JPH027166B2 - - Google Patents

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JPH027166B2
JPH027166B2 JP56128269A JP12826981A JPH027166B2 JP H027166 B2 JPH027166 B2 JP H027166B2 JP 56128269 A JP56128269 A JP 56128269A JP 12826981 A JP12826981 A JP 12826981A JP H027166 B2 JPH027166 B2 JP H027166B2
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JP
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plzt
dielectric
lead
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antiferroelectric
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JP56128269A
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Hamido Maheru Garebu
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Sprague Electric Co
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Sprague Electric Co
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【発明の詳細な説明】
本発明は鉛−ランタン−ジルコネート−チタネ
ート(PLZT)磁器コンデンサの製法より詳細に
は遊離酸化鉛を除去することによる該コンデンサ
の製法およびこの方法により製造されるコンデン
サに関する。 銀をドーピングしたPLZTコンデンサ用誘電体
についてカナダ国特許第1028399号明細書(1978
年3月21日発行)に記載されている。該明細書に
開示された方法はPLZT出発物質をピーク温度
1232℃で焼成し、銀およびガラスを添加し、コン
デンサボデイを形成し、かつ1038〜1121℃で焼結
することより成る。 米国特許第4135224号明細書(1979年1月16日
発行)では三酸化ビスマスを焼成したPLZT材料
に添加して必要焼結温度を低下させ、かつ焼結時
における銀のPLZT粒子中への混合を促進する。
十分なち密化はガラスが添加されなかつた場合に
は1150℃の低いピーク焼結温度で達成された。 カナダ特許第1096604号明細書(1981年3月3
日発行)ではより高い誘電率を達成するために出
発物質にバリウムが添加された。該明細書中では
強誘電性誘電体はジルコン酸鉛およびチタン酸バ
リウムから成ると定義されており、その際鉛の
0.07〜0.16モル部がランタンによつて置換され、
ジルコン酸塩の0.10〜0.40モル部がチタン酸塩に
よつて置換され、かつバリウム対鉛の原子比が
0.015〜0.39である。 本発明において“鉛−バリウム−ランタン−ジ
ルコネート−チタネートの反強誘電性化合物”な
る用語は前記のように定義され、かつ限定された
化合物のみを包含するものと解釈すべきである。
カナダ特許第1096604号明細書と同様に本発明の
誘電性化合物は有利に銀およびビスマスがドーピ
ングされている。 本発明の特徴によれば、広い動作温度範囲にわ
たつてのKの安定性を損わずに高い誘電率(K)を有
する反強誘電性誘電体を製造する方法が得られ
る。もう1つの特徴によれば遊離酸化鉛を含まな
いPLZT磁器コンデンサが得られる。 本発明によればPLZT磁器コンデンサは、ビス
マスを出発物質中に含ませ、低温で焼成し、閉鎖
容器内でコンデンサボデイを焼結し、次いで該ボ
デイを純鈍して遊離酸化鉛を除去することによつ
て製造される。 添付図面は本発明の実施形を示したものであ
る。 一般に本発明の磁器コンデンサは、銀およびビ
スマスをドーピングされた鉛−バリウム−ランタ
ン−ジルコネート−チタネートの単一反強誘電性
化合物の先駆物質の粉末ブレンドを形成し、この
ブレンドを1130℃よりも低い温度で焼成し、焼成
化合物を粉末化し、粉末にされた化合物のボデイ
を形成し、かつボデイを閉鎖容器内で焼結するこ
とにより製造される。引続き焼結体を1000℃を下
回る温度で焼鈍してボデイから遊離酸化鉛を駆出
する。少なくとも2つの間隔を置いた電極を焼結
体の両面に施すかまたは焼結の前にボデイ内に埋
めてもよい。 少量のビスマス、例えばBi2O31/2重量%を
PLZT出発物質に添加すると低い焼成温度の使用
を可能にし、これにより完全な反応および出発物
質の固溶体が得られることが判明した。 このようなビスマスの使用はまた有利に焼成さ
れたPLZT化合物への銀ドーピング材の混入を促
進する。本発明では出発のPLZT材料は鉛に富ん
でいる必要はない。実際にはこれらは出発物質中
で全体的な大/小カチオンバランスに一致する化
学量論的量で添加してよく、化学量論的量で添加
するのが有利である。ビスマスおよび銀原子は大
カチオンとしてこの系に入る。大カチオン及び小
カチオンという用語はセラミツク分野では長年使
われており、大カチオンとはイオン半径が0.9A
以上のものであり、小カチオンとはイオン半径が
0.9A以下のものを表わす[米国特許第3920781号
明細書、第2欄、27〜68行のLinus Pawlingの命
名参照]。 焼成時に粒子中で電荷バランスが達成される、
機構の少なくとも一つは結晶格子内の鉛空格子点
の形成を包含する。すなわち2個の大カチオンド
ナLa+3のそれぞれがPb+2カチオン2個の格子位
置を占め、および第3のPb+2が1個の空格子点
を残して除去される。こうして導入された2個の
ランタン原子に対して1個の鉛空格子点が結晶内
に存在し、かつこの鉛は焼成物質中に遊離酸化鉛
として出る。この種の機構はハートル(K.H.
Hardtl)およびヘニングス(D.Hennings)によ
つて記載されている〔“Distribution of A−Site
and B−Site Vacancies in(Pb、La)(Ti、Zr)
O3”、セラミツクス(Ceramics)、第55巻、第5
号所収。230〜231頁〕。 ビスマスの混入は同様の鉛の置き換えおよび鉛
空格子点の結果を与える。各銀(Ag+1)カチオ
ンの電荷はランタン(La+3)またはビスマス
(Bi+3)カチオンに対して1対1の割合で補償し、
したがつて粒子からの鉛の排除を減少させる性質
を有する。正味の遊離酸化鉛は焼成温度で溶融
し、かつ実際に出発物質の完全な反応が起きて、
化学量論的なPLZT粒子を形成するための焼成温
度を低下させる。損失重量測定から本発明の焼成
物質中の遊離酸化鉛は1.5重量%に達するが、し
かし一般的には0.2〜0.5重量%であることが確認
された。ビスマスを入れないで常用の高い温度で
焼成された物質は実質的に遊離酸化鉛を含まな
い。 遊離酸化鉛の存在は焼成時の反応の完了を助
け、そのために低い焼成温度を使用することがで
きる。低い焼成温度は有利である。なぜなら常用
の焼成温度では遊離酸化鉛は固化し、かつ焼成ケ
ーキを結合して破砕および粉末化を困難にするか
らである。焼成温度約1130℃以下ではこの問題は
著しく改善される。約1000℃を下回る焼成温度で
は出発物質の所望の完全な反応を達成するのが不
可能となり、その結果焼成は温度範囲1000℃〜
1130℃に限定される。 前記のカナダ国特許第1096604号明細書では少
量のチタン酸バリウムを反強誘電性PLZT誘電体
に添加することによりキヤパシタンスの温度係数
(TCC)およびキヤパシタンスの電圧係数に小さ
な変化を伴なうだけで高い誘電率が得られた。該
特許のコンデンサと比べて焼成の前にビスマスを
出発物質に混入する本発明方法により製造された
コンデンサはK対動作温度特性における所定のフ
ラツトさに対して大きな誘電率(K)を与えることが
できる。例えば本発明のコンデンサボデイは
K2000を有し、これは室温に対して−55℃〜120
℃で15%以内で変化する(エレクトロニク・イン
ダストリーズ・アソシエーシヨン(Electronic
Industries Association)によつて規定されたよ
うな、いわゆるX7R特性)。従来X7R特性を表示
したPLZTボデイは1700以下のKを有していた。 しかし特別な困難が低温焼成工程の結果として
現われた。低温焼成工程で反応しない少量の遊離
酸化鉛がコンデンサ誘電体の粒子間に小さな第2
の相として残り、寿命特性を著しく低下させる。
これはPbOが半導体の性質を示しやすい事実に帰
せられる。 遊離酸化鉛は焼結体を開放雰囲気中で焼鈍する
ことにより除去されることが判明した。この付加
的工程によれば、高温で焼成を実施する公知方法
により得られるものと同じかまたはより良い長い
寿命を有するコンデンサが得られる。公知の高温
焼成は焼成工程で遊離酸化鉛を駆出した。本発明
の方法では焼鈍の結果酸化鉛が粒子境界から雰囲
気へ除去されて、誘電率が約5%増加する。焼鈍
時の損失重量測定によれば、酸化鉛0.125〜1.5重
量%の損失が認められた。したがつて本発明の方
法における、PLZT出発物質へのビスマス添加、
低温での焼成、かつ後焼鈍工程の組合せによれば
きわめて有用な性質の組合せが得られる。 第1図のモノリシツク磁器コンデンサは磁器ボ
デイ10を有する。膜電極11が膜電極12とと
もに挿入されている。全電極がボデイ10中に埋
められている。導電性端子被覆13および14は
それぞれ電極11および12と接触している。リ
ード線15および16はろう接続17および18
によつてそれぞれ端子13および14に結合され
ている。第1図のコンデンサは隣接する、相互に
反対の極性を有する電極の間に3枚の活性磁器誘
電層を有しているが、本明細書中で記載される実
験用モノリシツクコンデンサはより多数の活性誘
電層を有している。 第2図のチツプコンデンサは磁器ボデイ20お
よびボデイ20の対向主面にそれぞれ膜電極21
および22を有している。チツプコンデンサは長
方形または円形であつてよく、かつ高電圧用には
主面の最大寸法と等しいかまたはこれを上回る厚
さを有していてよい。 実験用コンデンサを製造するために使用される
工程を以下に記載する: PbO55.0、La2O35.70、BaO3.40、Ag(金属)
0.68、Bi2O31.47、ZrO24.7およびTiO29.0(重量
%)から成る粉末ブレンドを製造した。ブレンド
をボールミル粉砕し、かつ790℃で5時間前焼成
した。得られたケーキを次いで機械的に顆粒に
し、かつ閉じた高純度のアルミニウム製さや中で
1090℃で3時間焼成した。焼成ケーキを砕き、か
つ噴射粉末化して微細な磁器粉末を形成した。 この物質のX線回折分析は単独のPLZT化合物
に相当し、かつまた引続き形成される、この物質
のち密な焼結体によつて示されるX線格子パラメ
ータに相当する格子パラメータを示した。焼成温
度を1010℃〜1120℃で変えて実施された一連の実
験においてこの低い範囲の焼成温度では出発物質
が焼成時に実質的に完全に反応し、かつ焼結体
(1100℃で焼結)の結晶構造が焼成ケーキのそれ
と実質的に変らないことを示す同じ結果が観察さ
れた。 前記の出発物質は化合物(Pb0.78 La0.11
Ba0.07 Ag0.02 Bi0.02)(Zr0.64 Ti0.36)O3に相
応し、この化合物は焼成時に鉛空格子点とともに
形成され、かつ構造的には引続き焼結された誘電
体の粒子と同じである。鉛の空格子点が存在する
ために前記の式によつて示されるよりも粒子中の
鉛は若干少ない。 この時点で焼成され、かつ粉末にされた粉末に
焼結助剤、例えばガラスまたは他の低融点焼結融
剤と混合してもしなくてもよい。少量のTiO2
たはNb2O5のような物質を、遊離酸化鉛と反応さ
せかつ結合するために焼成粉末に添加してもよ
い。しかしかかる添加剤を用いても若干の遊離鉛
は残り、かつ焼鈍は良好な寿命試験性能を確実に
するために必要であると認められる。かかる添加
剤はまた粒子間相を形成し、かつ誘電率を低下さ
せる。 焼成粉末または粉末混合物を主としてテレピ
ン、松油6%およびレシチン5%の有機結合剤媒
体と一緒に撹拌して固体約70%を含有する分散剤
またはスラリを作つた。このスラリを約10時間ボ
ールミル粉砕した。 8群の実験用モノリシツクコンデンサを、基材
に前記の粉砕したスラリの連続的な被覆を施し、
各層を順次乾燥させ、かつ銀70%およびパラジウ
ム粒子30%の電極ペーストを誘電性材料の最後の
乾燥層を除いて各層にスクリン印刷することによ
り製造した。各層は約0.025mm(1ミル)厚であ
る。 7枚の挿入された電極ペーストの膜を有する乾
燥層から成るこのアセンブリをさいの目に切つて
多数の立方体にし、かつ有機物質を除去するため
に870℃でベーキングした。さいの目切断後の各
ボデイにおいて第1図に示すように電極がボデイ
10の一方の切断端部におよびボデイ10の反対
の切断端部に交互に延びるように電極を配置し
た。ボデイを引続きジルコン酸鉛中に埋め、かつ
閉じたアルミナるつぼ中でピーク温度1100℃で
2.5時間焼結した。閉鎖容器焼結を焼結すべきボ
デイで実質的に充填された容器を用いるのが優れ
ている。それというのもその結果酸化鉛の活性な
雰囲気が維持され、これは焼結工程においてそれ
自体焼結助剤として作用する酸化鉛の保持をもた
らし、そのためにこの低い焼結温度においてち密
化が達成されるからである。 次いで遊離酸化鉛の除去は例1、3、5、7お
よび8の実験用焼結体を開放雰囲気で950℃で1
時間焼鈍することにより達成した。例2、4およ
び6のボデイは焼鈍しなかつた。 銀ペーストを焼結体の対向両端部に適用し、か
つボデイを5分間約760℃に加熱して硬化せる端
子、例えば第1図の13および14を形成する。
次いでリード線15および16を2つの銀端子1
3および14のそれぞれにろう付けした。 第2図に示すチツプコンデンサは前記のスラリ
をガラスプレート上に流延させて厚さ約0.051cm
(0.020インチ)にし、キヤスト層を乾かし、乾燥
した層を除去し、かつそれぞれ面積1.61cm2(0.25
平方インチ)を有する立方体片(例えば20)に切
断することにより形成する。次いで結合剤をベー
キングにより除去して、かつチツプを閉じたるつ
ぼ中で焼結する。銀ペーストを仕上げチツプの2
つの対向主面に適用し、かつチツプを1/2時間790
℃に加熱して第2図に示す電極21および22を
硬化する。 モノリシツクコンデンサの8ロツトに関する実
験用変数を表1と表2に示す。
【表】
【表】
【表】 各群の多数の実験用コンデンサに対して行なつ
た加速寿命試験の結果も表1および表2に挙げ
る。寿命条件は温度125℃に保たれた各コンデン
サに200ボルトを適用することより成つていた。
コンデンサの破損はコンデンサの正規化された絶
縁抵抗が30Ω−Fを下回つたこととして規定され
た。 今日の水準によれば、高品質の磁器コンデンサ
はこれらの条件下で破損に至るまで少なくとも
100時間の寿命を有する。 試験下の実際時間を表2に示す。第2、4およ
び6群の焼鈍しなかつたコンデンサは高い破損率
を示した、それというのも少量の遊離酸化鉛が焼
結体中に残留するからである、第4および5群の
コンデンサは完全にはち密にならず、かつ比較的
大きなチタン添加量のために僅かに多孔性であ
り、これが低い絶縁低抗および劣悪な寿命試験性
能の原因となつた。焼鈍工程が酸化鉛を駆出し
た、実験群1、3、7および8の焼鈍コンデンサ
には破損がなかつた。 全てのコンデンサが前記の標準X7R特性(す
なわち室温キヤパシタンスに関してキヤパシタン
スの変動が−55℃〜125℃の操作温度にわたつて
±15%以内にとどまる)に一致するキヤパシタン
スの温度係数(TCC)を示した。本発明のコン
デンサを代表してコンデンサの第1および6群に
それぞれ相当するTCC曲線31,36を第3図
に示す。
【図面の簡単な説明】
第1図はモノリシツク磁器コンデンサの実施例
の構造図であり、第2図はチツプコンデンサの実
施例の構造図であり、かつ第3図は本発明による
2つのコンデンサのキヤパシタンスの温度係数を
示す図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 磁器誘電体およびこれをはさむ2つの電極か
    ら構成される磁器コンデンサにおいて、該誘電体
    が構造的に式: (Pb0.78 La0.11 Ba0.07 Ag0.02 Bi0.02)(Zr0.64
    Ti0.36)O3によつて表わされる単一化合物の反
    強誘電性結晶粒子から成ることを特徴とする、
    PLZT磁器コンデンサ。 2 磁器誘電体およびこれをはさむ2つの電極か
    ら構成される磁器コンデンサであつて、該誘電体
    が構造的に式: (Pb0.78 La0.11 Ba0.07 Ag0.02 Bi0.02)(Zr0.64
    Ti0.36)O3によつて表わされる単一化合物の反
    強誘電性結晶粒子から成るPLZT磁器コンデンサ
    を製造するための方法において、 (a) 銀およびビスマスをドーピングした鉛−バリ
    ウム−ランタン−ジルコネート−チタネートの
    単一反強誘電性化合物の先駆物質から主として
    成る粉末ブレンドを形成し; (b) 閉鎖容器内で1130℃を下回るピーク温度で焼
    成して前記の反強誘電性化合物を形成し; (c) 焼成した化合物を粉末にし; (d) 粉末状化合物のボデイを形成し; (e) このボデイを閉鎖容器内で焼結し; (f) 焼結したボデイを1000℃を下回る温度で開放
    雰囲気で焼鈍してボデイ中に存在する遊離酸化
    鉛を駆出し;かつ (g) このボデイをはさんで2つの電極を形成する
    ことを特徴とする、PLZT磁器コンデンサの製
    法。 3 粉末ブレンドの形成工程において、大カチオ
    ン元素の鉛、バリウム、ランタン、銀およびビス
    マス5個の全量と小カチオン元素のチタンおよび
    ジルコニウム2個の全量とが等モル量であるよう
    に先駆物質を配分することを包含する、特許請求
    の範囲第2項記載の方法。 4 焼鈍を約950℃で実施する、特許請求の範囲
    第2項記載の方法。 5 粉末ブレンドがPbO、BaO、La2O3、ZrO2
    TiO2、AgおよびBi2O3から成る、特許請求の範
    囲第2項記載の方法。 6 ピーク焼成温度が1000℃よりも大きい、特許
    請求の範囲第2項記載の方法。 7 焼成を1050℃〜1120℃のピーク温度で実施す
    る、特許請求の範囲第2項記載の方法。
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JPS5762521A JPS5762521A (en) 1982-04-15
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