CN112486093A - 平台精度的补偿方法、装置、设备和介质 - Google Patents

平台精度的补偿方法、装置、设备和介质 Download PDF

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CN112486093A CN202011179963.4A CN202011179963A CN112486093A CN 112486093 A CN112486093 A CN 112486093A CN 202011179963 A CN202011179963 A CN 202011179963A CN 112486093 A CN112486093 A CN 112486093A
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Abstract

本发明实施例公开了一种平台精度的补偿方法、装置、设备和介质。其中，该方法包括：确定目标标定板上的阵列点测量数据；根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；根据正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。本发明实施例采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。

Description

平台精度的补偿方法、装置、设备和介质
技术领域
本发明实施例涉及一种精度测量技术领域，尤其涉及一种平台精度的补偿方法、装置、设备和介质。
背景技术
在硬件生产设计的制造中，通常会基于精度平台去实现其精准的高效工艺；但是精度平台的平稳性也会给工艺制造带来影响；若工艺制造的基地平台精度较低，则会导致制作的工艺不满足设计需求；因此，对于平台精度的调整也很重要。现有技术中，主要是通过光栅尺实现平台精度的调试；即安装光栅尺，并利用光栅尺方向和平台运动轴方向确定其补偿精度，以此实现补偿。
上述方案的缺陷在于：光栅尺是由人工安装的，实际安装过程中会导致光栅尺与平台导轨之间的平行度以及直线度存在误差，导致平台补偿精度不够。
发明内容
本申请实施例提供一种平台精度的补偿方法、装置、设备和介质，可以根据确定出的线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。
第一方面，本发明实施例提供了一种平台精度的补偿方法，包括：
确定目标标定板上的阵列点测量数据；
根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；
基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；
根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；
根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。
可选的，在确定目标标定板上的阵列点测量数据之前，所述方法还包括：
从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。
可选的，根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角，包括：
获取所述目标标定板的阵列点理论数据；
根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；
根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。
可选的，根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿，包括：
确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
可选的，确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值，包括：
确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
相应的，确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值，包括：
确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，所述垂直测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
可选的，根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿，包括：
将所述水平线性度误差补偿值和所述垂直线性度误差补偿值，转换成所述待补偿平台的补偿坐标；
根据所述待补偿平台的补偿坐标，对所述待补偿平台进行平台精度补偿。
第二方面，本发明实施例提供了一种平台精度的补偿装置，包括：
数据确定模块，用于确定目标标定板上的阵列点测量数据；
正交性夹角计算模块，用于根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；
数据转换模块，用于基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；
误差补偿确定模块，用于根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；
平台补偿模块，用于根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。
可选的，还包括：
目标标定板选择模块，用于从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。
可选的，正交性夹角计算模块，具体用于：
获取所述目标标定板的阵列点理论数据；
根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；
根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。
可选的，误差补偿确定模块，具体用于：
确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
可选的，误差补偿确定模块，还具体用于：
确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
相应的，误差补偿确定模块，还具体用于：
确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，所述垂直测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
可选的，平台补偿模块，具体用于：
将所述水平线性度误差补偿值和所述垂直线性度误差补偿值，转换成所述待补偿平台的补偿坐标；
根据所述待补偿平台的补偿坐标，对所述待补偿平台进行平台精度补偿。
第三方面，本发明实施例还提供了一种电子设备，该电子设备包括：
一个或多个处理器；
存储装置，用于存储一个或多个程序，
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现本发明实施例中的任一种所述的平台精度的补偿方法。
第四方面，本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本发明实施例中的任一种所述的平台精度的补偿方法。
本发明实施例确定目标标定板上的阵列点测量数据；根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；根据正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。本发明实施例采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。
附图说明
图1是本发明实施例一中的平台精度的补偿方法的流程示意图；
图2是本发明实施例二中的平台精度的补偿方法的流程示意图；
图3是本发明实施例三中的平台精度的补偿装置的结构示意图；
图4是本实施例四中的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
实施例一
图1是本发明实施例一中的平台精度的补偿方法的流程示意图。本实施例可适用于对平台精度进行有效补偿的情况。本实施例方法可由平台精度的补偿装置来执行，该装置可采用硬件/或软件的方式来实现，并可配置于电子设备中。可实现本申请任意实施例所述的平台精度的补偿方法。如图1所示，该方法具体包括如下：
S110、确定目标标定板上的阵列点测量数据。
传统方式下，对于平台精度的补偿主要是通过选定一个光栅尺，以利用光栅尺相对于平台的移动方对平台精度进行调试；但是选定的该光栅尺必须是由人工安装的平台上的，且在实际的安装过程中，会造成光栅尺与平台导轨之间的平行度以及直线度存在误差的情况，从而使得调试后平台的精度不满足工艺制作需求。
因此，在本实施例中引入了一个标定板辅助实现平台精度的有效补偿，以实现平台精度的有效补偿；其中，阵列点测量数据是对目标标定板上的阵列点数据的测量结果；例如可以是但不仅限于是通过CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)相机测量目标标定板上的阵列点数据，得到阵列点测量数据。
在本实施例中，可选的，在确定目标标定板上的阵列点测量数据之前，本实施例方法还包括：从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。由于标定板的用途较多，导致其表面上的阵列点的形状可能会不同；本实施例通过选取标定板上的阵列点为圆形作为目标标定板，能够使得后期对该标定板进行测量时能够清晰精准的测量到阵列板上的每个数据。
S120、根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角。
在本实施例中，待补偿平台为测试出的精度不满足工艺测量需求的工作平台；由于一个工作平台的精度存在较大误差时，会导致利用该工作平台制造出的产品与设计需求出现较大偏差，因此，在测试出一个工作平台的精度较弱时，对其进行精度补偿是很有必要的。
其中，正交性夹角为待补偿平台的侧边与自定义的水平方向线上的夹角；此时待补偿平台可以看作一个平面，取水平面的方向线与待补偿平台边成一夹角。
S130、基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据。
在本实施例中，正交坐标系数据是在正交坐标系下的阵列点测量数据的一种展现形式，主要是为了使得阵列点测量数据能够与待补偿平台在一个坐标系下进行补偿操作。
S140、根据正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿。
在现有技术中，还利用一个标定尺，根据测量标定尺在预设布局期间内的刻度线变化计算出实际行进距离，再将实际行进距离与预设步距之间的偏差值调整预设步距，以实现对平台精度的补偿；但是该方式只是一维方向上的精度控制，使得补偿后的平台精度仍然较低。
因此，本实施例在二维方向上进行精度补偿，能够有效解决一维精度补偿使得平台补偿精度较低的问题。
S150、根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。
在本实施例中，根据二维线性度误差补偿，能够有效计算出待补偿平台上的各补偿点的补偿信息，从而有效实现待补偿平台的精准补偿。本发明实施例采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。
本发明实施例确定目标标定板上的阵列点测量数据；根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；根据正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。本发明实施例采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。
实施例二
图2是本发明实施例二中的平台精度的补偿方法的流程示意图。本实施例是在上述实施例的基础上进一步扩展与优化，并可与上述技术方案中任意可选方案组合。如图2所示，该方法包括：
S210、确定目标标定板上的阵列点测量数据。
S220、根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角。
在本实施例中，可选的，根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角，包括：
获取目标标定板的阵列点理论数据；
根据阵列点理论数据和阵列点测量数据，确定阵列点测量数据到阵列点理论数据的仿射变换矩阵；
根据仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。
在本实施例中，目标标定板的阵列点理论数据是以目标标定板为坐标系所得出的各阵列点的理论坐标数据；仿射变换矩阵的表达式可以为如下式(1)所示。
R*A＝Y (1)
其中，R为仿射变换参数；A为阵列点测量数据的特征矩阵；Y为阵列点理论数据的特征矩阵。
可得出上述公式(1)的最小二乘解为公式(2)所示。
A＝(RT·R)-1·RT·Y (2)
具体的，在本实施例中，预设坐标点是用来计算仿射向量夹角的，例如可以设置为点(0,1)和点(1,0)；继而可以得到待补偿平台的正交性夹角θ。
S230、基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据。
在本实施例中，可以通过如下公式(3)将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据，以实现阵列点测量数据的有效统一。
Figure BDA0002749881540000101
其中，x'为阵列点测量数据的横坐标；y'为阵列点测量数据的纵坐标；θ为待补偿平台的正交性夹角；x为正交坐标系数据的横坐标；y为正交坐标系数据的纵坐标。
S240、确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
在本实施例中，是对待补偿平台进行二维方向上的精度补偿，因此，需要计算出其水平和垂直方向上的误差补偿值，以实现对待补偿平台中的各个节点进行二维精度控制。
S250、根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。
在上述实施例的基础上，可选的，确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值，包括：
确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，水平测量误差为中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；
将正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
相应的，确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值，包括：
确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，垂直测量误差为中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；
将正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
在本实施例中，待补偿平台的正交性夹角线性度误差可根据目标标定板上的阵列点测量数据和阵列点理论数据计算得出；中间阵列点测量数据是根据CCD相机对目标阵列板上的阵列点数据进行测量得到，起始阵列点测量数据和中间阵列点测量数据是分别在不同测量顺序下得到的测量结果；水平线性度误差补偿值能够有效反映出中间阵列点测量数据在水平方向上的补偿缺陷；垂直线性度误差补偿值能够有效反映出中间阵列点测量数据在垂直方向上的补偿缺陷。
本实施例通过计算出待补偿平台的各节点的水平线性度误差补偿值和垂直线性度误差补偿值，能够有效实现待补偿平台的二维线性补偿。
在上述实施例的基础上，可选的，根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿，包括：
将水平线性度误差补偿值和垂直线性度误差补偿值，转换成待补偿平台的补偿坐标；
根据待补偿平台的补偿坐标，对待补偿平台进行平台精度补偿。
在本实施例中，由于水平线性度误差补偿值和垂直线性度误差补偿值是属于正交坐标系下表示的数据坐标，为了实现与待补偿平台的有效对接，因此，需要将水平线性度误差补偿值和垂直线性度误差补偿值，转换成待补偿平台的补偿坐标。具体的，可以根据如下公式(4)进行转换。
Figure BDA0002749881540000121
其中，x2为待补偿平台的补偿横坐标；y2为待补偿平台的补偿纵坐标；θ为待补偿平台的正交性夹角；x1为水平线性度误差补偿值；y1为垂直线性度误差补偿值。
实施例三
图3是本发明实施例三中的平台精度的补偿装置的结构示意图，本实施例可适用于对平台精度进行有效补偿的情况。该装置配置于电子设备中，可实现本申请任意实施例所述的平台精度的补偿方法。该装置具体包括如下：
数据确定模块310，用于确定目标标定板上的阵列点测量数据；
正交性夹角计算模块320，用于根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；
数据转换模块330，用于基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；
误差补偿确定模块340，用于根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；
平台补偿模块350，用于根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。
在上述实施例的基础上，可选的，本实施例装置还包括：
目标标定板选择模块，用于从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。
在上述实施例的基础上，可选的，正交性夹角计算模块320，具体用于：
获取所述目标标定板的阵列点理论数据；
根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；
根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。
在上述实施例的基础上，可选的，误差补偿确定模块340，具体用于：
确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
在上述实施例的基础上，可选的，误差补偿确定模块340，还具体用于：
确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
相应的，误差补偿确定模块340，还具体用于：
确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，所述垂直测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
在上述实施例的基础上，可选的，平台补偿模块350，具体用于：
将所述水平线性度误差补偿值和所述垂直线性度误差补偿值，转换成所述待补偿平台的补偿坐标；
根据所述待补偿平台的补偿坐标，对所述待补偿平台进行平台精度补偿。
通过本发明实施例三的平台精度的补偿装置，能够采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。
本发明实施例所提供的平台精度的补偿装置可执行本发明任意实施例所提供的平台精度的补偿方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。
实施例四
图4是本发明实施例四中的电子设备的结构示意图，如图4所示，该电子设备包括处理器410、存储器420、输入装置430和输出装置440；电子设备中处理器410的数量可以是一个或多个，图4中以一个处理器410为例；电子设备中的处理器410、存储器420、输入装置430和输出装置440可以通过总线或其他方式连接，图4中以通过总线连接为例。
存储器420作为一种计算机可读存储介质，可用于存储软件程序、计算机可执行程序以及模块，如本发明实施例中的平台精度的补偿方法对应的程序指令/模块。处理器410通过运行存储在存储器420中的软件程序、指令以及模块，从而执行电子设备的各种功能应用以及数据处理，即实现本发明实施例所提供的平台精度的补偿方法。
存储器420可主要包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序；存储数据区可存储根据终端的使用所创建的数据等。此外，存储器420可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非易失性固态存储器件。在一些实例中，存储器420可进一步包括相对于处理器410远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接至电子设备。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。
输入装置430可用于接收输入的数字或字符信息，以及产生与电子设备的用户设置以及功能控制有关的键信号输入，可以包括键盘、鼠标等。输出装置440可包括显示屏等显示设备。
实施例五
本实施例提供一种包含计算机可执行指令的存储介质，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时用于实现本发明实施例所提供的平台精度的补偿方法。
当然，本发明实施例所提供的一种包含计算机可执行指令的存储介质，其计算机可执行指令不限于如上所述的方法操作，还可以执行本发明任意实施例所提供的平台精度的补偿方法中的相关操作。
通过以上关于实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，本发明可借助软件及必需的通用硬件来实现，当然也可以通过硬件实现，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如计算机的软盘、只读存储器(Read-Only Memory,ROM)、随机存取存储器(RandomAccess Memory,RAM)、闪存(FLASH)、硬盘或光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。
值得注意的是，上述搜索装置的实施例中，所包括的各个单元和模块只是按照功能逻辑进行划分的，但并不局限于上述的划分，只要能够实现相应的功能即可；另外，各功能单元的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本发明的保护范围。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种平台精度的补偿方法，其特征在于，所述方法包括：
确定目标标定板上的阵列点测量数据；
根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；
基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；
根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；
根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在确定目标标定板上的阵列点测量数据之前，所述方法还包括：
从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角，包括：
获取所述目标标定板的阵列点理论数据；
根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；
根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿，包括：
确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值，包括：
确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
相应的，确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值，包括：
确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，所述垂直测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿，包括：
将所述水平线性度误差补偿值和所述垂直线性度误差补偿值，转换成所述待补偿平台的补偿坐标；
根据所述待补偿平台的补偿坐标，对所述待补偿平台进行平台精度补偿。
7.一种平台精度的补偿装置，其特征在于，所述装置包括：
数据确定模块，用于确定目标标定板上的阵列点测量数据；
正交性夹角计算模块，用于根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；
数据转换模块，用于基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；
误差补偿确定模块，用于根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；
平台补偿模块，用于根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括：
目标标定板选择模块，用于从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。
9.一种电子设备，其特征在于，包括：
一个或多个处理器；
存储装置，用于存储一个或多个程序，
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1～6中任一所述的平台精度的补偿方法。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1～6中任一所述的平台精度的补偿方法。
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