JPS6325340Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6325340Y2 JPS6325340Y2 JP20190583U JP20190583U JPS6325340Y2 JP S6325340 Y2 JPS6325340 Y2 JP S6325340Y2 JP 20190583 U JP20190583 U JP 20190583U JP 20190583 U JP20190583 U JP 20190583U JP S6325340 Y2 JPS6325340 Y2 JP S6325340Y2
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- JP
- Japan
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- valve
- exhaust system
- pressure
- tmp3
- pump
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- Expired
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20190583U JPS60110685U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20190583U JPS60110685U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60110685U JPS60110685U (ja) | 1985-07-26 |
JPS6325340Y2 true JPS6325340Y2 (ko) | 1988-07-11 |
Family
ID=30764124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20190583U Granted JPS60110685U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60110685U (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0720395Y2 (ja) * | 1988-02-03 | 1995-05-15 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 真空排気装置 |
JP4168642B2 (ja) * | 2002-02-28 | 2008-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体収納容器体及び処理システム |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP20190583U patent/JPS60110685U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60110685U (ja) | 1985-07-26 |
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