JPS6321249A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents
誘電体磁器組成物Info
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- JPS6321249A JPS6321249A JP61165835A JP16583586A JPS6321249A JP S6321249 A JPS6321249 A JP S6321249A JP 61165835 A JP61165835 A JP 61165835A JP 16583586 A JP16583586 A JP 16583586A JP S6321249 A JPS6321249 A JP S6321249A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は1100℃以下で焼成される高誘電率系誘電体
磁器組成物に関し、特に低酸素分圧雰囲気で焼成でき高
い抵抗率の得られる組成物に関する。
磁器組成物に関し、特に低酸素分圧雰囲気で焼成でき高
い抵抗率の得られる組成物に関する。
従来の技術
近年セラミックコンデンサにおいては素子の小型化、大
容量化への要求から積層型セラミックコンデンサが急速
に普及しつつある。積層型セラミックコンデンサは内部
電極とセラミックを一体焼成する工程によって通常製造
される。従来より高誘電率系のセラミックコンデンサ材
料にはチタン酸バリウム系の材料が用いられてきたが、
焼成温度が1300℃程度と高いため、内部電極材料と
してはPi、Pdなどの高価な金属を用いる必要があっ
た。
容量化への要求から積層型セラミックコンデンサが急速
に普及しつつある。積層型セラミックコンデンサは内部
電極とセラミックを一体焼成する工程によって通常製造
される。従来より高誘電率系のセラミックコンデンサ材
料にはチタン酸バリウム系の材料が用いられてきたが、
焼成温度が1300℃程度と高いため、内部電極材料と
してはPi、Pdなどの高価な金属を用いる必要があっ
た。
これに対し空気中1000℃以下で焼成でき内部電極と
して安価なAg系材料を用いることができる鉛複合ペロ
ブスカイト系材料や、低酸素分圧雰囲気中で焼成できN
iなどの卑金属材料を内部電極として使用できるチタン
酸バリウム系材料が開発されている。前者については、
発明者らはすでに特願昭60−219562号において
、pbTies−Pb(Mgtz!lNb2t3)O!
1Pb(Zntz*Ws、*)02を含む誘電体磁器組
成物を提案している。後者については特公昭56−46
641号公報に記載の材料などが知られている。
して安価なAg系材料を用いることができる鉛複合ペロ
ブスカイト系材料や、低酸素分圧雰囲気中で焼成できN
iなどの卑金属材料を内部電極として使用できるチタン
酸バリウム系材料が開発されている。前者については、
発明者らはすでに特願昭60−219562号において
、pbTies−Pb(Mgtz!lNb2t3)O!
1Pb(Zntz*Ws、*)02を含む誘電体磁器組
成物を提案している。後者については特公昭56−46
641号公報に記載の材料などが知られている。
PbTi0a −Pb (Mgtz3NblI/s )
03 Pb(Zn重/11 Wl/2)Os系固溶体は
低温で焼成でき、誘電率の温度変化率が同程度のチタン
酸バリウム系材料に比べ高い誘電率が得られる。従って
この誘電体磁器組成物とAg系内部電極からなる積層コ
ンデンサは素子の大容量、小型化、低コスト化が図れる
利点を有している。しかし近年さらに内部電極材料の低
コスト化が図れるCuなどの卑金属を内部電極として用
いることが求められており、このため、同時焼成したと
きCuなどの金属が酸化しないような低酸素分圧雰囲気
で焼成でき、高い抵抗率が得られる材料が必要とされて
いる。
03 Pb(Zn重/11 Wl/2)Os系固溶体は
低温で焼成でき、誘電率の温度変化率が同程度のチタン
酸バリウム系材料に比べ高い誘電率が得られる。従って
この誘電体磁器組成物とAg系内部電極からなる積層コ
ンデンサは素子の大容量、小型化、低コスト化が図れる
利点を有している。しかし近年さらに内部電極材料の低
コスト化が図れるCuなどの卑金属を内部電極として用
いることが求められており、このため、同時焼成したと
きCuなどの金属が酸化しないような低酸素分圧雰囲気
で焼成でき、高い抵抗率が得られる材料が必要とされて
いる。
発明が解決しようとする問題点
PbTiO3−Pb (Mgtz9Nb2ts )Os
−Pb(Z n 1t2W1/2 ) Os系固溶体
は低酸素分圧雰囲気で焼成するとチ密に焼結せず、また
抵抗率が小さくなる傾向がある。
−Pb(Z n 1t2W1/2 ) Os系固溶体
は低酸素分圧雰囲気で焼成するとチ密に焼結せず、また
抵抗率が小さくなる傾向がある。
本発明は、PbTi O!l −Pb (Mg璽t3N
by、3)03−Pb(Znt、s+ wt、)09系
のもつ高い誘電率と低温焼結性をそこなわず、低酸素分
圧雰囲気で焼成したとき抵抗値が高い誘電体磁器組成物
を提供することを目的としている。
by、3)03−Pb(Znt、s+ wt、)09系
のもつ高い誘電率と低温焼結性をそこなわず、低酸素分
圧雰囲気で焼成したとき抵抗値が高い誘電体磁器組成物
を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
Pba(Mgtzs Nbqts )xTiy(Zn1
t9Wl/2 )202+3で表される組成式(ただし
x+y+z=1)において、1.001≦a≦1.11
0の範囲とするとともに、この範囲内の各aの値に対し
、 Pb 、 (Mgtt9Nb*ts ) 02+ll、
Ph3 TiO2匂、および Pb、 (Zn1t9Wl/2 ) 02+11を頂点
とする三角座標において、下記組成点A。
t9Wl/2 )202+3で表される組成式(ただし
x+y+z=1)において、1.001≦a≦1.11
0の範囲とするとともに、この範囲内の各aの値に対し
、 Pb 、 (Mgtt9Nb*ts ) 02+ll、
Ph3 TiO2匂、および Pb、 (Zn1t9Wl/2 ) 02+11を頂点
とする三角座標において、下記組成点A。
B、C,Dを頂点とする四角形の領域内の組成とする。
A ; x−0,925y−0,050z−0,025
B ; x−0,850y−0,125z−0,025
C;x−0,250y−0,300z−0,450D;
X−0,250y−0,100z−0,650作用 本発明の組成物においてはAサイト成分を過剰にするこ
とにより、低酸素分圧雰囲気、1100℃以下でチ密な
焼成物が得られ、高い抵抗率を有する信頼性の高い素子
かえられる。
B ; x−0,850y−0,125z−0,025
C;x−0,250y−0,300z−0,450D;
X−0,250y−0,100z−0,650作用 本発明の組成物においてはAサイト成分を過剰にするこ
とにより、低酸素分圧雰囲気、1100℃以下でチ密な
焼成物が得られ、高い抵抗率を有する信頼性の高い素子
かえられる。
実施例
出発原料には化学的に高純度なPbO,MgO。
Nb110s 、TiO* 、ZnO,WO2を用い
た。
た。
これらを純度補正をおこなったうえで所定量を秤量し、
メノウ製玉石を用い純水を溶媒としボールミルで17時
時間式混合した。これを吸引ろ過して水分の大半を分離
した後乾燥し、その後ライカイ機で充分解砕した後粉体
量の5wt%の水分を加え、直径60 +nm 1高さ
約50−の円柱状に成形圧力5..00kg/cm2
で成形した。これをアルミナルツボ中に入れ同質のフ
タをし、750℃〜880℃で2時間仮焼した。次に仮
焼物をアルミナ乳鉢で粗砕し、さらにメノウ製玉石を用
い純水を溶媒としてボールミルで17時間粉砕し、これ
を吸引ろ過し水分の大半を分離した後乾燥した。以上の
仮焼、粉砕、乾燥を数回(りかえした後この粉末にポリ
ビニルアルコール6wt%水溶液を粉体量の6wt%加
え、32メツシユふるいを通して造粒し、成形圧力10
00kg/cm2で、直径13+nm、高さ約5WII
11の円柱状に成形した。成形物は空気中で700℃ま
で昇温し、1時間保持しポリビルアルコール分をバーン
アウトした。
メノウ製玉石を用い純水を溶媒としボールミルで17時
時間式混合した。これを吸引ろ過して水分の大半を分離
した後乾燥し、その後ライカイ機で充分解砕した後粉体
量の5wt%の水分を加え、直径60 +nm 1高さ
約50−の円柱状に成形圧力5..00kg/cm2
で成形した。これをアルミナルツボ中に入れ同質のフ
タをし、750℃〜880℃で2時間仮焼した。次に仮
焼物をアルミナ乳鉢で粗砕し、さらにメノウ製玉石を用
い純水を溶媒としてボールミルで17時間粉砕し、これ
を吸引ろ過し水分の大半を分離した後乾燥した。以上の
仮焼、粉砕、乾燥を数回(りかえした後この粉末にポリ
ビニルアルコール6wt%水溶液を粉体量の6wt%加
え、32メツシユふるいを通して造粒し、成形圧力10
00kg/cm2で、直径13+nm、高さ約5WII
11の円柱状に成形した。成形物は空気中で700℃ま
で昇温し、1時間保持しポリビルアルコール分をバーン
アウトした。
これを上述の仮焼粉を体積の173程度敷きつめた上に
200メツシユZrO2粉を約1wlIn敷いたマグネ
シャ磁器容器に移し、同質のフタをし、管状電気炉の炉
心管内に挿入し、炉心管内をロータリーポンプで脱気し
たのちN2−H2混合ガスで置換し、酸素分圧(Pos
t)が1. Ox 10−8atmになるようN2とH
2ガスの混合比を調節しながら混合ガスを流し、所定温
度まで400℃/hrで昇温し2時間保持後、400℃
/ h rで降温した。炉心管内のPo2は挿入した安
定化ジルコニア酸素センサーにより一 〇 − 測定した。第2図に焼成時のマグネシャ磁器容器の構造
を、第3図に炉心管内部をそれぞれ断面図で示す。
200メツシユZrO2粉を約1wlIn敷いたマグネ
シャ磁器容器に移し、同質のフタをし、管状電気炉の炉
心管内に挿入し、炉心管内をロータリーポンプで脱気し
たのちN2−H2混合ガスで置換し、酸素分圧(Pos
t)が1. Ox 10−8atmになるようN2とH
2ガスの混合比を調節しながら混合ガスを流し、所定温
度まで400℃/hrで昇温し2時間保持後、400℃
/ h rで降温した。炉心管内のPo2は挿入した安
定化ジルコニア酸素センサーにより一 〇 − 測定した。第2図に焼成時のマグネシャ磁器容器の構造
を、第3図に炉心管内部をそれぞれ断面図で示す。
第2図において1はマグネシア容器であり、その上部は
マグネシア容器蓋2で封じた。マグネシア容器1の下部
には仮焼粉3を配置し、その上にジルコニア粉4を配置
した。さらにその上に試料5を配置した。
マグネシア容器蓋2で封じた。マグネシア容器1の下部
には仮焼粉3を配置し、その上にジルコニア粉4を配置
した。さらにその上に試料5を配置した。
第2図のように準備されたマグネシア容器1を第3図の
ように炉心管6内に配置した。7は安定化ジルコニア酸
素センサーである。
ように炉心管6内に配置した。7は安定化ジルコニア酸
素センサーである。
焼成物は厚さIMの円板状に切断し、両面にCr −A
uを蒸着し、誘電率、tanδを1kllz。
uを蒸着し、誘電率、tanδを1kllz。
I V / nunの電界下で測定した。また抵抗率は
、1k V / +nmの電圧を印加後1分値から求め
た。
、1k V / +nmの電圧を印加後1分値から求め
た。
なお焼成温度は焼成物の密度がもっとも太き(なる温度
とした。
とした。
表1に本発明の組成範囲および周辺組成の成分(a+
1/3Nb2/3)O2+a、PbaTiOy* Zは
P ba (Mg1z3Nb2/s )XTiy(Z
nxt2Wl/!2 )ZO2+11と表したときの値
)、低酸素分圧雰囲気で焼成したときの焼成温度、誘電
率、誘電率の温度変化率(20℃に対する)、tanδ
、抵抗率、密度を示した。
1/3Nb2/3)O2+a、PbaTiOy* Zは
P ba (Mg1z3Nb2/s )XTiy(Z
nxt2Wl/!2 )ZO2+11と表したときの値
)、低酸素分圧雰囲気で焼成したときの焼成温度、誘電
率、誘電率の温度変化率(20℃に対する)、tanδ
、抵抗率、密度を示した。
第1図は、表1に示した試料をP b@ T 102+
a %Pba (Mgtzs Nb1lts )02+
11%及びP ba(ZnxtwWl/2 )02+1
1を端成分とする三角組成図中に示したもので、斜線の
範囲が発明の範囲である。
a %Pba (Mgtzs Nb1lts )02+
11%及びP ba(ZnxtwWl/2 )02+1
1を端成分とする三角組成図中に示したもので、斜線の
範囲が発明の範囲である。
(以下余白)
一 10−
発明範囲外の組成物では、aが1.001より小さいと
低酸素分圧雰囲気で焼成したときチ密な焼結物が得られ
ない、もしくは抵抗率が低くなる難点を有しており、1
.110より太き(なると誘電率および抵抗率が低下す
る難点を有する。またXI Y+ Zが限定の範囲外の
組成物はキュリー点が室温から大きくはずれ誘電率が低
くなる、もしくは誘電率の温度変化率が太きなる難点を
有している。特許請求の範囲内の組成物では前記の問題
がいずれも克服されている。
低酸素分圧雰囲気で焼成したときチ密な焼結物が得られ
ない、もしくは抵抗率が低くなる難点を有しており、1
.110より太き(なると誘電率および抵抗率が低下す
る難点を有する。またXI Y+ Zが限定の範囲外の
組成物はキュリー点が室温から大きくはずれ誘電率が低
くなる、もしくは誘電率の温度変化率が太きなる難点を
有している。特許請求の範囲内の組成物では前記の問題
がいずれも克服されている。
なお焼成雰囲気として選択した低酸素分圧雰囲気Po1
2; 1.OXl 00−8atは焼成温度における銅
の平衡酸素分圧より低く金属はは七んど酸化しないと考
えられる。
2; 1.OXl 00−8atは焼成温度における銅
の平衡酸素分圧より低く金属はは七んど酸化しないと考
えられる。
発明の効果
本発明によれば低酸素分圧雰囲気1100℃以下の焼成
で積層コンデンサ素子として高信頼性を得るためのチ密
で抵抗率の高い焼結体が得られ、内部電極としてCuな
どの卑金属材料を用いることが可能になる優れた誘電体
磁器組成物を得ることができる。
で積層コンデンサ素子として高信頼性を得るためのチ密
で抵抗率の高い焼結体が得られ、内部電極としてCuな
どの卑金属材料を用いることが可能になる優れた誘電体
磁器組成物を得ることができる。
第1図は本発明に係る磁器組成物の成分組成を示す三角
組成図、第2図は焼成時に磁器を入れるマグネシャ容器
の断面図、第3図は焼成時の炉心管内の断面図を示す。 ■・・・マグネシャ容器、 2・・・マグネシャ容器蓋
、3・・・仮焼粉、 4・・・ジルコニア粉、 5・・
・試料、 6・・・炉心管、 7・・・安定化ジルコニ
ア酸素センサー。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか1名第1図
組成図、第2図は焼成時に磁器を入れるマグネシャ容器
の断面図、第3図は焼成時の炉心管内の断面図を示す。 ■・・・マグネシャ容器、 2・・・マグネシャ容器蓋
、3・・・仮焼粉、 4・・・ジルコニア粉、 5・・
・試料、 6・・・炉心管、 7・・・安定化ジルコニ
ア酸素センサー。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか1名第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Pb_a(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)_xT
i_y(Zn_1_/_2W_1_/_2)_zO_2
_+_aで表される組成式(ただし、x+y+z=1)
において1.001≦a≦1.110の範囲にあり、こ
の範囲内の各aの値に対し、 Pb_a(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)O_2
_+_a、Pb_aTiO_2_+_a、および Pb_a(Zn_1_/_2W_1_/_2)O_2_
+_aを頂点とする三角座標において、下記組成点A、
B、C、Dを頂点とする四角形の領域内の組成物からな
ることを特徴とする誘電体磁器組成物。 A;x=0.925 y=0.050 z=0.025
B;x=0.850 y=0.125 z=0.025
C;x=0.250 y=0.300 z=0.450
D;x=0.250 y=0.100 z=0.650
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61165835A JPH0676250B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61165835A JPH0676250B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6321249A true JPS6321249A (ja) | 1988-01-28 |
JPH0676250B2 JPH0676250B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=15819904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61165835A Expired - Fee Related JPH0676250B2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0676250B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05238821A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-17 | Taiyo Yuden Co Ltd | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP61165835A patent/JPH0676250B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05238821A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-17 | Taiyo Yuden Co Ltd | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0676250B2 (ja) | 1994-09-28 |
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