JPS63308213A - 軸受装置 - Google Patents
軸受装置Info
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- JPS63308213A JPS63308213A JP14475187A JP14475187A JPS63308213A JP S63308213 A JPS63308213 A JP S63308213A JP 14475187 A JP14475187 A JP 14475187A JP 14475187 A JP14475187 A JP 14475187A JP S63308213 A JPS63308213 A JP S63308213A
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- conical surface
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- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims description 6
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000007872 degassing Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Support Of The Bearing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は真空中で動作する回転機器に使用する軸受装置
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
近年、真空内の駆動機器は半導体産業を中心に益々Ｍ要
になりつつある。その中で特に超高真空下における回転
駆動機器に使用され加熱脱ガス処理に耐える軸受装置は
機器の性能を大幅に向上するものである。
になりつつある。その中で特に超高真空下における回転
駆動機器に使用され加熱脱ガス処理に耐える軸受装置は
機器の性能を大幅に向上するものである。
以下図面を参照しながら、従来の軸受装置の一例につい
て説明する。
て説明する。
第５図は従来の軸受装置の断面図、第６図は第５図のＡ
矢視断面図である。第７図はその使用例の１つの真空モ
ータの断面図である。
矢視断面図である。第７図はその使用例の１つの真空モ
ータの断面図である。
第５図及び第６図において、１及び２は内面にＡｑをイ
オンブレーティングした保持器、３は表面にＡｑのイオ
ンブレーティングを施したステンレス類の鋼球、４は内
輪、６は外輪、６は保持器１．２で鋼球３を保持するた
めに保持器１，２を結合するためのネジである。
オンブレーティングした保持器、３は表面にＡｑのイオ
ンブレーティングを施したステンレス類の鋼球、４は内
輪、６は外輪、６は保持器１．２で鋼球３を保持するた
めに保持器１，２を結合するためのネジである。
また第７図において、７は、永久磁石で構成されたモー
タロータ８を圧入し、一端に軸受の内輪４を嵌合し、他
端に別の軸受の内輪４を嵌合したブツシュ９を嵌合し、
リング１ｏ及びナツト１１で固定した回転軸、１２は軸
受の外輪５及びモータステータ１３を圧入し、さらに別
の軸受の外輪５が嵌合されたブロック１４をボルト１５
により固定したハウジング、１６はモータステータのリ
ード線である。
タロータ８を圧入し、一端に軸受の内輪４を嵌合し、他
端に別の軸受の内輪４を嵌合したブツシュ９を嵌合し、
リング１ｏ及びナツト１１で固定した回転軸、１２は軸
受の外輪５及びモータステータ１３を圧入し、さらに別
の軸受の外輪５が嵌合されたブロック１４をボルト１５
により固定したハウジング、１６はモータステータのリ
ード線である。
以上のように構成された軸受装置及びその応用例の真空
モータについて、以下それらの動作について説明する。
モータについて、以下それらの動作について説明する。
内輪４をＢ又はＣ方向へ回転すれば、鋼球３及び保持器
１及び２は外輪５に対して回転運動を行う。その際Ａｑ
が潤滑剤の役目をする。一方、モータステータ１３をリ
ード線１６に電流を流すことで励磁し、モータロータ８
にＤ又はＥ方向へ回転力を与える。その結果、前記軸受
装置を介して回転軸７はＤ又はＥ方向へ回転する。
１及び２は外輪５に対して回転運動を行う。その際Ａｑ
が潤滑剤の役目をする。一方、モータステータ１３をリ
ード線１６に電流を流すことで励磁し、モータロータ８
にＤ又はＥ方向へ回転力を与える。その結果、前記軸受
装置を介して回転軸７はＤ又はＥ方向へ回転する。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、真空中での加熱脱
ガス時の熱膨張により、軸受装置に熱歪を生じ、その後
の軸受精度が低下する原因となっていた。
ガス時の熱膨張により、軸受装置に熱歪を生じ、その後
の軸受精度が低下する原因となっていた。
本発明は上記問題点に鑑み、加熱脱ガス時の熱膨張によ
る熱歪を生じにぐい軸受装置を提供するものである。
る熱歪を生じにぐい軸受装置を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の第１の発明は、保
持器に保持された球状の転動体と、円錐面を軸心と近づ
く方向で転動面の一部とした内輪と、前記内輪の第１の
円錐より大きい頂角で同一方向に傾斜した円錐面を軸心
と遠ざかる方向で転動面の一部としまた前記円錐面と逆
方向に広がる円錐面を外周とした外輪と、前記外輪およ
び前記内輪を与圧する第１及び第２の弾性体とからなる
ものである。
持器に保持された球状の転動体と、円錐面を軸心と近づ
く方向で転動面の一部とした内輪と、前記内輪の第１の
円錐より大きい頂角で同一方向に傾斜した円錐面を軸心
と遠ざかる方向で転動面の一部としまた前記円錐面と逆
方向に広がる円錐面を外周とした外輪と、前記外輪およ
び前記内輪を与圧する第１及び第２の弾性体とからなる
ものである。
また、本発明の第２の発明は、前記第１及び第２の弾性
体の表面にセラミックス被覆を施したものである。
体の表面にセラミックス被覆を施したものである。
また、本発明の第３の発明は、前記第１及び第２の弾性
体を形状記憶合金製にしたものである。
体を形状記憶合金製にしたものである。
作 用
本発明の第１の発明の作用は、内輪、外輪及び転動体の
熱膨張に伴い、内輪及び外輪のそれぞれの円錐面に沿っ
て転動体及び外輪が転動体の挟持空間が拡大する回転軸
の軸心に沿った方向へ移動し、各部の熱歪を極力抑える
ことができる。
熱膨張に伴い、内輪及び外輪のそれぞれの円錐面に沿っ
て転動体及び外輪が転動体の挟持空間が拡大する回転軸
の軸心に沿った方向へ移動し、各部の熱歪を極力抑える
ことができる。
また、本発明の第２の発明の作用は、外輪及び内輪に与
圧をかける第１及び第２の弾性体の表面にセラミックス
被覆を施すことにょシ、真空中での第１及び第２の弾性
体からのガス放出を防ぐことができる。
圧をかける第１及び第２の弾性体の表面にセラミックス
被覆を施すことにょシ、真空中での第１及び第２の弾性
体からのガス放出を防ぐことができる。
また、本発明の第３の発明の作用は、第１及び第２の弾
性体を形状記憶合金製にすることにより、ある設定温度
以上になると内輪及び外輪への与圧を自己解除すること
ができ、熱膨張時の与圧による熱歪をさらに抑えること
ができる。
性体を形状記憶合金製にすることにより、ある設定温度
以上になると内輪及び外輪への与圧を自己解除すること
ができ、熱膨張時の与圧による熱歪をさらに抑えること
ができる。
実施例
以下本発明の第１の実施例の軸受装置について、図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第１図は本発明の第１の発明の実施例における軸受装置
、第２図は第１図のＦ−Ｆ矢視断面図である。また、第
３図は本発明の軸受装置の応用例である真空モータの断
面図である。
、第２図は第１図のＦ−Ｆ矢視断面図である。また、第
３図は本発明の軸受装置の応用例である真空モータの断
面図である。
第１図、第２図及び第３図において、１７は外輪に与圧
を加えるだめの第１の弾性体、１８は内輪に与圧を加え
るための第２の弾性体、１９はフロントフレート、２０
ｉフロントプレート１９をハウジング１２に固定するた
めのボルト、２１は第１の円錐面、２２は第２の円錐面
、２３は第３の円錐面、２４はリアプレート、２６はピ
ン、２６は弾性体であり、ビン２５及び弾性体２６によ
りブロック１４にリアプレート２４を密着させる。
を加えるだめの第１の弾性体、１８は内輪に与圧を加え
るための第２の弾性体、１９はフロントフレート、２０
ｉフロントプレート１９をハウジング１２に固定するた
めのボルト、２１は第１の円錐面、２２は第２の円錐面
、２３は第３の円錐面、２４はリアプレート、２６はピ
ン、２６は弾性体であり、ビン２５及び弾性体２６によ
りブロック１４にリアプレート２４を密着させる。
真空中での加熱脱ガス時の熱膨張により、内輪４及び外
輪５及び転動体３の各部の寸法が増大する際、内輪４は
発生する熱応力が第２の弾性体１８の与圧に打ち勝った
分だけスラスト方向へ膨張可能である。また外輪５は発
生する熱応力が第１の弾性体１７の与圧に打ち勝った分
だけ第３の円錐面２３に沿ってスラスト及びラジアル方
向同時に膨張可能である。ゆえに、内輪４及び外輪６に
はさまれた転動体３は第１の円錐面２１及び第２の円錐
面２２に沿って挟持空間が拡大される軸方向に移動する
ことができ、各部のｔへ歪を極力抑えることができる。
輪５及び転動体３の各部の寸法が増大する際、内輪４は
発生する熱応力が第２の弾性体１８の与圧に打ち勝った
分だけスラスト方向へ膨張可能である。また外輪５は発
生する熱応力が第１の弾性体１７の与圧に打ち勝った分
だけ第３の円錐面２３に沿ってスラスト及びラジアル方
向同時に膨張可能である。ゆえに、内輪４及び外輪６に
はさまれた転動体３は第１の円錐面２１及び第２の円錐
面２２に沿って挟持空間が拡大される軸方向に移動する
ことができ、各部のｔへ歪を極力抑えることができる。
次に、本発明の第２の発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第４図（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２の発明の実施例
における軸受装置の応用例である真空モータにおける外
輪及び内輪を与圧する第１及び第２の弾性体の一例の断
面図を示す。１７及び１８は、第１及び第２の弾性体、
２７及び２８はセラミックス被覆である。
における軸受装置の応用例である真空モータにおける外
輪及び内輪を与圧する第１及び第２の弾性体の一例の断
面図を示す。１７及び１８は、第１及び第２の弾性体、
２７及び２８はセラミックス被覆である。
また、本発明の第３の発明の実施例は、第４図（ａ）及
び（１））の第１及び第２の弾性体１７及び１８を形状
記憶合金製とすると共に表面にセラミックス被覆を施す
ものである。
び（１））の第１及び第２の弾性体１７及び１８を形状
記憶合金製とすると共に表面にセラミックス被覆を施す
ものである。
発明の効果
以上述べたように、本発明の第１の発明によれば軸受装
置の内輪、外輪のそれぞれの円錐面に沿って転動体及び
外輪が転動体の挟持空間が拡大する回転軸の軸心方向へ
移動可能の構成にする事により、真空中での加熱脱ガス
時の熱膨張に伴なう各部の熱歪を極力抑えることができ
、軸受の信頼性を高める上でその効果は犬なるものであ
る。
置の内輪、外輪のそれぞれの円錐面に沿って転動体及び
外輪が転動体の挟持空間が拡大する回転軸の軸心方向へ
移動可能の構成にする事により、真空中での加熱脱ガス
時の熱膨張に伴なう各部の熱歪を極力抑えることができ
、軸受の信頼性を高める上でその効果は犬なるものであ
る。
また、本発明の第２の発明によれば、本発明の軸受装置
を応用した真空モータにおいて外輪及び内輪を与圧する
第１及び第２の弾性体の表面にセラミックス被覆を施し
たことにより真空中でのガス放出を抑えることができ、
真空モータに必要なガスの不放出を実現することができ
る。
を応用した真空モータにおいて外輪及び内輪を与圧する
第１及び第２の弾性体の表面にセラミックス被覆を施し
たことにより真空中でのガス放出を抑えることができ、
真空モータに必要なガスの不放出を実現することができ
る。
また、本発明の第３の発明によれば、本発明の軸受装置
を応用した真空モータにおいて外輪及び内輪に与圧する
第１及び第２の弾性体の材質を形状記憶合金とする事に
より、ある設定温度以上になると外輪及び内輪への与圧
を自己解除する事ができるので、熱膨張時の与圧による
熱歪をさらに抑えることができる。
を応用した真空モータにおいて外輪及び内輪に与圧する
第１及び第２の弾性体の材質を形状記憶合金とする事に
より、ある設定温度以上になると外輪及び内輪への与圧
を自己解除する事ができるので、熱膨張時の与圧による
熱歪をさらに抑えることができる。
第１図は本発明の第１の実施例における軸受装置の縦断
面図、第２図は第１図のＦ−Ｆ断面矢視図である。第３
図は本発明の第１の実施例における軸受装置を応用した
真空モータの縦断面図、第４図（ａ）、 （ｂ）は本発
明の第２および第３の実施例における軸受装置の外輪及
び内輪を与圧する第１及び第２の弾性体の断面図、第６
図は従来の軸受装置の断面図、第６図は第６図のＡ−Ａ
断面矢視図、第７図は従来の真空モータの縦断面図であ
る。 １．２・・・・・・保持器、３・・・・・・転動体、４
・・・・・・内輪、５・・・・・・外輪、１了・・・・
・・第１の弾性体、１８・・・・・・第２の弾性体、２
１・・・・・・第１の円錐面、２２・・・・・・第２の
円錐面、２３・・・・・・第３の円錐面、２了、２８・
・・・・・セラミックス被膜。 Ｃ′りすも一葛 ら 、 ％ 〜 〜 第４図 第 ５ 図 １，５６図
面図、第２図は第１図のＦ−Ｆ断面矢視図である。第３
図は本発明の第１の実施例における軸受装置を応用した
真空モータの縦断面図、第４図（ａ）、 （ｂ）は本発
明の第２および第３の実施例における軸受装置の外輪及
び内輪を与圧する第１及び第２の弾性体の断面図、第６
図は従来の軸受装置の断面図、第６図は第６図のＡ−Ａ
断面矢視図、第７図は従来の真空モータの縦断面図であ
る。 １．２・・・・・・保持器、３・・・・・・転動体、４
・・・・・・内輪、５・・・・・・外輪、１了・・・・
・・第１の弾性体、１８・・・・・・第２の弾性体、２
１・・・・・・第１の円錐面、２２・・・・・・第２の
円錐面、２３・・・・・・第３の円錐面、２了、２８・
・・・・・セラミックス被膜。 Ｃ′りすも一葛 ら 、 ％ 〜 〜 第４図 第 ５ 図 １，５６図
Claims (4)
- （１）保持器に保持された球状の転動体と、前記転動体
に接し回転軸の軸心上に頂点を有する第１の円錐の一部
の第１の円錐面を前記軸心に近づく方向で転動面の一部
とした内輪と、前記転動体に接し前記回転軸の軸心上で
前記内輪の第１の円錐と同一方向に頂点を有し前記内輪
の第１の円錐より大きい頂角を有する第２の円錐の一部
の第２の円錐面を前記軸心より遠ざかる方向で転動面の
一部としまた前記第２の円錐と対称方向で前記軸心上に
頂点を有する第３の円錐の一部の第３の円錐面を外周と
した外輪と、前記外輪および前記内輪を与圧する第１及
び第２の弾性体とからなる軸受装置。 - （２）保持器に保持された球状の転動体と、前記転動体
に接し回転軸の軸心上に頂点を有する第１の円錐の一部
の第２の円錐面を前記軸心に近づく方向で転動面の一部
とした内輪と、前記転動体に接し前記回転軸の軸心上で
前記内輪の第１の円錐と同一方向に頂点を有し前記内輪
の第１の円錐より大きい頂角を有する第２の円錐の一部
の第２の円錐面を前記軸心より遠ざかる方向で転動面の
一部としまた前記第２の円錐と対称方向で前記軸心上に
頂角を有する第３の円錐の一部の第３の円錐面を外周と
した外輪と、前記外輪および前記内輪を与圧する第１及
び第２の弾性体とからなり、前記第１及び第２の弾性体
の表面にセラミックス被覆が施されていることを特徴と
する軸受装置。 - （３）保持器に保持された球状の転動体と、前記転動体
に接し回転軸の軸心上に頂点を有する第１の円錐の一部
の第１の円錐面を前記軸心に近づく方向で転動面の一部
とした内輪と、前記転動体に接し前記回転軸の軸心上で
前記内輪の第１の円錐と同一方向に頂点を有し前記内輪
の第１の円錐より大きい頂角を有する第２の円錐の一部
の第２の円錐面を前記軸心より遠ざかる方向で転動面の
一部としまた前記第２の円錐と対称方向で前記軸心上に
頂角を有する第３の円錐の一部の第３の円錐面を外周と
した外輪と、前記外輪および前記内輪を与圧する第１及
び第２の弾性体とからなり、前記第１及び第２の弾性体
を形状記憶合金製としたことを特徴とする軸受装置。 - （４）第１及び第２の弾性体は、表面にセラミックス被
覆が施されている特許請求の範囲第３項に記載の軸受装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14475187A JPS63308213A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14475187A JPS63308213A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308213A true JPS63308213A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15369527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14475187A Pending JPS63308213A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308213A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6487916A (en) * | 1987-08-14 | 1989-04-03 | Skf Gmbh | Bearing device |
| CN101922507A (zh) * | 2010-09-21 | 2010-12-22 | 上海机床厂有限公司 | 一种能消除游隙的滚动轴承装置 |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP14475187A patent/JPS63308213A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6487916A (en) * | 1987-08-14 | 1989-04-03 | Skf Gmbh | Bearing device |
| CN101922507A (zh) * | 2010-09-21 | 2010-12-22 | 上海机床厂有限公司 | 一种能消除游隙的滚动轴承装置 |
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