JPS6327078A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

ガスレ−ザ装置

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JPS6327078A
JPS6327078A JP61169546A JP16954686A JPS6327078A JP S6327078 A JPS6327078 A JP S6327078A JP 61169546 A JP61169546 A JP 61169546A JP 16954686 A JP16954686 A JP 16954686A JP S6327078 A JPS6327078 A JP S6327078A
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JP
Japan
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distance
power source
discharge tube
light
gas
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JP61169546A
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JPH0587155B2 (ja
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Norio Karube
規夫 軽部
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Fanuc Corp
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Fanuc Corp
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Publication date
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Priority to PCT/JP1987/000511 priority patent/WO1988000764A1/ja
Priority to US07/174,999 priority patent/US4907241A/en
Priority to DE8787904726T priority patent/DE3778902D1/de
Priority to EP87904726A priority patent/EP0317632B1/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスレーザ装置に関し、特に、放電管の形状を
発振効率を向上するようにしたガスレーザ装置に関する
。
〔従来の技術〕
ガスレーザ装置においては発振効率を如何に向上させる
かが大きな技術上のテーマであり、その技術の一つとし
て電子捕捉現象による放電正抵抗特性発生や陰極効果欠
如によるものがある。このためには、放電電源の周波数
を増加させることにより、電子捕捉現象を起こさせるこ
とが必要である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、高出力で高周波の電源を作成することは極めて
困難である。例えば、電子捕捉現象、即ち電子が放電管
の側壁に到達しないためには、次式に示すように放電管
の電極方向の距離ｄが半周波数あたりの電子の移動距離
！より相当大きい必要がある。
ｊ！＝２７’Ｅ／ａ）＝Ｖ＊　／πｆ　（ｄここで、各
文字は以下の値を表す。
１−−−−−−・電子の移動距離 μ、−−−−−−電子のモビリティ Ｅ・・−・−電界強度 ω−−−−−−・電源の角速度 ｆ−・・−電源の周波数 Ｖ、−電子の速度で、約８　Ｘ　１０　’　ｃｍ／５ｅ
ｃｄ・−・−放電管の側壁管の距離 この式から、ｄ＝２ｃｍとして、電子が側壁に衝突しな
いための最低の距離１＝ｄとしてｆを計算すると、 ｆ＝１．２４ＭＨｚ となり、これより相当高い周波数を必要とする本発明の
目的は上記問題点を解決し、電源の周波数をそれほど増
加させないで、放電管の形状を発振効率を向上するよう
にしたガスレーザ装置提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明では上記の問題点を解決するために、放電管内を
レーザ媒質ガスを循環させ、放電によって励起されたガ
スからレーザ光を発生させるように構成したガスレーザ
装置において、放電用の電源として高周波電源を設け、
前記放電管の電極方向の距離を前記高周波電源の周波数
と電子のモビリティから電子が側壁に衝突しない距離と
し、 複数の反射鏡を設け、 レーザ光を折り返し反射させて増幅するように構成した
ことを特徴とするガスレーザ装置採用した。
〔作用〕
電極方向の距離を大きくしたので、一定周波数では電子
の移動できる距離が増加し、これにより電子捕捉現象を
発生させることができ、又、この距離が大きくなったの
でレーザ光を反射折り返して増幅することができる。
〔実施例〕
以下本発明の一実施例を図面に基ずいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。図にお
いて、１は放電管であり、この内部にレーザ媒質ガスを
循環させ、放電を行わせ、レーザ媒質ガスを励起して、
レーザ光を増幅させる。２ａ及び２ｂは電極であり、電
極２ａは高周波電源に、電極２ｂはアースに接続されて
いる。３は高周波電源であり、放電用の高周波を発生さ
せ、整合用のりアクタンス４を経由して電極２ａに接続
される。５．６及び７は反射鏡であり、レーザ光を反射
する。８は出力鏡であリレーザ光の一部を透過、出力し
残部を反射する。９はレーザ光の光軸を示す。放電管の
電極方向の距離ｄは高周波電源３の周波数ｒで放電管１
の側壁に衝突即ち、電子捕捉現象が発生するように、充
分大きくとる。
又、この距離を利用して、レーザ光を折り返し反射させ
て、増幅度を上昇させることができる。
第２図は第１図の概略の外観図であり、同一の部分には
同一の符号が付しである。第２図に示すように放電管１
は矩形状としている。この放電管はセラミック等で作成
されている。又、電極２ａ及び２ｂは金属で放電管１に
接合されている。
以上の実施例では放電管１を矩形としたが、他の形状例
えば、楕円形等に構成することもできる。又、折り返し
数は２としたが、電極方向の距離ｄの値に対応して、折
り返し数を任意に増加させることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明では、放電管の電極方向の距
離を電子捕捉現象が発生するに充分な距離とし、レーザ
光を折り返し反射させ増幅させるように構成したので、
レーザ光の発振効率を上昇させることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の断面図、 第２図は第１図の概略の外観図である。 １−〜−−−−−放電管 ２ａ、２ｂ−・−・・−電極 ３−ｍ−−−・−高周波電源 ５．６．７−・−反射鏡 ８−−−−−−一出力鏡 ９・−・・−レーザ光の光軸 特許出願人　ファナック株式会社 代理人　　　弁理士　　服部毅巖 第１図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）放電管内をレーザ媒質ガスを循環させ、高周波放
    電によって励起されたガスからレーザ光を発生させるよ
    うに構成したガスレーザ装置において、 放電用の電源として高周波電源を設け、 前記放電管の電極方向の距離を前記高周波電源の周波数
    と電子のモビリティから電子が側壁に衝突しない距離と
    し、 複数の反射鏡を設け、 レーザ光を折り返し反射させて増幅するように構成した
    ことを特徴とするガスレーザ装置。
  2. （２）前記放電管の形状は矩形であることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置。
JP61169546A 1986-07-18 1986-07-18 ガスレ−ザ装置 Granted JPS6327078A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61169546A JPS6327078A (ja) 1986-07-18 1986-07-18 ガスレ−ザ装置
PCT/JP1987/000511 WO1988000764A1 (en) 1986-07-18 1987-07-15 Gas laser device
US07/174,999 US4907241A (en) 1986-07-18 1987-07-15 Gas laser device
DE8787904726T DE3778902D1 (de) 1986-07-18 1987-07-15 Gas-laseranordnung.
EP87904726A EP0317632B1 (en) 1986-07-18 1987-07-15 Gas laser device

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JPS6327078A true JPS6327078A (ja) 1988-02-04
JPH0587155B2 JPH0587155B2 (ja) 1993-12-15

Family

ID=15888481

Family Applications (1)

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US (1) US4907241A (ja)
EP (1) EP0317632B1 (ja)
JP (1) JPS6327078A (ja)
WO (1) WO1988000764A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3825871A1 (de) * 1988-07-29 1990-02-01 Leybold Ag Einrichtung fuer die anregung des gases eines gaslasers
DE4415242A1 (de) * 1994-04-30 1995-11-02 Wissenschaftlich Tech Optikzen Quasi-kontinuierlich emittierender UV-Laser, insbesondere Excimer-Laser
US5862164A (en) * 1996-07-26 1999-01-19 Zygo Corporation Apparatus to transform with high efficiency a single frequency, linearly polarized laser beam into beams with two orthogonally polarized frequency components orthogonally polarized
US6792026B2 (en) * 2002-03-26 2004-09-14 Joseph Reid Henrichs Folded cavity solid-state laser
EP1875565A1 (en) * 2005-03-01 2008-01-09 Elbit Systems Electro-Optical Elop Ltd. Monolithic solid state laser apparatus
US20110134946A1 (en) * 2005-03-01 2011-06-09 Elbit Systems Electro-Optics Elop Ltd. Lengthening the path of a laser beam in a monolothic solid state laser apparatus
US20110134945A1 (en) * 2005-03-01 2011-06-09 Elbit Systems Electro-Optics Elop Ltd. Lengthening the path of a pump beam in a monolothic solid state laser apparatus

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3777279A (en) * 1972-03-30 1973-12-04 United Aircraft Corp Deposition of power in a moving gas stream by electric discharge means
JPS579236B2 (ja) * 1974-07-05 1982-02-20
JPS5239393A (en) * 1975-09-25 1977-03-26 Hitachi Ltd Laser oscillation device
US4288756A (en) * 1977-06-17 1981-09-08 United Kingdom Atomic Energy Authority CO2 Laser
JPS56118379A (en) * 1980-02-22 1981-09-17 Nec Corp Gas laser tube
JPS58157186A (ja) * 1982-03-13 1983-09-19 Toshiba Corp ガスレ−ザ装置
JPS58158985A (ja) * 1982-03-16 1983-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 折返し型レ−ザ
US4596018A (en) * 1983-10-07 1986-06-17 Minnesota Laser Corp. External electrode transverse high frequency gas discharge laser
DE3403841A1 (de) * 1984-02-03 1985-08-08 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Gaslaser, insbesondere te-laser
JPS6175576A (ja) * 1984-09-21 1986-04-17 Mitsubishi Electric Corp ガスレ−ザ装置
EP0183023B1 (de) * 1984-11-24 1991-02-20 Trumpf GmbH & Co Gas-Laser mit Quereinkopplung von Hochfrequenzenergie
JPS61274378A (ja) * 1985-05-29 1986-12-04 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ発振装置

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EP0317632B1 (en) 1992-05-06
EP0317632A1 (en) 1989-05-31
EP0317632A4 (en) 1989-02-13
JPH0587155B2 (ja) 1993-12-15
US4907241A (en) 1990-03-06
WO1988000764A1 (en) 1988-01-28

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