JPS6339255Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はエツチング液を用いて、各種材料の
エツチングをおこなうのに使用されるエツチング
装置に関する。

この種エツチング装置は従来、半導体集積回
路、数字電極その他複雑で寸法精度の要求される
ものの蝕刻に使用されている。

第１図はこのようなエツチング装置の従来例を
示すものであつて、エツチング槽本体１の上部に
金属板等の被エツチング材料２を搬送するための
ローラコンベア３が設けられている。このローラ
コンベア３の上下方向には槽本体内に搬入された
被エツチング材料の上下面を挾むようにして多数
のエツチング液噴射口４を有するエツチング液噴
射手段５，５′が配設されている。このエツチン
グ液噴射手段５′の下方には中央にスクリーン６
を有するエツチング残渣受け７が設けられてい
る。エツチング槽本体１の底部にはポンプ８が連
通手段９を介して連設されていて、降下貯溜され
たエツチング液１０をパイプ１１等を介してエツ
チング液噴射手段５，５′へ循環させるようにな
つている。

しかし、このような従来のエツチング装置にお
いては残渣受け７に溜つた金属片等の残渣は直ち
に回収することができないために、次々と落下す
るエツチング液によつて腐蝕され、エツチング液
中に溶け込み、これによつてエツチング液の疲労
が早められるだけでなく、エツチング条件のコン
トロールを困難にするなどの欠点があつた。

この考案は上記事情に鑑みてなされたものであ
つて、上述の如き従来のエツチング装置の欠点を
解消するとともに省資源の観点から、エツチング
残渣として得られる金属片等を回収して再利用に
供し得るエツチング装置を提供することを目的と
する。

すなわち、この考案はエツチング槽本体と、該
本体の上部へ被エツチング材料を供給するための
搬送手段と、該エツチング材料に対しエツチング
液を接触させるためのエツチング液噴射手段と、
該搬送手段およびエツチング液噴射手段の下方の
上記エツチング槽本体内に傾斜させて設けられ、
被エツチング材料のエツチング残渣を含み降下す
るエツチング液を受け止めて上記槽本体の側方に
導く傾斜底板と、該傾斜底板の下方端に連設して
該傾斜底板と同方向に傾斜して設けられたスクリ
ーン部材と、該スクリーン部料の下降端より下方
に設けられ、該スクリーン部材から落下するエツ
チング残渣を収容するとともに、エツチング液を
通過せしめるメツシユを底部に設けてなる回収手
段とを具備してなることを特徴とするエツチング
装置を提供するものである。

以下、この考案を図示の実施例に基づいて説明
する。

図中２１はエツチング槽本体であつて、その上
部には被エツチング材料２２をエツチング槽本体
２１内に供給するための搬送手段２３、たとえば
ローラーコンベアが設けられている。

この搬送手段２３の上方ならびに下方には搬入
された被エツチング材料２２の上下面にそれぞれ
対向するようにしてエツチング液噴射手段２５，
２５′が配設されている。このエツチング液噴射
手段２５，２５′には被エツチング材料２２に向
つて開口する噴射口２４が多数設けられている。
下方のエツチング液噴射手段２５′のさらに下方
には傾斜底板２６が槽本体１の一側（図中左側）
に向つて降下するようにして傾斜させて設けられ
ている。この傾斜底板２６の最下端部に適当なメ
ツシユサイズのスクリーン部材２７が連接的に、
かつ傾斜底板２６と同方向で、より急峻な傾斜を
以つて設けられている。この傾斜底板２６の下降
端の一部には第３図に示すように堰２８が設けら
れていて、噴射されて降下するエツチング液をス
クリーン部材２７方向へ導くようになつており、
さらにスクリーン部材２７の両側にも堰２９が設
けられていて、エツチング液が側方から溢れ落ち
ることのないように考慮されている。スクリーン
部材２７の最下端にはさらに、案内板３０が槽本
体２１から突出するようにして傾斜させて設けら
れていてその下端部は回収ボツクス３１内の回収
皿３２内に導入されている。

この回収ボツクス３１は槽本体２１の下方中間
部の外側に付設されていて底部３３が槽本体２１
方向に傾斜して槽本体２１内部と連通している。
この回収ボツクス３１の底部にはさらにネツト状
の底板３４が設けられていて、その上に回収皿３
２が載置されている。この回収皿３２は槽本体２
１外方に設けられているので、操業時において適
宜取り出し、新しいものと交換し得るようになつ
ている。また、この回収皿３２の底面３２′はエ
ツチング液のみの透過が可能なメツシユ状につく
られていてエツチング残渣を回収し得るようにな
つている。

槽本体２１の下部にはパイプ３５を介してポン
プ３６が連設されていて、槽本体底部に溜つたエ
ツチング液３７をパイプ３８等を介して再びエツ
チング液噴射手段２５，２５′へ循環し得るよう
になつている。

このような構成に係わるエツチング装置におい
ては、噴射手段２５，２５′から噴射され、被エ
ツチング材料２２と接触したのち降下するエツチ
ング液３７は底板２６によつてスクリーン部材２
７方向に集められ、スクリーン部材２７上を通過
するが、その際、エツチング液の殆んどはスクリ
ーン部材２７を透過して降下するが、エツチング
液とともに降下したエツチング材料２２から剥離
されたエツチング残渣はこのスクリーン部材２７
上をすべり落ち、案内板３０を介して回収皿３２
内に畜積される。また、このエツチング残渣と同
時に回収皿３２内に落下する少量のエツチング液
はメツシユ３２′およびネツト状底板３４を通過
して槽本体２１底部に導入される。

回収皿３２内に畜積されたエツチング残渣は適
当な間隔をおいてあるいは連続的に直ちに取り出
し回収されることができるので、従来のエツチン
グ装置の場合のようにエツチング液内に溶解され
てエツチング液の疲労を早めることを回避するこ
とができる。

第４図、第５図は本考案の他の実施例を示すも
ので、第２図および第３図の実施例と異なる点は
スクリーン２７が槽本体２１の外側に張り出した
状態に設けられていることのみであり、その他の
構成については前記実施例と実質的に変るところ
はない。したがつて、同一部材についてはそれぞ
れ同一符号を付すことにより、説明を省略する。

以上詳述したように、この考案によれば被エツ
チング材料と接触して降下するエツチング液に含
まれるエツチング残渣はスクリーン部材上に長時
間、留まることなく直ちに回収皿内に収容され、
直ちに系外へ回収することができるから、エツチ
ング液への悪影響を回避することができエツチン
グ作業上好ましいのみならず、再利用に供し得る
ので省資源の観点からも有利となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のエツチング装置を概略的に示す
図、第２図は本考案に係わるエツチング装置を概
略的に示す図、第３図は第２図−線に沿う断
面図、第４図は本考案の他の実施例に係わるもの
で、第３図に準ずる断面図、第５図は第４図−
に沿う断面図である。 １……エツチング槽本体、２……被エツチング
材料、３……コンベア、５，５′……エツチング
液噴出手段、６……スクリーン、８……ポンプ、
２１……エツチング槽本体、２２……被エツチン
グ材料、２３……搬送手段、２５，２５′……エ
ツチング液噴射手段、２６……傾斜底板、２７…
…スクリーン部材、２８，２９……堰、３０……
案内板、３１……回収ボツクス、３２……回収
皿、３６……ポンプ、３７……エツチング液。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) エツチング槽本体と、該本体の上部へ被エツ
   チング材料を供給するための搬送手段と、該エ
   ツチング材料に対しエツチング液を接触させる
   ためのエツチング液噴射手段と、該搬送手段お
   よびエツチング液噴射手段の下方の上記エツチ
   ング槽本体内に傾斜させて設けられ、被エツチ
   ング材料のエツチング残渣を含み降下するエツ
   チング液を受け止めて上記槽本体の側方に導く
   傾斜底板と、該傾斜底板の下方端に連設して該
   傾斜底板と同方向に傾斜して設けられたスクリ
   ーン部材と、該スクリーン部材の下降端より下
   方に設けられ、該スクリーン部材から落下する
   エツチング残渣を収容するとともに、エツチン
   グ液を通過せしめるメツシユを底部に設けてな
   る回収手段とを具備してなることを特徴とする
   エツチング装置。 (2) 回収手段がエツチング槽本体の外側に付設さ
   れている実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   エツチング装置。 (3) メツシユ部材がエツチング槽本体の外側に張
   り出した状態で設けられた実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のエツチング装置。 (4) 回収手段のメツシユを通過したエツチング液
   を再びエツチング槽本体底部に導入させる手段
   を設けてなる実用新案登録請求の範囲第１，２
   又は３項記載のエツチング装置。 (5) エツチング槽本体の底部と連通し、エツチン
   グ液をエツチング液噴射手段へ循環させる手段
   を具備してなる実用新案登録請求の範囲第１，
   ２，３又は４項記載のエツチング装置。 (6) スクリーン部材の傾斜角度が傾斜底板の傾斜
   角度より大とした実用新案登録請求の範囲第
   １，２，３，４又は５項記載のエツチング装
   置。