JPS63236713A - ペロブスカイト型化合物の無機微粉体の製造方法 - Google Patents

ペロブスカイト型化合物の無機微粉体の製造方法

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JPS63236713A JP7239487A JP7239487A JPS63236713A JP S63236713 A JPS63236713 A JP S63236713A JP 7239487 A JP7239487 A JP 7239487A JP 7239487 A JP7239487 A JP 7239487A JP S63236713 A JPS63236713 A JP S63236713A
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斉藤 賛史郎
Naoto Tsubomoto
坪本 直人
Susumu Ota
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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上夏机里分立 本発明はペロブスカイト化合物(以下r ABO3Jと
称する。)の無機微粉体の製造方法に関する。
該ABOa化合物をセラミックス化したセラミックスは
優れた誘電性、圧電性および半導性を有し、エレクトロ
ニクス分野において非常に有用であり、コンデンサー、
電波フィルター、着火素子、サーミスター等として使用
される。
従米肢血 近年電子デバイスの小型軽量高性能化にともない、該A
BOaセラミックスもまた薄膜化、小型化が要求されて
おり、セラミックス化における配合、成形、焼結等の技
術面で薄膜化、小型化の検討がなされてきた。しかし従
来の固相反応で作られた粒径0.8μm以上の原料では
その限界にきている。
すなわち、従来の固相反応で作られたABO3原料とは
、Mg+ Ca、 Sr、 BaおよびPb (以下A
群元素と称°する)の少なくとも1種類以上の炭酸塩も
しくは酸化物と、Ti、 Zr、 IffおよびSn 
(以下B群元素と称する)の少なくとも1種以上の酸化
物とを混合し、これを1000℃以上の高温で処理して
ABO3化合物となした後ボールミル等で機械的に粉砕
し、口過、乾燥して製造される。そのため固相反応では
0.8μm以上のABOa化合物しか得られず、該AB
O3化合物を使用するといかに配合、成形、焼結技術を
駆使しようともセラミックスの小型化、薄膜化には限界
があった。
八■ (ηZ しよ゛と る口 占 特開昭59−39726.特開昭61−91016、特
開昭60−90825および特開昭61−31345に
は、ABOa化合物の微粒子原料が記載され、でいる。
しかしながらこれらの方法では、口過、水洗の工程を必
要とするためA/Bモル比制御が非常に困難となり、ま
た経済的にも不利である。例えば、特開昭59−397
26.特開昭61−91016では、チタンまたはジル
コニウムの水酸化物とバリウム、ストロンチウム、カル
シウムの水溶性塩とを強アルカリ水溶液中で反応して微
粒子へBO3を得ているが、電気特性上好ましくないア
ルカリ金属Na、 K等を除く操作が必要となり、さら
にそのためモル比制御が困難となり、コスト高となる。
また、特開昭61−31345では、反応終了後、口過
時の未反応水溶性A元素成分の流出のために生じるA/
Bモル比のずれを防止するため、口過前に一度A元素成
分を不溶化させる工程を追加し、A/Bモル比を制御し
ているが、いずれにしても、口過、水洗工程が不可欠な
ためモル比制御の正確性に欠け、工程を追加する分だけ
さらに経済的に不利である。また、ABOa化合物のA
/Bモル比因子はセラミックス化、つまり、緻密化ある
いはその焼結結晶粒径において非常に影響を及ぼすこと
がわかっており、少なくとも小数点以下3桁近くのA/
Bモル比コントロールの正確さが要求されている。
そこで本発明者らは、A群元素およびB群元素の化合物
の混合物水溶液を常圧加熱反応または水熱反応した後、
噴霧乾燥することにより、一般に行われている口過、水
洗工程を省略することを可能にし、それらの工程によっ
て生じるA/Bモル比のずれおよび未反応A元素成分の
偏在を解消することを可能にし、さらに工場スケールで
生産する場合、連続式で行えるメリットを見出し、本発
明に至った。
光凰■盪成 次に本発明方法を詳細に説明する。
A群元素化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物ま
たはB群元素化合物から選ばれる少なくとも1種の化合
物は、市販品そのままを使用してもよく、また、通常の
合成法で開裂しても良い。
例えば、水酸化物、酸化物、有機金属化合物、塩l# 等が使用できる。たたし、該化合物の陰イオン部が後の
セラミックス化および該セラミックスの電気特性上好ま
しくない影響を及ぼす場合は使用できない。またB群元
素の水酸化物あるいは酸化物を用いる場合、本原料の粒
径は0.3μm以下、好ましくは0.1μm以下のもの
が良く、0.3μm以上であると反応が困難になる。さ
らに、本原料の粒径は目的生成ABO3化合物の粒径以
下でなければならないことはいうまでもない。
A群元素化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物と
、B群元素化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物
との混合物水溶液は、必要に応じてpH10以上に調節
される。pH10以下では反応が進行しない場合がほと
んどである。
こうして得られたアルカリ性混合物水溶液を常圧加熱反
応または水熱反応することにより、ABO3化合物を得
る。いうまでもなく常圧加熱反応とは常圧下で沸騰させ
て反応させる方法であり、水熱反応とは加圧下で通常1
10℃〜300℃付近の温度で反応する方法である。そ
してこれらの反応条件として反応温度、反応圧、反応時
間、混合物水溶液の濃度等が挙げられる。反応温度は通
常、90℃以上であればABO3化合物は生成するが、
反応速度を上げるには高温にすれば良い。また反応時間
については反応温度100℃、常圧で3時間あれば十分
であり、反応温度および圧力と相関する。また、混合物
水溶液の濃度は生成ABOsの粒径に影響し、濃度が低
ければ粒径が大きくなる傾向がある。好ましい濃度とし
ては0.2〜0.9モル/1 (ABO3換算)である
。ただし、これらの諸条件については目的生成ABO3
化合物、あるいはA元素の化合物の混合物水溶液の調製
方法によって多少違ってくる。
次に、生成したABO3化合物含有スラリーは噴霧乾燥
される。該噴霧乾燥は通常スプレードライヤーで行われ
るが、以下に示す条件を満足する装置であればスプレー
ドライヤーに限らない。
1) A元素成分とB元素成分が系外に出す、A/Bモ
ル比のズレを生じない。
2)未反応A元素成分およびB元素成分が乾燥時に偏在
せず、未反応A元素成分とB元素成分および生成lBO
3が均一乾燥される。
本発明の方法によって得られた粉は、未反応A元素成分
及びB元素成分が存在しても、均一に存在しているため
、本乾燥工程、仮焼工程、本焼成工程で容易に反応して
ABOaになる。
さらに、噴霧乾燥後得られたABOa無機微粉体は必要
に応じて力焼される。その力焼温度は目的とされる該無
機微粉体の粒径および結晶形によって制限される。チタ
ン酸バリウムを例にとると、含水酸化チタン(粒径0.
05μm)と水酸化バリウムの常圧加熱反応で得たBa
/Tiモル比1.000のチタン酸バリウムは、乾燥後
、諸条件によって若干異なるが通常0.1μm以下の立
方晶形の粉である。そして本チタン酸バリウムは高温で
処理されると粒成長し、結晶形も変化する。具体的には
1000℃で3時間力焼した本チタン酸バリウムは、平
均粒径が0.5μmであり、結晶形は正方晶である。従
って0.5μm正方晶のチタン酸バリウムが必要な場合
、1ooo℃で力焼し、0.15μmの立方晶のものが
必要な場合850℃で力焼すれば良い。
ABO3化合物の焼結に際しては、該焼結体の焼結性ま
たは電気特性を調節する目的で通常種々の添加剤が加え
られる。例えば焼結性に関しては粒成長抑制剤、硬化剤
等があり、電気特性に関してはシフター、ディプレッサ
−1還元剤、還元防止剤等がある。具体的にはB、 B
i、 Li、 Y、 Dy、 Ce、 Ss。
Mn、 Co、 Ni、 Nb、 Si等がある。そし
て必要があれば目的用途に応じて、これらの添加剤をA
BO3微粉体中に含有させることが可能である。添加時
期はA元素およびB元素の混合物水溶液のi製時、反応
時、反応後、および噴霧乾燥終了時のいずれでも良いが
、均一に含有させるには、噴霧乾燥前の工程で添加する
方が好ましい。
また、ABO3化合物の乾式成形に際しては通常成形カ
サ密度を上げる等の目的でバインダーや可塑剤などの成
形助剤をABO3化合物原料粉に加えて造粒し、できた
顆粒を用いて成形される。本発明法では、ABO3化合
物の反応生成後成形助剤を加えて噴霧乾燥することによ
って成形用顆粒原料として得ることも可能である。
実施例1 大阪チタニウム■製の塩化チタン水溶液(Ti =16
.5重量%)200gに水1800mt’を加え、5重
量%アンモニア水(林純薬工業■試薬1級)700減を
約1時間かけて添加し、水酸化チタンスラリーとなし、
ヌッチェで水洗口過を行い、含水酸化チタンケーキとし
た。該ケーキはTi0zの定量の結果、11.46重量
%であった。
該含水酸化チタンケーキ240.2 gに蒸留水を加え
て、TiOz60g/lスラリーに調整した後、反応系
を窒素雰囲気にし、Ba (011)2 ・8Hz01
08.7gを加え、さらに蒸留水を加えて0.7モル/
1 (BaTiOa換算) 、Ba/Tiモル比1.0
00のスラリーに調整した。該スラリーを沸騰温度まで
約1時間かけて昇温し、沸騰温度で約3時間反応を行っ
た。
反応終了後、該スラリーを0.9モル/itまで濃縮し
、大川原化工機11!ilスプレードライヤー)を用い
て入口温度250℃、出口温度120℃、アトマイザ−
回転数2500 Or、p、+aで噴霧乾燥してチタン
酸バリウム微粉体を得た。
生成チタン酸バリウム微粉体のX線回折および電子顕微
鏡写真から、生成チタン酸バリウム微粉体は、平均粒径
0.08μmで、立方晶であることがわかった。また、
螢光X線にてBa/Tiモル比を測定したところ1.0
00であった。
実施例2 実施例1と同様にして含水酸化チタン/Ba (OH)
2・8Hz0混合スラリー0.7モル/ 12 (Ba
Ti03換算)を調製した後、該スラリーを耐熱性ニッ
ケル合金製のオートクレーブ(容11 It”)に50
0dを仕込み、500r、p、mで攪拌しながら100
℃/hrで昇温し、250℃で2時間反応を行った。
反応後実施例1と同様にスプレードライヤーで噴霧乾燥
を行いチタン酸バリウム微粉体を得た。
X線回折および電顕写真は実施例1のものと同様であっ
た。また螢光X線によりBa/Tiモル比の定量を行っ
た結果1.000であった。
実施例3 純度99.99%のチタニウムイソプロポキシド(レア
ーメタル■製)100gを150献のイソプロピルアル
コール(林純薬■特級)に溶解し、2時間加熱還流した
。窒素雰囲気化で、該チタニウムイソプロポキシド溶液
を、80℃に保った45重量%Ba (OB)z ・8
HzO水溶液246.6Hに1時間30分かけてローラ
ーポンプで徐々に滴下し、その後加水し、スラリー濃度
0.7モル/l、Ba/Tiモル比1.000に調整し
た。以下、実施例1または実施例2と同様に常圧加熱反
応または水熱反応を行った後、噴霧乾燥を行い、チタン
酸バリウム無機微粉体を得た。常温加熱反応および水熱
反応で得た組成物の両者とも、X線回折、電顕写真およ
び螢光X線のBa/Tiモル比の定量結果より、粒径0
.09.czmで、Ba/Tiモル比が1.000の立
方晶形チタン酸バリウムであることがわかった。
実施例4 窒素雰囲気下で、純度99.99%バリウムイソプロポ
キシド(レアーメタル■製)75.83g(0、297
0モル)と純度99.99%チタニウムイソプロポキシ
ド(レアーメタル■製)85.17g(0,3000モ
ル)とを350戴のイソプロピルアルコールに溶解し、
2時間加熱還流した。
該溶液に蒸留水65献を1時間かけて滴下し、アルコラ
ードを加水分解し、一旦室温まで冷却し加水してスラリ
ー濃度を0.5モル/ 12 (BaTi03換算) 
、Ba/Tiモル比0.990に調整した。
以下、実施例1または実施例2と同様に常温加熱反応ま
たは水熱反応を行い、粒径0.07μmでBa/Tiモ
ル比0.990の立方晶チタン酸バリウムを得た。
実施例5 実施例1と同様にして得た含水酸化チタンケーキ(11
,46重量%)200.0gに蒸留水を加えてスラリー
濃度60 g / lに調整した。反応系を窒素雰囲気
下にした後、Sr (OH)2・8)12076.24
gを該スラリーに添加した。
最終スラリー濃度を0.7モル/ j! (SrTi0
3換算)に加水調整した後、以下実施例1または実施例
2と同様にしてチタン酸ストロンチウム微粉体を得た。
螢光X線より該チタン酸ストロンチウムのSr/ T 
iモル比を定量した結果1.000であった。
実施例6 実施例1で得たあらかじめTi含有量を測定した含水酸
化チタンスラリー(約TiO260g/l)中に、窒素
雰囲気下でBaagSro、+TiO3になるようあら
かじめBaおよびSrのそれぞれの含有量を定量してお
いたBa (Off)z ・8H20およびSr (O
H)2 ・8H20を添加し、その後加水してスラリー
濃度を0.7モル/ 1 (Bao、9Sr、、I T
i0z換算)になるよう調整した後、以下実施例1また
は実施例2と同様にして、Bao、q 5ro4 T 
i 03微粉体を得た。螢光X線での定量により、Ba
、 SrおよびTiのモル比は所定通りであった。
実施例7 実施例1で得たBaT403組成物を850℃で3時間
力焼し、部分安定化ジルコニアボールと樹脂製ポットを
用いて3時間湿式粉砕した後、ポリビニルアルコールお
よびポリエチレングリコールをそれぞれBaTiO3に
対して固型分換算で1.0重量%および0.5重量%添
加し、スプレードライヤーにて造粒した。造粒物を15
00 kg/cIIIの圧力で乾式成形した後600℃
まで50°C/hr、所定温度まで250℃/hrで昇
温し、所定温度で2時間焼成した。
比較量として、市販品チタン酸バリウム(平均粒径1.
0μm)も前記と同様に成形焼成した。得られた焼結体
について、カサ密度を化学天秤およびマイクロメータで
測定し、電気特性(20℃での誘電率;  tanδお
よびキュリ一点、キュリ一点での誘電率)を横河ヒユー
レットパンカード社製LCRメーター4274Aで測定
した結果を表1に示す。
表1 焼結体のカサ密度と電気特性 以上のように、本発明方法ではA群元素およびB群元素
の出発原料の仕込み量、あるいは反応前のA/Bモル比
さえ厳密に調整すれば、所望のA/Bモル比に非常に精
度良(制御された微粒子ABO3化合物を容易かつ安価
で得ることができ、さらに従来の口過水洗乾燥工程によ
り生ずる未反応A元素およびB元素底分の偏在がなく、
生成したABO3化合物と未反応A元素成分およびB元
素底分とが均一に混合している。さらに、通常セラミッ
クス化において必要とされている添加剤や成形助剤を噴
霧乾燥前に加えることによって非常に合理的に成形用顆
粒セラミックス原料を得ることができる。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)Mg、Ca、Sr、Ba等のアルカリ土類金属お
    よびPbよりなるA群元素化合物から選ばれる少なくと
    も一種の化合物と、Ti、Zr、HfおよびSnよりな
    るB群元素化合物から選ばれる少なくとも一種の化合物
    との所定のA/Bモル比混合物水溶液を調製し、該混合
    物水溶液を常圧加熱反応あるいは水熱反応させた後、反
    応混合物を噴霧乾燥し、必要に応じてカ焼することを特
    徴とするペロブスカイト型化合物の無機微粉体の製造方
    法。
  2. (2)A群元素の少なくとも一種の水酸化物及び/又は
    酸化物と、B群元素の少なくとも一種の水酸化物及び/
    又は酸化物とを混合して混合物水溶液を得る第1項記載
    の無機微粉体の製造方法。
  3. (3)A群元素の少なくとも一種の水酸化物及び/又は
    酸化物と、B群元素の少なくとも一種の有機金属化合物
    とを混合して、混合物水溶液を得る第1項記載の無機微
    粉体の製造方法。
  4. (4)A群元素の少なくとも1種の有機金属化合物と、
    B群元素の少なくとも1種の水酸化物及び/又は酸化物
    とを混合して混合物水溶液を得る第1項記載の無機微粉
    体の製造方法。
  5. (5)A群元素の少なくとも1種の有機金属化合物と、
    B群元素の少なくとも1種の有機金属化合物とを混合し
    て、混合物水溶液を得る第1項記載の無機微粉体の製造
    方法。
  6. (6)A群元素の少なくとも1種の水酸化物及び/又は
    酸化物が水酸化バリウムであり、B群元素の少なくとも
    1種の水酸化物及び/又は酸化物が含水酸化チタンであ
    り、ペロブスカイト型化合物がチタン酸バリウムである
    第2項記載の無機微粉体の製造方法。
  7. (7)A群元素の少なくとも1種の水酸化物及び/又は
    酸化物が水酸化ストロンチウムであり、B群元素の少な
    くとも1種の水酸化物及び/又は酸化物が含水酸化チタ
    ンであり、ペロブスカイト型化合物がチタン酸ストロン
    チウムである第2項記載の無機微粉体の製造方法。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412020A (ja) * 1990-05-01 1992-01-16 Murata Mfg Co Ltd チタン酸バリウム粉末の製造方法
US5571495A (en) * 1994-08-11 1996-11-05 Japan As Represented By Director General Of Agency Of Industrial Science And Technology Dielectric thin film of substituted lead titanate
WO2004096712A1 (ja) * 2003-04-25 2004-11-11 Sumitomo Chemical Company, Limited チタン酸バリウム粉末およびその製造方法
US6974566B2 (en) * 2000-09-05 2005-12-13 Altair Nanomaterials Inc. Method for producing mixed metal oxides and metal oxide compounds
JP2006027971A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Tdk Corp チタン酸バリウム粉末の製造方法及びその粉末並びにそれを用いた積層セラミック電子部品
JP2007238407A (ja) * 2006-03-10 2007-09-20 Tdk Corp セラミック粉末及びこれを用いた誘電体ペースト、積層セラミック電子部品、その製造方法
WO2015122180A1 (ja) * 2014-02-14 2015-08-20 富士フイルム株式会社 チタン酸ストロンチウム微粒子の製造方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101952504B1 (ko) * 2017-04-14 2019-02-28 인하대학교 산학협력단 강유전체 세라믹 복합체의 제조방법

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412020A (ja) * 1990-05-01 1992-01-16 Murata Mfg Co Ltd チタン酸バリウム粉末の製造方法
US5571495A (en) * 1994-08-11 1996-11-05 Japan As Represented By Director General Of Agency Of Industrial Science And Technology Dielectric thin film of substituted lead titanate
US6974566B2 (en) * 2000-09-05 2005-12-13 Altair Nanomaterials Inc. Method for producing mixed metal oxides and metal oxide compounds
US7713504B2 (en) 2000-09-05 2010-05-11 Altair Nanomaterials, Inc. Method for producing mixed metal oxides and metal oxide compounds
WO2004096712A1 (ja) * 2003-04-25 2004-11-11 Sumitomo Chemical Company, Limited チタン酸バリウム粉末およびその製造方法
US8084014B2 (en) 2003-04-25 2011-12-27 Sumitomo Chemical Company, Limited Barium titanate powder and method for producing same
JP2006027971A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Tdk Corp チタン酸バリウム粉末の製造方法及びその粉末並びにそれを用いた積層セラミック電子部品
JP2007238407A (ja) * 2006-03-10 2007-09-20 Tdk Corp セラミック粉末及びこれを用いた誘電体ペースト、積層セラミック電子部品、その製造方法
WO2015122180A1 (ja) * 2014-02-14 2015-08-20 富士フイルム株式会社 チタン酸ストロンチウム微粒子の製造方法
JP2015151303A (ja) * 2014-02-14 2015-08-24 富士フイルム株式会社 チタン酸ストロンチウム微粒子の製造方法

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