JPS6329408A - 誘電セラミツク体及びその製法 - Google Patents

誘電セラミツク体及びその製法

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JPS6329408A
JPS6329408A JP62173116A JP17311687A JPS6329408A JP S6329408 A JPS6329408 A JP S6329408A JP 62173116 A JP62173116 A JP 62173116A JP 17311687 A JP17311687 A JP 17311687A JP S6329408 A JPS6329408 A JP S6329408A
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powder
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curie temperature
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JP62173116A
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ガレブ・ハミド・マヘル
スーザン・エリザベス・ステフアニク
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Sprague Electric Co
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    • H01G4/258Temperature compensation means
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    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はチタン酸バリウム多相を有するセラミック体を
備えるコンデンサーに関し、よシ詳細には異なってドー
プされたチタン酸バリウムの2種の粉末を混合し、ボデ
ィに成形し、焼結して2種類の型のチタン酸バリウム粒
子間の部分反応のみをともない熟成することにより誘電
セラミック体を造ることに関する。
純粋な多結晶質チタン酸バリウムは誘電定数を有してお
plこの誘電定数は125℃のキュIJ−温度で犬ぎな
突起を示す他は温度に関して比較的変化しない。誘電定
数は室温でよりキューリー温度で著しく大きい。高い誘
電定数が必要な所望の温度、例えば25℃に突起とキュ
ーリー温度を移動するためのキューリー点シフターでチ
タン酸バリウムをドープすることは公知である。キュー
リー点低下シフターはニオブ、ランタン、ストロンチウ
ム、ジルコニウム等テある0他方、チタン酸バリウム中
に少量の鉛又はイツトリウムのドープ剤としての添加は
キューリー温度を上昇させる。
コンデンサー誘電体として使用するためのドープ多結晶
質チタン酸バリウムざディは純粋なチタン酸バリウム(
又は選択的にBaCO3及びTlO2のようなチタン酸
バリウムの前駆物質)の粉末とドープカチオン、例えば
Nb+の前駆物質、例えばNb2O5の粉末を混合し、
次いで該混合物を型に圧縮するか、又は粉末混合物のボ
ディを他の方法で成形し、ボディを熱処理し、ドープ剤
を反応させて、チタン酸バリウムの結晶粒子中に徐々に
入れることにより製造可能である。”小さな゛カチオン
Nb+5はドープ剤として結晶格子中の小ざなチタンカ
チオン(Tx”)と置きかわる。゛大きな”カチオンL
a+3  はドープ剤として結晶格子中の大きなバリウ
ムカチオン(Ba+2)  と置きかわる。そのような
ドープ剤置換及びその効果はバーン(Burn)により
米国特許第4283753号明細書(1981年8月1
1日特許交付)中により詳しく説明されている。
熱処理が、チタン酸バリウム粒子のそれぞれ及びすべて
の範囲内でドープ剤の完全で均質な浸透が起こるために
、十分長くかつ十分熱い時、高い誘電定数(K)が得ら
れるが、Kの温度係数(TC)は市場での興味の対象の
温度範囲を越えて著しく変化する。
より平担なTCは、広く適用はれている米商業規格に反
映しているように、しばしば必要と嘔れ、この米商業規
洛はX7Rと呼ばれ、これはKにおける変化が、−55
℃から125℃までの温度範囲にわたって25℃での値
から±15%より大きくないことを要求している。主に
チタン酸バリウムのセラミック組成物はこの規格に合う
ように作られている。
初期におけるX7Hの組成物はプロコボヴイツツ(Pr
okopowicz )により米国特許第323179
9号明細曹(1966年1月25日交付)中に記載てれ
ており、ここではド−プ剤、例えばニオブをチタン酸バ
リウムと共に、ガラス含有焼結助剤を用いることなく2
620生、(1271℃)で1時間の焼結で反応きせた
。プロコポヴイツツ特許における焼結時での反応は、各
粒子すべてにわたってのニオブドープ剤の均質な分散を
達成するためには不完全であり、十分に長く加熱されて
いないか、又は十分に熱くなかったと思われ、更には本
質的に粒子成長はなかった。
小さなプロコボヴイツツ粒子のそれぞれが粒子表面近く
に高濃度のニオブドープ剤を有しており、この濃度は粒
子の中心にむけて急激に減少し、中心ではほぼゼロにな
ると仮定される。
このモデルにおいて、粒子表面のキューリー点は最も低
く、キューIJ −温度は中心が近づくにつれ上昇する
。このようにしてそれぞれすべてのチタン酸バリウム粒
子は同様にドープされ、それぞれはその温度の関数とし
て同様に緩和に変化する誘電定数を有する。しかしなが
ら、該組成物は達せられる特別なTCが焼結条件及び出
発チタン酸バリウム粒子径に強く左右きれるという欠点
を有する。
最近、テユ(Chu )等によって米国特許第4540
676号明細書(1985年9月10日交付)中に記載
されたX7Rの組成物は低い焼結温度を得るための焼結
助剤を含む以外はプロコボヴイツツの方法と全く同様で
ある。フラックス又は焼結助剤の添加は液相焼結を促進
するために公知であり、この際チタン酸バリウムは液体
フラックス中に溶け、同時に再結晶する。
そのような助剤、又はフラックスは焼結を低温で行なわ
せるか、又は焼結工程の速度を速める。
ここでも明らかに、それぞれすべてのチタン酸バリウム
粒子は同様に緩和に温度変化する誘電定数を有する。
X7Rセラミツクを作るための他の従来法はレイトン(
Layton )  により米国特許第4283752
号明細書(1981年8月11日交付)中に記載されて
おり、この方法は多分異なるキューリー温度を有する2
種類のセラミック粒子の混合物であるセラミック体を提
供する。公知例は、バリウム、ストロンチウム、鉛・ニ
オブ及びフラックスの化合物を含む出発物質の混合物か
ら焼結の際に液体フラックスから沈殿する斜方面体晶系
層結晶材料と正方晶系層結晶材料との混合物からなる。
発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は製造においてよシ予測可能であり、制御
可能である、高い誘電定数及びなめらかな温度係数を示
す、部分的に反応したセラミック誘電材料全提供するこ
とである。
問題点を解決するための手段 本発明によれば、誘電体は10O0Cより高いキューリ
ー温度を有する、第1のチタン酸バリウム粉末(A)と
、口0Cより低いキューリー温圧を有する第2のチタン
酸バリウム粉末(B)、少量の、有利に4重量%より少
量のガラスボレート粉末(C)、及び有利に2(1/2
)l量%より少量の粉末焼結抑制剤(D)を混合し;混
合物のボディを形成し;該ボディを焼結して熟成するこ
とにより製造される。
抑制剤(D)はビスマス、チタン、アンチモン、ジルコ
ン、ハフニウムの酸化物及びこれらの温合物であってよ
い。該抑制剤は異なる粉末の隣接粒子間の反応を妨げ、
かつ限定する効果を有し、このことにより更に、限定さ
れた反応が、ボディ中に広く連続的な中間組成物のスペ
クトルを有し、かつ広い温度範囲にわたって誘電定数の
比較的平担な温度係数を有するセラミック粒子を生成す
るという効果を有している。
実施例 次に図面につき、本発明の実施態様を説明する。
第1図はウェファ−又はディスク型のセラミックコンデ
ンサーの断面図であり、 第2図はモノリシックセラミックコンデンサーの断面図
であり、かつ 第5〜7図は、独々のセラミック材料に関してKにおけ
る室温での値からの扁差を温度の関数として示したグラ
フ図である。すべてのグラ7i%K及び温度に関してそ
れぞれ同じ尺度を有する。
イくツカの実験ウェファ−型コンデンサーは第1図に示
したように作られた。ウェファ−ボディ10は出発セラ
ミック前駆物質粉末及び粉末フラックス、所望であれば
、有機ベヒクル及び″インダー媒体を合し、このスラリ
ー混合物を混練しスラリー中の粒子を均質に分散し1 
ドクターブレード法によシこのスラリーを注型してキャ
ストシートとし、該シートをカットし、約1cix I
c1x 0.5mm(厚さ)の生寸法を有する四角形ウ
ェファ−とし、かつ該ウェファ−を800℃に約7時間
加熱することにより乾燥するという従来の方法によシま
ず成形した。次いで、該四角ウェファー金(他に記載の
ない限り)1100℃で閉鎖坩堝中で熱処理した。次い
で、銀電極ペーストを各熟成セラミックウェファ−の2
つの大きい表面に適用し、800℃に加熱し、2つのコ
ンデンサー電極11及び12を形成した。
第2図に示した、いくつかの実験用ギーリシックコンデ
ンサーは次のような常用の工程により作られた。ベヒク
ル中で高熱処理チタン酸バリウムの前駆物質粉末と低熱
処理ガラスフラックスとを混合した。このベヒクルは基
本的にはキシレ重量%重量係及び酢駿アミル60重量係
の混合物であり、これにメタクリル酸ブチル4重量係及
びレシチ重量型量係が添加きれていた。
固体重量的70%を含有する、このスラリーヲ約6時間
混練した。
混練スラリーの継続的被覆はガラス基材上に適用され、
各被覆層を順次乾燥し、銀70%及びパラジウム60%
からなる電極ペーストラ各乾燥層上にスクリーン印刷し
た。次に継続する誘電層を適用する前に、電極ペースト
のスクリーンパターンを乾燥した。埋め込まれた電極2
1及び22を有する、第2図中に示したボディ20を積
層体から切断し、800℃に加熱し、閉鎖坩堝中でii
o口0cで2τ時間熱処理して熟成する。次いで、埋め
込まれた電極の縁が霧出する、ボディ20の端部に銀ペ
ーストを適用した。ボディを750℃で数分間熱処理し
銀端部25及び26を形成した。
平均粒径約1μの高純度コンデンサー品質チタン酸バリ
ウムを粉末ボレートがラスフラックス、Cd0・2Zn
O・B2034重量係と重量%。この出発粉末混合物を
前記方法によるウェファ−コンデンサーを作るために使
用した。温度の関数とシテ、該コンデンサーのキャパシ
タンスの測定は第6図中に示した曲線32を導いた、こ
の曲線32は処理温度の関数としてセラミックの誘電定
数の偏差をパーセンテージで表わしている。
フラックス中でのチタン酸バリウムの溶解及び再結晶は
粒子の表面に限定されており、粒子の中心は未変化で残
る。チタン酸バリウムに関する125℃というよく知ら
れたキューリー温度は、これよシ高い温度では結晶構造
が立方晶であり、これより低い温度では正方品である温
度を示す。キューリー温度(TC)は曲線32中のピー
ク温度に相応する。
第1図のウェファ−コンデンサーの第2の群はニオブド
ープチタン酸バリウム粉末と第1の群におけると同じボ
レートフラッフ24重量%とを出発物質として製造した
。ドープチタン酸バリウムは酸化バリウム、チタニア及
び炭酸二五 オブを秦酸化ニオブ(Nb205) 5.3重量%に相
応する量で混合することにより製造した。該混合物を1
230℃の温度で焼成した。焼成の際に、各ニオブ原子
はチタン酸バリウム格子に入り込み、チタン原子とかわ
る。平均粒径0.5〜1.0μのドープ粉末を製造する
ために、焼成温度は1190℃と1275℃の間である
ように抑制きれなければならないということが見い出き
れた。
生じたウェファ−コンデンサーは第6図中の曲線34に
より示されるような操作温度に対するKの偏差を示す。
このニオブドータ0チタン酸バリウムのTCは約−30
℃に移動した。
前記の両方のチタン酸バリウム誘電体において、ボレー
トフラックスは支配的なチタン酸バリウム層の粒子境界
で小畑な第2のガラス状層になった。支配的な結晶層と
ガラス層との間に同じように限定された反応があるとい
うことは明らかである、例えばキューリー温度に関して
全く効果がない。
第3の実験においては、第1の群のコンデンサーの粉末
出発材料(純粋BaTi○3及びフラックス4重量%)
と第2の群のコンデンサーにオブドーフ0BaTi03
及びフラックス4重量oj))の粉末出発材料とを混合
した。純粋BaTi○3粉末(A)の総量とニオブドー
プ粉末(B)の総量はA/(A+B+F)が0.6 t
l又は60%で、B/(A十B+F)が0.66又は3
6%であり、ここでFはフラックスの重量(4%)であ
る。
この6成分粉末混合物を第6群のコンデンサーを作るた
めの出発物質として使用した。操作温度の関数としてK
の特徴的な偏差パーセントは第4図中の曲線43によシ
示きれる。
曲線43は、出発材料である2種類のチタン酸バリウム
粉末のキューリー温度中間の、約+35℃というキュー
リー温度を示す。これはチタン酸バリウムと反応し、ド
ープしたニオブ1モルあたり、キューリー温度において
約500Cの低温温度への移動に達する。このようにし
て五 ニオブがニオブ約1.4モル%、先酸化ニオブ約1.9
重量%の量でチタン酸バリウム粒子のそれ故 それに等しく分乍したことは明らかである。
チタン酸バリウムはフラックスなしでは1100℃で焼
結しない。がラスフラックスが焼結を助ける機構は液相
焼結として知られており、ここでは融解フラックスの内
外でチタン酸バリウムの同時の溶解及び再結晶が生じる
。液相が焼結する間、ニオブドープ剤は液体フラックス
を介して粒子中に拡散し、粒子は再結晶する。
コンデンサーの第4の群である第2図のモノリシックコ
ンデンサーを製造したが、この際出発材料は純粋なりa
Ti○367重量%、ニオブ1モルBaTiO3及びボ
レートフラックス2重量%からなるほぼ同様な混合物で
あったが、ひとつまみ(1重量%)のチタニア粉末を加
えた。第4図の曲線45に示烙れたように操作温度の関
数としてのKにおける特徴的な偏差において著しい変化
が生じた。
第5群のモノリシックコンデンサーは第4番目の実験に
おける出発物質に更にBi2031重量%’(z添加し
たことにより作られた。これらのコンデンサーにおける
Kの偏差は一55℃から125℃の操作温度にわたって
著しく小さい。
チタニア及び三酸1ヒビスマスは焼結時に2種のチタン
酸バリウム層間の反応を抑制する。これらの1種以上の
抑制剤の影響下にボレートフラックスにより分離された
焼結チタン酸バリウム粒子が創潰され、この粒子は粒子
間の平均ニオブドープ剤度0〜5%の範囲を有している
と思われる。他の抑制化合物はアンチモン、タンタル、
ハフニウム及びゾルコンを含むことが予期きれる。しか
しながら、チタン含有化合物、チタン酸バリウムは抑制
剤として使用されないことは明らかである。別の実験に
おいては、付加的なチタン酸ビスマスは同様に全く抑制
効果を示さなかった。一般に、抑制剤は酸化物、炭解し
、抑制剤原子を残し、こうして゛抑制剤元素”、例えば
B1はチタン酸バリウムの表面と自由に反応する。
第6、第7及び第8実験ウェファ−コンデンサーはそれ
ぞれ5%ニオブドープチタン酸バリウム犯重量係、ボレ
ートフレックス2.5重量%及びチタニ重量型量係の出
発粉末混合物を使用した。コンデンサーの第6、第7及
び第8群の出発粉末において、それぞれB1゜03ゼロ
、Bi2O31,5重量%及びBi2O33重量%を添
加した。出発混合物の残りは純粋なチタン酸バリウムか
らなっている(それぞれ66.5重量%、65重量%及
び63.5重量%)。相応するΔに/に対Tの曲線57
.55及び53をそれぞれ第5図中に示す。ビスマスの
反応抑制効果が著しく大きいことがこれかられかる。
第6図中の曲線60はモノリシツクコンデンサーとして
第2図のように製造された第9群のコンデンサーの曲線
であり、特に所望な性能特徴を有している。Kは全昌度
範囲にわたって11%よシ大きく変化せず、25℃での
Kは2260である。大きなカチオンLa+3がキュー
リー温度降下ドープ剤として使用された。チタン酸バリ
ウム結晶において大きなカチオン位置でBa+2と置換
する。更に、鉛をキューリー温度上昇用ドーパ剤として
使用している。鉛は同様にBa+2イオンと等価Pb+
2としで置換する。
第2図のモノリンツクコンデンサーである第9群は(A
) PbO5重量%でシープされたチタン酸バリウム6
0重量%、(B)酸化ランタン7.5%でドープされた
チタン酸バリウム67.5重量%、(C)ボレートフラ
ンクス粉末1.5重量%、及び(D) Bi2O31,
0重量%の出発粉末混合物を有する。焼結の際にコンデ
ンサー漏れ抵抗を改良するためにチタン酸バリウムのそ
れぞれに炭酸マンガン0.1重量%を添加した。しかし
、このマンガンを効果的であるようにするためには粉末
A及びB中に、暁結しなければならない。これはキュー
リー温度にほぼ効果を与えない。
第2図のモノリシックコンデンサーである第10群は囚
純粋な(小量のマンガンを除いて)チタン酸バリウム5
9.4重量%、(B)酸化ランタン7.5重量%でドー
プきれたチタン酸バリウム粉末s7.si量%、(C)
ボレートフラックス粉末1.5M量係、及び(D) B
i2O31,6重量%の出発粉末混合物を有する。両方
の層A及びBは同様に炭酸マンガン0.5%等をも含有
する。
第7図の曲線70によって示されるように、これらのコ
ンデンサーのキャパシタンス及びKは全操作温度範Hに
わたって8%を越えて変化しない。これらのコンデンサ
ーは著しく小量く0.6ミル(15ミクロン)のりすい
活性誘電層及び埋め込まれた電標40個を有する。これ
らのコンデンサーのいくつかは110口0Cで2(1/
2)時間焼結てれるかわりに、110Q00で18時間
焼結した。これらの長時間熱処理コンデンサーの室温に
は7%上昇するが、%に/には第7図中の曲線73によ
って示されるようにあまり平担ではない。このことは焼
結条件における著しい変化にもかかわらず、コンデンサ
ー特性の著しい安定性を示す。これらのコンデンサーは
群4〜9のものと同様に無数層のセラミック材料を結合
してなり、これは部分的にのみ反応し、操作温度の関数
としてのキャパシタンスの所望の平担ζを供給する。こ
の安定性は製法の制御を確実にし、最終生成物中のキャ
パシタンス特性を断定することができるようにする。
焼結時間が目立って広い範囲に変化し℃も、このような
部分的に反応したセラミック組成物は安定で低いTCC
及びKを供給することができる。しかしながら、同じよ
うな安定性が、それぞれ10500011075℃11
10ロ0C及び1220℃で・焼結した例10と同じ組
成の(ただし、酸化ビスマス1.4重量%を使用)サン
フ0ルに関して、一定の焼結時間21時間で観祭された
ということる見い出したことは意外であった。
Kは110口0Cで熱処理した装置の値から、最高でわ
ずか12%変化し、TCCは1100℃で熱処理した価
から一55℃でわずか3易そして125℃で2%のみ変
化した。信じられな−・程CTTはほとんど変化しない
。製造パラメータの関数として非敏感性のこれらの表示
は理解されないが、特にX7R型セラミツクに関して通
常でなく所望な特性を示している。
本発明の実施において、ニオブ及びランタン以外のキュ
ーリー点降下ドーパ剤、例えばヒ素、ビスマス及びアン
チモンのようなものを使用可能である。同様に他の低融
点ガラスフラックスを使用可能であるが、ボレートフラ
ックスが(例えばシリケートヲ越えて)その低融点のた
めに有利であり、このことは焼結の間チタン酸バリウム
粒子のより完全な湿潤であると思われる。
本発明のセラミック体を有するコンデンサーを表わす第
6〜10群のコンデンサーは第1及び2群の比較コンデ
ンサーよりもより平担なキャパシタンスの温度保1!!
、を示す。
前記10実施例において、焼結体はすべて理論密度の約
95であり、優れた特性を有している。より高い温度は
一般により高い密度のボディを製造するが、1150℃
より高い温度では2種のチタン酸バリウム層の活性は、
Bi2O3のような抑制剤の更なる添加によっても抑制
することが困難な点まで増大する。ガラス焼結フランク
スの更なる添加において、高い密度を達成することがで
きる焼結温度が低下するということは十分に立証されて
いる。しかしながら、多量のフラックス量は低いKのよ
り大きい内部粒状ガラス状層を製造し、全体にわたるK
はこの際ひどく降下し、比例してX 7 Rffiボデ
ィとしての利用性は下がる。従って、本発明の方法にお
ける焼結温度は1000℃〜1150’Cの範囲に限定
され、フラックスは有利に1〜4重量%に限定てれる。
本発明のセラミックの製造に適用される2種の出発物質
チタン酸バリウム相の反応性はこれらの出発粉末の粒子
径に依存する。この依存性は容易に制御きれる。例えば
、出発粉末の2種の混合物のそれぞれは純粋なチタン酸
バリウム59.5重量%、前述のランタントープチタン
酸バリウム67.5重量%及びガラス1.5重量%を含
有するように製造された。両方のチタン酸バリウム粉末
は炭酸マンガン0.1重量%を用いて焼結時にトープさ
れた。最初の混合物の出発物質チタン酸バリウム粉末を
、第2の混合物に関するより高い温度で焼結し、最初の
混合物は1gあたり2.20m20表面積を有し、第2
の混合物は1gあたり1.86ff12の表面積を有し
た。
焼結時の反応性が、より小さい粒子粉末に関して犬であ
るので、第1の出発混合物には反応性抑制剤Bi2O3
1,9重量%を加え、第2の出発混合物にはBi2O3
1,4重量%だけを加えた。
第1の混合物から製造された焼結熟成ボディは2050
の室温Kを有し、−55℃で2%少なく、+125℃で
一り1%少ない。完全に同じ条件下に第2の混合物から
のボディは200口の誘電定数を有し、−55℃では1
%小きく、+125℃では一10係小嘔い。これらのデ
ーターはほとんど差異がなく、熟成体が形成される焼結
温度を減少するためにガラス焼結助剤を使用する時です
ら、粒子成長を制(財)するための焼結抑制剤B12o
3の効果を示している。
本発明のセラミック体に関してKのTCにおける所望の
平担さを得るために適用された焼結抑制剤の量は出発チ
タン酸バリウム粉末の粒径に依存しているが、ビスマス
約2.5重量%よりは 多量i%1150’cの温度での熱処理においてすらボ
ディを多孔性にすると予期されている。
【図面の簡単な説明】
第1図はウェファ−又はディスク型のセラミックコンデ
ンサーの断面図を示し、第2図はモノリシックコンデン
サーの断面図である。第5図〜第7図は種々の誘電セラ
ミック体に関して室温25℃でのに値からの偏差を温度
の関数として示したグラフ図であり、第3図〜第7図の
すべてのグラフのΔに/K (偏差(%))及び温度は
それぞれ同じ尺度を有する。第6図は実施例の第1群及
び第2群のコンデンサーの結果(比較例)を示すグラフ
図であり、第4図は実施例の第6群、第4群、第5群の
コンデンサーの結果を示すグラフ図であり、第5図は実
施例の第6群、第7群、第8群の結果を示すグラフ図で
あり、第6図は実施例の第9群の結果を示すグラフ図で
あり、第7図は第10群のコンデンサーの結果を示すグ
ラフ図である。 10.20・・・ボディ、11,12,21゜22・・
・電極、26・・・端部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、120℃より高いキューリー温度を有する第1のチ
    タン酸バリウム粉末A、0℃より低いキューリー温度を
    有する第2のチタン酸バリウム粉末B、少量のガラスボ
    レート粉末C、及び2(1/2)重量%より少量の粉末
    焼結抑制剤Dから成形された、多結晶質チタン酸バリウ
    ムと少量の内部粒状ボレートガラスからなる誘電セラミ
    ック体。 2、多結晶質チタン酸バリウム量が該セラミック体の9
    4重量%より多量である特許請求の範囲第1項記載の誘
    電セラミック体。 3、多結晶質チタン酸バリウムが、これと反応した、ビ
    スマス、チタン、鉛及びこれらの組合わせから選択され
    たドープ剤を含有する特許請求の範囲第1項記載の誘電
    セラミック体。 4、誘電定数が−55℃から125℃の操作温度にわた
    つて25℃での値から15%より大きく変化しない特許
    請求の範囲第1項記載の誘電セラミック体。 5、a)1200℃より高いキューリー温度を有する第
    1のチタン酸バリウム粉末A、0℃より低いキューリー
    温度を有する第2のチタン酸バリウム粉末B、少量のガ
    ラスボレート粉末C及び2(1/2)重量%より少量の
    粉末焼結抑制剤Dを混合することにより出発混合物を製
    造し; b)該出発混合物からボデイを成形し;かつc)該ボデ
    イを焼結する; ことからなる誘電セラミック体の製法。 6、抑制剤Dがチタン、ビスマス、及びこれらの組合わ
    せから選択された粉末状酸化物又は酸化物等価物である
    特許請求の範囲第5項記載の製法。 7、抑制剤Dがジルコン、ハフニウム、アンチモン、チ
    タン、ビスマス及びこれらの組合わせから選択された粉
    末状酸化物又は酸化物等価物である特許請求の範囲第5
    項記載の製法。 8、ガラスボレート粉末Cの量が出発混合物の4重量%
    より少量である特許請求の範囲第5項記載の製法。 9、チタン酸バリウム粉末Aは主に純粋であり、かつキ
    ューリー温度が125℃である特許請求の範囲第5項記
    載の方法。 10、チタン酸バリウム粉末Aは鉛でドープされており
    、かつキューリー温度が125℃より高い特許請求の範
    囲第5項記載の方法。 11、チタン酸バリウム粉末Bがニオブ及びランタンか
    ら選択されたカチオンでドープされている特許請求の範
    囲第5項記載の製法。 12、チタン酸バリウム粉末Bがニオブ、タンタル、ビ
    スマス、アンチモン、ヒ素、ランタン系列希土類元素の
    1種、及びこれらの組合わせから選択されたカチオンで
    ドープされている特許請求の範囲第5項記載の製法。 13、焼結を1000℃〜1150℃の範囲内にピーク
    を保持する温度で完了する特許請求の範囲第5項記載の
    製法。
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