JPS63205514A - 磁気的に位置や速度を検出する装置 - Google Patents
磁気的に位置や速度を検出する装置Info
- Publication number
- JPS63205514A JPS63205514A JP3797687A JP3797687A JPS63205514A JP S63205514 A JPS63205514 A JP S63205514A JP 3797687 A JP3797687 A JP 3797687A JP 3797687 A JP3797687 A JP 3797687A JP S63205514 A JPS63205514 A JP S63205514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- magnetoresistive element
- recording medium
- azimuth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 94
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 11
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003266 NiCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018106 Ni—C Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、位置や速度を検出する装置に係り。
特に正弦波出力を得る磁気式の位置や速度を検出する装
置に関する。
置に関する。
従来は、特公昭６Ｇ−１２５７９号公報に記載のような
ものが知られている。この中では、磁気抵抗効果素子と
磁気記録媒体との空隙であるスペーシングが変化に基づ
く特性の変化については言及されていない、しかし、実
際に位置検出装置として使用する場合、例えば、回転位
置検出装置を考えて見ると、回転体である磁気記録媒体
が偏心していると回転により、スペーシングが変化して
しまう。
ものが知られている。この中では、磁気抵抗効果素子と
磁気記録媒体との空隙であるスペーシングが変化に基づ
く特性の変化については言及されていない、しかし、実
際に位置検出装置として使用する場合、例えば、回転位
置検出装置を考えて見ると、回転体である磁気記録媒体
が偏心していると回転により、スペーシングが変化して
しまう。
第１３図は、スペーシングに対する磁気抵抗効果素子の
出力振幅に関係をプロットした特性である。
出力振幅に関係をプロットした特性である。
第１３図より、スペーシングの挟いＡの範囲では、磁気
抵抗効果素子の出力振幅の変化はないが、波形が歪んで
しまう、また、スペーシングの広いＢの範囲では、磁気
センサの出力波形は歪まないが。
抵抗効果素子の出力振幅の変化はないが、波形が歪んで
しまう、また、スペーシングの広いＢの範囲では、磁気
センサの出力波形は歪まないが。
わずかなスペーシングの変化により出力振幅が変化して
しまう。
しまう。
上記従来技術は、偏心等によるスペーシング変化に基づ
く波形歪みについては言及されておらず。
く波形歪みについては言及されておらず。
回転等による波形の歪や出力振幅の変化が大きかった。
本発明の目的は、偏心等によりスペーシングが変化して
も波形歪が少なく、出力振幅の変動かつ少ない正弦波形
を出力する磁気的な位置や速度を検出する装置を提供す
ることにある。
も波形歪が少なく、出力振幅の変動かつ少ない正弦波形
を出力する磁気的な位置や速度を検出する装置を提供す
ることにある。
上記目的は、波形歪を起す主たる調波成分に応じて、磁
気信号の磁気記録方向と磁気抵抗効果素子の長手方向が
直交する位置からほぼ次式になる様に角度０（アジマス
）を付けることにより、任意の高調波波成分を打消し、
基本波成分のみを取り出して波形歪をなくすることによ
り達成される。
気信号の磁気記録方向と磁気抵抗効果素子の長手方向が
直交する位置からほぼ次式になる様に角度０（アジマス
）を付けることにより、任意の高調波波成分を打消し、
基本波成分のみを取り出して波形歪をなくすることによ
り達成される。
λ
θ＝ｔａｎ−１−（度）
Ｑ
但し、λは磁気信号の磁気記録ピッチ（Ｎ・Ｓ間の距離
）、ｎは高調波成分の次数、悲は磁気センサの長さであ
る。
）、ｎは高調波成分の次数、悲は磁気センサの長さであ
る。
前記のように、磁気抵抗効果素子を可及的に磁気記録媒
体に近接させても、磁気抵抗効果素子を磁気記録媒体に
着磁した磁気記録方向に対して調波成分を除去するよう
に配置しであるので、磁気抵抗効果素子から出力される
電気信号には調波成分が除去できるように作用し、結果
として歪みのない高精度の電気信号が磁気抵抗効果素子
から得られるものである。
体に近接させても、磁気抵抗効果素子を磁気記録媒体に
着磁した磁気記録方向に対して調波成分を除去するよう
に配置しであるので、磁気抵抗効果素子から出力される
電気信号には調波成分が除去できるように作用し、結果
として歪みのない高精度の電気信号が磁気抵抗効果素子
から得られるものである。
以下、本発明構成一実施例を第１図ないし第９図により
説明する。第１図において１回転軸１には回転ドラム２
が固定されている。この回転ドラム２の外周に記録ピッ
チλの磁気信号となる多数の磁極Ｎ、Ｓを記録した磁気
記録媒体３を配置しよ、ている、これに対向して磁気抵
抗効果素子Ｒｚ、’Ｒｚで構成された磁気センサ４を磁
気記録媒体３よりある間隔のスペーシングＱを介して配
置する。
説明する。第１図において１回転軸１には回転ドラム２
が固定されている。この回転ドラム２の外周に記録ピッ
チλの磁気信号となる多数の磁極Ｎ、Ｓを記録した磁気
記録媒体３を配置しよ、ている、これに対向して磁気抵
抗効果素子Ｒｚ、’Ｒｚで構成された磁気センサ４を磁
気記録媒体３よりある間隔のスペーシングＱを介して配
置する。
第１図の磁気記録媒体３と磁気センサ４の関係を第２図
に展開図として示す、第２図において、磁気記録媒体３
には、前述のように記録ピッチλで磁極Ｎ、Ｓを記録し
ている。磁気センサ４は、磁気抵抗効果素子Ｒｘ、Ｒｚ
ｉ？構成され、各々λ／２の間隔で配置されており、磁
気信号の記録方向と、磁気抵抗効果素子Ｒｘ、Ｒｚの長
手方向が直交するＰ線からある角度θ（アジマス）を持
って配置されている。磁気センサ４の磁気抵抗効果素子
Ｒ１゜Ｒ２は、磁界に対して電気抵抗が変化するもので
、ガラス基板等の表面に強磁性体Ｎｉ−ＦｅやＮｉ・Ｃ
ｏ等の薄膜を蒸着などの手法により、数個〜数１０個の
磁気センサ４が一度に形成され、後でダイシング等によ
り切離されて個々の磁気センサ４が得られる。この磁界
に対する抵抗変化は、第３図（イ）に示す様に磁界の方
向に関係なく、磁界の大きさに比例して抵抗が変化し、
ある値で飽和する。ここで、磁気信号の記録方向と磁気
センサの長手方向が直交した場合において、回転ドラム
２が回転して、磁気記録媒体３が移動し、磁気記録媒体
３の磁気信号により磁気センサ４に加わる磁界が第３図
（ロ）の様に変化したと仮定する。
に展開図として示す、第２図において、磁気記録媒体３
には、前述のように記録ピッチλで磁極Ｎ、Ｓを記録し
ている。磁気センサ４は、磁気抵抗効果素子Ｒｘ、Ｒｚ
ｉ？構成され、各々λ／２の間隔で配置されており、磁
気信号の記録方向と、磁気抵抗効果素子Ｒｘ、Ｒｚの長
手方向が直交するＰ線からある角度θ（アジマス）を持
って配置されている。磁気センサ４の磁気抵抗効果素子
Ｒ１゜Ｒ２は、磁界に対して電気抵抗が変化するもので
、ガラス基板等の表面に強磁性体Ｎｉ−ＦｅやＮｉ・Ｃ
ｏ等の薄膜を蒸着などの手法により、数個〜数１０個の
磁気センサ４が一度に形成され、後でダイシング等によ
り切離されて個々の磁気センサ４が得られる。この磁界
に対する抵抗変化は、第３図（イ）に示す様に磁界の方
向に関係なく、磁界の大きさに比例して抵抗が変化し、
ある値で飽和する。ここで、磁気信号の記録方向と磁気
センサの長手方向が直交した場合において、回転ドラム
２が回転して、磁気記録媒体３が移動し、磁気記録媒体
３の磁気信号により磁気センサ４に加わる磁界が第３図
（ロ）の様に変化したと仮定する。
これは、第１３図に示したスペーシングが狭いＡの範囲
に相当し、磁気センサ４には、磁気抵抗効果素子Ｒ１，
Ｒｚの抵抗が充分飽和する程の大きな磁界が印加される
。このため、磁気抵抗効果素子ＲｚおよびＲ２の抵抗は
、第３図（１１）の様になる。すなわち、磁界の小さな
範囲では、磁界に比例して抵抗が減少するが、磁界の大
きな範囲では、抵抗が飽和して変化しなくなる様な抵抗
変化となる。一方、磁気抵抗効果素子Ｒ１およびＲｚは
、第３図（ホ）のように直列に３姶子接続し、電源Ｖよ
り電圧を供給する。そうすると磁気抵抗効果素子Ｒ１と
Ｒ２の接続点から得られる出力ｅｏは、第３図（ニ）の
様に歪んだ出力波形となる。この波形を分析すると、第
４図の実線で示す様に、基本波成分の他に、基本波の奇
数倍（ｎ＝３．５゜７．９・・・）の高調波成分に分け
られる。ここで、今、除去したい高調波成分を第５調波
ｖｓ（ｎ＝５）と仮定すると、基本波成分と第５調波の
関係は、第５図の様になる。第５図より、基本波成分ｖ
１の１周期は、λであるのに対し、第５調波ｖ６は、５
倍の周波数（ｎ ＝ ５）となり、その周期はλ／２と
なる。したがって、第６図に示す様に、磁気抵抗効果素
子Ｒの両端部（磁界を感応する部分）が、はぼ第５調波
の１周期すなわちλ／２の１７２相当だけ、直交位置で
あるＰ線から傾けてやれば、第５調波成分は平均化され
打ち消すことかできる。傾きの角度θ（アジマス）は、
磁気抵抗効果素子Ｒの長さにＱによって変るもので、は
ぼ次式になる様にすれば良い。
に相当し、磁気センサ４には、磁気抵抗効果素子Ｒ１，
Ｒｚの抵抗が充分飽和する程の大きな磁界が印加される
。このため、磁気抵抗効果素子ＲｚおよびＲ２の抵抗は
、第３図（１１）の様になる。すなわち、磁界の小さな
範囲では、磁界に比例して抵抗が減少するが、磁界の大
きな範囲では、抵抗が飽和して変化しなくなる様な抵抗
変化となる。一方、磁気抵抗効果素子Ｒ１およびＲｚは
、第３図（ホ）のように直列に３姶子接続し、電源Ｖよ
り電圧を供給する。そうすると磁気抵抗効果素子Ｒ１と
Ｒ２の接続点から得られる出力ｅｏは、第３図（ニ）の
様に歪んだ出力波形となる。この波形を分析すると、第
４図の実線で示す様に、基本波成分の他に、基本波の奇
数倍（ｎ＝３．５゜７．９・・・）の高調波成分に分け
られる。ここで、今、除去したい高調波成分を第５調波
ｖｓ（ｎ＝５）と仮定すると、基本波成分と第５調波の
関係は、第５図の様になる。第５図より、基本波成分ｖ
１の１周期は、λであるのに対し、第５調波ｖ６は、５
倍の周波数（ｎ ＝ ５）となり、その周期はλ／２と
なる。したがって、第６図に示す様に、磁気抵抗効果素
子Ｒの両端部（磁界を感応する部分）が、はぼ第５調波
の１周期すなわちλ／２の１７２相当だけ、直交位置で
あるＰ線から傾けてやれば、第５調波成分は平均化され
打ち消すことかできる。傾きの角度θ（アジマス）は、
磁気抵抗効果素子Ｒの長さにＱによって変るもので、は
ぼ次式になる様にすれば良い。
λ
θ＝ｔａｎ−”−（度）
Ｑ
この結果を第４図の一点さ線で示す。これを見ると、第
５調波の成分は打ち消されており、さらには、第３及び
第７調波等の他の高調波成分も低減できる。
５調波の成分は打ち消されており、さらには、第３及び
第７調波等の他の高調波成分も低減できる。
第７図及び第８図は、第７調波Ｖ７を除去する場合の一
実施例である。従って、第７調波ｖ７の周波数は、基本
波成分ｖ１の７倍（ｎ＝７）となり、アジマスθも次式
の様になる。この様にすれば、第４図の点線 で示す様に、第７調波は打ち消されており、第３及び第
５調波等の高調波成分も低減できる。
実施例である。従って、第７調波ｖ７の周波数は、基本
波成分ｖ１の７倍（ｎ＝７）となり、アジマスθも次式
の様になる。この様にすれば、第４図の点線 で示す様に、第７調波は打ち消されており、第３及び第
５調波等の高調波成分も低減できる。
この様に、出力波形に移まれでいる高調波成分のうち、
任意の高調波成分をほぼ次式になる様に設定すれば、打
ち消すことが可能であり、さらには、それ以外の高調波
成分も低減できる。
任意の高調波成分をほぼ次式になる様に設定すれば、打
ち消すことが可能であり、さらには、それ以外の高調波
成分も低減できる。
λ
θ＝ｔａｎ−”−（度）
ｆｉ
但し、ｎは打ち消したい高調波成分の次数である。第９
図は、基本波ｖｌ 、第３調波、第５調波及び第７調波
の出力電圧をアジマスθに対してプロットした結果であ
る。第９図より、アジマスθを少しでも付ければ、各高
調波成分は低減できるので、完全に打ち消したい高調波
成分を打ち消すだけでなく必要に応じて、アジマスθを
設定すれば良いことがわかる。
図は、基本波ｖｌ 、第３調波、第５調波及び第７調波
の出力電圧をアジマスθに対してプロットした結果であ
る。第９図より、アジマスθを少しでも付ければ、各高
調波成分は低減できるので、完全に打ち消したい高調波
成分を打ち消すだけでなく必要に応じて、アジマスθを
設定すれば良いことがわかる。
第１０図は、磁気センサ４目体にアジマスθを付けるの
でなく、前述した様に、この磁気センサ４は、ガラス基
板の表面に１強磁性体のＮｉ・ＦｅやＮｉＣｏの薄膜を
蒸看等の手法により作るので、この際にダイシングライ
ン５に対し、任意のアジマスθを付けて、磁気抵抗効果
素子Ｒｌ。
でなく、前述した様に、この磁気センサ４は、ガラス基
板の表面に１強磁性体のＮｉ・ＦｅやＮｉＣｏの薄膜を
蒸看等の手法により作るので、この際にダイシングライ
ン５に対し、任意のアジマスθを付けて、磁気抵抗効果
素子Ｒｌ。
Ｒ２を配置しても同様の効果が得られる。さらに、第１
１図の様に磁気抵抗効果素子Ｒ１，Ｒｚをへの字形状に
形成しても良い、この様にすれば、磁気センサ４を傾け
て取り付ける必要がないので、従来と同様の治具や方法
で取り付けられる効果がある。
１図の様に磁気抵抗効果素子Ｒ１，Ｒｚをへの字形状に
形成しても良い、この様にすれば、磁気センサ４を傾け
て取り付ける必要がないので、従来と同様の治具や方法
で取り付けられる効果がある。
第１２図は、磁気記録媒体３にアジマスθを付けた例で
ある。すなわち、磁気記録媒体３に磁気信号を記録する
際に、例えば記録ヘッドに任意のアジマスθを付けて磁
気信号を記録すれば、第１１図に示す様に、アジマスθ
を持った磁気信号が記録される。従って、磁気センサ４
が受ける磁界も直交方向からずれた様になり、第２図及
び第１０図と同等の作用・効果が得られる。
ある。すなわち、磁気記録媒体３に磁気信号を記録する
際に、例えば記録ヘッドに任意のアジマスθを付けて磁
気信号を記録すれば、第１１図に示す様に、アジマスθ
を持った磁気信号が記録される。従って、磁気センサ４
が受ける磁界も直交方向からずれた様になり、第２図及
び第１０図と同等の作用・効果が得られる。
以上の説明では１回転体の例で説明したが、回転体以外
でも直線運動を行うものの位置検出に使用しても同様な
効果が得られる。さらに回転ドラム全体がプラスチック
マグネット等の永久磁石で構成されても同様な作用効果
が得られ、また、回転ディスク形の磁気記録媒体でも同
じ作用効果が得られる。
でも直線運動を行うものの位置検出に使用しても同様な
効果が得られる。さらに回転ドラム全体がプラスチック
マグネット等の永久磁石で構成されても同様な作用効果
が得られ、また、回転ディスク形の磁気記録媒体でも同
じ作用効果が得られる。
以上説明したように本発明によれば、磁気抵抗効果素子
の飽和による出力波形歪に含まれる任意の高調波成分を
除去できるので位置検出装置として高調波成分の少ない
正弦波出力で得ることができる。又、スペーシング変化
による基本波出力の振幅変動を少なくすることができる
ので、精度の高い位置や速度を検出する装置を提供する
ことができるものである。
の飽和による出力波形歪に含まれる任意の高調波成分を
除去できるので位置検出装置として高調波成分の少ない
正弦波出力で得ることができる。又、スペーシング変化
による基本波出力の振幅変動を少なくすることができる
ので、精度の高い位置や速度を検出する装置を提供する
ことができるものである。
第１図は本発明の１実施例を示す構成図、第２図は第１
図の磁気記録媒体と磁気センサの関係を示す展開図、第
３図（イ）ないし第３図（ホ）は磁気抵抗効果素子の特
性と動作波形説明図及び磁気抵抗効果素子の接続を示す
図、第４図は出力波形の分析結果を示す図、第５図ない
し第８図は、第５調波及び第７調波を例にとった動作説
明図、第９図はアジマスに対する基本波及び各高調波成
分の出力電圧の関係を示した特性図、第１０図。 第１１図、および第１２図は本発明の他の実施例を示す
磁気記録媒体と磁気センサの展開図、第１３図はスペー
シングに対する磁気センサの出力電圧の関係を示す特性
図である。 １・・・回転軸、２・・・回転ドラム、３・・・磁気記
録媒体、４・・・磁気センサ、５，５′・・・ダイシン
グライン。 Ｒｚ、Ｒｚ・・・磁気抵抗素子、λ・・・磁気信号の記
録ピ−ツチ、θ・・・アジマス。
図の磁気記録媒体と磁気センサの関係を示す展開図、第
３図（イ）ないし第３図（ホ）は磁気抵抗効果素子の特
性と動作波形説明図及び磁気抵抗効果素子の接続を示す
図、第４図は出力波形の分析結果を示す図、第５図ない
し第８図は、第５調波及び第７調波を例にとった動作説
明図、第９図はアジマスに対する基本波及び各高調波成
分の出力電圧の関係を示した特性図、第１０図。 第１１図、および第１２図は本発明の他の実施例を示す
磁気記録媒体と磁気センサの展開図、第１３図はスペー
シングに対する磁気センサの出力電圧の関係を示す特性
図である。 １・・・回転軸、２・・・回転ドラム、３・・・磁気記
録媒体、４・・・磁気センサ、５，５′・・・ダイシン
グライン。 Ｒｚ、Ｒｚ・・・磁気抵抗素子、λ・・・磁気信号の記
録ピ−ツチ、θ・・・アジマス。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、移動体あるいは固定体のいずれか一方に担持され、
かつ磁気信号となる多数の磁極を有する磁気記録媒体と
、この磁気記録媒体に所定のスペーシングを介して近接
し、前記磁気記録媒体を持たない固定体あるいは移動体
のいずれか一方にあつて、かつ磁気抵抗効果素子を具備
する磁気センサとで構成し、この磁気抵抗効果素子は、
前記磁極の磁界に感応して内部抵抗が変化するものとし
、この磁気抵抗効果素子の抵抗変化を電気信号として取
出し、位置を検出するものにおいて、 前記スペーシングを前記磁気抵抗効果素子に前記磁気信
号の最大の磁界が作用したとき、この磁気抵抗効果素子
が磁気飽和する程度に小さくし、更に、前記磁気抵抗効
果素子は、その長手方向を前記磁気信号の記録方向と直
交する方向から所定の角度をもつて配置したものである
ことを特徴とする磁気的に位置や速度を検出する装置。 ２、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記角度はアジマスθであることを特徴とする磁気的に
位置や速度を検出する装置。 ３、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気抵抗効果素子を磁気記録媒体の長手方向と直交
する方法に一致させる一方、磁気記録媒体の磁気記録方
向はこの磁気記録媒体の長手方向に対して所定の角度だ
け異ならせたことを特徴とする磁気的に位置や速度を検
出する装置。 ４、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気抵抗効果素子を、ガラス基板等に担持する際、
ダイシングラインに対して、任意のアジマスθを付けて
担持させるようにしたことを特徴とする磁気的に位置や
速度を検出する装置。 ５、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気信号の磁気記録ピツチ（Ｎ・Ｓ間の距離）をλ
、前記磁気抵抗効果素子の長さをｌ、高調波成分の次数
をｎとするとき、アジマスθを次式にしたがつて決定し
たことを特徴とする磁気的に位置や速度を検出する装置
。 θ＝ｔａｎ＾−＾１（λ／ｎｌ）（度） ６、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気信号の磁気記録ピツチ（Ｎ・Ｓ間の距離）をλ
、前記磁気抵抗効果素子の長さをｌとするとき、アジマ
スθを次式にしたがつて決定したことを特徴とする磁気
的に位置や速度を検出する装置。 θ＝ｔａｎ＾−＾１（λ／５ｌ）（度） ７、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気信号の磁気記録ピツチ（Ｎ・Ｓ間の距離）をλ
、前記磁気抵抗効果素子の長さをｌとするとき、アジマ
スθを次式にしたがつて決定したことを特徴とする磁気
的に位置や速度を検出する装置。 θ＝ｔａｎ＾−＾１（λ／７ｌ）（度） ８、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気信号の磁気記録ピツチ（Ｎ・Ｓ間の距離）をλ
、前記磁気抵抗効果素子の長さをｌとするとき、アジマ
スθを次式にしたがつて決定したことを特徴とする磁気
的に位置や速度を検出する装置。 θ＝ｔａｎ＾−＾１（λ／９ｌ）（度） ９、前記特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、 前記磁気信号の磁気記録ピツチ（Ｎ・Ｓ間の距離）をλ
、前記磁気抵抗効果素子の長さをｌとするとき、アジマ
スθを次式にしたがつて決定したことを特徴とする磁気
的に位置や速度を検出する装置。 θ＝ｔａｎ＾−＾１（λ／３ｌ）（度）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62037976A JP2550049B2 (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | 磁気的に位置や速度を検出する装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62037976A JP2550049B2 (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | 磁気的に位置や速度を検出する装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63205514A true JPS63205514A (ja) | 1988-08-25 |
| JP2550049B2 JP2550049B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=12512599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62037976A Expired - Lifetime JP2550049B2 (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | 磁気的に位置や速度を検出する装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2550049B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0712586A (ja) * | 1993-04-10 | 1995-01-17 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 磁気的測定システム |
| DE19748996C1 (de) * | 1997-11-06 | 1999-07-15 | Wolfgang Scharrer | Kugellager mit integriertem Sensor |
| EP1972899A2 (en) | 2007-03-20 | 2008-09-24 | Okuma Corporation | Position detector with tilt sensor |
| JP2012088211A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Hitachi Metals Ltd | 磁気式エンコーダ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6031014A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
| JPS6031013A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
-
1987
- 1987-02-23 JP JP62037976A patent/JP2550049B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6031014A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
| JPS6031013A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0712586A (ja) * | 1993-04-10 | 1995-01-17 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 磁気的測定システム |
| DE19748996C1 (de) * | 1997-11-06 | 1999-07-15 | Wolfgang Scharrer | Kugellager mit integriertem Sensor |
| EP1972899A2 (en) | 2007-03-20 | 2008-09-24 | Okuma Corporation | Position detector with tilt sensor |
| US7474091B2 (en) | 2007-03-20 | 2009-01-06 | Okuma Corporation | Position detector with tilt sensor |
| JP2012088211A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Hitachi Metals Ltd | 磁気式エンコーダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2550049B2 (ja) | 1996-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4818939A (en) | Apparatus for magnetically detecting position or speed or moving body utilizing bridge circuit with series connected MR elements | |
| US5019776A (en) | Magnetic position detection apparatus having two magnetic recording medium tracks with magnetoresistors arranged in a bridge circuit so as to eliminate even order harmonic distortion | |
| JPS5845642B2 (ja) | 運動部材の位置の検出方法及び装置 | |
| JPS5886405A (ja) | 角度検出器 | |
| JP2529960B2 (ja) | 磁気的位置検出装置 | |
| JPH1194588A (ja) | パルス信号発生方法および装置 | |
| US4217512A (en) | Apparatus for generating a pulse when a first member passes a second member using permanent magnets with different strengths | |
| JPH10239338A (ja) | 検出装置 | |
| JPS63205514A (ja) | 磁気的に位置や速度を検出する装置 | |
| JPH1197986A (ja) | パルス信号発生方法および装置 | |
| JPH10206104A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPS59147213A (ja) | 磁気回転センサ | |
| USRE34443E (en) | Apparatus magnetically detecting position or speed of moving body utilizing bridge circuit with series connected MR elements | |
| JP2004239828A (ja) | フラックスゲート磁界センサ | |
| JPH06147816A (ja) | 角度センサ | |
| JPH11311543A (ja) | 磁気抵抗素子及び磁気検出装置 | |
| JPH074986A (ja) | 基準位置検出装置 | |
| JPS6047521B2 (ja) | 原点検出装置 | |
| JPH0217476A (ja) | 差動型磁気抵抗効果素子 | |
| JPH0618279A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH04223218A (ja) | 磁気センサ | |
| JPS60162919A (ja) | 磁気スケ−ル信号検出装置 | |
| JPH09218053A (ja) | 磁気式エンコーダ装置 | |
| JPH03221814A (ja) | 磁電変換装置 | |
| JPH04166716A (ja) | 位置検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |