JPS63212877A - 単板の自動欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば磁気ディスクなどの単板の欠陥を検
査する単板の自動欠陥検査装置に関する。

（従来の技術） 近年、情報処理＠置として固定磁気ディスク装置が多用
されている。一般にこの固定磁気デイスフ装置は第３図
に示すような情報処理機構部１を有し、磁気ディスクす
なわちアルミニウムの円板の表面に磁性粉を塗布した単
板２を複数枚積層したスピンドル３を高速回転させ、そ
の情報記憶媒体としての単板２上をサブミクロンの隙間
で浮上しながら磁気ヘッド４を移動させて磁気記憶デー
タを読み書きするようになっている。

従来、上記のような情報処理装置に使用される単板２の
欠陥検査を行なう場合、検査機構部への単板の供給、取
出しを検査毎に作業者が行なうものであった◎ （発明が解決しようとする問題点） このように、従来の単板の欠陥検査装置は、単板２の検
査機構部への供給、取出しを人為的に行なうものであり
、作業性が極めて悪く製品歩留りが悪いばかりでなく、
作業者を原因として生じる塵埃が単板２に付着して磁気
ヘッド４や単板２の損傷を招くといった重大な問題があ
る。

本発明は、上記事情に基づきなされたもので、その目的
とするところは、検査機構部への単板の供給、取出しが
自動的に行なえて長時間に亙る連続的な検査が可能とな
り、しかも、検査前後の単板を清浄状態で保管できるよ
うにした単板の自動欠陥検査装置を提供しようとするも
のである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、単板の欠陥を
検査する検査機構部と、この検査機構部で検査される単
板および検査済みの単板を保持するための複数のスタッ
カータワーを配設した単板収容部と、この単板収容部に
清浄空気を導き複数のスタッカータワーに保持された単
板を清浄な状態に保つ清浄化手段と、この清浄化手段に
より清浄に保たれた単板収容部内の所定のスタッカータ
ワーに保持された単板を取出して上記検査機構部に供給
したり検査済みの単板を検査機構部から単板収容部の所
定のスタッカータワーに戻す単板移送機構とを具備して
なる構成としたものである。

（作用） すなわち、本発明は上記の構成とすることにより、検査
機構部への単板の供給、取出しが自動的に行なえて長時
間に屋る連続的な検査が可能となり、しかも、検査前後
の単板を清浄状態で保管でき、従来のように単板を人為
的に検査装置に着脱するものに比べ作業性が良く製品歩
留りの向上が可能となり、また、製造工程内に作業者が
いる時間を短縮でき省力化が可能となるとともに作業者
から発する塵埃による磁気ヘッドや単板への悪影響を防
止することが可能となる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図および第２因を参照し
て説明する。

第１図は単板の自動欠陥検査装＠１０の全体構成を示す
もので、その中央部には単板２・・・を検査する第１．
第２の検査機構部１１．１２が前後方向に配置されてい
るとともにこれら第１．第２の検査機構部１１．１２の
右方部位にはこれらを制御するために対になっている第
１．第２の検査機構部コントローラ１３．１４が配置さ
れている。

また、第１．第２の検査機構部１１．１２の左方部位に
は、スタッカーユニット１５が設けられている。このス
タッカーユニット１５は上記第１゜第２の検査機構部１
１．１２で検査されたり検査済みの単板２・・・を保持
するための複数のスタッカータワー１６・・・を配設し
た単板収容部１７と、この甲板収容部１７に清浄空気１
８を導き複数のスタッカータワー１６・・・に保持され
た単板２・・・を清浄な状態に保つ清浄化手段１９を有
した構造となっている。

上記単板収容部１７は、複数のスタッカータワー１６・
・・を円環状に搭載して間歇回転することによりスタッ
カータワー１６・・・を所定の位置に対向させるインデ
ックステーブル２０が設けられている。

また、単板収容部１７は全体がシュラウド２１で覆われ
ていて内部にクリーンエリア２２を形成するようになっ
ている。

また、クリーンエリア２２であるところの単板収容部１
７の中央部には、第２図に詳図するようにエアーダクト
２３が接続された清浄空気吹出部２４としての円筒状エ
アーフィルタ２５が配置されており、全てのスタンカー
タワー１６・・・に向けて、しかも、高さ方向全域に亙
って清浄空気１８を吹き付は得る構成となっており、全
ての単板２・・・に均等に当たるようになっている。

上記エアーダクト２３の他端は、スタッカータワー１６
・・・やインデックステーブル２０の駆動部（図示しな
い）などを収容している基台２７内のダストエリア２８
に収容された送Ｉ！１機２９に接続した状態となってお
り、加圧空気３０がこのエアーダクト２３を介してエア
ーフィルタ２５内に送り込まれるようになっている。

また、上記第１の検査機構部１１と第２の検査機構部１
２との間には、単板収容部１７内の所定のスタッカータ
ワー１６に保持され清浄に保たれた単板２を取出して上
記検査機構部１１．１２に供給したり検査済みの単板２
を第１の検査機構部１１および第２の検査機構部１２か
ら取出して単板収容部１７の所定のスタッカータワー１
６に戻す単板移送機構としてのロボット３５が設けられ
ている。

ざらに、装置の右端全部には上記ロボット３５を制御す
るためのロボットコントローラ３６が設けられ、この後
側にはスタッカーユニット１５の１ｄｌｔｌｌやロボッ
トコントローラ３６と第１．第２の検査機構部コントロ
ーラ１３．１４の動作タイミングを取るための制御装置
３７が設けられている。

また、上記ロボットコントローラ３６の上には作業者が
操作するための操作ボックス３８が設けられている。

なお、単板収容部１７全体を覆うシュラウド２１には、
作業者が単板収容部１７に対して単板２・・・を搬出入
するためのシュラウドドアー３９およびロボット３５が
単板２をチャッキングして搬出入するためのハツチ４０
が設けられている。

また、第１．第２の検査機構部１１．１２は、それぞれ
ケーシングで覆われた防塵構造となっていてドアー４１
．４２を介して単板２の出し入れを行なうようになって
いるとともに内部は単板収納部１７と同様に清浄空気が
供給されるクリーンエリアとなっている。

つぎに、このように構成された単板の自動欠陥検査装置
１の動作に付いて説明する。

まず、作業者が操作ボックス３８を操作することにより
スタッカータワー１６・・・が配設されたインデックス
テーブル２０を間歇回転させシュラウドドアー３９の位
置に希望するスタッカータワー１６・・・を位置決めす
る。シュラウドドアー３９を開いて単板２・・・の搬出
入を行なう。

単板２・・・の搬出入完了後に睦作ボックス３８により
連続運転を起動する。

これにより、未検査単板２・・・がセットされているス
タッカータワー１６・・・がハツチ４０の位置に移動し
、上下方向の位置決めを行なう。つぎに、ハツチ４０が
開きロボット３５は未検査単板２をチャッキングして第
１の検査機構部１１へと移送する。

第１の検査機構部１１ではセットされた未検査単板２を
検査機構部コントローラ１３の制御により欠陥検査し、
欠陥の程度により単板２の品質を数種類にランク分けす
る。

このようにして、第１の検査機構部１１にて検査済みの
単板２はロボット３５にてチャッキングされ上記スタッ
カーユニット１５のハツチ４０の位置に返送される。

一方、スタッカーユニット１５では、検査済み単板２の
品質ランクに対応したスタッカータワー１６がハツチ４
０に対向しロボット３５により移送されてきた検査済み
の単板２を受取ることになる。

なお、第１の検査機構部１１についてのみ説明したが第
２の検査機構部１２に対しても上述と同様に単板２の供
給、取出しが行なわれ、また、ハツチ４０およびドアー
４１．４２はロボット３５がアクセスするときだけ開き
、通常は閉じることにより内部の空気を清浄に保ってい
る。

上記単板収容部１７に収容された単板２・・・は第２図
に示すようにエアーフィルタ２５を通して吹き出される
清浄空気１８により清浄な状態が保持されるようになっ
ている。

一方、第１．第２の検査機構部１１．１２にも図示しな
いが同様に清浄空気１８が導かれ清浄な状態が保持でき
るようになっている。

上記第１．第２の検査機構部１１．１２による単板２の
欠陥検査は、単板２の磁気変換特性や磁性体のむら、ピ
ンホールなどの物理的欠陥により生じる読取りエラーを
検査するものであり、検査方法は実際の磁気ディスク装
置と同仕様の磁気ヘッドを使用しアナログ出力を処理し
て検査するようになっている。

しかして、本発明は上記の構成とすることにより、製造
工程での塵埃発生減少による歩留り向上および品質の向
上が可能となり、また、長時間連続して自動運転が可能
となって夜間などの無人運転が実現できた。また、２台
の検査機構部１１゜゛　１２を具備することにより検査
時間を大幅に短縮し生産性を向上できた。さらに、スタ
ッカ−ユニット１５内部の空気清浄度を維持することに
より単板２・・・を長時間保存することが可能となった
。

なお、上述の一実施例において単板として磁気ディスク
を遠州し磁気的な欠陥を検査する装置について述べてき
たが、本発明はこれに限らず、たとえば単板の機械的な
精度やコンパクトディスクなどの欠陥検査にも応用でき
る。

その他、本発明は、本発明の要旨を変えない範囲で種々
変形実施可能なことは勿論である。

［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように、検査機構部への単板の
供給、取出しが自動的に行なえて長時間に屋る連続的な
検査が可能となり、しかも、検査前後の単板を清浄状態
で保管でき、従来のように単板を人為的に検査装置に着
脱するものに比べ作業性が良く製品歩留りの向上が可能
となり、また、製造工程内に作業者がいる時間を短縮で
き省力化が可能となるとともに作業者から発する塵埃に
よるＩａ気ヘッドや甲板への悪影響を防止することが可
能となる単板の自動欠陥検査装置を提供できるといった
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は装置全体を示す斜視図、第２図は要部の構成説
明図、第３図は固定磁気ディスク装置における単板に対
する情報処理状態を示す斜視図である。 ２・・・単板、１０・・・自動欠陥検査装置、　１１゜
１２・・・検査機構部、１６・・・スタッカータワー、
１７・・・単板収容部、１８・・・清浄空気、２４・・
・清浄空気吹出部、２５・・・エアーフィルタ、３５・
・・単板移送機構部（ロボット）。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 ３０謂 第２図 第３図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）単板の欠陥を検査する検査機構部と、この検査機
   構部で検査される単板および検査済みの単板を保持する
   ための複数のスタッカータワーを配設した単板収容部と
   、この単板収容部に清浄空気を導き複数のスタッカータ
   ワーに保持された単板を清浄な状態に保つ清浄化手段と
   、この清浄化手段により清浄に保たれた単板収容部内の
   所定のスタッカータワーに保持された単板を取出して上
   記検査機構部に供給したり検査済みの単板を検査機構部
   から単板収容部の所定のスタッカータワーに戻す単板移
   送機構とを具備してなることを特徴とする単板の自動欠
   陥検査装置。
2. （２）複数のスタッカータワーを円環状に 配設しその中心部に清浄化手段の空気吹出部を設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の単板の自動
   欠陥検査装置。
3. （３）清浄空気吹出部が、スタッカータワ ーの高さ方向全域に亙って清浄空気吹出部を対向させて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の単板
   の自動欠陥検査装置。
4. （４）清浄空気吹出部が、円筒状エアーフ ィルタで構成されることを特徴とする特許請求の範囲第
   ２項または第３項記載の単板の自動欠陥検査装置。
5. （５）検査機構部を、複数設けたことを特 徴とする特許請求の範囲第１項記載の単板の自動欠陥検
   査装置。