JP2515669B2 - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JP2515669B2 JP2515669B2 JP4179270A JP17927092A JP2515669B2 JP 2515669 B2 JP2515669 B2 JP 2515669B2 JP 4179270 A JP4179270 A JP 4179270A JP 17927092 A JP17927092 A JP 17927092A JP 2515669 B2 JP2515669 B2 JP 2515669B2
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- Japan
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- valve
- vacuum
- atmosphere
- chamber
- suction means
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ピストン、ダイヤフラ
ムなどの気体吸気手段の往復動で被真空機器を真空にす
る比較的小型の真空ポンプに関するものである。
ムなどの気体吸気手段の往復動で被真空機器を真空にす
る比較的小型の真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の真空ポンプは、図５に
示すように、真空ポンプ本体１０のポンプヘッド室１１
内を気体吸引手段１２が下方に移動すると、被真空機器
２４内の空気がパイプ２３、逆止弁２２を経て、さらに
真空室１５から連通口１９の真空側の第１弁２０を介し
て前記ポンプヘッド室１１へと吸気され、また、気体吸
引手段１２が上方へ移動すると、真空側の第１弁２０が
閉じて被真空機器２４内は真空のまま保持され、かつ大
気側の第２弁１８がわずかに開いてポンプヘッド室１１
が連通口１７、大気室１４を通して大気に吐出され、こ
れを繰り返して被真空機器２４を真空にする
示すように、真空ポンプ本体１０のポンプヘッド室１１
内を気体吸引手段１２が下方に移動すると、被真空機器
２４内の空気がパイプ２３、逆止弁２２を経て、さらに
真空室１５から連通口１９の真空側の第１弁２０を介し
て前記ポンプヘッド室１１へと吸気され、また、気体吸
引手段１２が上方へ移動すると、真空側の第１弁２０が
閉じて被真空機器２４内は真空のまま保持され、かつ大
気側の第２弁１８がわずかに開いてポンプヘッド室１１
が連通口１７、大気室１４を通して大気に吐出され、こ
れを繰り返して被真空機器２４を真空にする
【０００３】このような真空ポンプにおいて、気体吸引
手段１２が完全に停止してから、再起動するときには、
ポンプヘッド室１１に存在する残陰圧のため、真空起動
（大気圧−真空）が起動トルクより大きいと、起動不良
を起こす。そのため従来は、図５のようにアンローダ弁
２５を開いてポンプヘッド室１１内に大気を導入して残
陰圧を除いてから駆動する方法が取られていた。
手段１２が完全に停止してから、再起動するときには、
ポンプヘッド室１１に存在する残陰圧のため、真空起動
（大気圧−真空）が起動トルクより大きいと、起動不良
を起こす。そのため従来は、図５のようにアンローダ弁
２５を開いてポンプヘッド室１１内に大気を導入して残
陰圧を除いてから駆動する方法が取られていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のように、アンロ
ーダ弁２５を用いる方法では、このアンローダ弁２５が
電磁弁などで構成されるために、ポンプ自体の形状が大
きくなるとともに、コストが高くなり、しかも電磁弁の
制御回路が必要になるなどの問題があった。
ーダ弁２５を用いる方法では、このアンローダ弁２５が
電磁弁などで構成されるために、ポンプ自体の形状が大
きくなるとともに、コストが高くなり、しかも電磁弁の
制御回路が必要になるなどの問題があった。
【０００５】本発明は、大気室１４の連通口１７に臨ま
せて設けた大気側の第２弁１８にわずかな改良を加える
だけで、アンローダ弁２５が無くても確実に再起動可能
なものを得ることを目的とするものである。
せて設けた大気側の第２弁１８にわずかな改良を加える
だけで、アンローダ弁２５が無くても確実に再起動可能
なものを得ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空ポンプ本
体１０のポンプヘッド室１１を気体吸引手段１２が往復
動することにより、真空室１５から連通口１９の真空側
の第１弁２０を介しての前記ポンプヘッド室１１への吸
引と、このポンプヘッド室１１から連通口１７の大気側
の第２弁１８を介しての大気への吐出とを繰り返して被
真空機器２４を真空にする真空ポンプにおいて、前記大
気側の第２弁１８は、前記気体吸引手段１２の停止時に
自力でわずかに開口するように、すなわち、大気側の第
２弁１８は、ステンレススチール板からなり、連通口１
７が所定圧以下時に自力で開口するようにやや折曲して
形成したことを特徴とする真空ポンプである。
体１０のポンプヘッド室１１を気体吸引手段１２が往復
動することにより、真空室１５から連通口１９の真空側
の第１弁２０を介しての前記ポンプヘッド室１１への吸
引と、このポンプヘッド室１１から連通口１７の大気側
の第２弁１８を介しての大気への吐出とを繰り返して被
真空機器２４を真空にする真空ポンプにおいて、前記大
気側の第２弁１８は、前記気体吸引手段１２の停止時に
自力でわずかに開口するように、すなわち、大気側の第
２弁１８は、ステンレススチール板からなり、連通口１
７が所定圧以下時に自力で開口するようにやや折曲して
形成したことを特徴とする真空ポンプである。
【０００７】
【作用】気体吸引手段１２が下方へ移動すると、大気側
の第２弁１８が吸引されて、連通口１７を密着閉鎖す
る。さらに、気体吸引手段１２が下方へ移動すると、連
通口１９が開放し、かつ、逆止弁２２が開いて、被真空
機器２４内の空気がポンプヘッド室１１に吸引される。
気体吸引手段１２が上方へ移動すると、真空側の第１弁
２０が閉じて真空室１５および被真空機器２４の真空状
態が保持される。真空側の第１弁２０に代わって大気側
の第２弁１８が開いて、ポンプヘッド室１１が大気室１
４を介して大気に連通する。以上の動作を繰り返して被
真空機器２４は、所定の真空度が得られる。ここで、気
体吸引手段１２による真空作業を一旦停止すると、大気
側の第２弁１８は、もともと開口する側に折曲している
ので、自力で元に戻って連通口１７を開口してポンプヘ
ッド室１１を大気に開放する。そのため、従来のように
アンローダ弁２５を作動することなく、再起動を円滑に
行なうことができる。
の第２弁１８が吸引されて、連通口１７を密着閉鎖す
る。さらに、気体吸引手段１２が下方へ移動すると、連
通口１９が開放し、かつ、逆止弁２２が開いて、被真空
機器２４内の空気がポンプヘッド室１１に吸引される。
気体吸引手段１２が上方へ移動すると、真空側の第１弁
２０が閉じて真空室１５および被真空機器２４の真空状
態が保持される。真空側の第１弁２０に代わって大気側
の第２弁１８が開いて、ポンプヘッド室１１が大気室１
４を介して大気に連通する。以上の動作を繰り返して被
真空機器２４は、所定の真空度が得られる。ここで、気
体吸引手段１２による真空作業を一旦停止すると、大気
側の第２弁１８は、もともと開口する側に折曲している
ので、自力で元に戻って連通口１７を開口してポンプヘ
ッド室１１を大気に開放する。そのため、従来のように
アンローダ弁２５を作動することなく、再起動を円滑に
行なうことができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。図１において、１０は、円筒体、各筒体などの真
空ポンプ本体で、この真空ポンプ本体１０には、ピスト
ンなどの気体吸引手段１２が設けられ、また、この真空
ポンプ本体１０の端部には、互いに分離された大気室１
４と真空室１５が設けられている。このうち、大気室１
４は、大気に連通する大気口１６が開口され、かつ、前
記ポンプヘッド室１１に連通する連通口１７が穿設され
ている。また、真空室１５には、吸気口２１、パイプ２
３を介して被真空機器２４が結合されるとともに、前記
ポンプヘッド室１１に連通する連通口１９が穿設されて
いる。
する。図１において、１０は、円筒体、各筒体などの真
空ポンプ本体で、この真空ポンプ本体１０には、ピスト
ンなどの気体吸引手段１２が設けられ、また、この真空
ポンプ本体１０の端部には、互いに分離された大気室１
４と真空室１５が設けられている。このうち、大気室１
４は、大気に連通する大気口１６が開口され、かつ、前
記ポンプヘッド室１１に連通する連通口１７が穿設され
ている。また、真空室１５には、吸気口２１、パイプ２
３を介して被真空機器２４が結合されるとともに、前記
ポンプヘッド室１１に連通する連通口１９が穿設されて
いる。
【０００９】前記吸気口２１には、逆止弁２２が設けら
れ、前記連通口１９には、真空側の第１弁２０が設けら
れ、前記連通口１７には、大気側の第２弁１８が設けら
れている。前記大気側の第２弁１８と真空側の第１弁２
０とは、ステンレススチール板がピンなどによって、そ
れぞれ前記連通口１７と連通口１９とを開閉自在に設け
られており、真空側の第１弁２０は、連通口１９側に通
常は密着して、または、わずかに開口状態で設けられて
いる。前記大気側の第２弁１８は、本発明によるもの
で、図２に示すように、通常状態では、連通口１７の一
部がわずかに、例えば１〜２ｍｍ程度開口して、隙間２
６が形成される。すなわち、この大気側の第２弁１８
は、気体吸引手段１２による往復動時には、正常に開閉
するが、一旦気体吸引手段１２が停止したとき、大気側
の第２弁１８が自力で開放して隙間２６が形成され、大
気に連通するようになっている。
れ、前記連通口１９には、真空側の第１弁２０が設けら
れ、前記連通口１７には、大気側の第２弁１８が設けら
れている。前記大気側の第２弁１８と真空側の第１弁２
０とは、ステンレススチール板がピンなどによって、そ
れぞれ前記連通口１７と連通口１９とを開閉自在に設け
られており、真空側の第１弁２０は、連通口１９側に通
常は密着して、または、わずかに開口状態で設けられて
いる。前記大気側の第２弁１８は、本発明によるもの
で、図２に示すように、通常状態では、連通口１７の一
部がわずかに、例えば１〜２ｍｍ程度開口して、隙間２
６が形成される。すなわち、この大気側の第２弁１８
は、気体吸引手段１２による往復動時には、正常に開閉
するが、一旦気体吸引手段１２が停止したとき、大気側
の第２弁１８が自力で開放して隙間２６が形成され、大
気に連通するようになっている。
【００１０】以上のような構成において、ピストンロッ
ド１３により気体吸引手段１２が下方へ移動すると、図
３のように、大気側の第２弁１８のわずかな隙間２６か
ら空気が吸引され、この時大気側の第２弁１８も吸引さ
れて、連通口１７を密着閉鎖する。さらに、気体吸引手
段１２が下方へ移動すると、連通口１９が開放し、か
つ、逆止弁２２が開いて、被真空機器２４内の空気がパ
イプ２３、真空室１５、連通口１９を介してポンプヘッ
ド室１１に吸引される。つぎに、ピストンロッド１３に
より気体吸引手段１２が上方へ移動すると、真空側の第
１弁２０が閉じて真空室１５および被真空機器２４の真
空状態が保持される。このとき、被真空機器２４の真空
度が損なわれないように逆止弁２２が閉じる。同時に、
真空側の第１弁２０に代わって大気側の第２弁１８が開
いて、ポンプヘッド室１１が大気室１４を介して大気に
連通する。以上の動作を繰り返して被真空機器２４は、
所定の真空度が得られる。
ド１３により気体吸引手段１２が下方へ移動すると、図
３のように、大気側の第２弁１８のわずかな隙間２６か
ら空気が吸引され、この時大気側の第２弁１８も吸引さ
れて、連通口１７を密着閉鎖する。さらに、気体吸引手
段１２が下方へ移動すると、連通口１９が開放し、か
つ、逆止弁２２が開いて、被真空機器２４内の空気がパ
イプ２３、真空室１５、連通口１９を介してポンプヘッ
ド室１１に吸引される。つぎに、ピストンロッド１３に
より気体吸引手段１２が上方へ移動すると、真空側の第
１弁２０が閉じて真空室１５および被真空機器２４の真
空状態が保持される。このとき、被真空機器２４の真空
度が損なわれないように逆止弁２２が閉じる。同時に、
真空側の第１弁２０に代わって大気側の第２弁１８が開
いて、ポンプヘッド室１１が大気室１４を介して大気に
連通する。以上の動作を繰り返して被真空機器２４は、
所定の真空度が得られる。
【００１１】ここで、気体吸引手段１２の往復動を一旦
停止すると、ポンプヘッド室１１内に残陰圧が残る。し
かし、大気側の第２弁１８は、もともと開口する側に折
曲しているので、図１のように、自力で元に戻って連通
口１７を開口してポンプヘッド室１１を大気室１４、大
気口１６を介して大気に開放する。そのため、従来のよ
うにアンローダ弁２５を作動することなく、再起動を円
滑に行なうことができる。
停止すると、ポンプヘッド室１１内に残陰圧が残る。し
かし、大気側の第２弁１８は、もともと開口する側に折
曲しているので、図１のように、自力で元に戻って連通
口１７を開口してポンプヘッド室１１を大気室１４、大
気口１６を介して大気に開放する。そのため、従来のよ
うにアンローダ弁２５を作動することなく、再起動を円
滑に行なうことができる。
【００１２】前記実施例では、気体吸引手段１２をピス
トンで構成した場合を例としたが、図４に示すように、
ダイヤフラムによって構成することもできる。
トンで構成した場合を例としたが、図４に示すように、
ダイヤフラムによって構成することもできる。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、上述のように構成したので、
従来のようなアンローダ弁２５を用いる必要がない。し
たがって、アンローダ弁２５を構成する電磁弁などが不
要で、ポンプ自体の形状を小型化できるとともに、コス
トが低くなり、しかも電磁弁の制御回路も必要がない。
さらに、アンローダ弁２５が無くても確実に再起動可能
である。
従来のようなアンローダ弁２５を用いる必要がない。し
たがって、アンローダ弁２５を構成する電磁弁などが不
要で、ポンプ自体の形状を小型化できるとともに、コス
トが低くなり、しかも電磁弁の制御回路も必要がない。
さらに、アンローダ弁２５が無くても確実に再起動可能
である。
【図１】本発明による真空ポンプの第１実施例を示す停
止時の断面図である。
止時の断面図である。
【図２】図１における大気側の第２弁１８の拡大図であ
る。
る。
【図３】図１の作動時の断面図である。
【図４】本発明による真空ポンプの第２実施例を示す断
面図である。
面図である。
【図５】従来の真空ポンプの断面図である。
１０…真空ポンプ本体、１１…ポンプヘッド室、１２…
気体吸引手段、１３…ピストンロッド、１４…大気室、
１５…真空室、１６…大気口、１７…連通口、１８…大
気側の第２弁、１９…連通口、２０…真空側の第１弁、
２１…吸気口、２２…逆止弁、２３…パイプ、２４…被
真空機器、２５…アンローダ弁、２６…隙間。
気体吸引手段、１３…ピストンロッド、１４…大気室、
１５…真空室、１６…大気口、１７…連通口、１８…大
気側の第２弁、１９…連通口、２０…真空側の第１弁、
２１…吸気口、２２…逆止弁、２３…パイプ、２４…被
真空機器、２５…アンローダ弁、２６…隙間。
Claims (3)
- 【請求項１】 真空ポンプ本体１０のポンプヘッド室１
１を気体吸引手段１２が往復動することにより、真空室
１５から真空側の第１弁２０を介しての前記ポンプヘッ
ド室１１への吸引と、このポンプヘッド室１１から大気
側の第２弁１８を介しての大気への吐出とを繰り返して
被真空機器２４を真空にする真空ポンプにおいて、前記
大気側の第２弁１８は、前記気体吸引手段１２の停止時
に自力でわずかに開口するように形成したことを特徴と
する真空ポンプ。 - 【請求項２】 大気側の第２弁１８は、ステンレススチ
ール板からなり、この第２弁１８により開閉する連通口
１７が所定圧以下時に自力で開口するようにやや折曲し
てなる請求項１記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】 気体吸引手段１２は、ピストンまたはダ
イヤフラムからなる請求項１または２記載の真空ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4179270A JP2515669B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4179270A JP2515669B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340355A JPH05340355A (ja) | 1993-12-21 |
| JP2515669B2 true JP2515669B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=16062908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4179270A Expired - Lifetime JP2515669B2 (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2515669B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10247336A1 (de) * | 2002-10-10 | 2004-04-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen |
| CN103437977B (zh) * | 2013-08-21 | 2015-12-16 | 鑫隆电子（苏州）有限公司 | 一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀 |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP4179270A patent/JP2515669B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05340355A (ja) | 1993-12-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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