JPS6322447A - 素材分離搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はプレス、工作機械、半導体ウェハ製造装置など
における素材分離搬送装置に関する。

〈従来の技術〉 打ち抜き、絞り、トリミングなどの成形加工するプレス
に、積層された素材を、−枚ごとに分離吸着して搬入す
る場合、素材に付着した油の粘着力が主因となって、二
枚送りされて、高価なプレス金型を破損することがある
。

このような二枚送りを防止する現在の方法は、 ■　マグネットフロータで積層された素材の上層のみを
浮遊させておいて、真空ヂャックにより吸着する方法。

■　第３図に示すように、素材１ａの側面に刃物５を衝
突させて、素材の厚み方向に突起７を形成し、もって素
材間に隙間を設けたのちに吸着分離する方法などが提案
されている。

しかしながら、上述した従来の二枚送り防止方法のうち
、■の方法は磁性体又は銅、アルミなどの素材に限定さ
れる。また、磁性体でも形状によっては分離できないと
いう不具合な点があった。さらに、■の方法は素材側面
を傷つけるので、突起を形成する個所が限定され、しか
も素ｙを変形させるおそれがある。

、以上のような素材の二枚送りの不具合を生じるものは
、プレス以外にも工作機械、半導体製造装置のウェハ搬
送などにも見られる。

〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明は、従来の素材分離搬送方法における上述の不具
合を除去するためになされたものであって、積層された
素材を一枚ごとに分離吸着する際に、素材の材質に無関
係に、また素材に傷、変形などの損傷を与えることなく
分離吸着でき、かつ二枚送りを生じることのない素材分
離搬送装置を提供しようとするものである。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明者等は以上の目的を達成すべく種々実験を重ねた
結果、吸着した素材に吸着方向から衝撃力を与える手段
を設けることによって、−枚目の素材に付着した二枚目
の素材を脱落させ、二枚送りを防止できることを知見し
、本発明を完成することができた。

すなわち、木発明の素材分離搬送装置は、積層された素
材を真空吸着力又は磁力により吸着搬送する手段と、吸
着された前記素材に吸着力と逆方向の衝撃力を与える手
段とを設けたことを特徴とするものである。

〈作　　　用〉 したがって、吸着された一枚目の素材に吸着方向から衝
撃力を与えると、その運動量は一枚目の素材から、付着
した二枚目の素材に伝播され、二枚目の素材は所定の初
速を与えられて脱落するから二枚送りを防止できる。

〈実　施　例〉 次に図面を用いて、木発明の代表的な実施例について説
明する。

第１図は実施例の素材分離搬送装置の概略構成を示す要
部断面図である。第１図において、吸着分離装置３は上
端部に、真空引き用の吸引穴４を有する本体６、本体に
よって上下方向に摺動自在に案内されたコア８、本体６
で一端を支承され他端でコア８を上下方向に押し上げる
スプリング９、本体６に嵌着された前記コアを遊嵌させ
たソレノイド１０、コア８の下端に取付けられたハンマ
ーバッド１１、本体６の下端に一端を固定した可撓体１
２、可撓体１２の下端に取付けられた素材１と密着する
吸着パッド１３、および本体６を昇降させる昇降装置（
非図示）とから構成されている。また、該本体６、該可
撓体Ｉ２、該吸着パット１３および該素材１とで囲まれ
る空間１４は該吸引穴４と図示しない通気管によって連
通しているものとする。

つぎに動作および作用について説明する。

この吸着分離装置３が下降して積層素材１５の上端部の
該素材１に吸着バッド１３が密着し、しかるのち吸引穴
４を介して空間１４が真空引きされ、素材１が吸着され
、該吸着分離装置３が上昇した状態を考える。このとき
、付着油の粘着力等が原因で素材１に素材２が付着して
上昇した場合を考える。吸着分離装置の上昇過程におい
て、ソレノイド１０が励磁されると、コア８はスプリン
グ９の力に抗して矢印６方向に駆動され、ハンマーバッ
ド１１が前記素材１に衝突する。このとき素材１も下方
向に若干変位するが吸着されたまま脱落はしないが、素
材２は前記素材１を介して衝撃力付与手段であるハンマ
ーバッド１１の運動量が伝達され、素材１との間の接触
面に作用する粘着力に抗して所定の初速度で下方へ脱落
する。

この原理を第２図（＾）（Ｂ）にしたがって説明する。

図に示す質量ｍ　、　、　ｍ　２　、　ｍ　３はそれぞ
れハンマーバッド１１．素材１、素材２の質量に相当す
る。質量ｍ２．ｍ３が接している状態（八）で、質量ｍ
、が速度Ｖで質量ｍ２と衝突すると、その運動！：ｍｌ
　Ｖは質量ｍ２を介して質量ｍ３に伝達され、質量ｍ３
は質量ｍ１゜ｍ２．ｍ３の大きさと速度Ｖによって定ま
る所定の初速■で　（Ｂ）図のように質量ｍ２より分離
される。したがって、ソレノイド１０の励磁電流、励磁
時間、ハンマーバッド１１の質量、スプリング９の設定
力およびバネ定数等のパラメータを適当に設定すること
により、素材２を素材１から分離脱落させることがてき
る。

なお上述した実施例としては、衝撃力を与える手段とし
てソレノイドを用いているが、空圧、油圧、スプリング
の反発力等を用いる方法があり、特に衝撃力を与える方
法は限定しないものとする。また素材を吸着する手段と
して、真空吸着を用いた場合を示したが、磁力を用いる
こともあり得るものとする。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかなごとく、本発明の素材分離搬送
装置によると、積層された素材を吸着する手段の他に、
吸着した積層素材に吸着力と逆方向の衝撃力を与えるよ
うに構成さねているから、積層されている二枚口の素材
を一番目の吸着素材から分離し、脱落させることがてき
る故、素材の二枚送りを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる素材分離搬送装置の一実施例の
概略構成を示す要部断面図、第２図（Ａ）　（Ｂ）はい
ずれも本発明の素材分離搬送装置による衝撃力付与手段
および素材間の運動量伝達機構の原理説明図、第３図は
従来の素材分離搬送方法における２枚送り防止方法の要
領を示す要部斜視図である。 図中、１，２・・・（積層された）素材、４・・・真空
吸引穴、 ６・・・吸着分離装置本体、 ８・・・コア、 ｌＯ・・・ソレノイド、 １１・・・ハンマーパッド、 １２・・・可撓体、 １３・・・吸着パッド。 第１図 第２図 （Ａ）　　　　　　　　　　　　　　（Ｂ）第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 積層された素材を真空吸着力又は磁力により吸着搬送す
   る手段と、吸着された前記素材に吸着力と逆方向の衝撃
   力を与える手段とを設けたことを特徴とする素材分離搬
   送装置。