JPS63193002A - リニアスケ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微小長さ検出に利用されるＩＪ　ニアスケール
に関し、特に複数の磁気記碌媒体と複数の磁気抵抗素子
と組み合わせることにより構成されるリニアスケールに
関する。

〔従来の技術〕

従来の技術としては１例えば特公昭５４−４１３３５号
公報のように、単一の繰シ返し磁気信号を発生する磁気
記録媒体より有限の距離を隔てた位置に。

強磁性体薄膜より構成される複数の磁気抵抗素子を配置
し、かつ直列に接続し、その接続部より出力を得る構成
のものがある。第６図、第７図に従来の型のリニアスケ
ールを具体的に示す。従来の型は磁気抵抗素子３〜６間
の間隔は磁気記録媒体重の着磁間隔λに対し、λ／２の
距離を有し配置されるのが理想的である。例えば、磁気
抵抗素子３゜４を直列に接続し、その接続部より出力を
得る場合に、λ／２の間隔を有し配置された時の出力が
最大となるためである。

この結果、得られる波形は模式的に第６図（２）のよう
に表わされ、リニアスケールの１パルス当りに必要な゛
距離は大となる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このため、上述した従来のリニアスケールの能力は、構
成要件の一つである磁気記録媒体の着磁間隔に依存する
が、従来の磁気記録媒体の着磁のピッチを狭くすること
に関しては、３つの問題点が挙げられていた。

すなわち、第１には１着磁技術的に、あるいは材料的に
困難であること、第２には着磁間隔が狭くなるにつれ、
磁気抵抗素子の感磁面と、磁気記録媒体の着磁面とのギ
ャップを短かく設定する必要があり、その結果、使用条
件が制限されること。

第３には製造上の歩留シ低下の問題である。

上記の様な着磁間隔の限界値は、リニアスケールが計測
器に用いられる場合の分解能の限界値として反映され高
精度化の妨げの一因となっていた。

そこで１本発明の目的は上記問題点に鑑み、磁気記録媒
体の着磁間隔を変えることなく、測定精度を向上させる
ことができるリニアスケールを提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

即ち２本発明によれば強磁性体薄膜に・より形成される
磁気抵抗素子と、互いに同一の着磁間隔を有し、互いに
平行に並置される複数の磁気記録媒体とを有しているこ
とを特徴とするりニアスケールが得られる。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図に示すとおり、まず、１，２はそれぞれ同一の着
磁間隔を有する磁気記録媒体を示し１図では、Ｎ−８間
着磁ピッチλに対し、どちらか一方をλ／２平行移動さ
せて配置されている。

さらに、第２図に示すとおり、磁気記録媒体１゜２に対
し磁気抵抗素子３〜１０の感磁面が、磁気記録媒体１，
２の着磁面に面対向するように配置されている。ま゛た
。磁気抵抗素子３と４とは直列接続されている。尚、３
と７とで直列接続して構成しても良い。

ここで、４本の磁気抵抗素子を用いて、各素子をπ／２
±ｎπの位相差を設は配置する場合従来のリニアスケー
ルによれば、一つのブリッジを構成するのに必要な距離
は、磁気記録媒体１，２上で長手方向に３／２λ必要で
あるのに対し１本発明のリニアスケールでは、第２図上
の１例えば、磁気抵抗素子２．−Ａ−７只プ１つのブ１
１ツ、・ノか嬬虚手六？μλ ができ、磁気記録媒体長手方向の距離で百のみに短縮さ
れる。

したがって、第６図（１）に示すとおり、出力波形ｌ　
Ａ？ルス当りに必要な距離は、従来のリニアスケールの
λに対し８本発明のリニアスケールではλ／２となり従
来のリニアスケールの１／２の測定をすることが可能と
なる。

尚、第３図〜第５図に本発明のリニアスケールにおける
磁気抵抗素子の接続態様を掲げる。

第３図に示すとおり本発明の第２の実施例は。

４個の磁気抵抗素子３〜６を互いに平行に配置し。

且つ、直列に接続し、この直列接続された４個の磁気抵
抗素子３〜６のうちの両端側の磁気抵抗素子３，６に入
力端子２１．２３を設け、その直列接続の接続部に出力
端子２２．２４を設けている。

第４図に示すとおり１本発明の第３の実施例は。

８個の磁気抵抗素子３７〜４４の感磁部分が、連続的な
折り返し構造を呈し、且つ、折り返された磁気抵抗素子
３７〜４４は、互いに平行に配置されている。尚、４５
〜４８は入力端子、４９〜５２は出力端子である。

第５図に示すとおり２本発明の第４の実施例は。

連続的な折り返し構造の磁気抵抗素子の両側に高透磁磁
性体により構成された短冊状磁性体６２が配置されてい
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は周期的な繰シ返し磁気信号
を発生するｎ本の磁気記録媒体を着磁間隔λに対してお
のおのλ／ｎ平行移動させ平行に隣接並置させ磁気記録
媒体群を構成することを特徴とするものである。該磁気
記録媒体群より特生ずる繰り返し磁気信号は見かけ上着
磁間隔がλ／ｎの磁気記録媒体と同様のものと見なすこ
とができる。

したがって、ｎが１．２，３．４・・・と増えるととも
に見かけ上の着磁間隔は小さくなり、かつ磁束発生源と
なる一本一本の磁気記録媒体の着磁間隔を変える必要が
ない為、見かけ上の着磁間隔の変動に伴う磁束密度の減
少は起こらず、前述した様に。

従来の技術が有していた様な磁気記録媒体と磁気抵抗素
子とのギャップに対する制限条件は一本の磁気記録媒体
における場合と同一になる。したがってリニアスケール
として測定精度を１倍に改善することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る磁気スケールの斜視図
、第２図は本発明の第１の実施例に係る上面図、第３図
は本発明の第２の実施例の上面図。 第４図は本発明の第３の実施例の上面図、第５図は本発
明の第４の実施例の上面図、第６図（１）は本発明の第
１の実施例に係る１・奢ルス当りに必要なリニアスケー
ルの距離を示す概念図、第６図（２）は１．２・・・磁
気記録媒体、３〜１０　、３７　、４４゜６１・・・磁
気抵抗素子、２１，２３．４５〜４８・・・入力端子、
２２．２４．４９〜５２・・・出力端子。 ６２・・・短冊状磁性体。 ２１　　２２　　２Ｊ 減４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気抵抗効果を有する強磁性体薄膜により成る磁気
   抵抗素子と、所定間隔で繰り返し磁気信号を記録した磁
   気記録面を有する磁気記録媒体より成る磁気スケールと
   からなるリニアスケールにおいて、複数本の前記磁気ス
   ケールを互いに実質的に並行に配置し、かつ、繰り返し
   磁気信号を発生する前記磁気記録面の各々を実質的に同
   一方向に向け一方、複数個の前記磁気抵抗素子の感磁部
   分を前記磁気記録面に対し、各々面対向するように配置
   したことを特徴とするリニアスケール。 ２、特許請求の範囲第１項記載のリニアスケールにおい
   て、複数個の前記磁気抵抗素子を互いに実質的に並行に
   配置し、かつ直列に接続し、該直列接続された複数個の
   磁気抵抗素子のうちの両端側の前記磁気抵抗素子に入力
   端子を設け、該直列接続の接続部に出力端子を設けたこ
   とを特徴とするリニアスケール。 ３、特許請求の範囲第１項記載のリニアスケールにおい
   て、複数個の前記磁気抵抗素子の感磁部分が連続的な折
   り返し構造を有し、かつ折り返された磁気抵抗素子はそ
   れぞれ互いに略平行に配置されたことを特徴とするリニ
   アスケール。 ４、特許請求の範囲第１項記載のリニアスケールにおい
   て、前記磁気抵抗素子の両側に高透磁磁性体により構成
   された短冊状薄膜を配置したことを特徴とするリニアス
   ケール。