CN110823155A - 机械平台的误差修正方法及装置 - Google Patents
机械平台的误差修正方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110823155A CN110823155A CN201810912070.2A CN201810912070A CN110823155A CN 110823155 A CN110823155 A CN 110823155A CN 201810912070 A CN201810912070 A CN 201810912070A CN 110823155 A CN110823155 A CN 110823155A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- calibration
- calibration area
- reference point
- deviation
- coordinate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Abstract
本发明涉及机械加工技术领域，具体一种机械平台的误差修正方法及装置，该方法包括：采用预定规格的标定板对机械平台进行多次标定，该机械平台上被标定板覆盖的区域定义为标定区域，该标定区域包括第一标定区域和第二标定区域，进而计算第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域的参考点的角度偏差，并根据该角度偏差调节第二标定区域内的参考点的坐标位置。此外，还根据该角度偏差计算第二标定区域内的参考点的平移偏差，进一步根据该平移偏差调节第二标定区域内的参考点的坐标位置。本方案通过一块标定板对整个机械平台进行标定，并通过角度偏差和平移偏差调节标定区域存在的误差，以修正了机械平台本身加工误差对需加工的产品带来的误差。
Description
技术领域
本发明涉及机械加工技术领域，具体而言，涉及一种机械平台的误差修正方法及装置。
背景技术
目前各行各业都需使用机械平台对产品进行加工，如该机械平台可以是但不限于，数控机床、3D打印机、激光切割工具等。目前的机械平台都是按照设置的理想尺寸进行加工的，以保证生产出来的产品的精度。但是由于机械平台的加工工艺问题，常使得实际加工出来的机械平台的尺寸与理想状态之间存在误差，如理想的机械平台以任意一个角为原点，整个平面是呈标准的直角坐标系的状态，但是由于加工的误差，使得实际得到的机械平台的平面是呈具有一定倾斜角度的直角坐标系的状态，使得在此机械平台上加工出来的产品精度不准确。
目前采用的是标定板对机械平台进行标定，以弥补该机械平台本身存在的微小误差。该标定板大小可与机械平台的工作范围相匹配，当机械平台越大，该标定板也需要制作成与机械平台匹配的大小，由此，标定板的制作将会越来越麻烦。亦即是说，机械平台的工作范围发生变化，就需更换大小匹配的标定板，就需重新制作标定板，随着机械平台工作范围进一步增大，将无法做出相应尺寸的标定板或制作相应尺寸的标定板需要花费较大的代价。因此，提供一种更加智能的机械平台的误差修正方法是十分必要的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种机械平台的误差修正方法，以实现通过一块较小的标定板对无论多大的尺寸的机械平台进行多次标定，并通过预定的算法对机械平台的误差进行修正，以避免每换一次机械平台就需加工制作对应大小的标定板的问题。
本发明的另一目的在于提供一种机械平台的误差修正装置，以实现通过一块较小的标定板对无论多大尺寸的机械平台进行多次标定，并通过预定的算法对机械平台的误差进行修正，以避免每换一次机械平台就需加工制作对应大小的标定板的问题。
为了实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：
第一方面，本发明实施例提供了一种机械平台的误差修正方法，在所述机械平台上设置有多个参考点，所述方法包括：采用预定规格的标定板对所述机械平台进行多次标定，所述机械平台上被所述标定板覆盖的区域定义为标定区域，所述标定区域包括第一标定区域和第二标定区域；计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差；根据所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置；据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差；根据所述平移偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
第二方面，本发明实施例还提供了一种机械平台的误差修正装置，在所述机械平台上设置有多个参考点，所述装置包括：标定模块，用于采用预定规格的标定板对所述机械平台进行多次标定，所述机械平台上被所述标定板覆盖的区域定义为标定区域，所述标定区域包括第一标定区域和第二标定区域；第一计算模块，用于计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差；第一调节模块，用于根据所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置；第二计算模块，用于根据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差；第二调节模块，用于根据所述平移偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正方法及装置，该机械平台上设置有多个参考点，该方法包括：采用预定规格的标定板对机械平台进行多次标定，该机械平台上被标定板覆盖的区域定义为标定区域，该标定区域包括第一标定区域和第二标定区域，进而计算第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域的参考点的角度偏差，并根据该角度偏差调节第二标定区域内的参考点的坐标位置。此外，还根据该角度偏差计算第二标定区域内的参考点的平移偏差，进一步根据该平移偏差调节第二标定区域内的参考点的坐标位置。由此可见，本方案通过一块标定板对整个机械平台进行标定，并通过角度偏差和平移偏差调节标定区域存在的误差，以修正了机械平台本身加工误差对需加工的产品带来的误差。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1示出了本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正方法的流程示意图。
图2示出了本发明实施例提供的一种标定过程示意图。
图3示出了本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正方法的子步骤的流程示意图。
图4示出了本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正装置的功能模块示意图。
图示：100-机械平台的误差修正装置；110-标定模块；120-第一计算模块；130-第一调节模块；140-第二计算模块；150-第二调节模块；160-第三调节模块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
请参照图1，是本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正方法的流程示意图，该方法包括：
步骤S110，采用预定规格的标定板对所述机械平台进行多次标定，所述机械平台上被所述标定板覆盖的区域定义为标定区域，所述标定区域包括第一标定区域和第二标定区域。
具体为，该机械平台上预先设置有多个参考点，该标定板上也安装有多个标定点，当标定板放置于机械平台上时，可查看到机械平台上的参考点相对于标定板上的标定点的偏移程度，以得到整个机械平台的误差。
请参照图2，是本发明实施例提供的一种标定过程示意图，在本方案具体实现过程中，用户可采用预定规格的标定板对机械平台进行多次标定，如图中所示，用户可先将标定板放置于机械平台上的左上角的位置，再将标定板放置于机械平台上的右上角的位置，由于机械平台的范围有限，故放置两次标定板至机械平台上时，该标定板两次放置的区域将会有一部分重合区域。
即是说，若将机械平台上被标定板覆盖的区域定义为标定区域，则不同的标定区域之间由于机械平台的工作范围有限将会存在部分重合区域，就图中而言，在本发明实施例中，将标定区域区分为第一标定区域和第二标定区域，该第一标定区域即为标定板第一次放置所覆盖的机械平台的区域，该第二标定区域即为标定板第二次放置所覆盖的机械平台的区域。容易理解的，若该机械平台足够大，则该标定区域的数量将更多，重合区域也将更多，或者该机械平台的尺寸刚好为标定板的倍数，则该标定区域的数量将会有至少一个，且各个标定区域之间不重合。
此外，采取的标定板的规格可根据实际需要进行确定，如可采用500毫米*500毫米的标定板等。
步骤S120，计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差。
即是说，由于第一标定区域和第二标定区域采用不同的直角坐标系，且两个直角坐标系存在细微的偏差，故本发明实施例中，以第一标定区域为参照，计算第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域内的参考点的角度偏差。容易理解的，也可以第二标定区域为参照去计算第一标定区域内的参考点的角度偏差。本方案的具体实现方式为：
请参照图3，是本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正方法的步骤S120的子步骤的流程示意图，该步骤S120包括：
步骤S121，获取所述第一标定区域和第二标定区域内的参考点的理论坐标。
即是说，该第一标定区域和第二标定区域内的参考点都有一个理论坐标，该理论坐标为加工机械平台的理想坐标，该理想坐标即为该机械平台处于绝对精确，不存在误差时，该机械平台上的参考点的坐标。进而，将第一标定区域和第二标定区域内的参考点的理论坐标定义为(X,Y)。
步骤S122，根据所述标定板确定所述第一标定区域内的参考点的第一偏差坐标。
即是说，当将标定板放置于第一标定区域时，可对比标定板上的标定点与第一标定区域内的参考点的偏差，以根据该标定板确定第一标定区域内的每一参考点的第一偏差坐标，可将该第一偏差坐标定义为(OffX,OffY)。容易理解的，第一标定区域内的参考点有多个，因而，该第一偏差坐标为一个矩阵集合。
步骤S123，根据所述标定板确定所述第二标定区域内的参考点的第二偏差坐标。
即是说，当将标定板放置于第二标定区域时，可对比标定板上的标定点与第二标定区域内的参考点的偏差，以根据该标定板确定第二标定区域内的每一参考点的第二偏差坐标，可将该第二偏差坐标定义为(OffX',OffY')。容易理解的，第二标定区域内的参考点有多个，因而，该第二偏差坐标也为一个矩阵集合。
步骤S124，根据所述理论坐标、第一偏差坐标以及第二偏差坐标计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域内的参考点的角度偏差。
具体为，该角度偏差的具体计算方式为：
首先，计算第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域内的参考点在X轴方向的角度偏差，其计算方式为：X方向的角度偏差以Δθx表示,则其中
为角度的正切值，xi为OffX'-OffX的集合,yi为Y的集合,
再则，计算第二标定区域的参考点相对于第一标定区域内的参考点在Y轴方向的角度偏差，其计算方式为：Y方向的角度偏差以Δθy表示,则其中为偏差角度的正切值，xi为OffY'-OffY的集合,yi为X的集合,
最后，计算第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域内的参考点的角度偏差，其计算方式为，该偏差角度的正切值用Δθ表示，则Δθ＝(Δθx-Δθy)/2。
步骤S130，根据所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
具体为，对第二标定区域内的所有参考点的第二偏差坐标通过计算出来的角度偏差进行角度补偿，其补偿方式为：
OffX”＝OffX'+Y×Δθ；
OffY”＝OffY'-X×Δθ
进而得到补偿后的第二偏差坐标(OffX”,OffY”)，进一步地，根据补偿后的第二偏差坐标调整第二标定区域内的参考点的实际坐标，以使得补偿了第二标定区域内的参考点由于旋转带来的角度误差，相当于第二标定区域相当于第一标定区域旋转了一定角度，通过对第二标定区域内的参考点进行角度补偿，使得第二标定区域内的参考点可旋转回去，消掉旋转的角度。
步骤S140，根据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差。
首先，通过所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的第二偏差坐标得到目的坐标，该目的坐标即为(OffX”,OffY”)。
其次，分别求取所有目的坐标的横坐标的平均值和纵坐标的平均值以得到所述第二标定区域内的参考点分别沿X轴方向和Y轴方向的平移偏差。
具体的算法为：
该计算第二标定区域内的参考点沿X轴方向的平移偏差为：该沿X轴方向的平移偏差定义为ΔX，其中xi为集合B'中的OffX”，n为集合B'中OffX”的个数，则
该计算第二标定区域内的参考点沿Y轴方向的平移偏差为：该沿X轴方向的平移偏差定义为ΔY，其中xi为集合B'中的OffY”，n为集合B'中OffY”的个数，则
步骤S150，根据所述平移偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
具体为，根据平移偏差对第二标定区域内的参考点的实际坐标分别进行沿X轴方向和Y轴方向的调节，以弥补第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域的平移偏差。
由此可见，本发明实施例通过对第二标定区域内的参考点分别进行角度偏差和平移偏差的调节，以克服第二标定区域内的参考点产生的旋转和平移误差，保证了精度。此外，若该机械平台上存在多个标定区域，也可选定一个参照标定区域，且反复使用该计算方式，以对其他非参照标定区域内的参考点进行误差补偿，以达到仅使用一块标定板即可对整个机械平台进行标定的目的，且较好地避免了误差。
步骤S160，通过所述标定板调节所述第一标定区域内的参考点的坐标位置。
即是说，该第一标定区域为参照区域，则该第一标定区域内的参考点存在的误差根据标定板进行调节即可。
需要说明的是，在计算得出该机械平台的误差后，使用该机械平台实际加工产品时，可根据对机械平台的误差补偿方式调节产品的加工工艺。如该机械平台存在误差0.1毫米，则可调节该加工产品的刀具向上或向下调整0.1毫米，以使得可根据机械平台的补偿误差对产品的加工精度进行调节，以不影响产品的加工精度。
请参照图4，是本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正装置100的功能模块示意图，该装置包括标定模块110、第一计算模块120、第一调节模块130、第二计算模块140、第二调节模块150以及第三调节模块160。
标定模块110，用于采用预定规格的标定板对所述机械平台进行多次标定，所述机械平台上被所述标定板覆盖的区域定义为标定区域，所述标定区域包括第一标定区域和第二标定区域。
在本发明实施例中，步骤S110可以由标定模块110执行。
第一计算模块120，用于计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差。
在本发明实施例中，步骤S120可以由第一计算模块120执行。
第一调节模块130，用于根据所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
在本发明实施例中，步骤S130可以由第一调节模块130执行。
第二计算模块140，用于根据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差。
在本发明实施例中，步骤S140可以由第二计算模块140执行。
第二调节模块150，用于根据所述平移偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
在本发明实施例中，步骤S150可以由第二调节模块150执行。
第三调节模块160，用于通过所述标定板调节所述第一标定区域内的参考点的坐标位置。
在本发明实施例中，步骤S160可以由第三调节模块160执行。
综上所述，本发明实施例提供的一种机械平台的误差修正方法及装置，该机械平台上设置有多个参考点，该方法包括：采用预定规格的标定板对机械平台进行多次标定，该机械平台上被标定板覆盖的区域定义为标定区域，该标定区域包括第一标定区域和第二标定区域，进而计算第二标定区域内的参考点相对于第一标定区域的参考点的角度偏差，并根据该角度偏差调节第二标定区域内的参考点的坐标位置。此外，还根据该角度偏差计算第二标定区域内的参考点的平移偏差，进一步根据该平移偏差调节第二标定区域内的参考点的坐标位置。由此可见，本方案通过一块标定板对整个机械平台进行标定，并通过角度偏差和平移偏差调节标定区域存在的误差，以修正了机械平台本身加工误差对需加工的产品带来的误差。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
Claims (10)
1.一种机械平台的误差修正方法，其特征在于，在所述机械平台上设置有多个参考点，所述方法包括：
采用预定规格的标定板对所述机械平台进行多次标定，所述机械平台上被所述标定板覆盖的区域定义为标定区域，所述标定区域包括第一标定区域和第二标定区域；
计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差；
根据所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置；
根据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差；
根据所述平移偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差的步骤包括：
获取所述第一标定区域和第二标定区域内的参考点的理论坐标；
根据所述标定板确定所述第一标定区域内的参考点的第一偏差坐标；
根据所述标定板确定所述第二标定区域内的参考点的第二偏差坐标；
根据所述理论坐标、第一偏差坐标以及第二偏差坐标计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域内的参考点的角度偏差。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差的步骤包括：
通过所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的第二偏差坐标得到目的坐标；
分别求取所有目的坐标的横坐标的平均值和纵坐标的平均值以得到所述第二标定区域内的参考点分别沿X轴方向和Y轴方向的平移偏差。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
通过所述标定板调节所述第一标定区域内的参考点的坐标位置。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一标定区域和所述第二标定区域采用不同的直角坐标系。
6.一种机械平台的误差修正装置，其特征在于，在所述机械平台上设置有多个参考点，所述装置包括：
标定模块，用于采用预定规格的标定板对所述机械平台进行多次标定，所述机械平台上被所述标定板覆盖的区域定义为标定区域，所述标定区域包括第一标定区域和第二标定区域；
第一计算模块，用于计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域的参考点的角度偏差；
第一调节模块，用于根据所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置；
第二计算模块，用于根据所述角度偏差计算所述第二标定区域内的参考点的平移偏差；
第二调节模块，用于根据所述平移偏差调节所述第二标定区域内的参考点的坐标位置。
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一计算模块具体用于：
获取所述第一标定区域和第二标定区域内的参考点的理论坐标；
根据所述标定板确定所述第一标定区域内的参考点的第一偏差坐标；
根据所述标定板确定所述第二标定区域内的参考点的第二偏差坐标；
根据所述理论坐标、第一偏差坐标以及第二偏差坐标计算所述第二标定区域内的参考点相对于所述第一标定区域内的参考点的角度偏差。
8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二计算模块具体用于：
通过所述角度偏差调节所述第二标定区域内的参考点的第二偏差坐标得到目的坐标；
分别求取所有目的坐标的横坐标的平均值和纵坐标的平均值以得到所述第二标定区域内的参考点分别沿X轴方向和Y轴方向的平移偏差。
9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
第三调节模块，用于通过所述标定板调节所述第一标定区域内的参考点的坐标位置。
10.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一标定区域和所述第二标定区域采用不同的直角坐标系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810912070.2A CN110823155B (zh) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 机械平台的误差修正方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810912070.2A CN110823155B (zh) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 机械平台的误差修正方法及装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110823155A true CN110823155A (zh) | 2020-02-21 |
| CN110823155B CN110823155B (zh) | 2020-12-29 |
Family
ID=69541481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810912070.2A Active CN110823155B (zh) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 机械平台的误差修正方法及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110823155B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112486093A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-03-12 | 钧迪智能装备科技(苏州)有限公司 | 平台精度的补偿方法、装置、设备和介质 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07129245A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-19 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | Ｘｙステージ位置ずれ補正方法 |
| CN104006777A (zh) * | 2014-06-10 | 2014-08-27 | 清华大学 | 一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法 |
| CN105222727A (zh) * | 2015-09-25 | 2016-01-06 | 深圳大学 | 线阵ccd相机成像平面与工作台平行度的测量方法和系统 |
| CN105945909A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-09-21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 三自由度并联机器人的误差校正方法及系统 |
| WO2016176833A1 (zh) * | 2015-05-06 | 2016-11-10 | 东莞市神州视觉科技有限公司 | 一种提高xy运动平台系统精度的方法、装置及系统 |
| CN106647180A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-10 | 湖北凯昌光电科技有限公司 | 直写曝光机中基于标定板的误差校正和补偿方法及其装置 |
| CN108072319A (zh) * | 2016-11-07 | 2018-05-25 | 俞庆平 | 一种运动平台的快速标定系统及标定方法 |
| CN108303023A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-07-20 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种超精密二维运动平台系统位置精度补偿的方法 |
-
2018
- 2018-08-10 CN CN201810912070.2A patent/CN110823155B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07129245A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-19 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | Ｘｙステージ位置ずれ補正方法 |
| CN104006777A (zh) * | 2014-06-10 | 2014-08-27 | 清华大学 | 一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法 |
| WO2016176833A1 (zh) * | 2015-05-06 | 2016-11-10 | 东莞市神州视觉科技有限公司 | 一种提高xy运动平台系统精度的方法、装置及系统 |
| CN105222727A (zh) * | 2015-09-25 | 2016-01-06 | 深圳大学 | 线阵ccd相机成像平面与工作台平行度的测量方法和系统 |
| CN105945909A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-09-21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 三自由度并联机器人的误差校正方法及系统 |
| CN108072319A (zh) * | 2016-11-07 | 2018-05-25 | 俞庆平 | 一种运动平台的快速标定系统及标定方法 |
| CN106647180A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-10 | 湖北凯昌光电科技有限公司 | 直写曝光机中基于标定板的误差校正和补偿方法及其装置 |
| CN108303023A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-07-20 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种超精密二维运动平台系统位置精度补偿的方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112486093A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-03-12 | 钧迪智能装备科技(苏州)有限公司 | 平台精度的补偿方法、装置、设备和介质 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110823155B (zh) | 2020-12-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20230028351A1 (en) | Laser patterning skew correction | |
| TWI684390B (zh) | 加工位置校正裝置及其方法 | |
| KR102214365B1 (ko) | 광학 측정 장치 및 방법 | |
| CN108917604B (zh) | 一种法向测量装置及其标定方法 | |
| JP4865414B2 (ja) | アライメント方法 | |
| CN110823155B (zh) | 机械平台的误差修正方法及装置 | |
| CN107045267A (zh) | 套刻精度补正的优化方法及系统 | |
| KR20080040576A (ko) | 열처리판의 온도 설정 방법, 프로그램을 기록한 컴퓨터판독 가능한 기록매체, 및 열처리판의 온도 설정 장치 | |
| CN105514010A (zh) | 一种硅片安全运输方法 | |
| US20210132590A1 (en) | Error compensation method for machine tool and machine tool | |
| CN103945653A (zh) | 柔性线路板印刷的多自由度平台的自动校正方法 | |
| CN105470184A (zh) | 一种硅片的安全运输方法 | |
| KR101960171B1 (ko) | 5축 가공장치의 피봇 교정 방법 | |
| CN114012724A (zh) | 一种基于探针的工业机器人坐标系自动标定方法 | |
| TWI645274B (zh) | 工件加工方法及其加工系統 | |
| CN116858092A (zh) | 检测视觉系统偏差的方法及电路板加工设备 | |
| KR100256041B1 (ko) | 전자부품실장장치 및 전자부품 실장방법 | |
| CN110490941A (zh) | 一种基于法向量的远心镜头外参数标定方法 | |
| CN112078262B (zh) | 丝网印刷品的制作方法及智能卡制作方法 | |
| US20200331107A1 (en) | Self-detecting apparatus for workpiece-origin, mobile machine tool having the same, and method for self-detecting workpiece-origin of mobile machine tool using the mobile machine | |
| US7225051B1 (en) | Closed-loop feedback for maximizing Cpk in progressive forming operations | |
| CN115100131B (zh) | 一种高精度视觉对位方法和系统 | |
| CN112611379A (zh) | 一种惯导稳定平台及其标校、安装方法 | |
| CN116329630A (zh) | 用于工具机的校正方法及校正系统 | |
| JP2000258121A (ja) | 複数カメラ校正用のマスター基板及び画像認識カメラの校正方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No.188 Chuangyuan Road, industrial park, Suzhou, Jiangsu Province, 215000 Patentee after: Suzhou Weijia Technology Co.,Ltd. Address before: 215000 188 Xincheng Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province Patentee before: VEGA CNC TECHNOLOGY (SUZHOU) Co.,Ltd. |