JPH0726828B2 - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPH0726828B2 JPH0726828B2 JP61089514A JP8951486A JPH0726828B2 JP H0726828 B2 JPH0726828 B2 JP H0726828B2 JP 61089514 A JP61089514 A JP 61089514A JP 8951486 A JP8951486 A JP 8951486A JP H0726828 B2 JPH0726828 B2 JP H0726828B2
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- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- image sensor
- unit
- data
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2545—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with one projection direction and several detection directions, e.g. stereo
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2536—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object using several gratings with variable grating pitch, projected on the object with the same angle of incidence
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Character Discrimination (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、形状測定装置、さらに詳しくは、被測定物上
に所定のパターンを投影し、被測定物の各点の特徴づけ
を行い、パターンが投影された被測定物から投影パター
ンに基づくデータを検出し、その検出データを処理する
ことにより、被測定物上の各点位置の座標を非接触で測
定し、被測定物の形状を求める形状測定装置に関する。
に所定のパターンを投影し、被測定物の各点の特徴づけ
を行い、パターンが投影された被測定物から投影パター
ンに基づくデータを検出し、その検出データを処理する
ことにより、被測定物上の各点位置の座標を非接触で測
定し、被測定物の形状を求める形状測定装置に関する。
（従来の技術） 従来から、被測定物に所定のパターンを投影し、このパ
ターンを２方向から検出して、各検出出力の間で対応点
を決定し、これによって被測定物の形状を測定するよう
にした非接触型の形状測定装置が知られている。
ターンを２方向から検出して、各検出出力の間で対応点
を決定し、これによって被測定物の形状を測定するよう
にした非接触型の形状測定装置が知られている。
近時、この非接触型の形状測定装置には、高精度、高分
解能の測定が要求され複数種類のパターンにより投影パ
ターン像を被測定物の投影し、各パターンを投影するた
びに、これを検出して各パターンを投影したときの各デ
ータ間の対応づけを行なって、被測定物の形状を高精度
で測定している。
解能の測定が要求され複数種類のパターンにより投影パ
ターン像を被測定物の投影し、各パターンを投影するた
びに、これを検出して各パターンを投影したときの各デ
ータ間の対応づけを行なって、被測定物の形状を高精度
で測定している。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、この従来の非接触型の形状測定装置で
は、被測定物の形状の高精度な測定を行なうためには、
複数種類のパターンを別個に用意する必要があると共
に、複数種類のパターンを被測定物に投影し、各パター
ンを投影したときに検出されたデータの対応づけを行な
うために、複数種類のパターン相互間の相対位置を厳密
に決めなければならず、装置が大型化し、かつ繁雑な調
整作業を要する問題点があった。
は、被測定物の形状の高精度な測定を行なうためには、
複数種類のパターンを別個に用意する必要があると共
に、複数種類のパターンを被測定物に投影し、各パター
ンを投影したときに検出されたデータの対応づけを行な
うために、複数種類のパターン相互間の相対位置を厳密
に決めなければならず、装置が大型化し、かつ繁雑な調
整作業を要する問題点があった。
（発明の目的） 本発明は、上記従来技術の有する形状測定装置の問題点
に鑑みて為されたものであって、唯一個のパターンを移
動することによって、複数種類の異なる投影パターン像
を得ることができ、もって、被測定物の形状を高精度か
つ容易に検出できる形状測定装置の提供を目的とする。
に鑑みて為されたものであって、唯一個のパターンを移
動することによって、複数種類の異なる投影パターン像
を得ることができ、もって、被測定物の形状を高精度か
つ容易に検出できる形状測定装置の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段） 本発明に係る形状測定装置の構成は、複数のＮ進コード
を互いに区別できるように予め定められた規則によって
ピッチ幅方向にパターン要素が配列されたパターンを有
するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と、 上記移動部によるパターンの移動のたびに上記パターン
が投影された被測定物の表面情報を２つの異なった方向
から測定して第１検出データと第２検出データとを検出
する検出部と、 上記第１検出データと上記第２検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第１位置データと第２位置デ
ータを抽出する抽出部と、 上記第１位置データと該第１位置データに対応した第２
位置データとから被測定物の点位置の座標を演算する演
算部とからなるものである。
を互いに区別できるように予め定められた規則によって
ピッチ幅方向にパターン要素が配列されたパターンを有
するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と、 上記移動部によるパターンの移動のたびに上記パターン
が投影された被測定物の表面情報を２つの異なった方向
から測定して第１検出データと第２検出データとを検出
する検出部と、 上記第１検出データと上記第２検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第１位置データと第２位置デ
ータを抽出する抽出部と、 上記第１位置データと該第１位置データに対応した第２
位置データとから被測定物の点位置の座標を演算する演
算部とからなるものである。
（作用） 本発明によれば、複数種類のパターンを準備しなくと
も、唯一個のパターンをそのピッチ幅方向に移動させる
のみで、互いに異なる複数種類の投影パターン像を得る
ことができ、従って各点において順次投影されるパター
ンの組み合せによって形成されるコード（いわゆるデー
タ）を互いに区別可能なものとして得ることができる。
も、唯一個のパターンをそのピッチ幅方向に移動させる
のみで、互いに異なる複数種類の投影パターン像を得る
ことができ、従って各点において順次投影されるパター
ンの組み合せによって形成されるコード（いわゆるデー
タ）を互いに区別可能なものとして得ることができる。
（実施例） 以下、本発明に係る形状測定装置の実施例を図面を参照
しつつ説明する。
しつつ説明する。
第１図において、１は被測定物、10は投影部である。投
影部10には、モータM1が設けられると共に、パターン部
としてのパターン板12、光源16、投影レンズ18が設けら
れている。パターン板12には、パターン14が形成されて
おり、そのパターン14は、光源16と投影レンズ18とによ
って被測定物１にパターン像として投影されるもので、
光源16と投影レンズ18とはパターン14を被測定物１にパ
ターン像として投影する投影光学系を構成している。モ
ータM1は、パターン板12をパターン14のピッチ幅方向に
直線的に移動させる移動部として機能する。
影部10には、モータM1が設けられると共に、パターン部
としてのパターン板12、光源16、投影レンズ18が設けら
れている。パターン板12には、パターン14が形成されて
おり、そのパターン14は、光源16と投影レンズ18とによ
って被測定物１にパターン像として投影されるもので、
光源16と投影レンズ18とはパターン14を被測定物１にパ
ターン像として投影する投影光学系を構成している。モ
ータM1は、パターン板12をパターン14のピッチ幅方向に
直線的に移動させる移動部として機能する。
パターン14は、ここでは、Ｍ系列パターンとされてお
り、Ｍ系列パターンとは、２進数を基礎としてつくり得
る最長系列のパターンのことで、一般的にｎ次（ｎは整
数）のＭ系列は（2n−１）bitのパターン要素を持ち、
隣合わせたｎ次の２進数によって、（2n−１）種類の相
異なるコードが形成されるものである。このＭ系列は、
シフトレジスタを利用して容易に作成することができる
ものである。たとえば、ｎ＝８の場合、８次のＭ系列
は、第２図に示す８ビットD1〜D8からなるシフトレジス
タＤを利用して、フイードバックを掛けることによって
形成できる。ここで、D1は20の桁に対応し、D2は21の桁
に対応し、D3は22の桁に対応し、D4は23の桁に対応し、
D5は24の桁に対応し、D6は25の桁に対応し、D7は26の桁
に対応し、D8は27の桁に対応している。
り、Ｍ系列パターンとは、２進数を基礎としてつくり得
る最長系列のパターンのことで、一般的にｎ次（ｎは整
数）のＭ系列は（2n−１）bitのパターン要素を持ち、
隣合わせたｎ次の２進数によって、（2n−１）種類の相
異なるコードが形成されるものである。このＭ系列は、
シフトレジスタを利用して容易に作成することができる
ものである。たとえば、ｎ＝８の場合、８次のＭ系列
は、第２図に示す８ビットD1〜D8からなるシフトレジス
タＤを利用して、フイードバックを掛けることによって
形成できる。ここで、D1は20の桁に対応し、D2は21の桁
に対応し、D3は22の桁に対応し、D4は23の桁に対応し、
D5は24の桁に対応し、D6は25の桁に対応し、D7は26の桁
に対応し、D8は27の桁に対応している。
このシフトレジスタＤの構成は、D8D6D5D4Ｉで
あって、ここで、記号は加算記号を示しており、D8,D
6,D5,D4の内容をD1へフイードバックするものである。
記号Ｉは20の桁のレジスタ構成要素D1へのインプットを
示しており、レジスタ構成要素D8,D6,D5,D4の内容
「１」の和が奇数であるときに、レジスタ構成要素D1に
「１」が入力され、レジスタ構成要素D8,D6,D5,D4の内
容「１」の和が偶数又は「０」であるときに、レジスタ
構成要素D1に「０」が入力されるものであり、シフトレ
ジスタＤはその初期値として、レジスタ構成要素D1の内
容が「１」、レジスタ構成要素D2〜D8の内容が「０」と
されている。
あって、ここで、記号は加算記号を示しており、D8,D
6,D5,D4の内容をD1へフイードバックするものである。
記号Ｉは20の桁のレジスタ構成要素D1へのインプットを
示しており、レジスタ構成要素D8,D6,D5,D4の内容
「１」の和が奇数であるときに、レジスタ構成要素D1に
「１」が入力され、レジスタ構成要素D8,D6,D5,D4の内
容「１」の和が偶数又は「０」であるときに、レジスタ
構成要素D1に「０」が入力されるものであり、シフトレ
ジスタＤはその初期値として、レジスタ構成要素D1の内
容が「１」、レジスタ構成要素D2〜D8の内容が「０」と
されている。
すなわち、シフトレジスタＤの初期値の内容は、「0000
0001」である。この初期値の設定を第１回目のシフト操
作とする。このシフトレジスタＤは、２回目のシフト
で、その内容が「00000010」に更新される。４回目のシ
フトで、このシフトレジスタＤの内容は「00001000」と
なる。５回目のシフトでは、D4の内容が「１」であるの
で、D1に「１」がフィードバックされ、シフトレジスタ
Ｄの内容は、「00010001」となる。６回目のシフトで
は、D5の内容が「１」であるので、同様にしてD1に
「１」がフィードバックされ、シフトレジスタＤの内容
は、「00100011」となる。同様にして、７回目のシフト
では、その内容が「01000111」となる。８回目のシフト
では、D8,D6,D5,D4の内容がいずれも「０」であるの
で、D1は「０」となり、シフトレジスタの内容は、「10
001110」となる。９回目のシフトでは、D8,D4の内容
「１」の和が偶数であるので、D1は「０」となり、シフ
トレジスタの内容は、「00011100」となる。このシフト
を255回繰り返すと、第３図に示す表が形成される。こ
のシフトレジスタＤの内容を、10進数に変換すると、Ｂ
−Ｄ欄に示すように、１〜255までの数字が各１回ずつ
あらわれる。ここで、Ｍ系列は、第１回から第255回ま
でのシフトの間にシフトレジスタＤのレジスタ構成要素
D8〜D1に現れる255個の数字列に相当する。D8に着目
し、この第３図に示す表を縦に眺めて、第１回から第８
回までのシフトによって現れる８個の数字を１つの２進
コードとして考えると、第１回目のシフトのＢ−Ｄの10
進数値「１」に対応することがわかる。同様にして、第
２回から第９回までのシフトによって現れる８個の数字
を１つの２進コードとして考えると、第２回目のシフト
のＢ−Ｄの10進数値「２」に対応することがわかる。同
様に、第３回から第10回までのシフトによって現れる８
個の数字を１つの２進コードとして考えると、第３回目
のシフトのＢ−Ｄの10進数値「４」に対応することがわ
かる。このようにして、レジスタ構成要素D8の内容を縦
に眺めて、255個の10進数値に対応ずけることが可能と
なる。ここで、第248回から第255回目までのシフトによ
って現れる８個の数字を第248回目のシフトに対応ずけ
の後は、対応させるための数値がないことになるが、25
5番目以降はD8の内容が「０」であると仮定しておくの
である。この仮定は、255回目のシフトにおいて、シフ
トレジスタD7〜D1の内容が「０」であることから正し
い。すなわち、シフトレジスタＤは256回目にあって
は、再び第１回目のシフトによる内容と同一となって、
再び、第３図の表と同一の内容が繰り返される。
0001」である。この初期値の設定を第１回目のシフト操
作とする。このシフトレジスタＤは、２回目のシフト
で、その内容が「00000010」に更新される。４回目のシ
フトで、このシフトレジスタＤの内容は「00001000」と
なる。５回目のシフトでは、D4の内容が「１」であるの
で、D1に「１」がフィードバックされ、シフトレジスタ
Ｄの内容は、「00010001」となる。６回目のシフトで
は、D5の内容が「１」であるので、同様にしてD1に
「１」がフィードバックされ、シフトレジスタＤの内容
は、「00100011」となる。同様にして、７回目のシフト
では、その内容が「01000111」となる。８回目のシフト
では、D8,D6,D5,D4の内容がいずれも「０」であるの
で、D1は「０」となり、シフトレジスタの内容は、「10
001110」となる。９回目のシフトでは、D8,D4の内容
「１」の和が偶数であるので、D1は「０」となり、シフ
トレジスタの内容は、「00011100」となる。このシフト
を255回繰り返すと、第３図に示す表が形成される。こ
のシフトレジスタＤの内容を、10進数に変換すると、Ｂ
−Ｄ欄に示すように、１〜255までの数字が各１回ずつ
あらわれる。ここで、Ｍ系列は、第１回から第255回ま
でのシフトの間にシフトレジスタＤのレジスタ構成要素
D8〜D1に現れる255個の数字列に相当する。D8に着目
し、この第３図に示す表を縦に眺めて、第１回から第８
回までのシフトによって現れる８個の数字を１つの２進
コードとして考えると、第１回目のシフトのＢ−Ｄの10
進数値「１」に対応することがわかる。同様にして、第
２回から第９回までのシフトによって現れる８個の数字
を１つの２進コードとして考えると、第２回目のシフト
のＢ−Ｄの10進数値「２」に対応することがわかる。同
様に、第３回から第10回までのシフトによって現れる８
個の数字を１つの２進コードとして考えると、第３回目
のシフトのＢ−Ｄの10進数値「４」に対応することがわ
かる。このようにして、レジスタ構成要素D8の内容を縦
に眺めて、255個の10進数値に対応ずけることが可能と
なる。ここで、第248回から第255回目までのシフトによ
って現れる８個の数字を第248回目のシフトに対応ずけ
の後は、対応させるための数値がないことになるが、25
5番目以降はD8の内容が「０」であると仮定しておくの
である。この仮定は、255回目のシフトにおいて、シフ
トレジスタD7〜D1の内容が「０」であることから正し
い。すなわち、シフトレジスタＤは256回目にあって
は、再び第１回目のシフトによる内容と同一となって、
再び、第３図の表と同一の内容が繰り返される。
こうして、このシフト操作によって現れる255組の８個
の数字に対応する10進数を考えると、Ｂ−Ｄ欄には、同
一の10進数値は一つも生じてこないのである。
の数字に対応する10進数を考えると、Ｂ−Ｄ欄には、同
一の10進数値は一つも生じてこないのである。
そこで、D8に現れたＭ系列パターンの内容「０」を遮
断、内容「１」を透過に対応させ、第４図に示すように
パターン板12にスリット20を設ける。すなわち、ピッチ
幅をＰとして、内容「１」に対応する箇所にスリット20
を形成し、内容「０」に対応する箇所にスリット20を形
成しないことにして、パターン14を形成する。ここでス
リット20を横切る方向がピッチ幅方向である。また、ピ
ッチ幅Ｐに対応してスリット20のスリット幅は、充分小
さいものとする。なお、上述においては、８次のＭ系列
パターンを例に挙げて説明したが、他の次数のＭ系列も
利用可能であり、第４次から第10次のものは、第５図に
示す表に基づいてシフトレジスタを作成することができ
る。なお、上記においては、内容「０」を遮光、内容
「１」を透過に対応させたが、内容「０」を青色光を透
過させるスリット型フィルタ、内容「１」を赤色光を透
過させるスリット型フィルタに対応させることもでき
る。
断、内容「１」を透過に対応させ、第４図に示すように
パターン板12にスリット20を設ける。すなわち、ピッチ
幅をＰとして、内容「１」に対応する箇所にスリット20
を形成し、内容「０」に対応する箇所にスリット20を形
成しないことにして、パターン14を形成する。ここでス
リット20を横切る方向がピッチ幅方向である。また、ピ
ッチ幅Ｐに対応してスリット20のスリット幅は、充分小
さいものとする。なお、上述においては、８次のＭ系列
パターンを例に挙げて説明したが、他の次数のＭ系列も
利用可能であり、第４次から第10次のものは、第５図に
示す表に基づいてシフトレジスタを作成することができ
る。なお、上記においては、内容「０」を遮光、内容
「１」を透過に対応させたが、内容「０」を青色光を透
過させるスリット型フィルタ、内容「１」を赤色光を透
過させるスリット型フィルタに対応させることもでき
る。
第１図において、投影部10のパターン板12に形成された
Ｍ系列のパターン方向両側には、第１検出部30と第２検
出部32とが配置されている。第１検出部30と第２検出部
32とは、それぞれ対物レンズ34、36を有している。その
対物レンズ34、36の上方には、その各対物レンズ34、36
に対応させて、第１リニアイメージセンサー38と第２リ
ニアイメージセンサー40とが配置されている。Ｍ系列パ
ターン14が投影された被測定物１の像は、各対物レンズ
34、36によってリニアイメージセンサー38、40上にそれ
ぞれ形成される。
Ｍ系列のパターン方向両側には、第１検出部30と第２検
出部32とが配置されている。第１検出部30と第２検出部
32とは、それぞれ対物レンズ34、36を有している。その
対物レンズ34、36の上方には、その各対物レンズ34、36
に対応させて、第１リニアイメージセンサー38と第２リ
ニアイメージセンサー40とが配置されている。Ｍ系列パ
ターン14が投影された被測定物１の像は、各対物レンズ
34、36によってリニアイメージセンサー38、40上にそれ
ぞれ形成される。
42はハウジングであり、ハウジング42は投影部10と第１
検出部30と第２検出部32とを収納している。ハウジング
42は、モータM2によって第１図に示すＹ方向に移動可能
である。第１リニアイメージセンサー38と第２リニアイ
メージセンサー40とは、タイミングパルス発生器52から
のクロック信号φ１、φ１′、φ２、φ２′によって走
査されるものである。この走査によって、第１リニアイ
メージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40と
は、各画素ごとの内容が取り出され、第1A/D変換器54と
第2A/D変換器56とに検出データとして出力される。
検出部30と第２検出部32とを収納している。ハウジング
42は、モータM2によって第１図に示すＹ方向に移動可能
である。第１リニアイメージセンサー38と第２リニアイ
メージセンサー40とは、タイミングパルス発生器52から
のクロック信号φ１、φ１′、φ２、φ２′によって走
査されるものである。この走査によって、第１リニアイ
メージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40と
は、各画素ごとの内容が取り出され、第1A/D変換器54と
第2A/D変換器56とに検出データとして出力される。
第1A/D変換器54と第2A/D変換器56とは、タイミング信号
発生器52からの信号によってA/D変換を開始し、これが
終了すると、タイミング信号発生器52へA/D変換終了を
示す信号を出力するとともに、A/D変換された第１リニ
アイメージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40
とからの検出データを制御演算部50へ出力する。制御演
算部50は、タイミング信号発生器52との間でタイミング
信号の授受を行なって、モータM1,M2に対して制御信号
を出力すると共に、第１変換器54、第2A/D変換器56から
検出データを受けとって所定の処理を施し、メモリ58と
の間でデータの書き込み及び読み出しを行い、表示信号
を出力して表示器60に測定結果を表示させ、操作部62か
ら種々の指令を受け取る。この制御演算部50は、後述す
る抽出部と演算部との役割を果たす。
発生器52からの信号によってA/D変換を開始し、これが
終了すると、タイミング信号発生器52へA/D変換終了を
示す信号を出力するとともに、A/D変換された第１リニ
アイメージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40
とからの検出データを制御演算部50へ出力する。制御演
算部50は、タイミング信号発生器52との間でタイミング
信号の授受を行なって、モータM1,M2に対して制御信号
を出力すると共に、第１変換器54、第2A/D変換器56から
検出データを受けとって所定の処理を施し、メモリ58と
の間でデータの書き込み及び読み出しを行い、表示信号
を出力して表示器60に測定結果を表示させ、操作部62か
ら種々の指令を受け取る。この制御演算部50は、後述す
る抽出部と演算部との役割を果たす。
次に、本発明に係る形状測定装置の作用を第６図に示す
フローチャート、第７図に示す信号図と共に、第８図〜
第11図を参照しつつ説明する。
フローチャート、第７図に示す信号図と共に、第８図〜
第11図を参照しつつ説明する。
測定が開始されると、ステップS1において、測定に必要
な数値が初期値として設定される。すなわち、ステップ
S1においてＹ方向のリセットが行われ、モータM2の制御
によりハウジング42をＹ軸原点まで移動させ、Ｙ方向へ
の移動回数ｌをｌ＝０とする。なお、Ｙ方向への移動回
数ｌは、整数回であり、この移動回数ｌは被測定物１に
対応して適宜設定するもので、その総移動回数をlFとす
る。ステップS2においては、Ｙ方向操作の終了を判断す
る。Ｙ方向への走査が終了していればステップS13に進
み、終了していなければ、ステップS3に進む。ここで
は、ｌ＝０であるので、ｌ≠lFとなり、ステップS3に進
む。
な数値が初期値として設定される。すなわち、ステップ
S1においてＹ方向のリセットが行われ、モータM2の制御
によりハウジング42をＹ軸原点まで移動させ、Ｙ方向へ
の移動回数ｌをｌ＝０とする。なお、Ｙ方向への移動回
数ｌは、整数回であり、この移動回数ｌは被測定物１に
対応して適宜設定するもので、その総移動回数をlFとす
る。ステップS2においては、Ｙ方向操作の終了を判断す
る。Ｙ方向への走査が終了していればステップS13に進
み、終了していなければ、ステップS3に進む。ここで
は、ｌ＝０であるので、ｌ≠lFとなり、ステップS3に進
む。
ステップS3ないしステップS6においては、第１リニアイ
メージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40との
検出データに基づいて被測定物１の点位置を示すコード
を求めるために、所定のＹ座標においてＭ系列パターン
を１ピッチずつ７回（ｍ＝８）ずらして、８種類の第１
検出データD1l（m,n）と第２検出データD2l（m,n）とを
得る処理が行なわれるものである。ここで、符号ｎは、
第１リニアイメージセンサー38と第２リニアイメージセ
ンサー40との画素ナンバーを示している。ここでは、こ
の第１リニアイメージセンサー38、第２リニアイメージ
センサー40の画素個数は2048個である。したがって、こ
こでは、第１検出データD2l（m,n）、第２検出データD2
l（m,n）の総個数は、各々８×2048個である。
メージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40との
検出データに基づいて被測定物１の点位置を示すコード
を求めるために、所定のＹ座標においてＭ系列パターン
を１ピッチずつ７回（ｍ＝８）ずらして、８種類の第１
検出データD1l（m,n）と第２検出データD2l（m,n）とを
得る処理が行なわれるものである。ここで、符号ｎは、
第１リニアイメージセンサー38と第２リニアイメージセ
ンサー40との画素ナンバーを示している。ここでは、こ
の第１リニアイメージセンサー38、第２リニアイメージ
センサー40の画素個数は2048個である。したがって、こ
こでは、第１検出データD2l（m,n）、第２検出データD2
l（m,n）の総個数は、各々８×2048個である。
まず、ステップS3において、Ｍ系列パターン走査のリセ
ットが行われ、モータM1の制御によって、パターン板12
を所定位置に移動させ、Ｍ系列パターンの走査回数ｍを
ｍ＝１とする。このステップS3において、第10図に符号
X1で示すような投影パターン像が被測定物１に形成され
る。この第10図において、実線の直線はスリット像であ
り、破線はスリットが形成されていない箇所の像に対応
している。この投影パターン像は第１、第２検出部30、
32の対物レンズ34、36によってそれぞれ第１リニアイメ
ージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40との画
素面に結像される。そして、ステップS4において、第１
リニアイメージセンサー38と第２リニアイメージセンサ
ー40との走査が行われる。これによって、第１リニアイ
メージセンサー38、第２リニアイメージセンサー40の全
画素の検出出力がそれぞれ、第1A/D変換器、第2A/D変換
器に順次取り出され、その検出出力が順次A/D変換され
る。その後、その検出出力は制御演算部50を介してメモ
リ58にそれぞれ第１検出データD1l（m,n）、第２検出デ
ータD2l（m,n）として記憶される。
ットが行われ、モータM1の制御によって、パターン板12
を所定位置に移動させ、Ｍ系列パターンの走査回数ｍを
ｍ＝１とする。このステップS3において、第10図に符号
X1で示すような投影パターン像が被測定物１に形成され
る。この第10図において、実線の直線はスリット像であ
り、破線はスリットが形成されていない箇所の像に対応
している。この投影パターン像は第１、第２検出部30、
32の対物レンズ34、36によってそれぞれ第１リニアイメ
ージセンサー38と第２リニアイメージセンサー40との画
素面に結像される。そして、ステップS4において、第１
リニアイメージセンサー38と第２リニアイメージセンサ
ー40との走査が行われる。これによって、第１リニアイ
メージセンサー38、第２リニアイメージセンサー40の全
画素の検出出力がそれぞれ、第1A/D変換器、第2A/D変換
器に順次取り出され、その検出出力が順次A/D変換され
る。その後、その検出出力は制御演算部50を介してメモ
リ58にそれぞれ第１検出データD1l（m,n）、第２検出デ
ータD2l（m,n）として記憶される。
第１リニアイメージセンサー38、第２リニアイメージセ
ンサー40の検出出力が総てメモリ58に記憶されるとステ
ップS5へ進む。ステップS5においては、Ｍ系列パターン
の走査回数ｍ＝８であるか否かを判断する。走査回数ｍ
＝８であるときは、ステップS7に進み、走査回数ｍ＝８
でないときはステップS6に進む。ステップS6において
は、Ｍ系列パターンのピッチ幅方向への移動走査が行わ
れる。すなわち、制御演算部50の制御によってモータM1
は、Ｍ系列パターンを１ピッチずらし、Ｍ系列パターン
の走査移動回数ｍの内容を１個増加させて、ステップS4
に移行する。これによって、被測定物１には第10図に符
号X1〜X8で示す投影パターン像が形成されることにな
る。この投影パターン像X1〜X8は、矢印で示すようにそ
のピッチがその前後の投影パターン像に対して各々１ピ
ッチずれている。その移動走査の度にこの投影パターン
像X1〜X8に対応する検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）
がメモリ58に記憶される。
ンサー40の検出出力が総てメモリ58に記憶されるとステ
ップS5へ進む。ステップS5においては、Ｍ系列パターン
の走査回数ｍ＝８であるか否かを判断する。走査回数ｍ
＝８であるときは、ステップS7に進み、走査回数ｍ＝８
でないときはステップS6に進む。ステップS6において
は、Ｍ系列パターンのピッチ幅方向への移動走査が行わ
れる。すなわち、制御演算部50の制御によってモータM1
は、Ｍ系列パターンを１ピッチずらし、Ｍ系列パターン
の走査移動回数ｍの内容を１個増加させて、ステップS4
に移行する。これによって、被測定物１には第10図に符
号X1〜X8で示す投影パターン像が形成されることにな
る。この投影パターン像X1〜X8は、矢印で示すようにそ
のピッチがその前後の投影パターン像に対して各々１ピ
ッチずれている。その移動走査の度にこの投影パターン
像X1〜X8に対応する検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）
がメモリ58に記憶される。
以下に説明するステップS7〜ステップS10は、第１及び
第２検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）から被測定物１
の所定位置と対応した第１及び第２位置データを抽出す
る処理を行なうためのものである。まず、ステップS7に
おいて、スムージング処理を行なう。ここで、スムージ
ング処理とは、検出データに含まれているコントラスト
成分を補正してデータ成分を取り出す処理をいう。すな
わち、被測定物１そのものには、コントラストがあっ
て、パターンを投影しない状態においてその被測定物１
の結像に基づいて第１リニアイメージセンサ38、第２リ
ニアイメージセンサ40から出力される検出出力は、たと
えば、第７図（ａ）に示すようなものとなる。Ｍ系列パ
ターンを投影すると、第１リニアイメージセンサ38、第
２リニアイメージセンサ40には、第７図（ｂ）に示すよ
うな検出出力が得られる。
第２検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）から被測定物１
の所定位置と対応した第１及び第２位置データを抽出す
る処理を行なうためのものである。まず、ステップS7に
おいて、スムージング処理を行なう。ここで、スムージ
ング処理とは、検出データに含まれているコントラスト
成分を補正してデータ成分を取り出す処理をいう。すな
わち、被測定物１そのものには、コントラストがあっ
て、パターンを投影しない状態においてその被測定物１
の結像に基づいて第１リニアイメージセンサ38、第２リ
ニアイメージセンサ40から出力される検出出力は、たと
えば、第７図（ａ）に示すようなものとなる。Ｍ系列パ
ターンを投影すると、第１リニアイメージセンサ38、第
２リニアイメージセンサ40には、第７図（ｂ）に示すよ
うな検出出力が得られる。
ステップS7においては、第７図（ｃ）に一点鎖線で示す
足きりの為のスムージング信号を生成してコントラスト
成分に基づく検出出力を除去して、スリット像に基づく
信号成分のみを抽出する。ここで、この一点鎖線で示す
足きりのためのスムージング信号は、第７図（ａ）で示
すコントラストの信号レベルよりも若干高く設定されて
おり、このスムージング信号は、第７図（ｂ）に示す検
出出力をフィルタに通して低周波成分のみによって生成
するものである。このようにして、スリット像に対応す
る検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）が得られる。すな
わち、Ｍ系列パターンを７回移動させて得られる255×
８個の各検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）についてみ
ると、第７図（ｄ）〜（ｋ）に示すものとなる。ここ
で、ドット「・」はある画素においての信号レベルを示
している。ステップS8においては、第１、第２検出デー
タD1l（m,n）、D2l（m,n）からピークとなる検出データ
のアドレスを求めるというピークアドレス検出処理を行
う。スリットを通過して被測定物１において反射され
て、第１、第２リニアイメージセンサ38、40に結像され
るスリット像は、複数個の画素に渡って結像されて第11
図に拡大して示すような検出出力となっているから、こ
のピークアドレス検出処理を行なう必要があるのであ
る。
足きりの為のスムージング信号を生成してコントラスト
成分に基づく検出出力を除去して、スリット像に基づく
信号成分のみを抽出する。ここで、この一点鎖線で示す
足きりのためのスムージング信号は、第７図（ａ）で示
すコントラストの信号レベルよりも若干高く設定されて
おり、このスムージング信号は、第７図（ｂ）に示す検
出出力をフィルタに通して低周波成分のみによって生成
するものである。このようにして、スリット像に対応す
る検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）が得られる。すな
わち、Ｍ系列パターンを７回移動させて得られる255×
８個の各検出データD1l（m,n）、D2l（m,n）についてみ
ると、第７図（ｄ）〜（ｋ）に示すものとなる。ここ
で、ドット「・」はある画素においての信号レベルを示
している。ステップS8においては、第１、第２検出デー
タD1l（m,n）、D2l（m,n）からピークとなる検出データ
のアドレスを求めるというピークアドレス検出処理を行
う。スリットを通過して被測定物１において反射され
て、第１、第２リニアイメージセンサ38、40に結像され
るスリット像は、複数個の画素に渡って結像されて第11
図に拡大して示すような検出出力となっているから、こ
のピークアドレス検出処理を行なう必要があるのであ
る。
このピークに対応する第１、第２リニアイメージセンサ
ー38、40の画素に対応するピークアドレスＮは、第11図
に示すように、その始めのアドレスをnA終りのアドレス
をnBとし第１検出データについて示すと、 として各ピークごとに求められる。第２検出データD2l
（m,n）についても同様にしてピークアドレスN2が求ま
る。ここでピークアドレスN1、N2は、（１）式によって
各検出データについて255個求められる。第７図（ｌ）
においてラインで示しているように、ピークが互いに重
なりあっているからである。ここで、求められた複数の
ピークアドレスN1、N2は、Ｍ系列パターンの要素中心に
対応したものに相当する。
ー38、40の画素に対応するピークアドレスＮは、第11図
に示すように、その始めのアドレスをnA終りのアドレス
をnBとし第１検出データについて示すと、 として各ピークごとに求められる。第２検出データD2l
（m,n）についても同様にしてピークアドレスN2が求ま
る。ここでピークアドレスN1、N2は、（１）式によって
各検出データについて255個求められる。第７図（ｌ）
においてラインで示しているように、ピークが互いに重
なりあっているからである。ここで、求められた複数の
ピークアドレスN1、N2は、Ｍ系列パターンの要素中心に
対応したものに相当する。
次に、ステップS9に移行する。ステップS9においては、
データコード決定処理が行われ、ステップS8で求めたピ
ークアドレスN1、N2に対応する点位置を示す10進数のデ
ータコードを決定する。まず、第１、第２検出データD1
l（m,n）、D2l（m,n）とそれぞれのスムージング信号と
を比較し、スムージング信号より大きい検出データD1l
（m,n）、D2l（m,n）であればその内容を「１」とし、
小さい検出データであればその内容を「０」として２値
化した検出データをそれぞれD1l′（m,n）,D2l′（m,
n）とする。一方、ステップS9で求めたピークアドレス
Ｎの近傍の整数を で示すと、第１検出データD1l（m,n）について各ピーク
アドレスＮに対応するデータコード は、以下に記載する２進−10進変換式によって求められ
る。
データコード決定処理が行われ、ステップS8で求めたピ
ークアドレスN1、N2に対応する点位置を示す10進数のデ
ータコードを決定する。まず、第１、第２検出データD1
l（m,n）、D2l（m,n）とそれぞれのスムージング信号と
を比較し、スムージング信号より大きい検出データD1l
（m,n）、D2l（m,n）であればその内容を「１」とし、
小さい検出データであればその内容を「０」として２値
化した検出データをそれぞれD1l′（m,n）,D2l′（m,
n）とする。一方、ステップS9で求めたピークアドレス
Ｎの近傍の整数を で示すと、第１検出データD1l（m,n）について各ピーク
アドレスＮに対応するデータコード は、以下に記載する２進−10進変換式によって求められ
る。
このようにして、第１、第２検出データD1l（m,n）、D2
l（m,n）について、それぞれ第１、第２データコード が求まるが、これは被測定物上の点位置と対応してお
り、点位置データに相当する。次に、ステップ10に移行
する。ステップS10においては、対応点探索処理を行な
う。ここで、予めＭ系列パターンによって生ずる10進コ
ードとアドレスナンバーとを対応させるテーブルを第８
図（ａ）に示すように用意しておくものである。そし
て、測定によって得られた第１、第２データコード について、第８図（ｂ）、第８図（ｃ）に示すように、
それぞれ対応するアドレスナンバーに置き換え、以下ア
ドレスナンバーによって対応点位置の探索を行ってい
る。すなわち、同じアドレスナンバーを有する第１デー
タコードと第２データコードとのピークアドレスN1,N2
とを（N1,N2）の組とする。ここで、アドレスナンバー
が同じであるということは、被測定物１の点位置に対応
していることを意味している。。この第８図（ａ）にお
いては、検出ナンバー４、５に同一のアドレスナンバー
が示されているが、これは、測定誤差として現れるもの
である。このように、同一のアドレスナンバーが現れた
ときには、点位置が決定できないからその検出データを
使用しないことにする。
l（m,n）について、それぞれ第１、第２データコード が求まるが、これは被測定物上の点位置と対応してお
り、点位置データに相当する。次に、ステップ10に移行
する。ステップS10においては、対応点探索処理を行な
う。ここで、予めＭ系列パターンによって生ずる10進コ
ードとアドレスナンバーとを対応させるテーブルを第８
図（ａ）に示すように用意しておくものである。そし
て、測定によって得られた第１、第２データコード について、第８図（ｂ）、第８図（ｃ）に示すように、
それぞれ対応するアドレスナンバーに置き換え、以下ア
ドレスナンバーによって対応点位置の探索を行ってい
る。すなわち、同じアドレスナンバーを有する第１デー
タコードと第２データコードとのピークアドレスN1,N2
とを（N1,N2）の組とする。ここで、アドレスナンバー
が同じであるということは、被測定物１の点位置に対応
していることを意味している。。この第８図（ａ）にお
いては、検出ナンバー４、５に同一のアドレスナンバー
が示されているが、これは、測定誤差として現れるもの
である。このように、同一のアドレスナンバーが現れた
ときには、点位置が決定できないからその検出データを
使用しないことにする。
次に、ステップS11に移行する。ステップS11において、
座標演算処理を行う。同じアドレスナンバーの第１デー
タコードのピークアドレスN1と第２データコードのピー
クアドレスN2とから被測定物１の点位置の座標値を演算
により求める。第１、第２リニアイメージセンサー38、
40の端部からピークアドレスN1,N2の位置までの距離
xS1,xS2は素子間隔をαとすれば、xS1＝α×N1、xS2＝
α×N2で表される。そこで、第９図に示す配置のもので
は、被測定物上の点Ｐの座標X,Y,Zは、幾何学的に以下
の式によって求められる。
座標演算処理を行う。同じアドレスナンバーの第１デー
タコードのピークアドレスN1と第２データコードのピー
クアドレスN2とから被測定物１の点位置の座標値を演算
により求める。第１、第２リニアイメージセンサー38、
40の端部からピークアドレスN1,N2の位置までの距離
xS1,xS2は素子間隔をαとすれば、xS1＝α×N1、xS2＝
α×N2で表される。そこで、第９図に示す配置のもので
は、被測定物上の点Ｐの座標X,Y,Zは、幾何学的に以下
の式によって求められる。
Ｙ＝β・yS ここで、βは、モータM2による移動ピッチ間隔、L1,L2
は第１、第２リニアイメージセンサー38、40の左端から
対物レンズ34、36の中心O1,O2までのそれぞれの距離、
Ｌは対物レンズ34、36の中心O1,O2の間の距離、ｆは対
物レンズ34、36の焦点距離である。なお、上記X,Y,Z座
標は、は対物レンズO1を座標原点としたものである。ス
テップS11において座標演算処理が終了するとステップS
12において制御演算部50の制御により、モータM2が、ハ
ウジング42をピッチβだけ移動させ、Ｙ方向の移動回数
ｌを「１」個増加させ、ステップS2へ戻る。ステップS2
においては、前述のごとくＹ方向の移動回数ｌが所定回
数lFとなるまで、ステップS3に進み測定を続けるが、所
定回数lFとなったときには、ステップS13に進む。ステ
ップS13においては、これまで得られた被測定物１の座
標を整理してメモリ58に書き込み、書き込み終われば、
ステップ14に進む。ステップS14においては、測定結果
をプリンタ,CRT等に出力し、これによって測定が一通り
終了する。
は第１、第２リニアイメージセンサー38、40の左端から
対物レンズ34、36の中心O1,O2までのそれぞれの距離、
Ｌは対物レンズ34、36の中心O1,O2の間の距離、ｆは対
物レンズ34、36の焦点距離である。なお、上記X,Y,Z座
標は、は対物レンズO1を座標原点としたものである。ス
テップS11において座標演算処理が終了するとステップS
12において制御演算部50の制御により、モータM2が、ハ
ウジング42をピッチβだけ移動させ、Ｙ方向の移動回数
ｌを「１」個増加させ、ステップS2へ戻る。ステップS2
においては、前述のごとくＹ方向の移動回数ｌが所定回
数lFとなるまで、ステップS3に進み測定を続けるが、所
定回数lFとなったときには、ステップS13に進む。ステ
ップS13においては、これまで得られた被測定物１の座
標を整理してメモリ58に書き込み、書き込み終われば、
ステップ14に進む。ステップS14においては、測定結果
をプリンタ,CRT等に出力し、これによって測定が一通り
終了する。
（効果） 本発明に係る形状測定装置は、以上説明したように、複
数のＮ進コードを互いに区別できるように予め定められ
た規則によってピッチ幅方向にパターン要素が配列され
たパターンを有するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と、 上記移動部によるパターンの移動のたびに上記パターン
が投影された被測定物の表面情報を２つの異なった方向
から測定して第１検出データと第２検出データとを検出
する検出部と、 上記第１検出データと上記第２検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第１位置データと第２位置デ
ータを抽出する抽出部と、 上記第１位置データと該第１位置データに対応した第２
位置データとから被測定物の点位置の座標を演算する演
算部とからなるものであるから、複数種類のパターンを
準備しなくとも、唯一個のパターンをそのピッチ幅方向
に移動させるのみで、各点において順次投影されるパタ
ーンの組み合せによって形成されるコード（いわゆるデ
ータ）を互いに区別可能なものとして得ることができる
ことになり、もって、被測定物の形状を高精度かつ容易
に検出できるという効果を奏する。
数のＮ進コードを互いに区別できるように予め定められ
た規則によってピッチ幅方向にパターン要素が配列され
たパターンを有するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と、 上記移動部によるパターンの移動のたびに上記パターン
が投影された被測定物の表面情報を２つの異なった方向
から測定して第１検出データと第２検出データとを検出
する検出部と、 上記第１検出データと上記第２検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第１位置データと第２位置デ
ータを抽出する抽出部と、 上記第１位置データと該第１位置データに対応した第２
位置データとから被測定物の点位置の座標を演算する演
算部とからなるものであるから、複数種類のパターンを
準備しなくとも、唯一個のパターンをそのピッチ幅方向
に移動させるのみで、各点において順次投影されるパタ
ーンの組み合せによって形成されるコード（いわゆるデ
ータ）を互いに区別可能なものとして得ることができる
ことになり、もって、被測定物の形状を高精度かつ容易
に検出できるという効果を奏する。
第１図は本発明に係る形状測定装置の要部構成を示す
図、第２図は本発明に係るＭ系列のパターンを作成する
ためのレジスタの構成の一例を示す図、第３図は本発明
に係るＭ系列を得るためのレジスタの内容を２進−10進
表として示した図、第４図は本発明に係るＭ系列のパタ
ーンを有するパターン板の部分拡大図、第５図は他のＭ
系列を得るためのシフトレジスタの構成を説明するため
の図、第６図は本発明に係る形状測定装置の作用を説明
するためのフローチャート、第７図は本発明に係る形状
測定装置の作用を説明するための検出出力図、第８図
（ａ）、第８図（ｂ）、第８図（ｃ）は本発明に係る形
状測定装置に基づいてデータ処理を行なうときに使用す
る表の説明図、第９図は本発明に係る形状測定装置に基
づいて被測定物の点位置の座標を求める演算処理の説明
図、第10図は本発明に係る投影パターン像の説明図、第
11図は本発明に係るピークアドレス処理の一例を示すた
めの説明図である。 １……被測定物、10……投影部、12……パターン板 14……パターン、16……光源、18……投影レンズ、20…
…スリット、30……第１検出部、M1……モータ 32……第２検出部、34、36……対物レンズ 38……第１リニアイメージセンサ、 50……制御演算部、58……メモリ 40……第２リニアイメージセンサ M2……モータ
図、第２図は本発明に係るＭ系列のパターンを作成する
ためのレジスタの構成の一例を示す図、第３図は本発明
に係るＭ系列を得るためのレジスタの内容を２進−10進
表として示した図、第４図は本発明に係るＭ系列のパタ
ーンを有するパターン板の部分拡大図、第５図は他のＭ
系列を得るためのシフトレジスタの構成を説明するため
の図、第６図は本発明に係る形状測定装置の作用を説明
するためのフローチャート、第７図は本発明に係る形状
測定装置の作用を説明するための検出出力図、第８図
（ａ）、第８図（ｂ）、第８図（ｃ）は本発明に係る形
状測定装置に基づいてデータ処理を行なうときに使用す
る表の説明図、第９図は本発明に係る形状測定装置に基
づいて被測定物の点位置の座標を求める演算処理の説明
図、第10図は本発明に係る投影パターン像の説明図、第
11図は本発明に係るピークアドレス処理の一例を示すた
めの説明図である。 １……被測定物、10……投影部、12……パターン板 14……パターン、16……光源、18……投影レンズ、20…
…スリット、30……第１検出部、M1……モータ 32……第２検出部、34、36……対物レンズ 38……第１リニアイメージセンサ、 50……制御演算部、58……メモリ 40……第２リニアイメージセンサ M2……モータ
Claims (4)
- 【請求項１】複数のＮ進コードを互いに区別できるよう
に予め定められた規則によってピッチ幅方向にパターン
要素が配列されたパターンを有するパターン部と、 上記パターンを上記ピッチ幅方向に規則に従って移動さ
せる移動部と上記パターンを被測定物上に投影する投影
光学系とを有する投影部と、 上記移動部によるパターンの移動のたびに上記パターン
が投影された被測定物の表面情報を２つの異なった方向
から測定して第１検出データと第２検出データとを検出
する検出部と、 上記第１検出データと上記第２検出データの各々から被
測定物の点位置に対応した第１位置データと第２位置デ
ータを抽出する抽出部と、 上記第１位置データと該第１位置データに対応した第２
位置データとから被測定物の点位置の座標を演算する演
算部とから構成されることを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項２】上記パターンは、直線方向に配列されたＭ
系列パターンであり、上記移動部は、上記Ｍ系列パター
ンをその配列方向に移動させる構成であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の形状測定装置。 - 【請求項３】上記検出部は、上記移動方向に間隔をもっ
て配置された第１イメージセンサーと第２イメージセン
サーとを有すると共に、上記Ｍ系列パターンが投影され
た被測定物の像を上記第１イメージセンサーと第２イメ
ージセンサー上にそれぞれ形成させる結像光学系とを有
し、上記第１イメージセンサーの出力が上記第１検出デ
ータに対応し、上記第２イメージセンサーの出力が上記
第２検出データに対応していることを特徴とする特許請
求の範囲第２項に記載の形状測定装置。 - 【請求項４】上記抽出部の第１位置データは、上記移動
部によるＭ系列パターンの移動ごとに生成される上記第
１イメージセンサーの各素子出力を単位とし、上記抽出
部の第２位置データは、上記移動部によるＭ系列パター
ンの移動ごとに生成される上記第２イメージセンサーの
各素子出力を単位とすることを特徴とする特許請求の範
囲第３項記載の形状測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61089514A JPH0726828B2 (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 形状測定装置 |
| US07/039,455 US4834530A (en) | 1986-04-18 | 1987-04-17 | Shape measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61089514A JPH0726828B2 (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324116A JPS6324116A (ja) | 1988-02-01 |
| JPH0726828B2 true JPH0726828B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=13972895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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