JPS63250833A - プロ−ブカ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路素子の製造過程において、半導体ウェ
ハの検査に用いられるプローブカードに関する。

〔従来の技術〕

プローブカードを用いた半導体ウェハの検査は。

一般に、当該カードの基板に半田付けされた多数の探針
（プローブ）を、半導体ウェハのポンディングパッドな
どに接触させて行われている。

その際に、当該接触状態を検出するために、これら探針
の他に、センサ用の針（プローブ）を当該カードに設け
ている。当該センサ用のグローブによるセンサ機構は、
一般に、２本のセンナ用プローブを交差接触させる形式
をとっており、そのうちの一本のセンサ用プローブが半
導体ウェハのスクライプエリアに当接するようになって
いる。

プローブカードが半導体ウェハに接触し、力を受けると
、前記センサ用プローブが、もう一本のセンサ用プロー
ブから離れ、当該熱れるか離れない程度のところで、セ
ンサのランプが点滅するようになっている。

なお、クエハプローバについて述べた文献の例としては
、（株）工業調査会発行「電子材料Ｊ　１９８３年別冊
ｐ１９５〜１９８があげられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来技術では、前述のごとく、ウェハとプ
ローブ先端の高さ位置がスレスレのトキランプ等の点滅
によって、その状態が検出できるが、一旦つエバとグロ
ーブ先端とが完全に接触すると、それがどの位のオーバ
ードライブ量で接触しているのかは不明である。

そのため、従来の接点の開閉によるセンサ機構では、プ
ローバ操作未熟な者が、プローブをオーバードライブし
て使用してしまい、プローブカードの寿命を短かくする
恐れがある。

本発明はかかる従来技術の有する欠点を解消し、プロー
ブの高さ位置検出値を連続値として得ることができ、オ
ーバードライブしている場合には警報を発することがで
きるようなプローバ技術を提供することを目的とする。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

本発明においてはプローブカードにおいて、その基板と
探針との間に圧電素子を介在させるようにした。

〔作用〕

これにより、プローブカードとウエノ・とが接触したと
きに、探針が持ち上げられ、七〇針圧により圧電素子が
圧電効果（圧電性）を示し、′電圧を発生し、別に設け
られた検出機にその電圧（値）をアナログ値として表示
する。その際に、規定量と比較して、オーバードライブ
しているようであれば警報音を発しさせるようにする。

これにより、プローブ高さの検出とその制御を行なうこ
とができ、オーバードライブを防止することができる。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

プローブカードの一例は、第３図に示すように、プリン
ト配線基板１上の中央開口部２に放射状に所定数の探針
３・・・・・・を設け、検査機（図示せず）へ接続する
ための外部接続端子４・・・・・・と各探針とをプリン
ト配線５・・・・・・またはリード線で接続した主要構
造を備えて成る。

第１図はこのようなプローブカードにおける本発明の他
の実施例を示す要部断面図で、また、第２図は当該第１
図に示す実施例の底面図で、これら図に示すように、プ
リント配線基板１に、探針３の一端部を半田６により取
付け、当該探針３の他端部な開口部２より突出している
。探針３とプリント配線基板１との間に、これら図に示
すように、圧電素子７を介装し、固定リング８により。

探針３をプリント配線基板１側に押圧する。

圧電素子７と外部接続端子４との間は、同様にパターン
配線９により接続し、圧電素子７の電圧が当該外部接続
端子４と接続した検査機に表示されるようにする。

圧電素子７は、探針３の他端部を、ウェハのポンディン
グパッドに当接し、当該探針３が持上げされたときに、
当該外部応力の印加により、それに比例して電気分極が
変化し、あるいは外部電界を印加すると、それに比例し
てひずみが変化するいわゆる圧電性（ビエゾエレクティ
シティ）を示す圧電体であれば各種のものを使用するこ
とができ、圧電体の例としては、ロッシェル塩、水晶。

リン酸二水素アンモニウム、チタン酸バリウム。

チタン酸鉛ジルコニウム、ニオブ酸リチウム、ヨウ素酸
リチウムなどの結晶類やポリペプチドの１軸配向フイル
ム、ポリフッ化ビニリデンのような極性高分子をエレク
トレット化したものなどの圧電性高分子（ビニゾロエレ
クトリックポリマー）が例示される。

次に１本発明による圧電素子７を設けたプローブカード
によるプローブテスト例について説明するに、ウェハス
テージにウェハを乗せ、ウェハステージを上昇させた状
態にしておく。次に、プローブカードを徐々に下げてく
る。探針３の他端部（先端）がウェハのポンディングパ
ッドに接触すると、当該探針３がウェハから力を受け、
この力が圧電素子７に加わり、圧電素子７から電圧が発
生する。

この電圧がプローブカードと接続した検査機に表示され
、この電圧値から針圧を求めることができる。

上記状態から、プローブカードをさらに下げると圧１素
子７から発生する電圧は増加する。あらかじめ針圧と発
生する電圧の関係を把握しておけば、上記のように発生
した電圧から針圧が得られるばかりでなく、その関係か
ら針圧を自動調整したりあるいは過剰針圧に対する警告
音を検査機に備えた警音装置により発しさせたりあるい
はオーバードライブを防ぐストッパーを作動させたりす
ることができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが５本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとうりであ
る。

本発明によればグローブテストにおけるプローブ針のオ
ーナードライブを防止し、プローブカードを長寿命化で
き、針圧を自由にコントロールすることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す要部断面図、第２図は本
発明の実施例を示す要部底面図。 第３図は本発明の実施例を示す斜視図である。 １・・・プリント配線基板、２・・・開口部、３・・・
探針、４・・・外部接続端子、５・・・プリント配線、
６・・・半田、７・・・圧電素子、８・・・固定リング
、９・・・パターン配線。 代理人　弁理士　　小　川　勝　男 第　　１　　図 第　　２．　　ＥＩ ７−でシＴハマー′−９ご歎

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板に多数の探針を固設したプローブカードにおい
   て、当該探針と基板との間に圧電素子を組込みして成る
   ことを特徴とするプローブカード。 ２、圧電素子が、プローブカードの外部接続端子と配線
   により接続されて成る、特許請求の範囲第１項記載のプ
   ローブカード。