JPH03221814A - 磁電変換装置 - Google Patents
磁電変換装置Info
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- JPH03221814A JPH03221814A JP1656490A JP1656490A JPH03221814A JP H03221814 A JPH03221814 A JP H03221814A JP 1656490 A JP1656490 A JP 1656490A JP 1656490 A JP1656490 A JP 1656490A JP H03221814 A JPH03221814 A JP H03221814A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 4
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分野)
本発明は磁電変換装置に関し、さらに詳しくは、繰り返
し磁気信号を精度良く検出する検出手段としての磁電変
換装置に関する。
し磁気信号を精度良く検出する検出手段としての磁電変
換装置に関する。
(従来の技術)
例えば、モータやターンテーブルの如き回転体等の回転
制御を行うために用いられる磁電変換装置として第5図
に示すものが知られている(特公昭54−41335号
参照)。
制御を行うために用いられる磁電変換装置として第5図
に示すものが知られている(特公昭54−41335号
参照)。
同図は、磁電変換装置30及びこの磁電変換装置30に
作用する繰り返し磁気信号源としての磁石帯31を概念
的に示すものである。
作用する繰り返し磁気信号源としての磁石帯31を概念
的に示すものである。
磁電変換装置30は、磁気抵抗の異方性効果を有する第
1.第2の磁気抵抗効果素子32a。
1.第2の磁気抵抗効果素子32a。
32bを、両者の感磁方向が同一で、かつ、磁石帯31
のN、S磁極の間隔(周期λで表し、着磁ピッチPと、
λ=2Pの関係にある)に対し、λ/4 (−P/2)
の間隔で平行配置すると共に第1.第2の磁気抵抗効果
素子32a、32bを直列接続して、その中点から引き
出した端子33を出力端子として、また、各磁気抵抗効
果素子32a、32bのそれぞれの他方の端子34゜3
5を電源供給端子、接地端子として用いるようになって
いる。
のN、S磁極の間隔(周期λで表し、着磁ピッチPと、
λ=2Pの関係にある)に対し、λ/4 (−P/2)
の間隔で平行配置すると共に第1.第2の磁気抵抗効果
素子32a、32bを直列接続して、その中点から引き
出した端子33を出力端子として、また、各磁気抵抗効
果素子32a、32bのそれぞれの他方の端子34゜3
5を電源供給端子、接地端子として用いるようになって
いる。
この磁電変換装置30において、第1の磁気抵抗効果素
子32aが磁石帯31のN極に対向する状態でN極から
S極に向かう磁束φが作用するとき、第1の磁気抵抗効
果素子32aは感磁してその磁気抵抗の変化は最大とな
り、また、このとき第2の磁気抵抗効果素子32bは磁
束φの水平方向成分により飽和して磁気抵抗の変化は最
゛小となる。
子32aが磁石帯31のN極に対向する状態でN極から
S極に向かう磁束φが作用するとき、第1の磁気抵抗効
果素子32aは感磁してその磁気抵抗の変化は最大とな
り、また、このとき第2の磁気抵抗効果素子32bは磁
束φの水平方向成分により飽和して磁気抵抗の変化は最
゛小となる。
この結果、両磁気抵抗効果素子32a、32bの中点か
ら引き出された端子33から出力される出力信号(電圧
) Voutは、これらにより分圧され第5図に示す如
く最小となる。
ら引き出された端子33から出力される出力信号(電圧
) Voutは、これらにより分圧され第5図に示す如
く最小となる。
次に、磁石帯31が矢印方向にλ/4
(=P/2)だけ移動したときには、第1.第2の磁気
抵抗効果素子32a、32bの状態は上述した場合と逆
になり、このとき、端子33からの出力電圧Voutは
最大となる。
抵抗効果素子32a、32bの状態は上述した場合と逆
になり、このとき、端子33からの出力電圧Voutは
最大となる。
このような動作の基に、出力信号Voutはλ/4 (
=P/2)毎に最小、最大値が対称的に反転する正弦波
状になり、これにより、磁石帯゛31の周期λに対し、
1/2の周期、即ち2倍の周波数を有する出力信号Vo
utを取出し回転体の回転制御等に用いることができる
。
=P/2)毎に最小、最大値が対称的に反転する正弦波
状になり、これにより、磁石帯゛31の周期λに対し、
1/2の周期、即ち2倍の周波数を有する出力信号Vo
utを取出し回転体の回転制御等に用いることができる
。
しかしながら、この磁電変換装置30の場合には、磁石
帯31の周期λの1/2の周期、即ち、2倍の周波数の
出力信号Vouj L、か得ることができないため、例
えば、比較的回転数が遅く、かつ、大型のターンテーブ
ルの如き回転体の外周に磁石帯31を設けこの磁電変換
装置30でその回転状態の検出を行うような場合、高精
度の位置検出を行うことが困難となり、正確な回転制御
を行うことができないという問題があった。
帯31の周期λの1/2の周期、即ち、2倍の周波数の
出力信号Vouj L、か得ることができないため、例
えば、比較的回転数が遅く、かつ、大型のターンテーブ
ルの如き回転体の外周に磁石帯31を設けこの磁電変換
装置30でその回転状態の検出を行うような場合、高精
度の位置検出を行うことが困難となり、正確な回転制御
を行うことができないという問題があった。
この様な問題を解決するために、第6図に示すように、
P/2(λ/4)の間隔で配置したAn。
P/2(λ/4)の間隔で配置したAn。
Bnの2個の磁気抵抗効果素子を有したセンサ部41乃
至44をP/8(λ/16)づつずらして、4個構成し
た改良案が提案されている。
至44をP/8(λ/16)づつずらして、4個構成し
た改良案が提案されている。
この装置は、前記センサ部41の磁気抵抗効果素子A、
、B1より信号V1を、前記センサ部42の磁気抵抗効
果素子A2.B2より信号V2を得るというように、前
記センサ部41乃至44から位相がP/8ずれた信号■
1乃至■4を4個だけ得て、これらの信号を波形整形し
て、−旦矩形波信号E1乃至E4を得て、この矩形波信
号を理論演算処理して、4倍の周波数を有する出力信号
Sを得ている。
、B1より信号V1を、前記センサ部42の磁気抵抗効
果素子A2.B2より信号V2を得るというように、前
記センサ部41乃至44から位相がP/8ずれた信号■
1乃至■4を4個だけ得て、これらの信号を波形整形し
て、−旦矩形波信号E1乃至E4を得て、この矩形波信
号を理論演算処理して、4倍の周波数を有する出力信号
Sを得ている。
しかしながら上述した改良案では、原信号(Vl、乃至
V4’)より4倍の周波数を有する出力信号Sを得られ
、分解能を向上できるものの、入力信号を一旦を矩形波
信号に波形整形して、さらにこの矩形波信号を理論演算
処理し出力信号を得ているため、処理回路が複雑で大型
化するばかりでなく、コスト高になるという問題がある
。
V4’)より4倍の周波数を有する出力信号Sを得られ
、分解能を向上できるものの、入力信号を一旦を矩形波
信号に波形整形して、さらにこの矩形波信号を理論演算
処理し出力信号を得ているため、処理回路が複雑で大型
化するばかりでなく、コスト高になるという問題がある
。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、従来
例の場合よりも分解能を向上できると共に、処理回路が
簡単で大型化せず、コスト高にならない磁電変換装置を
提供することを目的とするものである。
例の場合よりも分解能を向上できると共に、処理回路が
簡単で大型化せず、コスト高にならない磁電変換装置を
提供することを目的とするものである。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
本発明の磁電変換装置は、磁気抵抗の異方性効果を有し
、かつ、感磁方向が同一のAn、Bnの2個の磁気抵抗
効果素子をこれらに作用する繰り返し磁気信号の着磁ピ
ッチPに対し、An = (P (n−1) /N)±
mPBn =P/2N+ (p (n−1)/N)±m
Pm=0. 1. 2. 3・・・ n=0. 1. 2. 3・・・ N = n max の間隔をもって平行配置に直列接続れたセンサ部を有し
、かつ、このセンサ部をN個配置したセンサ群を具備し
、前記N個のセンサ部の接続点を出力端子として用いて
得たN個の信号を加算処理し、かつ、波形整形する加算
処理手段を有することを特徴とするものである。
、かつ、感磁方向が同一のAn、Bnの2個の磁気抵抗
効果素子をこれらに作用する繰り返し磁気信号の着磁ピ
ッチPに対し、An = (P (n−1) /N)±
mPBn =P/2N+ (p (n−1)/N)±m
Pm=0. 1. 2. 3・・・ n=0. 1. 2. 3・・・ N = n max の間隔をもって平行配置に直列接続れたセンサ部を有し
、かつ、このセンサ部をN個配置したセンサ群を具備し
、前記N個のセンサ部の接続点を出力端子として用いて
得たN個の信号を加算処理し、かつ、波形整形する加算
処理手段を有することを特徴とするものである。
(作 用)
以下に上記構成の装置の作用を説明する。
この装置によれば、繰り返し磁気信号の着磁ピッチPに
対し、 An −(P (n−1) /N)±mPBn =P/
2N+ (P (n−1)/N)±mPm=0.1.2
.3・・・ n=0.1.2.3・・・ N = n maw の間隔をもって平行配置に直列接続れたAn。
対し、 An −(P (n−1) /N)±mPBn =P/
2N+ (P (n−1)/N)±mPm=0.1.2
.3・・・ n=0.1.2.3・・・ N = n maw の間隔をもって平行配置に直列接続れたAn。
Bnの2個の磁気抵抗効果素子を有するセンサ部を有し
、かつ、このセンサ部をN個配置したセンサ群が、位相
がP/Nずれた信号をN個出力し、加算処理手段がN個
の信号を加算処理し、かつ、波形整形L N倍の周波数
の出力信号を出力する。
、かつ、このセンサ部をN個配置したセンサ群が、位相
がP/Nずれた信号をN個出力し、加算処理手段がN個
の信号を加算処理し、かつ、波形整形L N倍の周波数
の出力信号を出力する。
(実施例)
以下に本発明の実施例を、センサ部を4個有した場合に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
第1−図の示すセンサ群7は、ガラス製等の基板2の表
面に、ニッケルコバルトの如き強磁性体製で磁気抵抗の
異方性効果を有する2個の磁気抵抗効果素子A□+81
からなる第1のセンサ部1と、これら両磁気抵抗効果素
子と同材質で同様な効果を発揮する2個の磁気抵抗効果
素子A、、、B2からなる第2のセンサ部2と、上記同
様の磁気抵抗効果素子A3.B、からなる第3のセンサ
部3ど、磁気抵抗効果素子A4.B4からなる第4のセ
ンサ部4を具備し、各センサ部の第1図において左側に
位置する磁気抵抗効果素子A1乃至A4の端部を直流電
源5用の入力端子1a、 2a、 3a。
面に、ニッケルコバルトの如き強磁性体製で磁気抵抗の
異方性効果を有する2個の磁気抵抗効果素子A□+81
からなる第1のセンサ部1と、これら両磁気抵抗効果素
子と同材質で同様な効果を発揮する2個の磁気抵抗効果
素子A、、、B2からなる第2のセンサ部2と、上記同
様の磁気抵抗効果素子A3.B、からなる第3のセンサ
部3ど、磁気抵抗効果素子A4.B4からなる第4のセ
ンサ部4を具備し、各センサ部の第1図において左側に
位置する磁気抵抗効果素子A1乃至A4の端部を直流電
源5用の入力端子1a、 2a、 3a。
4aとし、また、右側に位置する磁気抵抗効果素子B1
乃至B4の端部を接地端子1b、2b。
乃至B4の端部を接地端子1b、2b。
3b、4bとして、さらに、各々のセンサ部のほぼ中央
部から前記入力端子及び接地端子とは反対側に出力信号
を取出す出力端子1c、 2c、 3c。
部から前記入力端子及び接地端子とは反対側に出力信号
を取出す出力端子1c、 2c、 3c。
4cを形成してなっている。
そして第2図はに示すように、前記入力端子la、2a
、3a、4aは各々接続され、同様に前記接地端子1b
、2b、3b、4bも各々接続され、前記出力端子1c
、2c、3c、4cは、加算処理手段8に接続するよう
になっている。
、3a、4aは各々接続され、同様に前記接地端子1b
、2b、3b、4bも各々接続され、前記出力端子1c
、2c、3c、4cは、加算処理手段8に接続するよう
になっている。
前記各々の、磁気抵抗効果素子、入力端子、接地端子、
出力端子は、ニッケコバルトの如き強磁性材料を第1図
に示すパターンに蒸着又はエツチングすることにより平
行配置に形成されている。
出力端子は、ニッケコバルトの如き強磁性材料を第1図
に示すパターンに蒸着又はエツチングすることにより平
行配置に形成されている。
また、両磁気抵抗効果素子Al、B1間の間隔(以下A
、、B、7・・・の間隔も同様である)は、いずれも後
述する磁気帯9からの繰り返し磁気信号の着磁ピッチP
に対し、P/8の間隔をもって形成され、また、また、
前記第1のセンサ部工と、第2のセンサ部2とは、それ
ぞれの両磁気抵抗効果素子の中心から中心までの距離を
P/4の間隔を有して形成されている(以下のセンサ部
間も同様である)。
、、B、7・・・の間隔も同様である)は、いずれも後
述する磁気帯9からの繰り返し磁気信号の着磁ピッチP
に対し、P/8の間隔をもって形成され、また、また、
前記第1のセンサ部工と、第2のセンサ部2とは、それ
ぞれの両磁気抵抗効果素子の中心から中心までの距離を
P/4の間隔を有して形成されている(以下のセンサ部
間も同様である)。
第2図に磁電変換装置10の等価回路を示す。
ここで、7は各センサ部1乃至4の集合したセンサ群で
あり、8は加算処理手段を示す。
あり、8は加算処理手段を示す。
第2図のような構成の回路に、組み込まれた前記各セン
サ部1乃至4は第3図に示すように、磁気抵抗効果素子
Aの抵抗変化のピークOAと磁気抵抗効果素子Bの抵抗
変化のピークOBの間隔(同図(a)参照)と、出力信
号のプラス側のピーク■11とマイナス側のピークVl
、との間隔(同図(b)参照)とが一致して正確にP/
8となるようになっている。
サ部1乃至4は第3図に示すように、磁気抵抗効果素子
Aの抵抗変化のピークOAと磁気抵抗効果素子Bの抵抗
変化のピークOBの間隔(同図(a)参照)と、出力信
号のプラス側のピーク■11とマイナス側のピークVl
、との間隔(同図(b)参照)とが一致して正確にP/
8となるようになっている。
次に上記構成の装置10の作用を、第4図をも参照して
説明する。
説明する。
第4図は、各のセンサ部1乃至4の磁気帯9に対する配
置状態及びその動作状態を示す図である。
置状態及びその動作状態を示す図である。
第4図はに示すように、第1のセンサ部1の磁気抵抗効
果素子A、、B1から出力信号v1を得るように、第2
のセンサ部2の磁気抵抗効果素子A2.B2から出力信
号V2を得るように、第3のセンサ部3の磁気抵抗効果
素子A3.B、から出力信号■3を得るように、第4の
センサ部4の磁気抵抗効果素子A4.B4から出力信号
■4を得るようになっており、それぞれ位相がP/4づ
つずれている。そして、前記出力信号■1乃至V4を加
算処理して加算出力Vが得られ、この加算信号Vを波形
整形して、4倍の周波数のコンパレータ出力Sが得られ
る。
果素子A、、B1から出力信号v1を得るように、第2
のセンサ部2の磁気抵抗効果素子A2.B2から出力信
号V2を得るように、第3のセンサ部3の磁気抵抗効果
素子A3.B、から出力信号■3を得るように、第4の
センサ部4の磁気抵抗効果素子A4.B4から出力信号
■4を得るようになっており、それぞれ位相がP/4づ
つずれている。そして、前記出力信号■1乃至V4を加
算処理して加算出力Vが得られ、この加算信号Vを波形
整形して、4倍の周波数のコンパレータ出力Sが得られ
る。
この結果、磁気帯9を例えば比較的遅く回転するターン
テーブルの外周に設けて磁電変換装置1によりその回転
制御のための信号を取出す場合でも、従来例に比較しよ
り高精度の回転制御が可能となり、かつ、処理回路が簡
単で大型化せず、コスト高にならない。
テーブルの外周に設けて磁電変換装置1によりその回転
制御のための信号を取出す場合でも、従来例に比較しよ
り高精度の回転制御が可能となり、かつ、処理回路が簡
単で大型化せず、コスト高にならない。
本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
例えば、本実施例は、センサ部を4個配置例を示したが
、センサ部の個数は適宜増加可能であり、この場合セン
サ部の個数をN個にすれば、N倍の周波数を有する出力
信号を得ることができ、分解能も向上できる。
、センサ部の個数は適宜増加可能であり、この場合セン
サ部の個数をN個にすれば、N倍の周波数を有する出力
信号を得ることができ、分解能も向上できる。
[発明の効果コ
以上詳述した本発明によれば、従来例の場合よりも分解
能を向上できると共に、処理回路が簡単で大型化せず、
コスト高にならない磁電変換装置1 置を提供することができる。
能を向上できると共に、処理回路が簡単で大型化せず、
コスト高にならない磁電変換装置1 置を提供することができる。
第1図は本発明の実施例装置を示す平面図、第2図は同
装置の等価回路図、第3図(a)及び(b)は磁気抵抗
効果素子の特性説明図、第4図は同装置の配置及び動作
を説明するための図、第5図は従来例を示すための図、
第6図は従来の改良例の配置及び出力信号の波形を示す
説明図である。 1乃至4・・・センサ部、 A1乃至A4.B、乃至B4 ・・・磁気抵抗効果素子、 8・・・加算処理手段、10・・・磁電変換装置。 ↑2
装置の等価回路図、第3図(a)及び(b)は磁気抵抗
効果素子の特性説明図、第4図は同装置の配置及び動作
を説明するための図、第5図は従来例を示すための図、
第6図は従来の改良例の配置及び出力信号の波形を示す
説明図である。 1乃至4・・・センサ部、 A1乃至A4.B、乃至B4 ・・・磁気抵抗効果素子、 8・・・加算処理手段、10・・・磁電変換装置。 ↑2
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 磁気抵抗の異方性効果を有し、かつ、感磁方向が同一
のA_n、B_nの2個の磁気抵抗効果素子をこれらに
作用する繰り返し磁気信号の着磁ピッチPに対し、 A_n=(P(n−1)/N)±mP B_n=P/2N+(P(n−1)/N)±mPm=0
、1、2、3・・・ n=0、1、2、3・・・ N=n_m_a_x の間隔をもって平行配置に直列接続れたセンサ部を有し
、かつ、このセンサ部をN個配置したセンサ群を具備し
、前記N個のセンサ部の接続点を出力端子として用いて
得たN個の信号を加算処理し、かつ、波形整形する加算
処理手段を有することを特徴とする磁電変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1656490A JPH03221814A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 磁電変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1656490A JPH03221814A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 磁電変換装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03221814A true JPH03221814A (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=11919781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1656490A Pending JPH03221814A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 磁電変換装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03221814A (ja) |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP1656490A patent/JPH03221814A/ja active Pending
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