförderter Werkstücke |
DE4217430A1 (de) * | 1992-05-27 | 1993-12-02 | Autronic Bildverarbeitung | Aufnahme-Einrichtung zum Erfassen und Darstellen zu vergleichender Objekte |
US5233186A (en) * | 1992-06-19 | 1993-08-03 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Inspection of transparent containers with opposing reflection means |
DE9401711U1 (de) * | 1994-02-02 | 1995-06-01 | Kratzer Automatisierung GmbH, 85716 Unterschleißheim | Abbildungsvorrichtung |
DE4416559A1 (de) * | 1994-05-11 | 1995-11-30 | Daimler Benz Aerospace Ag | Einrichtung zur Bestimmung der Geschwindigkeit und der Fluglage eines Geschosses |
US5495330A (en) * | 1994-09-16 | 1996-02-27 | Emhart Glass Machinery Investments Inc. | Container inspection machine having sequentially accessed computer alignment gages |
DE19716468C2 (de) * | 1997-04-21 | 1999-07-08 | Autronic Bildverarbeitung | Einrichtung zur Oberflächeninspektion, insbesondere von Holz |
US5993585A (en) * | 1998-01-09 | 1999-11-30 | Nike, Inc. | Resilient bladder for use in footwear and method of making the bladder |
DE19960044A1 (de) * | 1999-12-14 | 2001-06-21 | Merten Kg Pulsotronic | Optische Inspektionsvorrichtung |
DE102014107899A1 (de) * | 2014-06-04 | 2015-12-17 | Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung eines in einem Pellvorgang zu pellenden Lebensmittelprodukts |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3216311A (en) * | 1961-03-29 | 1965-11-09 | Bulova Res And Dev Lab Inc | Non-contacting object measuring apparatus |
US3932042A (en) * | 1974-05-20 | 1976-01-13 | Barry-Wehmiller Company | Container inspection apparatus and method of inspection |
US4025201A (en) * | 1975-04-21 | 1977-05-24 | Ball Brothers Service Corporation | Method and apparatus for video inspection of articles of manufacture by decussate paths of light |
US4025202A (en) * | 1975-08-07 | 1977-05-24 | Ball Brothers Service Corporation | Method and apparatus for inspecting the bottoms of hollow glass articles |
US4007326A (en) * | 1976-01-15 | 1977-02-08 | Xerox Corporation | Electronic copy analysis |
-
1980
- 1980-02-21 JP JP2096580A patent/JPS56117154A/ja active Granted
-
1981
- 1981-02-20 GB GB8105374A patent/GB2073409B/en not_active Expired
- 1981-02-20 CA CA000371383A patent/CA1158743A/en not_active Expired
- 1981-02-20 FR FR8103385A patent/FR2476875B1/fr not_active Expired
- 1981-02-20 DE DE19813106398 patent/DE3106398A1/de active Granted
- 1981-02-20 US US06/236,229 patent/US4403858A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3106398A1 (de) | 1981-12-10 |
CA1158743A (en) | 1983-12-13 |
US4403858A (en) | 1983-09-13 |
DE3106398C2 (ja) | 1993-02-25 |
GB2073409A (en) | 1981-10-14 |
FR2476875A1 (fr) | 1981-08-28 |
FR2476875B1 (fr) | 1985-09-27 |
GB2073409B (en) | 1984-06-06 |
JPS56117154A (en) | 1981-09-14 |
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