JPS6324116A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPS6324116A JPS6324116A JP61089514A JP8951486A JPS6324116A JP S6324116 A JPS6324116 A JP S6324116A JP 61089514 A JP61089514 A JP 61089514A JP 8951486 A JP8951486 A JP 8951486A JP S6324116 A JPS6324116 A JP S6324116A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2545—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with one projection direction and several detection directions, e.g. stereo
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2536—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object using several gratings with variable grating pitch, projected on the object with the same angle of incidence
Landscapes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Character Discrimination (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、形状測定装置、さらに詳しくは、被測定物上
に所定のパターンを投影し、被測定物の各点の特徴づけ
を行い、パターンが投影された被測定物から投影パター
ンに基づくデータを検出し、その検出データを処理する
ことにより、被測定物上の各点位置の座標を非接触で測
定し、被測定物の形状を求める形状測定装置に関する。
に所定のパターンを投影し、被測定物の各点の特徴づけ
を行い、パターンが投影された被測定物から投影パター
ンに基づくデータを検出し、その検出データを処理する
ことにより、被測定物上の各点位置の座標を非接触で測
定し、被測定物の形状を求める形状測定装置に関する。
(従来の技術)
従来から、被測定物に所定のパターンを投影し、このパ
ターンを2方向から検出して、各検出出力の間で対応点
を決定し、これによって被測定物の形状を測定するよう
にした非接触型の形状測定装置が知られている。
ターンを2方向から検出して、各検出出力の間で対応点
を決定し、これによって被測定物の形状を測定するよう
にした非接触型の形状測定装置が知られている。
近時、この非接触型の形状測定装置には、高精度、高分
解能の測定が要求され複数種類のパターンにより投影パ
ターン像を被測定物に投影し、各パターンを投影するた
びに、これを検出して各パターンを投影したときの各デ
ータ間の対応づけを行なって、被測定物の形状を高精度
で測定している。
解能の測定が要求され複数種類のパターンにより投影パ
ターン像を被測定物に投影し、各パターンを投影するた
びに、これを検出して各パターンを投影したときの各デ
ータ間の対応づけを行なって、被測定物の形状を高精度
で測定している。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、この従来の非接触型の形状測定装置では
、被測定物の形状の高精度な測定を行なうためには、複
数種類のパターンを別個に用意する必要があると共に、
複数種類のパターンを被測定物に投影し、各パターンを
投影したときに検出されたデータの対応づけを行なうた
めに、複数種類のパターン相互間の相対位置を厳密に決
めなければならず、装置が大型化し、かつ繁雑な調整作
業を要する問題点があった。
、被測定物の形状の高精度な測定を行なうためには、複
数種類のパターンを別個に用意する必要があると共に、
複数種類のパターンを被測定物に投影し、各パターンを
投影したときに検出されたデータの対応づけを行なうた
めに、複数種類のパターン相互間の相対位置を厳密に決
めなければならず、装置が大型化し、かつ繁雑な調整作
業を要する問題点があった。
(発明の目的)
本発明は、上記従来技術の有する形状測定装置の問題点
に鑑みて為されたものであって、唯一個のパターンを移
動することによって、複数種類の異なる投影パターン像
を得ることができ、もって。
に鑑みて為されたものであって、唯一個のパターンを移
動することによって、複数種類の異なる投影パターン像
を得ることができ、もって。
被測定物の形状を高精度かつ容易に検出できる形状測定
装置の提供を目的とする。
装置の提供を目的とする。
(問題点を解決するための手段)
本発明に係る形状測定装置の構成は、複数のN進コード
を互いに区別できるように予め定められた規則によって
ピッチ幅方向にパターン要素が配列されたパターンを有
するパターン部と、上記パターンを上記ピッチ幅方向に
規則に従って移動させる移動部と上記パターンを被測定
物上に投影する投影光学系とを有する投影部と、上記移
動部によるパターンの移動のたびに上記パターンが投影
された被測定物の表面情報を2つの異なった方向から測
定して第1検出データと第2検出データとを検出する検
出部と。
を互いに区別できるように予め定められた規則によって
ピッチ幅方向にパターン要素が配列されたパターンを有
するパターン部と、上記パターンを上記ピッチ幅方向に
規則に従って移動させる移動部と上記パターンを被測定
物上に投影する投影光学系とを有する投影部と、上記移
動部によるパターンの移動のたびに上記パターンが投影
された被測定物の表面情報を2つの異なった方向から測
定して第1検出データと第2検出データとを検出する検
出部と。
上記第1検出データと上記第2検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第1位置データと第2位置デ
ータを抽出する抽出部と、上記第1位置データと該第1
位置データに対応した第2位置データとから被測定物の
点位置の座標を演算する演算部とからなるものである。
測定物の点位置に対応した第1位置データと第2位置デ
ータを抽出する抽出部と、上記第1位置データと該第1
位置データに対応した第2位置データとから被測定物の
点位置の座標を演算する演算部とからなるものである。
(作用)
本発明によれば、複数種類のパターンを準備しなくとも
、唯一個のパターンをそのピッチ幅方向に移動させるの
みで、互いに異なる複数種類の投影パターン像を得るこ
とができる。
、唯一個のパターンをそのピッチ幅方向に移動させるの
みで、互いに異なる複数種類の投影パターン像を得るこ
とができる。
(実施例)
以下、本発明に係る形状測定装置の実施例を図面を参照
しつつ説明する。
しつつ説明する。
第1図において、1は被測定物、10は投影部である。
投影部10には、モータM4が設けられると共に、パタ
ーン部としてのパターン板12、光116、投影レンズ
18が設けられている。パターン板12には、パターン
14が形成さおでおり、そのパターン14は、光源16
と投影レンズ18とによって被測定物上にパターン像と
して投影されるもので、光源16と投影レンズ18とは
パターン14を被測定物1にパターン像として投影する
投影光学系を構成している。モータMiは、パターン板
12をパターン14のピッチ幅方向に直線的に移動させ
る移動部として機能する。
ーン部としてのパターン板12、光116、投影レンズ
18が設けられている。パターン板12には、パターン
14が形成さおでおり、そのパターン14は、光源16
と投影レンズ18とによって被測定物上にパターン像と
して投影されるもので、光源16と投影レンズ18とは
パターン14を被測定物1にパターン像として投影する
投影光学系を構成している。モータMiは、パターン板
12をパターン14のピッチ幅方向に直線的に移動させ
る移動部として機能する。
パターン14は、ここでは、M系列パターンとされてお
り1M系列パターンとは、2進数を基礎としてつくり得
る最長系列のパターンのことで、−般的にn次(nは整
数)のM系列は(2’−1)bitのパターン要素を持
ち、隣合わせたn次の2進数によって、(2’−1)種
類の相異なるコードが形成されるものである。このM系
列は、シフトレジスタを利用して容易に作成することが
できるものである。たとえば、n = 8の場合、8次
のM系列は、第2図に示す8ビツトのD1〜D9からな
るシフトレジスタDを利用して、フィードバックを掛け
ることによって形成できる。ここで、Dlは2゜の桁に
対応し、D2は21の桁に対応し、D3は22の桁に対
応し、D4は23の桁に対応し、D、は24の桁に対応
し、DGは2sの桁に対応し、D7は26の桁に対応し
、D、は27の桁に対応している。
り1M系列パターンとは、2進数を基礎としてつくり得
る最長系列のパターンのことで、−般的にn次(nは整
数)のM系列は(2’−1)bitのパターン要素を持
ち、隣合わせたn次の2進数によって、(2’−1)種
類の相異なるコードが形成されるものである。このM系
列は、シフトレジスタを利用して容易に作成することが
できるものである。たとえば、n = 8の場合、8次
のM系列は、第2図に示す8ビツトのD1〜D9からな
るシフトレジスタDを利用して、フィードバックを掛け
ることによって形成できる。ここで、Dlは2゜の桁に
対応し、D2は21の桁に対応し、D3は22の桁に対
応し、D4は23の桁に対応し、D、は24の桁に対応
し、DGは2sの桁に対応し、D7は26の桁に対応し
、D、は27の桁に対応している。
このシフトレジスタDの構成は、D6■Ds■D。
■D4■工であって、ここで、記号■は加算記号を示し
ており、D、、D、、、D、、D、の内容をり。
ており、D、、D、、、D、、D、の内容をり。
ヘフィードバックするものである。記号Iは2゜の桁の
レジスタ構成要素D4へのインプットを示しており、レ
ジスタ構成要素り、、DG、D、、D。
レジスタ構成要素D4へのインプットを示しており、レ
ジスタ構成要素り、、DG、D、、D。
の内容「1」の和が奇数であるときに、レジスタ構成要
素D□に「1」が入力され、レジスタ構成要素り、、D
、、D7.D、の内容「1」の和が偶数又は「0」であ
るときに、レジスタ構成要素D1に「O」が入力される
ものであり、シフトレジスタDはその初期値として、レ
ジスタ構成要素D1の内容が「1」、レジスタ構成要1
4Dt〜D11の内容が「0」とされている。
素D□に「1」が入力され、レジスタ構成要素り、、D
、、D7.D、の内容「1」の和が偶数又は「0」であ
るときに、レジスタ構成要素D1に「O」が入力される
ものであり、シフトレジスタDはその初期値として、レ
ジスタ構成要素D1の内容が「1」、レジスタ構成要1
4Dt〜D11の内容が「0」とされている。
すなわち、シフトレジスタDの初期値の内容は。
rooooooo IJである。この初期値の設定を第
1回目のシフト操作とする。このシフトレジスタDは、
2回目のシフトで、その内容が「0o00001o」に
更新される。4回目ノシフトで、このシフトレジスタD
の内容はroo。
1回目のシフト操作とする。このシフトレジスタDは、
2回目のシフトで、その内容が「0o00001o」に
更新される。4回目ノシフトで、このシフトレジスタD
の内容はroo。
01000Jとなる。5回目のシフトでは、D。
の内容が「1」であるので、Dlに「1」がフィードバ
ックされ、シフトレジスタDの内容は。
ックされ、シフトレジスタDの内容は。
rooolooolJとなる。6回目のシフトでは、D
、の内容が「1」であるので、同様にしてDlに「1」
がフィードバックされ、シフトレジスタDの内容は、r
ooloooll」となる。
、の内容が「1」であるので、同様にしてDlに「1」
がフィードバックされ、シフトレジスタDの内容は、r
ooloooll」となる。
同様にして、7回目のシフトでは、その内容がrolo
oolllJ となる。8回目のシフトで4L D、、
D、、 D、、 D、(7)内容がいずれも「o」で
あるので、D工は「O」となり、シフトレジスタの内容
は、rlooollloJとなる。9回目のシフトでは
、D、、 D、の内容「1」の和が偶数であるので、D
工は「0」となり、シフトレジスタノ内容は、rooo
lllooJ となる。
oolllJ となる。8回目のシフトで4L D、、
D、、 D、、 D、(7)内容がいずれも「o」で
あるので、D工は「O」となり、シフトレジスタの内容
は、rlooollloJとなる。9回目のシフトでは
、D、、 D、の内容「1」の和が偶数であるので、D
工は「0」となり、シフトレジスタノ内容は、rooo
lllooJ となる。
このシフトを255回繰り返すと、第3図に示す表が形
成される。このシフトレジスタDの内容を、10進数に
変換すると、B−Dlllに示すように、1〜255ま
での数字が各1回ずつあられれる。ここで、M系列は、
第1回から第255回までのシフトの間にシフトレジス
タDのレジスタ構成要素り。
成される。このシフトレジスタDの内容を、10進数に
変換すると、B−Dlllに示すように、1〜255ま
での数字が各1回ずつあられれる。ここで、M系列は、
第1回から第255回までのシフトの間にシフトレジス
タDのレジスタ構成要素り。
〜D1に現れる255個の数字列に相当する。D、に着
目し、この第3図に示す表を縦に眺めて、第1回から第
8回までのシフトによって現れる8個の数字を1つの2
進コードとして考えると、第1回目のシフトのB−Dの
10進数値「1」に対応することがわかる。同様にして
、第2回から第9回までのシフトによって現れる8個の
数字を1つの2進コードとして考えると、第2回目のシ
フトのB−Dの10進数値「2」に対応することがわか
る。
目し、この第3図に示す表を縦に眺めて、第1回から第
8回までのシフトによって現れる8個の数字を1つの2
進コードとして考えると、第1回目のシフトのB−Dの
10進数値「1」に対応することがわかる。同様にして
、第2回から第9回までのシフトによって現れる8個の
数字を1つの2進コードとして考えると、第2回目のシ
フトのB−Dの10進数値「2」に対応することがわか
る。
同様に、第3回から第10回までのシフトによって現れ
る8個の数字を1つの2進コードとして考えると、第3
回目のシフトのB−Dの10進数値「4」に対応するこ
とがわかる。このようにして、レジスタ構成要素り、の
内容を縦に眺めて、255個の10進数値に対応ずける
ことが可能となる。ここで、第248回から第255回
目までのシフトによって現れる8個の数字を第248回
目のシフトに対応ずけの後は、対応させるための数値が
ないことになるが、255番目以降はり、の内容が「0
」であると仮定しておくのである。この仮定は、255
回目のシフトにおいて、シフトレジスタD7〜D工の内
容がrOJであることから正しい。すなわち、シフトレ
ジスタDは256回目にあっては、再び第1回目のシフ
トによる内容と同一となって、再び、第3図の表と同一
の内容が繰り返される。
る8個の数字を1つの2進コードとして考えると、第3
回目のシフトのB−Dの10進数値「4」に対応するこ
とがわかる。このようにして、レジスタ構成要素り、の
内容を縦に眺めて、255個の10進数値に対応ずける
ことが可能となる。ここで、第248回から第255回
目までのシフトによって現れる8個の数字を第248回
目のシフトに対応ずけの後は、対応させるための数値が
ないことになるが、255番目以降はり、の内容が「0
」であると仮定しておくのである。この仮定は、255
回目のシフトにおいて、シフトレジスタD7〜D工の内
容がrOJであることから正しい。すなわち、シフトレ
ジスタDは256回目にあっては、再び第1回目のシフ
トによる内容と同一となって、再び、第3図の表と同一
の内容が繰り返される。
こうして、このシフト操作によって現れる255組の8
個の数字に対応するlO進数を考えると、B −11J
には、同一の10進数値は一つも生じてこないのである
。
個の数字に対応するlO進数を考えると、B −11J
には、同一の10進数値は一つも生じてこないのである
。
そこで、D、に現れたM系列パターンの内容「0」を遮
断、内容「1」を透過に対応させ、第4図に示すように
パターン板12にスリット20を設ける。すなわち、ピ
ッチ幅をPとして、内容「1」に対応する箇所にスリッ
ト20を形成し、内容「0」に対応する箇所にスリット
20を形成しないことにして。
断、内容「1」を透過に対応させ、第4図に示すように
パターン板12にスリット20を設ける。すなわち、ピ
ッチ幅をPとして、内容「1」に対応する箇所にスリッ
ト20を形成し、内容「0」に対応する箇所にスリット
20を形成しないことにして。
パターン14を形成する。ここでスリット20を横切る
方向がピッチ幅方向である。また、ピッチ幅Pに対して
スリット20のスリット幅は、充分小さいものとする。
方向がピッチ幅方向である。また、ピッチ幅Pに対して
スリット20のスリット幅は、充分小さいものとする。
なお、上述においては、8次のM系列パターンを例に挙
げて説明したが、他の次数のM系列も利用可能であり、
第4次から第10次のものは、第5図に示す表に基づい
てシフトレジスタを作成することができる。なお、上記
においては、内容「O」を遮光、内容「1」を透過に対
応させたが、内容「0」を青色光を透過させるスリット
型フィルタ、内容rlJを赤色光を透過させるスリット
型フィルタに対応させることもできる。
げて説明したが、他の次数のM系列も利用可能であり、
第4次から第10次のものは、第5図に示す表に基づい
てシフトレジスタを作成することができる。なお、上記
においては、内容「O」を遮光、内容「1」を透過に対
応させたが、内容「0」を青色光を透過させるスリット
型フィルタ、内容rlJを赤色光を透過させるスリット
型フィルタに対応させることもできる。
第1図において、投影部lOのパターン板12に形成さ
れたM系列のパターン方向両側には、第1検出部30と
第2検出部32とが配置されている。第1検出部30と
第2検出部32とは、それぞれ対物レンズ34.36を
有している。その対物レンズ34.36の上方には、そ
の各対物レンズ34.36に対応させて、第1リニアイ
メージセンサ−38と第2リニアイメージセンサ−40
とが配置されている。M系列パターン14が投影された
被測定物1の像は、各対物レンズ34.36によってリ
ニアイメージセンサ−38,40上にそれぞれ形成され
る。
れたM系列のパターン方向両側には、第1検出部30と
第2検出部32とが配置されている。第1検出部30と
第2検出部32とは、それぞれ対物レンズ34.36を
有している。その対物レンズ34.36の上方には、そ
の各対物レンズ34.36に対応させて、第1リニアイ
メージセンサ−38と第2リニアイメージセンサ−40
とが配置されている。M系列パターン14が投影された
被測定物1の像は、各対物レンズ34.36によってリ
ニアイメージセンサ−38,40上にそれぞれ形成され
る。
42はハウジングであり、ハウジング42は投影部10
と第1検出部30と第2検出部32とを収納している。
と第1検出部30と第2検出部32とを収納している。
ハウジング42は、モータM2によって第1図に示すY
方向に移動可能である。第1リニアイメージセンサ−3
8と第2リニアイメージセンサ−40とは、タイミング
パルス発生器52からのクロック信号φ1.φl′、φ
2、φ2′によって走査されるものである。この走査に
よって、第1リニアイメージセンサ−38と第2リニア
イメージセンサ−40とは、各画素ごとの内容が取り出
され、第1A/D変換器54と第2A/D変換器56と
に検出データとして出力される。
方向に移動可能である。第1リニアイメージセンサ−3
8と第2リニアイメージセンサ−40とは、タイミング
パルス発生器52からのクロック信号φ1.φl′、φ
2、φ2′によって走査されるものである。この走査に
よって、第1リニアイメージセンサ−38と第2リニア
イメージセンサ−40とは、各画素ごとの内容が取り出
され、第1A/D変換器54と第2A/D変換器56と
に検出データとして出力される。
第1A/D変換器54と第2A/D変換器56とは、タ
イミング信号発生器52からの信号によってA/D変換
を開始し、これが終了すると、タイミング信号発生器5
2へA/D変換終了を示す信号を出力するとともに、A
/D変換された第1リニアイメージセンサ−38と第2
リニアイメージセンサ−40とからの検出データを制御
演算部50へ出力する。
イミング信号発生器52からの信号によってA/D変換
を開始し、これが終了すると、タイミング信号発生器5
2へA/D変換終了を示す信号を出力するとともに、A
/D変換された第1リニアイメージセンサ−38と第2
リニアイメージセンサ−40とからの検出データを制御
演算部50へ出力する。
制御演算部50は、タイミング信号発生器52との間で
タイミング信号の授受を行なって、モータM z 6M
2に対して制御信号を出力すると共に、第1変換器54
.第2A/D変換器56から検出データを受けとって所
定の処理を施し、メモリ58との間でデータの書き込み
及び読み出しを行い、表示信号を出力して表示器60に
測定結果を表示させ、操作部62から種々の指令を受は
取る。この制御演算部50は、後述する抽出部と演算部
との役割を果たす。
タイミング信号の授受を行なって、モータM z 6M
2に対して制御信号を出力すると共に、第1変換器54
.第2A/D変換器56から検出データを受けとって所
定の処理を施し、メモリ58との間でデータの書き込み
及び読み出しを行い、表示信号を出力して表示器60に
測定結果を表示させ、操作部62から種々の指令を受は
取る。この制御演算部50は、後述する抽出部と演算部
との役割を果たす。
次に1本発明に係る形状測定装置の作用を第6図に示す
フローチャート、第7図に示す信号図と共に、第8図〜
第11図を参照しつつ説明する。
フローチャート、第7図に示す信号図と共に、第8図〜
第11図を参照しつつ説明する。
測定が開始されると、ステップS1において、測定に必
要な数値が初期値として設定される。すなわち、ステッ
プS1においてY方向のリセットが行われ、モータM2
の制御によりハウジング42をY4illIM点まで移
動させ、Y方向への移動回数QをQ=Oとする。なお、
Y方向への移動回数Qは、整数回であり、この移動回数
Ωは被測定物1に対応して適宜設定するもので、その総
移動回数をらとする。ステップ8つにおいては、Y方向
操作の終了を判断する。Y方向への走査が終了していれ
ばステップS xsに進み、終了していなければ、ステ
ップS3に進む。ここでは、Ω=0であるので、いり2
となり、ステップS、に進む。
要な数値が初期値として設定される。すなわち、ステッ
プS1においてY方向のリセットが行われ、モータM2
の制御によりハウジング42をY4illIM点まで移
動させ、Y方向への移動回数QをQ=Oとする。なお、
Y方向への移動回数Qは、整数回であり、この移動回数
Ωは被測定物1に対応して適宜設定するもので、その総
移動回数をらとする。ステップ8つにおいては、Y方向
操作の終了を判断する。Y方向への走査が終了していれ
ばステップS xsに進み、終了していなければ、ステ
ップS3に進む。ここでは、Ω=0であるので、いり2
となり、ステップS、に進む。
ステップS、ないしステップ8つにおいては、第1リニ
アイメージセンサ−38と第2リニアイメージセンサ−
40との検出データに基づいて被測定物1の点位置を示
すコードを求めるために、所定のY座標においてM系列
パターンを1ピツチずつ7回(m=8)ずらして、8種
類の第1検出データDx+ (m r n )と第2検
出データDz+(my n)とを得る処理が行なわれる
ものである。ここで、符号nは、第1リニアイメージセ
ンサ−38と第2リニアイメージセンサ−40との画素
ナンバーを示している。ここでは、この第1リニアイメ
ージセンサ−38、第2リニアイメージセンサ−40の
画素個数は2048個である。したがって、ここでは、
第1検出データDz h (m + n )、第2検出
データD、、(m。
アイメージセンサ−38と第2リニアイメージセンサ−
40との検出データに基づいて被測定物1の点位置を示
すコードを求めるために、所定のY座標においてM系列
パターンを1ピツチずつ7回(m=8)ずらして、8種
類の第1検出データDx+ (m r n )と第2検
出データDz+(my n)とを得る処理が行なわれる
ものである。ここで、符号nは、第1リニアイメージセ
ンサ−38と第2リニアイメージセンサ−40との画素
ナンバーを示している。ここでは、この第1リニアイメ
ージセンサ−38、第2リニアイメージセンサ−40の
画素個数は2048個である。したがって、ここでは、
第1検出データDz h (m + n )、第2検出
データD、、(m。
n)の総個数は、各々8X204g個である。
まず、ステップS3において、M系列パターン走査のリ
セットが行われ、モータM工の制御によって、パターン
板12を所定位置に移動させ1M系列パターンの走査回
数mをm=1とする。このステップS、においで、第】
0図に符号X0で示すような投影パターン像が被測定物
1に形成される。この第10図において、実線の直線は
スリット像であり、破線はスリットが形成されていない
箇所の像に対応している。この投影パターン像は第1、
第2検出部30.32の対物レンズ34.36によって
それぞれ第1リニアイメージセンサ−38と第2リニア
イメージセンサ−40との画素面に結像される。そして
、ステップS4において、第1リニアイメージセンサ−
38と第2リニアイメージセンサ−40との走査゛が行
われる。これによって、第1リニアイメージセンサ−3
8、第2リニアイメージセンサ−40の全画素の検出出
力がそれぞれ、第1A/D変換器。
セットが行われ、モータM工の制御によって、パターン
板12を所定位置に移動させ1M系列パターンの走査回
数mをm=1とする。このステップS、においで、第】
0図に符号X0で示すような投影パターン像が被測定物
1に形成される。この第10図において、実線の直線は
スリット像であり、破線はスリットが形成されていない
箇所の像に対応している。この投影パターン像は第1、
第2検出部30.32の対物レンズ34.36によって
それぞれ第1リニアイメージセンサ−38と第2リニア
イメージセンサ−40との画素面に結像される。そして
、ステップS4において、第1リニアイメージセンサ−
38と第2リニアイメージセンサ−40との走査゛が行
われる。これによって、第1リニアイメージセンサ−3
8、第2リニアイメージセンサ−40の全画素の検出出
力がそれぞれ、第1A/D変換器。
第2A/D変換器に順次取り出され、その検出出力が順
次A/D変換される。その後、その検出出力は制御演算
部50を介してメモリ58にそれぞれ第1検出データD
x+(IQ+n)、第2検出データD2.(m。
次A/D変換される。その後、その検出出力は制御演算
部50を介してメモリ58にそれぞれ第1検出データD
x+(IQ+n)、第2検出データD2.(m。
n)として記憶される。
第1リニアイメージセンサ−38、第2リニアイメージ
センサ−40の検出出力が総てメモリ58に記憶される
とステップS、へ進む。ステップS、においては、M系
列パターンの走査回数m = 8であるか否かを判断す
る。走査回数m = 8であるときは、ステップS7に
進み、走査回数m=8でないときはステップSl+に進
む。ステップS、においては、M系列パターンのピッチ
幅方向への移動走査が行われる。すなわち、制御演算部
50の制御によってモータM1は1M系列パターンを1
ピツチずらし。
センサ−40の検出出力が総てメモリ58に記憶される
とステップS、へ進む。ステップS、においては、M系
列パターンの走査回数m = 8であるか否かを判断す
る。走査回数m = 8であるときは、ステップS7に
進み、走査回数m=8でないときはステップSl+に進
む。ステップS、においては、M系列パターンのピッチ
幅方向への移動走査が行われる。すなわち、制御演算部
50の制御によってモータM1は1M系列パターンを1
ピツチずらし。
M系列パターンの走査移動回数mの内容を1個増加させ
て、ステップS4に移行する。 これによって、被測定
物1には第10図に符号x1〜X、で示す投影パターン
像が形成されることになる。この投影パターン像x工〜
X、は、矢印で示すようにそのピッチがその前後の投影
パターン像に対して各々1ピツチずれている。その移動
走査の度にこの投影パターン像x4〜X、に対応する検
出データD1゜(m、n)、Dz+(ILn)がメモリ
58に記憶される。
て、ステップS4に移行する。 これによって、被測定
物1には第10図に符号x1〜X、で示す投影パターン
像が形成されることになる。この投影パターン像x工〜
X、は、矢印で示すようにそのピッチがその前後の投影
パターン像に対して各々1ピツチずれている。その移動
走査の度にこの投影パターン像x4〜X、に対応する検
出データD1゜(m、n)、Dz+(ILn)がメモリ
58に記憶される。
以下に説明するステップS、〜ステップS11.は、第
1及び第2検出データD1.(m、n)、Dz+(IL
n)から被測定物1の所定位置と対応した第1及び第2
位置データを抽出する処理を行なうためのものである。
1及び第2検出データD1.(m、n)、Dz+(IL
n)から被測定物1の所定位置と対応した第1及び第2
位置データを抽出する処理を行なうためのものである。
まず、ステップS7において、スムージング処理を行な
う。ここで、スムージング処理とは。
う。ここで、スムージング処理とは。
検出データに含まれているコントラスト成分を補正して
データ成分を取り出す処理をいう。すなわち、被測定物
1そのものには、コントラストがあって、パターンを投
影しない状態においてその被測定物1の結像に基づいて
第1リニアイメージセンサ38、第2リニアイメージセ
ンサ40から出力される検出出力は、たとえば、第7図
(a)に示すようなものとなる。M系列パターンを投影
すると、第1リニアイメージセンサ38、第2リニアイ
メージセンサ40には、第7図(b)に示すような検出
出力が得られる。
データ成分を取り出す処理をいう。すなわち、被測定物
1そのものには、コントラストがあって、パターンを投
影しない状態においてその被測定物1の結像に基づいて
第1リニアイメージセンサ38、第2リニアイメージセ
ンサ40から出力される検出出力は、たとえば、第7図
(a)に示すようなものとなる。M系列パターンを投影
すると、第1リニアイメージセンサ38、第2リニアイ
メージセンサ40には、第7図(b)に示すような検出
出力が得られる。
ステップS7においては、第7図(c)に−点鎖線で示
す足きりの為のスムージング信号を生成してコントラス
ト成分に基づく検出出力を除去して。
す足きりの為のスムージング信号を生成してコントラス
ト成分に基づく検出出力を除去して。
スリット像に基づく信号成分のみを抽出する。ここで、
この−点鎖線で示す足きりのためのスムージング信号は
、第7図(a)で示すコントラストの信号レベルよりも
若干高く設定されており、このスムージング信号は、第
7図(b)に示す検出出力をフィルタに通して低周波成
分のみによって生成するものである。このようにして、
スリット像に対応する検出データD1.(IIl、n)
、Die(Iltn)が得られる。すなわち、M系列パ
ターンを7回移動させて得られる255X8個の各検出
データD工* (+Il+n)、Din(men)につ
いてみると、第7図(d)〜(k)に示すものとなる。
この−点鎖線で示す足きりのためのスムージング信号は
、第7図(a)で示すコントラストの信号レベルよりも
若干高く設定されており、このスムージング信号は、第
7図(b)に示す検出出力をフィルタに通して低周波成
分のみによって生成するものである。このようにして、
スリット像に対応する検出データD1.(IIl、n)
、Die(Iltn)が得られる。すなわち、M系列パ
ターンを7回移動させて得られる255X8個の各検出
データD工* (+Il+n)、Din(men)につ
いてみると、第7図(d)〜(k)に示すものとなる。
ここで、ドツト「・」はある画素においての信号レベル
を示している。ステップS8においては、第1.第2検
出データDz+(nl*n)、c’z+(men)から
ピークとなる検出データのアドレスを求めるというピー
クアドレス検出処理を行う。
を示している。ステップS8においては、第1.第2検
出データDz+(nl*n)、c’z+(men)から
ピークとなる検出データのアドレスを求めるというピー
クアドレス検出処理を行う。
スリットを通過して被測定物1において反射されて、第
1、第2リニアイメージセンサ38.40に結像される
スリット像は、複数個の画素に渡って結像されて第11
図に拡大して示すような検出出力となっているから、こ
のピークアドレス検出処理を行なう必要があるのである
。
1、第2リニアイメージセンサ38.40に結像される
スリット像は、複数個の画素に渡って結像されて第11
図に拡大して示すような検出出力となっているから、こ
のピークアドレス検出処理を行なう必要があるのである
。
このピークに対応する第1、第2リニアイメージセンサ
−38,40の画素に対応するピークアドレスNは、第
11図に示すように、その始めのアドレスをnA終りの
アドレスをn、とし第1検出データについて示すと。
−38,40の画素に対応するピークアドレスNは、第
11図に示すように、その始めのアドレスをnA終りの
アドレスをn、とし第1検出データについて示すと。
りozh (mtn)についても同様にしてピークアド
レスN2が求まる。ここでピークアドレスN工、N2は
、(1)式によって各検出データについて255個求め
られる。第7図(U)においてラインで示しであるよう
に、ピークが互いに重なりあっているからである。ここ
で、求められた複数のピークアドレスNいN2は、M系
列パターンの要素中心に対応したものに相当する。
レスN2が求まる。ここでピークアドレスN工、N2は
、(1)式によって各検出データについて255個求め
られる。第7図(U)においてラインで示しであるよう
に、ピークが互いに重なりあっているからである。ここ
で、求められた複数のピークアドレスNいN2は、M系
列パターンの要素中心に対応したものに相当する。
次に、ステップS9に移行する。ステップS、において
は、データコード決定処理が行われ、ステップS、で求
めたピークアドレスNいN2に対応する点位置を示す1
0進数のデータコードを決定する。まず、第1、第2検
出データDx+(men)、Din(Ilen)とそれ
ぞれのスムージング信号とを比較し、 スムージング信
号より大きい検出データDll (ffl+n)、 D
ie (lII、n)であればその内容を「1」とし、
小さい検出データであればその内容を「O」として2値
化した検出データをそれぞれD□h ’ (III、n
)、 D2. ’ (m、n)とする。一方、ステップ
S、で求めたピークアドレスNの近傍の整数をN”で示
すと、第1検出データD工+(Ill+n)について各
ピークアドレスNに対応するデータコードAD□、(N
”)は、以下に記載する2進−10進変換式によって求
められる。
は、データコード決定処理が行われ、ステップS、で求
めたピークアドレスNいN2に対応する点位置を示す1
0進数のデータコードを決定する。まず、第1、第2検
出データDx+(men)、Din(Ilen)とそれ
ぞれのスムージング信号とを比較し、 スムージング信
号より大きい検出データDll (ffl+n)、 D
ie (lII、n)であればその内容を「1」とし、
小さい検出データであればその内容を「O」として2値
化した検出データをそれぞれD□h ’ (III、n
)、 D2. ’ (m、n)とする。一方、ステップ
S、で求めたピークアドレスNの近傍の整数をN”で示
すと、第1検出データD工+(Ill+n)について各
ピークアドレスNに対応するデータコードAD□、(N
”)は、以下に記載する2進−10進変換式によって求
められる。
ADl、(N”)=2’XD□、’ (1,N″)+
2’XD1.’ (2,N”)+2’ X D□、’
(3,N”)+・・・ ・・・+2°XD’□、 (
8,N”) ・・・ ・・・ ・・・ (2)この
ようにして、第1、第2検出データD□、(m。
2’XD1.’ (2,N”)+2’ X D□、’
(3,N”)+・・・ ・・・+2°XD’□、 (
8,N”) ・・・ ・・・ ・・・ (2)この
ようにして、第1、第2検出データD□、(m。
n)、Din(men)について、それぞれ第1、第2
データコードADよ、(N”)、 AD、、(N”)が
求まるが、これは被測定物上の点位置と対応しており、
点位置データに相当する。次に、ステップ、。に移行す
る。ステップS1゜においては、対応点探索処理を行な
う。ここで、予めM系列パターンによって生ずる10進
コードとアドレスナンバーとを対応させるテーブルを第
8図(、)に示すように用意しておくものである。そし
て、測定によって得られた第1、第2データコードAD
1.(N’″L AD2.(N−)について、第8図(
b)、第8図(c)に示すように、それぞれ対応するア
ドレスナンバーに置き換え、以下アドレスナンバーによ
って対応点位置の探索を行っている。すなわち、同じア
ドレスナンバーを有する第1データコードと第2データ
コードとのピークアドレスN1.N、とを(N工、N2
)の組とする。ここで、アドレスナンバーが同じである
ということは、被測定物1の点位置に対応していること
を意味している。。この第8図(a)においては、検出
ナンバー4.5に同一のアドレスナンバーが示されてい
るが、これは、測定誤差として現れるものである。この
ように、同一のアドレスナンバーが現れたときには、点
位置が決定できないからその検出データを使用しないこ
とにする。
データコードADよ、(N”)、 AD、、(N”)が
求まるが、これは被測定物上の点位置と対応しており、
点位置データに相当する。次に、ステップ、。に移行す
る。ステップS1゜においては、対応点探索処理を行な
う。ここで、予めM系列パターンによって生ずる10進
コードとアドレスナンバーとを対応させるテーブルを第
8図(、)に示すように用意しておくものである。そし
て、測定によって得られた第1、第2データコードAD
1.(N’″L AD2.(N−)について、第8図(
b)、第8図(c)に示すように、それぞれ対応するア
ドレスナンバーに置き換え、以下アドレスナンバーによ
って対応点位置の探索を行っている。すなわち、同じア
ドレスナンバーを有する第1データコードと第2データ
コードとのピークアドレスN1.N、とを(N工、N2
)の組とする。ここで、アドレスナンバーが同じである
ということは、被測定物1の点位置に対応していること
を意味している。。この第8図(a)においては、検出
ナンバー4.5に同一のアドレスナンバーが示されてい
るが、これは、測定誤差として現れるものである。この
ように、同一のアドレスナンバーが現れたときには、点
位置が決定できないからその検出データを使用しないこ
とにする。
次に、ステップS xxに移行する。ステップS工。
において、座標演算処理を行う。同じアドレスナンバー
の第1データコードのピークアドレスN1と第2データ
コードのピークアドレスN2とから被測定物1の点位置
の座標値を演算により求める。
の第1データコードのピークアドレスN1と第2データ
コードのピークアドレスN2とから被測定物1の点位置
の座標値を演算により求める。
第1、第2リニアイメージセンサ−38,40の端部か
らピークアドレスN1.Nzの位置までの距離Xtil
XI□は素子間隔をαとすれば、x、、::α×Nいx
、2=αXN2で表される。そこで、第9図に示す配置
のもとでは、被測定物上の点Pの座標X、Y。
らピークアドレスN1.Nzの位置までの距離Xtil
XI□は素子間隔をαとすれば、x、、::α×Nいx
、2=αXN2で表される。そこで、第9図に示す配置
のもとでは、被測定物上の点Pの座標X、Y。
Zは、幾何学的に以下の式によって求められる。
a (x、’ −x、) +L1−L。
Y=β・y。
α(x% x@)+Lよ−L2
ここで、βは、モータM2による移動ピッチ間隔、L工
、L2は第1、第2リニアイメージセンサ−38,40
の左端から対物レンズ34.36の中心○い02までの
それぞれの距離、Lは対物レンズ34.36の中心Ox
+02の間の距離、fは対物レンズ34.36の焦点
距離である6なお、上記X、Y、Z座標は、は対物レン
ズ01を座eAE<点としたものである。
、L2は第1、第2リニアイメージセンサ−38,40
の左端から対物レンズ34.36の中心○い02までの
それぞれの距離、Lは対物レンズ34.36の中心Ox
+02の間の距離、fは対物レンズ34.36の焦点
距離である6なお、上記X、Y、Z座標は、は対物レン
ズ01を座eAE<点としたものである。
ステップS工、において座標演算処理が終了するとステ
ップS12において制御演算部50の制御により、モー
タM2が、ハウジング42をピッチβだけ移動させ、Y
方向の移動回数Qを「1」個増加させ、ステップS2へ
戻る。ステップS2においては、前述のととくY方向の
移動回数Qが所定回数Q7となるまで、ステップS3に
進み測定を続けるが、所定回数Q、となったときには、
ステップS13に進む。ステップS13においては、こ
れまで得られた被測定物1の座標を整理してメモリ58
に書き込み、書き込み終われば、ステップ、4に進む。
ップS12において制御演算部50の制御により、モー
タM2が、ハウジング42をピッチβだけ移動させ、Y
方向の移動回数Qを「1」個増加させ、ステップS2へ
戻る。ステップS2においては、前述のととくY方向の
移動回数Qが所定回数Q7となるまで、ステップS3に
進み測定を続けるが、所定回数Q、となったときには、
ステップS13に進む。ステップS13においては、こ
れまで得られた被測定物1の座標を整理してメモリ58
に書き込み、書き込み終われば、ステップ、4に進む。
ステップS14においては、測定結果をプリンタ、CR
T等に出力し、これによって測定が−通り終了する。
T等に出力し、これによって測定が−通り終了する。
(効果)
本発明に係る形状測定装置は5以上説明したように、複
数のN進コードを互い13区別できるように予め定めら
れた規則によってピッチ幅方向にパターン要素が配列さ
れたパターンを有するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と。
数のN進コードを互い13区別できるように予め定めら
れた規則によってピッチ幅方向にパターン要素が配列さ
れたパターンを有するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と。
上記移動部によるパターンの移動のたびに上記パターン
が投影された被測定物の表面情報を2つの異なった方向
から測定して第1検出データと第2検出データとを検出
する検出部と、 上記第1検出データと上記第2検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第1位置データと第2位置デ
ータを抽出する抽出部と、上記第1位置データと該第1
位置データに対応した第2位置データとから被測定物の
点位置の座標を演算する演算部とからなるものであるか
ら。
が投影された被測定物の表面情報を2つの異なった方向
から測定して第1検出データと第2検出データとを検出
する検出部と、 上記第1検出データと上記第2検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第1位置データと第2位置デ
ータを抽出する抽出部と、上記第1位置データと該第1
位置データに対応した第2位置データとから被測定物の
点位置の座標を演算する演算部とからなるものであるか
ら。
複数種類のパターンを準備しなくとも、唯一個のパター
ンをそのピッチ幅方向に移動させるのみで、互いに異な
る複数種類の投影パターン像を得ることができることに
なり、もって、被測定物の形状を高精度かつ容易に検出
できるという効果を奏する。
ンをそのピッチ幅方向に移動させるのみで、互いに異な
る複数種類の投影パターン像を得ることができることに
なり、もって、被測定物の形状を高精度かつ容易に検出
できるという効果を奏する。
第1図は本発明に係る形状測定装置の要部構成を示す図
、第2図は本発明に係るM系列のパターンを作成するた
めのレジスタの構成の一例を示す図、第3図は本発明に
係るM系列を得るためのレジスタの内容を2進−10進
表として示した図、第4図は本発明に係るM系列のパタ
ーンを有するパターン板の部分拡大図、第5図は他のM
系列を得るためのシフトレジスタの構成を説明するため
の図、第6図は本発明に係る形状測定装置の作用を説明
するためのフローチャート、第7図は本発明に係る形状
測定装置の作用を説明するための検出出力図、第8図(
a)、第8図(b)、第8図(c)は本発明に係る形状
測定装置に基づいてデータ処理を行なうときに使用する
表の説明図、第9図は本発明に係る形状測定装置に基づ
いて被aill定物の点位置の座標を求める演算処理の
説明図、第11図は本発明に係るピークアドレス処理の
一例を示すための説明図である。 1・・・被測定物、10・・・投影部、12・・・パタ
ーン板14・・・パターン、16・・・光源、18・・
・投影レンズ、20・・・スリット、30・・・第1検
出部、M工・・・モータ32・・・第2検出部、34.
36・・・対物レンズ38・・・第1リニアイメージセ
ンサ、50・・・制御演算部、58・・・メモリ40・
・・第2リニアイメージセンサ M2・・・モータ D第2 図 第3図 N 4 図 N5図 図面の浄書(内容に変更なし) 第7図 リニアイメージセンサ(1miNt) 第9図 図面の浄舎(内容に変更なし) 11AII II日 手続補正杏(方式) 昭和61年7月1日 昭和61年特許顆第089514号 2、発明の名称 形状測定装置 3、補正をする者 事件との関係 出願人 名称 東京光学機械株式会社 4、代理人 東京都中央区日本橋蛎殻町1−13−125、補正命令
の日付 図面中、第6図、第7図、第10図、第11図を別紙の
通り補正する。 手続補正帯(方式) %式% 2、発明の名称 形状測定装置 3、補正をする者 事件との関係 出願人 名称 東京光学機械株式会社 4、代理人 東京都中央区日本橋蛎殻町1−13−125、補正命令
の日付 昭和62年8月5日(発送口 同年8月25日)6、補
正の対象 明細書 7、補正の内容
、第2図は本発明に係るM系列のパターンを作成するた
めのレジスタの構成の一例を示す図、第3図は本発明に
係るM系列を得るためのレジスタの内容を2進−10進
表として示した図、第4図は本発明に係るM系列のパタ
ーンを有するパターン板の部分拡大図、第5図は他のM
系列を得るためのシフトレジスタの構成を説明するため
の図、第6図は本発明に係る形状測定装置の作用を説明
するためのフローチャート、第7図は本発明に係る形状
測定装置の作用を説明するための検出出力図、第8図(
a)、第8図(b)、第8図(c)は本発明に係る形状
測定装置に基づいてデータ処理を行なうときに使用する
表の説明図、第9図は本発明に係る形状測定装置に基づ
いて被aill定物の点位置の座標を求める演算処理の
説明図、第11図は本発明に係るピークアドレス処理の
一例を示すための説明図である。 1・・・被測定物、10・・・投影部、12・・・パタ
ーン板14・・・パターン、16・・・光源、18・・
・投影レンズ、20・・・スリット、30・・・第1検
出部、M工・・・モータ32・・・第2検出部、34.
36・・・対物レンズ38・・・第1リニアイメージセ
ンサ、50・・・制御演算部、58・・・メモリ40・
・・第2リニアイメージセンサ M2・・・モータ D第2 図 第3図 N 4 図 N5図 図面の浄書(内容に変更なし) 第7図 リニアイメージセンサ(1miNt) 第9図 図面の浄舎(内容に変更なし) 11AII II日 手続補正杏(方式) 昭和61年7月1日 昭和61年特許顆第089514号 2、発明の名称 形状測定装置 3、補正をする者 事件との関係 出願人 名称 東京光学機械株式会社 4、代理人 東京都中央区日本橋蛎殻町1−13−125、補正命令
の日付 図面中、第6図、第7図、第10図、第11図を別紙の
通り補正する。 手続補正帯(方式) %式% 2、発明の名称 形状測定装置 3、補正をする者 事件との関係 出願人 名称 東京光学機械株式会社 4、代理人 東京都中央区日本橋蛎殻町1−13−125、補正命令
の日付 昭和62年8月5日(発送口 同年8月25日)6、補
正の対象 明細書 7、補正の内容
Claims (4)
- (1)複数のN進コードを互いに区別できるように予め
定められた規則によってピッチ幅方向にパターン要素が
配列されたパターンを有するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と、上記移動部によるパターン
の移動のたびに上記パターンが投影された被測定物の表
面情報を2つの異なった方向から測定して第1検出デー
タと第2検出データとを検出する検出部と、 上記第1検出データと上記第2検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第1位置データと第2位置デ
ータを抽出する抽出部と、 上記第1位置データと該第1位置データに対応した第2
位置データとから被測定物の点位置の座標を演算する演
算部とから構成されることを特徴とする形状測定装置。 - (2)上記パターンは、直線方向に配列されたM系列パ
ターンであり、上記移動部は、上記M系列パターンをそ
の配列方向に移動させる構成であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載の形状測定装置。 - (3)上記検出部は、上記移動方向に間隔をもって配置
された第1イメージセンサーと第2イメージセンサーと
を有すると共に、上記M系列パターンが投影された被測
定物の像を上記第1イメージセンサーと第2イメージセ
ンサー上にそれぞれ形成させる結像光学系とを有し、上
記第1イメージセンサーの出力が上記第1検出データに
対応し、上記第2イメージセンサーの出力が上記第2検
出データに対応していることを特徴とする特許請求の範
囲第2項に記載の形状測定装置。 - (4)上記抽出部の第1位置データは、上記移動部によ
るM系列パターンの移動ごとに生成される上記第1イメ
ージセンサーの各素子出力を単位とし、上記抽出部の第
2位置データは、上記移動部によるM系列パターンの移
動ごとに生成される上記第2イメージセンサーの各素子
出力を単位とすることを特徴とする特許請求の範囲第3
項記載の形状測定装置。
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