JPS63257121A

JPS63257121A - 導電性被膜の形成方法

Info

Publication number: JPS63257121A
Application number: JP9073887A
Authority: JP
Inventors: 小田　晋司; 正藤本
Original assignee: Tokuyama Corp
Current assignee: Tokuyama Corp
Priority date: 1987-04-15
Filing date: 1987-04-15
Publication date: 1988-10-25
Anticipated expiration: 2009-12-12
Also published as: JPH06101253B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、ガラス、セラミック等の基材上に透明で導電
性を有する被膜を形成する方法に関するものである。

（従来の技術及び発明が解決しようとする問題点２透明
導電性被膜は、液晶表示器、窓ガラスの防曇用１面状抵
抗発熱体、帯電防止材、電磁波シールド材等に使用され
ている。この透明導電性被膜として酸化スズ、酸化イン
ジウム等が知られている。特に、耐薬品性や強度等の耐
久性が要求される場合には酸化スズが好適に用いられて
いる。

このよう女透明導電性被膜を形成する方法としては、ａ
ｎ（ＯＲ）２または５ｎ（ＯＯＣＲ）２で表わされる化
合物を基板に被着した後、熱分解する方法（特公昭４５
−７１８１号公報）やカグリル酸スズを主成分とするス
ズ化合物を基板に塗布した後、熱分解する方法（特開昭
５３−５８６９４号公報）等が知られている。

しかしながら、上記の方法を用いて形成された被膜は透
明ではあるものの、干渉色を有したシ、被膜の強度や基
材との密着性において劣るという問題点があった。

（問題点を解決するための手段）本発明者等は、透明導電性被膜について鋭意研究検討を
重ねた結果、被膜の原料としてアンチモン化合物と特定
のスズ化合物との混合物を用いることにより、無色透明
で化学的および物理的耐久性に優れた被膜が得られるこ
とを見出し、本発明を完成するに到ったｔｏすなわち、本発明は、アンチモン化合物と下記一般式（
Ｉ）（但し、ｎはＯ〜４の整数である）で示されるスズ化合物との混合物を基材に被着させた後
加熱するか又は、該混合物を加熱した基材に被着させる
ことを特徴とする導電性被膜の形成方法である。

本発明に於いて用いられるスズ化合物は、一般式（１）
で示される化合物でアシ、具体例として、シュウ酸スズ
（ｎ＝ｏ　）、マロン酸スズ（ｎ−１）、コ。

ハク酸スズ（ｎ＝２）、グルタル酸スズ（ｎ干３）、ア
ジピン酸スズ（ｎ＝４）がある。ｎが５以上になると、
基材、例えば、ガラスやセラミックス等に対する該スズ
化合物含有液の濡れが不良となシ、均一な膜厚の被膜が
得られなかった。

また、本発明に於いて用いられるアンチモン化・金物は
、被膜の導電性を向上させる為に添加される。該アンチ
モン化合物としては、後述する加熱１°；″温度で酸化
物となるものであれば特に限定されない。例えば、三塩
化アンチモン、五塩化アンチモン、ヘキサハイドロキシ
アンチモニルカリウムなどの無機アンチモン化合物；シ
ュウ酸アンチモン、トリアセトキシアンチモン、トリフ
ェニルアンチモン、酒石酸アンチモニルカリウムなどの
有機アンチモン化合物等が好適に用いられる。アンチモ
ン化合物の添加量は、アンチモン化合物およびスズ化合
物からなる混合物を基材に被着させる方法によって異な
るが、一般的には、アンチモン化合物とスズ化合物の合
計量を１００重量部とした場合、アンチモン化合物を０
．１〜５０重量部の範囲で用いることが好ましい。特に
好ましい範囲は１〜３０重量部である。

本発明で用いられる基材は、特に限定されず、導を性被
膜の形成に使用される公知の基材が用いられる。例えば
、ガラス、セラミックス等が挙げられる。

、上記したアンチモン化合物とスズ化合物との混□合物
を基材に被着する方法としては、下記の方法が使用され
る。

■　上記の混合物を基材に被着させた後加熱する方法。

■　上記の混合物を加熱した基材に被着させる方法。

アンチモン化合物とスズ化合物との混合物は、通常は溶
媒に溶解した後に基材に被着させる。溶媒は、アンチモ
ン化合物およびスズ化合物からなる混合物を溶解するも
のセあれば特に限定されない。例えば、水、アルコール
類、多価アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテ
ル類、カル？ン酸類および多価カルがン酸類等が挙げら
れる。

これらの溶媒は、用いる基材に応じて、単独或いは混合
物で使用することができる。該溶媒に、塩酸、硫酸、硝
酸等の酸を加えることは、溶解力向上の面で好ましい。

これらの酸は、通常０．０１〜５Ｎの濃度で使用するこ
とが好ましい。

上記アンチモン化合物およびスズ化合物からなる混合物
の溶液中の濃度は、０．２〜４０重量％が好ましい。

本発明に於けるアンチモン化合物及びスズ化合物の混合
物の基材への被着は、上記した混合物の溶液を公知の方
法、例えば、スプレー法、塗布法、スピナー法、キャス
ティング法及び浸漬法等の方法が何ら制限なく採用され
る。上記の混合物の溶液は、予め加熱しておいた基材に
被着させてもよく、また、基材に被着させた後に加熱し
ても良い。

加熱の温度は、３００℃以上が好ましく、通常は３５０
〜６００℃の範囲から選択される。加熱時間は、特に制
限されないが、一般には５分〜１時間の範囲から選ばれ
る。

（作用・効果）アンチモン化合物および一般式（１）で示されるスズ化
合物からなる混合物を加熱すると、熱分解によシ、酸化
アンチモンおよび酸化スズからなる酸化物被膜が形成さ
れる。該スズ化合物は、優れた被膜形成能を有しておシ
、薄くて均一な酸化物被膜が得られるものと考えられる
。従って、得られる被膜が透明でアシ、且つ、化学的お
よび物理］゛的耐久性が優れると推考される。

以上の説明よシ理解されるように、本発明によれば、無
色で機械的強度に優れた透明且つ高導電性波ｉｔ容易に
得ることが可能である。

（実施例）本発明を、実施例によシ具体的に説明する。

実施例１第１表に示したアンチモン化合物およびスズ化合物から
なる混合物を０．５　Ｎの塩酸を含む第１表に示した溶
媒に溶解した。アンチモン化合物とスズ化合物の混合物
の溶媒中における濃度を２００重量％した。こうして調
製した溶液を、予め５００℃に加熱されたスライドグラ
スにスプレーして、透明導電性被膜を得た。アンチモン
化合物の添加量は、アンチモン化合物とスズ化合物の合
計量１００重量部に対して、２重量部とした。

被膜の導電性に関しては、試験片上の１ｃｒｔ１角の・
５．正方形の一対の対辺に銀ペーストを塗布し、表面口
・′抵抗を測定した。透明性は、波長５５０　ｎｍにお
ける透過率を分光光度計で測定し、被膜のないものを１
００％として表示した。色は、目視によシ判定した。ま
た、物理的耐久性は、マルテンス引っかき試験器を使用
し、荷重５０ｇのときの引っかき幅で表示した。これら
の結果を第１表に示した。

実施例２第２表に示したアンチモン化合物およびスズ化合物から
なる混合物を、実施例１と同様な方法によシ、第２表に
示した溶媒に溶解した。アンチモン化合物とスズ化合物
の混合物の溶媒中における濃度を４重量％とした。こう
して調製した溶液を、スライドグラフにキャスティング
した後、ＳＯＯ℃に温度保持された炉内で１０分間焼成
し、透明′七導電性被膜を得た。アンチモン化合物の添
加量は、′、゛′ アンチモン化合物とスズ化合物の合計量１００重量部に
対して、１重量部とした。

被膜の導電性、透明性、色および物理的耐久性を、実施
例１と同様な方法によシ判定した。その結果を第２表に
示した。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アンチモン化合物と下記一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （但し、ｎは０〜４の整数である。）で示されるスズ化合物との混合物を基材に被着させた後
加熱するか又は、該混合物を加熱した基材に被着させる
ことを特徴とする導電性被膜の形成方法。