JPS63203001A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS63203001A JPS63203001A JP62036550A JP3655087A JPS63203001A JP S63203001 A JPS63203001 A JP S63203001A JP 62036550 A JP62036550 A JP 62036550A JP 3655087 A JP3655087 A JP 3655087A JP S63203001 A JPS63203001 A JP S63203001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding wire
- input
- semiconductor device
- metal pattern
- envelope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 11
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49175—Parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/30107—Inductance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Microwave Amplifiers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、整合回路を有する半導体装置に関し、特に
整合回路を形成する金属パターンの形状に関するもので
ある。
整合回路を形成する金属パターンの形状に関するもので
ある。
第2図は従来の整合回路を有する半導体装置を示す平面
図である。図において、1は外囲器であり、la、lb
はその入出力端子、ICは接地導体部である。2は外囲
器1の上に接着された誘電体基板、3は外囲器1の中央
凸部に接着された超高周波高出力トランジスタ、4.5
は誘電体基板2上に形成された整合回路を形成する金属
パターン、6.7はボンディングワイヤである。
図である。図において、1は外囲器であり、la、lb
はその入出力端子、ICは接地導体部である。2は外囲
器1の上に接着された誘電体基板、3は外囲器1の中央
凸部に接着された超高周波高出力トランジスタ、4.5
は誘電体基板2上に形成された整合回路を形成する金属
パターン、6.7はボンディングワイヤである。
一般に、超高周波高出力トランジスタ(以下超高周波ト
ランジスタ)3のインピーダンスは非常に低く、超高周
波トランジスタ3自身の持つ特性を広帯域に発揮するに
は、浮遊容量、インダクタンスなどの不要な要素の介在
を避ける必要があり、そのため可能な限り超高周波トラ
ンジスタ3の近くに整合回路を設ける必要がある。この
ため従来。
ランジスタ)3のインピーダンスは非常に低く、超高周
波トランジスタ3自身の持つ特性を広帯域に発揮するに
は、浮遊容量、インダクタンスなどの不要な要素の介在
を避ける必要があり、そのため可能な限り超高周波トラ
ンジスタ3の近くに整合回路を設ける必要がある。この
ため従来。
装置では、超高周波トランジスタ3を、半導体装置の外
囲器l内にインピーダンス整合回路を内蔵したいわゆる
内部整合回路つきトランジスタとして構成しており、さ
らに高出力化を図るため、超高周波トランジスタ3を複
数個並列接続したものを半導体装置の外囲器1内に一体
化して並列動作させている。 ′ 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来の半導体装置は以上のように構成されているので、
単純に並列接続すると外囲器1の入出力端子1a、lb
のワイヤパッド部分と整合回路の金属パターン5との間
のボンディングワイヤ7を長くしなければならず、それ
に相当するインダクタンス成分が大きくなってしまい、
また該ボンディングワイヤ7は斜めに張られることとな
るため、外囲器lの接地導体部ICとショートしたり、
共振したりするなどの問題点があった。
囲器l内にインピーダンス整合回路を内蔵したいわゆる
内部整合回路つきトランジスタとして構成しており、さ
らに高出力化を図るため、超高周波トランジスタ3を複
数個並列接続したものを半導体装置の外囲器1内に一体
化して並列動作させている。 ′ 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来の半導体装置は以上のように構成されているので、
単純に並列接続すると外囲器1の入出力端子1a、lb
のワイヤパッド部分と整合回路の金属パターン5との間
のボンディングワイヤ7を長くしなければならず、それ
に相当するインダクタンス成分が大きくなってしまい、
また該ボンディングワイヤ7は斜めに張られることとな
るため、外囲器lの接地導体部ICとショートしたり、
共振したりするなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、外囲器の入出力端子と整合回路の金属パター
ンとを接続するためのボンディングワイヤの長さを短く
でき、等価なインダクタンス成分を小さくすることがで
きるとともに、該ボンディングワイヤと外囲器の接地導
体部とのショートや共振を防止することができる半導体
装置を得ることを目的とする。
たもので、外囲器の入出力端子と整合回路の金属パター
ンとを接続するためのボンディングワイヤの長さを短く
でき、等価なインダクタンス成分を小さくすることがで
きるとともに、該ボンディングワイヤと外囲器の接地導
体部とのショートや共振を防止することができる半導体
装置を得ることを目的とする。
この発明に係る半導体装置は、入出力整合回路を構成す
る金属パターンの形状を略平行四辺形としたものである
。
る金属パターンの形状を略平行四辺形としたものである
。
この発明においては、金属パターン形状を略平行四辺形
としたので、誘電体基板上の金属パターンと外囲器の入
出力端子のワイヤパッド部との距離を短くして、両者を
接続するボンディングワイヤの長さを短くでき、かつ該
ボンディングワイヤを接地導体部から離すことができ、
等価なインダクタンス成分を小さくできるとともにボン
ディングワイヤと外囲器の接地導体部とのショートや共
振を防止することができる。
としたので、誘電体基板上の金属パターンと外囲器の入
出力端子のワイヤパッド部との距離を短くして、両者を
接続するボンディングワイヤの長さを短くでき、かつ該
ボンディングワイヤを接地導体部から離すことができ、
等価なインダクタンス成分を小さくできるとともにボン
ディングワイヤと外囲器の接地導体部とのショートや共
振を防止することができる。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第1図はこの発明の一実施例による半導体装置を示す平
面図である。図において、第2図と同一符号は同−又は
相当部分を示す。本実施例は、外囲器1の入出力端子1
a、lbにワイヤボンディングして接続される誘電体基
板2上の金属パターン5の形状を、平行四辺形としたも
のである。
面図である。図において、第2図と同一符号は同−又は
相当部分を示す。本実施例は、外囲器1の入出力端子1
a、lbにワイヤボンディングして接続される誘電体基
板2上の金属パターン5の形状を、平行四辺形としたも
のである。
このような構成になる半導体装置では、金属パターン5
の形状が平行四辺形であるので、ボンディングワイヤ7
の長さを短くすることができ、これにより、ボンディン
グワイヤと等価なインダクタンス成分を小さくして、整
合をとりやすくでき、また、ボンディングワイヤ7を外
囲器の接地導体部ICから遠ざけることができるので、
振動によるボンディングワイヤ7と接地導体部1cとの
ショートや共振を防ぐことができる。
の形状が平行四辺形であるので、ボンディングワイヤ7
の長さを短くすることができ、これにより、ボンディン
グワイヤと等価なインダクタンス成分を小さくして、整
合をとりやすくでき、また、ボンディングワイヤ7を外
囲器の接地導体部ICから遠ざけることができるので、
振動によるボンディングワイヤ7と接地導体部1cとの
ショートや共振を防ぐことができる。
なお、上記実施例では、外囲器1の入出力端子la、l
bにワイヤボンディングして接続される金属パターン5
を平行四辺形としたが、これは超高周波トランジスタに
近い方の金属パターン(例えば第1図中4)を平行四辺
形としてもよく、同様の効果を得ることができる。
bにワイヤボンディングして接続される金属パターン5
を平行四辺形としたが、これは超高周波トランジスタに
近い方の金属パターン(例えば第1図中4)を平行四辺
形としてもよく、同様の効果を得ることができる。
また、上記実施例では、金属パターンの形状を平行四辺
形としたが、これは平行四辺形に近い形状であってもよ
く、同様の効果を奏する。
形としたが、これは平行四辺形に近い形状であってもよ
く、同様の効果を奏する。
以上のように、この発明の半導体装置によれば、整合回
路を構成する金属パターンの形状を略平行四辺形とした
ので、外囲器の入出力端子と金属パターンとを接続する
ボンディングワイヤを短くでき、等価なインダクタンス
成分を小さくできるとともに、振動によるボンディング
ワイヤと外囲器の接地導体部とのショートや共振を防止
できる効果がある。
路を構成する金属パターンの形状を略平行四辺形とした
ので、外囲器の入出力端子と金属パターンとを接続する
ボンディングワイヤを短くでき、等価なインダクタンス
成分を小さくできるとともに、振動によるボンディング
ワイヤと外囲器の接地導体部とのショートや共振を防止
できる効果がある。
第1図は、この発明の一実施例による半導体装置を示す
平面図、第2図は従来の半導体装置を示す平面図である
。 図において、1は外囲器、la、lbは入出力端子、I
Cは接地導体部、2は誘電体基板、3は超高周波高出力
トランジスタ、4.5は金属パターン、6,7はボンデ
ィングワイヤである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
平面図、第2図は従来の半導体装置を示す平面図である
。 図において、1は外囲器、la、lbは入出力端子、I
Cは接地導体部、2は誘電体基板、3は超高周波高出力
トランジスタ、4.5は金属パターン、6,7はボンデ
ィングワイヤである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- (1)複数個の超高周波高出力トランジスタと、誘電体
基板上に金属パターンが形成されてなる入出力整合回路
と、入出力端子を備え上記トランジスタと整合回路とを
収納する外囲器とを備えた半導体装置において、 上記金属パターンの形状を略平行四辺形としたことを特
徴とする半導体装置。 - (2)上記金属パターンは、上記外囲器の入出力端子に
ワイヤボンディングして接続されるものであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体装置。 - (3)上記金属パターンは、上記超高周波高出力トラン
ジスタにワイヤボンディングして接続されるものである
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62036550A JPS63203001A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62036550A JPS63203001A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63203001A true JPS63203001A (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=12472873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62036550A Pending JPS63203001A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63203001A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10119474B4 (de) * | 2000-04-21 | 2009-07-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki, Kariya | Halbleitergerät mit nivelliert ausgebildeten Strompfadlängen |
JP2017059650A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | 三菱電機株式会社 | 増幅器 |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP62036550A patent/JPS63203001A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10119474B4 (de) * | 2000-04-21 | 2009-07-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki, Kariya | Halbleitergerät mit nivelliert ausgebildeten Strompfadlängen |
JP2017059650A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | 三菱電機株式会社 | 増幅器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4107728A (en) | Package for push-pull semiconductor devices | |
US4193083A (en) | Package for push-pull semiconductor devices | |
JP2001168234A (ja) | 半導体チップ用の接地平面 | |
US6414387B1 (en) | Semiconductor device including a chip having high-frequency circuit blocks | |
JP2003163310A (ja) | 高周波半導体装置 | |
JPS59143406A (ja) | 混成マイクロ波サブシステム | |
JPS63203001A (ja) | 半導体装置 | |
JP3130809B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2021069068A (ja) | 半導体装置 | |
WO2021032189A1 (zh) | 集成封装电子器件结构 | |
JP2014096497A (ja) | 半導体装置 | |
JPS6010081Y2 (ja) | マイクロ波集積回路 | |
JPS59216307A (ja) | 半導体素子用整合回路 | |
JPH054281Y2 (ja) | ||
US20240194618A1 (en) | Semiconductor package | |
JP2570638B2 (ja) | 半導体用パッケージ | |
JPS6364081B2 (ja) | ||
JPH07226489A (ja) | マイクロ波半導体装置 | |
JPS6218747A (ja) | マイクロ波半導体装置 | |
JPH04261206A (ja) | 増幅器 | |
JPH0363315B2 (ja) | ||
JPH06260857A (ja) | 半導体装置 | |
JPS63240077A (ja) | 半導体装置 | |
JPS6153760A (ja) | 半導体集積回路 | |
JP2003243602A (ja) | 半導体装置 |