CN114415597A - 一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机 - Google Patents

一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机，其方法包括，测量平台上不同位置的定位误差得到二维补偿数据表S；将待加工产品的激光束运动轨迹P进行分解，得到激光束运动轨迹P在平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在振镜坐标系上的理论坐标值Pj；根据二维补偿数据表S对理论坐标值Pi进行插补查询，得到激光束运动轨迹P在理论坐标值Pi处的定位误差dPi；根据定位误差dPi对理论坐标值Pi或Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或Pj′；根据校准坐标值Pi′和理论坐标值Pj，或根据理论坐标值Pi和校准坐标值Pj′，分别对应驱动平台和振镜，使平台和振镜协同运动，完成对待加工产品的加工。本发明可以在极大的减少运控系统的数据处理工作量的同时提高加工精度。

Description

一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机
技术领域
本发明涉及平台振镜加工领域，具体涉及一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机。
背景技术
在振镜和平台联动加工的过程中，振镜与平台组成4轴系统实时进行加工，其中平台用于大距离长行程的运动，振镜用于小幅面高速的扫描，两者结合起来，可以达到无限视野加工的效果。在该系统中，平台定位精度是影响整体加工精度的关键。为提高精度，一般使用高精度线性导轨，辅以高精度安装平台，采用高要求的安装标准，同时采用激光干涉仪分别对运动平台X/Y轴进行定位误差检测和补偿。
上述方法可以提高单轴单方向的定位精度，但在大幅面长行程的加工中，平台定位精度X/Y轴因机械安装精度相互影响，导致平台定位精度降低；同时，为了获得高定位精度，对机械安装提出了严苛的要求，增加了设备安装难度和成本。另外，受制于机械结构的自身精度局限，在一定的成本控制下，进一步提高加工精度无能为力。为提高精度，需要对平台定位进行二维补偿，即平台X轴(或Y轴)的定位误差不仅仅取决于平台当前X轴(或Y轴)的位置，还取决于Y轴(或X轴)的位置。二维补偿可以应用于平台，也可以应用于振镜，但不论是应于平台还是振镜，都存在着运算量大、实时性不高的问题，特别是在加工图形复杂、数据量大的情况下，这种情况更为明显，最终导致因计算实时性差导致加工精度无法满足要求的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机，在极大的减少运控系统的数据处理工作量的同时提高加工精度。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种平台振镜联动加工方法，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括以下步骤，
测量所述平台上不同位置的定位误差，得到二维补偿数据表S；
在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，并基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；
根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
基于上述一种平台振镜联动加工方法，本发明还提供一种平台振镜联动加工系统。
一种平台振镜联动加工系统，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括以下模块，
补偿数据表获取模块，其用于测量所述平台上不同位置的定位误差，得到二维补偿数据表S；
轨迹分解模块，其用于在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，并基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；
精度补偿模块，其用于根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
驱动加工模块，其用于根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
基于上述一种平台振镜联动加工方法，本发明还提供一种平台振镜联动加工设备。
一种平台振镜联动加工设备，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括CAM系统、运控系统、视觉定位系统和标定板，所述标定板设置在所述平台上；
所述视觉定位系统，其用于通过识别所述标定板上的特征点来获取所述平台的定位误差，并在所述CAM系统的协同下，生成二维补偿数据表S；
所述CAM系统，其用于在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；以及根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
所述运控系统，其用于根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
基于上述一种平台振镜联动加工方法，本发明还提供一种工控机。
一种工控机，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括处理器、存储器以及存储在所述存储器内的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现如上述所述的平台振镜联动加工方法。
基于上述一种工控机，本发明还提供一种平台振镜联动加工装置。
一种平台振镜联动加工装置，包括平台、振镜、标定板和工作站，所述工作站包括视觉定位系统、CAM系统以及如上述所述的工控机，所述平台和所述振镜受所述工控机控制，所述标定板设置在所述平台上，所述视觉定位系统与所述CAM系统连接，所述CAM系统与所述工控机连接。
本发明的有益效果是：一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机通过预先获得的平台二维补偿表，对加工图形进行预处理，并对平台的运动过程或振镜的运动过程进行补偿，在提高加工精度的同时，还可以极大的减少运控系统的数据处理的工作量，降低计算负荷，提高运控系统的响应和性能。
附图说明
图1为本发明一种平台振镜联动加工方法的流程图；
图2为本发明一种平台振镜联动加工方法的一种原理图；
图3为本发明一种平台振镜联动加工方法的另一种原理图；
图4为获取二维补偿数据表S的流程图；
图5为振镜平台联动工作示意图；
图6为本发明一种平台振镜联动加工系统的结构框图；
图7为本发明一种平台振镜联动加工设备的结构框图；
图8为获取二维补偿数据表S的原理图；
图9为本发明一种平台振镜联动加工装置的结构框图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、振镜加工幅面，2、平台工作面，3、振镜运动轨迹，4、平台运动轨迹。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
实施例一：
如图1、图2和图3所示，一种平台振镜联动加工方法，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括以下四个步骤：
步骤一，测量所述平台上不同位置的定位误差，得到二维补偿数据表S。
在步骤一中，利用标定板和视觉定位模块测量所述平台上不同位置的定位误差；具体的，如图4所示，利用标定板和视觉定位模块测量所述平台上不同位置的定位误差的具体过程为，
根据所述标定板的外形尺寸以及所述标定板上特征点的间距，设置二维坐标网格；
将所述标定板放置在所述平台上，根据所述二维坐标网格上特征点的坐标位置驱动所述平台运动至理论坐标值为Pn的位置；其中，n＝1,2,...,N；N为所述二维坐标网格中特征点的个数；
利用所述视觉定位模块测量所述标定板上特征点的实际坐标值Pn″；
计算理论坐标值Pn与实际坐标值Pn″之间的偏差值，得到所述平台在理论坐标值Pn处的定位误差dPn＝Pn″-Pn；
将所述平台在所有理论坐标值处的定位误差存储至数据表中，得到所述二维补偿数据表S。
其中，标定板为高精度光学标定板，视觉定位模块为高精度视觉定位模块。
步骤二，在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，并基于平台坐标系以及振镜坐标系，将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj。
图5为振镜平台联动工作示意图；其中，所述振镜的振镜加工幅面1位于所述平台的平台工作面2上。基于平台坐标系以及振镜坐标系，将所述激光束运动轨迹P分解至所述振镜加工幅面1和所述平台工作面2上，对应形成振镜运动轨迹3和平台运动轨迹4。所述激光束运动轨迹P在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj为所述振镜运动轨迹3上各点的坐标值；所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi为所述平台运动轨迹4上各点的坐标值。
所述激光束运动轨迹P在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj与所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi一一对应，且P＝Pi+Pj。例如，所述激光束运动轨迹P上的点Px分解后得到在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pjx以及在所述平台坐标系上的理论坐标值Pix，则Px＝Pix+Pjx，理论坐标值Pjx与理论坐标值Pix对应，可以保证平台与振镜的联动加工。
步骤三，根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
在步骤三中，根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询的具体过程为，在所述二维补偿数据表S中查找出所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；
根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿的具体过程为，根据所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi对所述理论坐标值Pi进行补偿，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的校准坐标值Pi′，且Pi′＝Pi+dPi；或根据所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi对所述理论坐标值Pj进行补偿，得到所述激光束运动轨迹P在所述振镜坐标系上的校准坐标值Pj′，且Pj′＝Pj+dPi。
由于平台的平台工作面可以看作是由大量点组成的，在获取所述二维补偿数据表S时，不可能对所有位置都进行采集；因此，并不是所有位置处的定位误差都可以测量得到，因而我们选取多个预设位置点的定位误差制作二维补偿数据表。若在所述二维补偿数据表S中没有查找出所述平台在所述理论坐标值Pi的定位误差dPi，则可以在所述二维补偿数据表S采用插补算法计算出所述平台在所述理论坐标值Pi的定位误差dPi。该插补算法具体可以为，采用所述二维补偿数据表S中各理论坐标值处的定位误差进行曲线拟合，计算出所述平台在所述理论坐标值Pi的定位误差dPi。
步骤四，根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
实施例二：
基于上述一种平台振镜联动加工方法，本发明还提供一种平台振镜联动加工系统。
如图6所示，一种平台振镜联动加工系统，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括以下模块，
补偿数据表获取模块，其用于测量所述平台上不同位置的定位误差，得到二维补偿数据表S；
轨迹分解模块，其用于在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，并基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；
精度补偿模块，其用于根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
驱动加工模块，其用于根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
在本具体实施例中：
在补偿数据表获取模块中，利用标定板和视觉定位模块测量所述平台上不同位置的定位误差。
补偿数据表获取模块具体用于，根据所述标定板的外形尺寸以及所述标定板上特征点的间距，设置二维坐标网格；
将所述标定板放置在所述平台上，根据所述二维坐标网格上特征点的坐标位置驱动所述平台运动至理论坐标值为Pn的位置；其中，n＝1,2,...,N；N为所述二维坐标网格中特征点的个数；
利用所述视觉定位模块测量所述标定板上特征点的实际坐标值Pn″；
计算理论坐标值Pn与实际坐标值Pn″之间的偏差值，得到所述平台在理论坐标值Pn处的定位误差dPn＝Pn″-Pn；
将所述平台在所有理论坐标值处的定位误差存储至数据表中，得到所述二维补偿数据表S。
精度补偿模块具体用于，在所述二维补偿数据表S中查找出所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；根据所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi对所述理论坐标值Pi进行补偿，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的校准坐标值Pi′，且Pi′＝Pi+dPi；或根据所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi对所述理论坐标值Pj进行补偿，得到所述激光束运动轨迹P在所述振镜坐标系上的校准坐标值Pj′，且Pj′＝Pj+dPi。
实施例三：
基于上述一种平台振镜联动加工方法，本发明还提供一种平台振镜联动加工设备。
如图7所示，一种平台振镜联动加工设备，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括CAM系统、运控系统、视觉定位系统和标定板，所述标定板设置在所述平台上；
所述视觉定位系统，其用于通过识别所述标定板上的特征点来获取所述平台的定位误差，并在所述CAM系统的协同下，生成二维补偿数据表S；
所述CAM系统，其用于在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；以及根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
所述运控系统，其用于根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
图8为获取二维补偿数据表S的原理图。在本具体实施例中，根据标定板的外形尺寸及识别特征点间距L(标定板网格G0)，在CAM系统中设定二维坐标网格矩阵M0。将标定板放置在平台上，CAM系统根据二维坐标网格矩阵M0坐标位置，向运控系统发送平台运动指令。运控系统根据平台运动指令驱动平台运动到指令位置(即理论坐标值为Pn的位置)，视觉定位系统抓取标定板上特征点，获取到特征点坐标值(特征点的实际坐标值Pn″)，根据理论坐标值Pn和实际坐标值Pn″之间的偏差即可获取平台在理论坐标值为Pn的位置处的定位误差。根据二维坐标网矩阵格M0，CAM系统通过运控系统控制平台依次运动到相应的位置，并通过视觉定位系统识别标定板上的特征点获得特征点位置，计算平台上相应的位置的定位误差，得到平台定位二维补偿矩阵数据表S。
在生产加工前，通过CAM系统导入产品图形文档，得到振镜发出的加工激光束的激光束运动轨迹P；CAM系统基于平台坐标系以及振镜坐标系将激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；CAM系统根据理论坐标值Pi，检索二维补偿矩阵数据表S，使用插补算法，计算平台在当前位置的定位误差dPi；CAM系统根据计算得到的平台在当前位置的定位误差dPi，可将该定位误差补偿到平台的理论坐标值Pi，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的校准坐标值Pi′，且Pi′＝Pi+dPi；或将该定位误差补偿到平台的理论坐标值Pj，得到所述激光束运动轨迹P在所述振镜坐标系上的校准坐标值Pj′，且Pj′＝Pj+dPi；CAM系统将平台的校准坐标值Pi′和振镜的理论坐标值Pj下发至运控系统，或将平台的理论坐标值Pi和振镜的校准坐标值Pj′下发至运控系统；运控系统接收CAM系统下发的平台的校准坐标值Pi′和振镜的理论坐标值Pj，或接收平台的理论坐标值Pi和振镜的校准坐标值Pj′，同时驱动平台和振镜协同运动，最终完成产品加工。
实施例四：
基于上述一种平台振镜联动加工方法，本发明还提供一种工控机。
一种工控机，用于控制振镜以及平台的联动加工，包括处理器、存储器以及存储在所述存储器内的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现如上述所述的平台振镜联动加工方法。其中，平台振镜联动加工方法如上述所示，在此不再赘述。
实施例五：
基于上述一种工控机，本发明还提供一种平台振镜联动加工装置。
如图9所示，一种平台振镜联动加工装置，包括平台、振镜、标定板和工作站，所述工作站包括视觉定位系统、CAM系统以及如上述所述的工控机，所述平台和所述振镜受所述工控机控制，所述标定板设置在所述平台上，所述视觉定位系统与所述CAM系统连接，所述CAM系统与所述工控机连接。
在本实施例中，视觉定位系统、CAM系统、运控系统、平台、振镜以及标定板的功能及工作过程如上述所述的一种平台振镜联动加工设备所示，在此不再赘述。
本发明一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机通过预先获得的平台二维补偿表，对加工图形进行预处理，并对平台的运动过程或振镜的运动过程进行补偿，在提高加工精度的同时，还可以极大的减少运控系统的数据处理的工作量，降低计算负荷，提高运控系统的响应和性能。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种平台振镜联动加工方法，其特征在于：用于控制振镜以及平台的联动加工，包括以下步骤，
测量所述平台上不同位置的定位误差，得到二维补偿数据表S；
在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，并基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；
根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
2.根据权利要求1所述的平台振镜联动加工方法，其特征在于：利用标定板和视觉定位模块测量所述平台上不同位置的定位误差。
3.根据权利要求2所述的平台振镜联动加工方法，其特征在于：利用标定板和视觉定位模块测量所述平台上不同位置的定位误差的具体过程为，
根据所述标定板的外形尺寸以及所述标定板上特征点的间距，设置二维坐标网格；
将所述标定板放置在所述平台上，根据所述二维坐标网格上特征点的坐标位置驱动所述平台运动至理论坐标值为Pn的位置；其中，n＝1,2,...,N；N为所述二维坐标网格中特征点的个数；
利用所述视觉定位模块测量所述标定板上的特征点的实际坐标值Pn″；
计算理论坐标值Pn与实际坐标值Pn″之间的偏差值，得到所述平台在理论坐标值Pn处的定位误差dPn＝Pn″-Pn；
将所述平台在所有理论坐标值处的定位误差存储至数据表中，得到所述二维补偿数据表S。
4.根据权利要求3所述的平台振镜联动加工方法，其特征在于：根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询的具体过程为，
在所述二维补偿数据表S中查找出所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；
根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿的具体过程为，
根据所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi对所述理论坐标值Pi进行补偿，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的校准坐标值Pi′，且Pi′＝Pi+dPi；或根据所述平台在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi对所述理论坐标值Pj进行补偿，得到所述激光束运动轨迹P在所述振镜坐标系上的校准坐标值Pj′，且Pj′＝Pj+dPi。
5.一种平台振镜联动加工系统，其特征在于：用于控制振镜以及平台的联动加工，包括以下模块，
补偿数据表获取模块，其用于测量所述平台上不同位置的定位误差，得到二维补偿数据表S；
轨迹分解模块，其用于在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，并基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；
精度补偿模块，其用于根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
驱动加工模块，其用于根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
6.一种平台振镜联动加工设备，其特征在于：用于控制振镜以及平台的联动加工，包括CAM系统、运控系统、视觉定位系统和标定板，所述标定板设置在所述平台上；
所述视觉定位系统，其用于通过识别所述标定板上的特征点来获取所述平台的定位误差，并在所述CAM系统的协同下，生成二维补偿数据表S；
所述CAM系统，其用于在生产加工前，将待加工产品的产品加工文档转换成激光束运动轨迹P，基于平台坐标系以及振镜坐标系，按时序将所述激光束运动轨迹P进行分解，得到所述激光束运动轨迹P在所述平台坐标系上的理论坐标值Pi以及在所述振镜坐标系上的理论坐标值Pj；以及根据所述二维补偿数据表S对所述理论坐标值Pi进行插补查询，得到所述激光束运动轨迹P在所述理论坐标值Pi处的定位误差dPi；且根据所述定位误差dPi对所述理论坐标值Pi或所述理论坐标值Pj进行补偿，对应得到校准坐标值Pi′或校准坐标值Pj′；
所述运控系统，其用于根据所述校准坐标值Pi′和所述理论坐标值Pj，或根据所述理论坐标值Pi和所述校准坐标值Pj′，分别对应驱动所述平台和所述振镜，使所述平台和所述振镜协同运动，完成对所述待加工产品的加工。
7.一种工控机，其特征在于：用于控制振镜以及平台的联动加工，包括处理器、存储器以及存储在所述存储器内的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现如权利要求1至4任一项所述的平台振镜联动加工方法。
8.一种平台振镜联动加工装置，其特征在于：包括平台、振镜、标定板和工作站，所述工作站包括视觉定位系统、CAM系统以及如权利要求7所述的工控机，所述平台和所述振镜受所述工控机控制，所述标定板设置在所述平台上，所述视觉定位系统与所述CAM系统连接，所述CAM系统与所述工控机连接。
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