JPH0511442Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0511442Y2 JPH0511442Y2 JP15597686U JP15597686U JPH0511442Y2 JP H0511442 Y2 JPH0511442 Y2 JP H0511442Y2 JP 15597686 U JP15597686 U JP 15597686U JP 15597686 U JP15597686 U JP 15597686U JP H0511442 Y2 JPH0511442 Y2 JP H0511442Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic scale
- sensor
- phase shift
- longitudinal direction
- magnetized body
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は磁気スケール用センサに関し、特に磁
気抵抗素子を用いる磁気スケール用センサに関す
る。
気抵抗素子を用いる磁気スケール用センサに関す
る。
従来、この種の磁気スケール用センサは、第４
図及び第５図に示すように、対向する辺の磁気抵
抗素子１′と３′及び２′と４′はそれぞれ同位相
に、対向しない辺の磁気抵抗素子１′及び３′と
２′及び４′はλ／２に位相ずれを有するように４
個の磁気抵抗素子を配置し、ブリツジの構成に電
気的に接続され、端子１０及び１０′から着磁体
１１に磁気書込みされた磁気パターンのＮ−Ｓ間
距離λに対応した、波長がλの擬sin波の信号を
出力していた（特許願昭58−95166及び特許願昭
59−53711）。
図及び第５図に示すように、対向する辺の磁気抵
抗素子１′と３′及び２′と４′はそれぞれ同位相
に、対向しない辺の磁気抵抗素子１′及び３′と
２′及び４′はλ／２に位相ずれを有するように４
個の磁気抵抗素子を配置し、ブリツジの構成に電
気的に接続され、端子１０及び１０′から着磁体
１１に磁気書込みされた磁気パターンのＮ−Ｓ間
距離λに対応した、波長がλの擬sin波の信号を
出力していた（特許願昭58−95166及び特許願昭
59−53711）。
上述した従来の磁気スケール用センサは、出力
信号の波長がλとなるので、その磁気スケールの
分解能はλ／２となり、したがつて、例えば、
λ／８の分解能を有する磁気スケールを作製する
ためには、４個のブリツジを適当な位相ずれをも
たせて配置しなければならない。その結果、増幅
回路、矩形化回路、パルス化回路はブリツジの数
だけ設置されなければならず、また、電源の消費
量も増大するという問題点がある。
信号の波長がλとなるので、その磁気スケールの
分解能はλ／２となり、したがつて、例えば、
λ／８の分解能を有する磁気スケールを作製する
ためには、４個のブリツジを適当な位相ずれをも
たせて配置しなければならない。その結果、増幅
回路、矩形化回路、パルス化回路はブリツジの数
だけ設置されなければならず、また、電源の消費
量も増大するという問題点がある。
本考案の目的は、磁気パターンのＮ−Ｓ間距離
λに対して、ブリツジの出力信号の波長がλ／２
の擬sin波となる磁気スケール用センサを提供す
ることにある。
λに対して、ブリツジの出力信号の波長がλ／２
の擬sin波となる磁気スケール用センサを提供す
ることにある。
本考案は、Ｎ−Ｓ間距離λの間隔で着磁媒体の
長手方向に磁気書込みされた着磁体の上空に配置
され、前記着磁体の長手方向に沿つて走行して前
記Ｎ−Ｓ間距離λに対応した信号を出力する磁気
抵抗素子を４辺からなるブリツジの構成に電気的
に接続する磁気スケール用センサにおいて、λ／
２の位相ずれを有して配置される２個の前記磁気
抵抗素子を直列に接続する４個の抵抗群を備え、
対向する二つの辺は各々同位相のかつ隣接する辺
とはλ／４の位相ずれを有するように前記４個の
抵抗群を前記ブリツジの構成としている。
長手方向に磁気書込みされた着磁体の上空に配置
され、前記着磁体の長手方向に沿つて走行して前
記Ｎ−Ｓ間距離λに対応した信号を出力する磁気
抵抗素子を４辺からなるブリツジの構成に電気的
に接続する磁気スケール用センサにおいて、λ／
２の位相ずれを有して配置される２個の前記磁気
抵抗素子を直列に接続する４個の抵抗群を備え、
対向する二つの辺は各々同位相のかつ隣接する辺
とはλ／４の位相ずれを有するように前記４個の
抵抗群を前記ブリツジの構成としている。
次に、本考案の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図ａ及びｂは本考案の一実施例の平面図及
びＡ−A′線断面図、第２図は第１図の実施例の
等価回路図である。
びＡ−A′線断面図、第２図は第１図の実施例の
等価回路図である。
第１図ａに示すように、本実施例はＮ−Ｓ間距
離λの間隔で着磁媒体の長手方向に磁気書込みさ
れた着磁体１１と、着磁体１１の上空に配置さ
れ、着磁体１１の長手方向に沿つて走行してＮ−
Ｓ間距離λに対応した信号を出力する磁気スケー
ル用センサ１２とを含む。
離λの間隔で着磁媒体の長手方向に磁気書込みさ
れた着磁体１１と、着磁体１１の上空に配置さ
れ、着磁体１１の長手方向に沿つて走行してＮ−
Ｓ間距離λに対応した信号を出力する磁気スケー
ル用センサ１２とを含む。
磁気スケール用センサ１２は、それぞれλ／２
の位相ずれを有するように半導体基板上に配置し
た２個の磁気抵抗素子１と２，３と４，５と６及
び７と８をそれぞれ直列に接続した四個の抵抗群
から成り、第２図に示すように、対向する二つの
辺は各々同位相で、対向しない辺とはλ／４の位
相ずれを有するように４個の抵抗群をブリツジの
構成に電気的に接続している。
の位相ずれを有するように半導体基板上に配置し
た２個の磁気抵抗素子１と２，３と４，５と６及
び７と８をそれぞれ直列に接続した四個の抵抗群
から成り、第２図に示すように、対向する二つの
辺は各々同位相で、対向しない辺とはλ／４の位
相ずれを有するように４個の抵抗群をブリツジの
構成に電気的に接続している。
第１図ｂに示すように、着磁体１１の上空に磁
気スケール用センサ１２を配置し、着磁体１１の
長手方向に沿つて磁気スケール用センサ１２を走
行させる。
気スケール用センサ１２を配置し、着磁体１１の
長手方向に沿つて磁気スケール用センサ１２を走
行させる。
第３図は第１図の実施例を用いて生成される出
力信号の波形図である。
力信号の波形図である。
第３図に示すように、第２図のブリツジの出力
端子９，９′で波長λ／２の擬sin波の出力信号が
観測できる。
端子９，９′で波長λ／２の擬sin波の出力信号が
観測できる。
次に、具体的実施例について説明する。
Ｎ−Ｓ間距離λ＝80μmの磁気パターンが書込
まれている着磁体の上空Ｄ＝40μmの所に、80Ni
パーマロイ組成の合金をSi基板上に蒸着した長さ
１mm、幅20μm及び厚さ50nmの直方体状の８個の
磁気抵抗素子１〜８を第１図ａのように配置して
第２図のように接続した磁気スケール用センサ１
２を第１図ｂのように配置して、磁気スケール用
センサ１２を着磁体１１の長手方向に走行させ
た。その結果、第３図に示すような波長λ／２の
出力信号が得られた。
まれている着磁体の上空Ｄ＝40μmの所に、80Ni
パーマロイ組成の合金をSi基板上に蒸着した長さ
１mm、幅20μm及び厚さ50nmの直方体状の８個の
磁気抵抗素子１〜８を第１図ａのように配置して
第２図のように接続した磁気スケール用センサ１
２を第１図ｂのように配置して、磁気スケール用
センサ１２を着磁体１１の長手方向に走行させ
た。その結果、第３図に示すような波長λ／２の
出力信号が得られた。
次に、第１図ａ及び第２図のように配置及び接
続された磁気スケール用センサ２個を互いに
10μm位相をずらせて配置し、上記と同様に行つ
た。その結果、２個の磁気スケール用センサから
各々波長がλ／２の出力信号が得られ、それらの
出力信号の位相ずれは10μmであつた。したがつ
て、10μmの分解能を有する磁気スケールを作製
出来る。
続された磁気スケール用センサ２個を互いに
10μm位相をずらせて配置し、上記と同様に行つ
た。その結果、２個の磁気スケール用センサから
各々波長がλ／２の出力信号が得られ、それらの
出力信号の位相ずれは10μmであつた。したがつ
て、10μmの分解能を有する磁気スケールを作製
出来る。
以上説明したように本考案は、それぞれがλ／
２の位相ずれを有して配置される２個の磁気抵抗
素子を直列に接続した４個の抵抗群を対向する二
つの辺は各々同位相にかつ隣接する辺とはλ／４
の位相ずれを有するようにブリツジ接続すること
により、波長がλ／２の擬sin波の出力信号が得
られるので、従来に比べて半分の数の磁気スケー
ル用センサで従来と同等の分解能の磁気スケール
を得ることができ、従つて、増幅回路、矩形化回
路、パルス化回路の数が半分ですみかつ電力消費
量を低減できるという効果がある。
２の位相ずれを有して配置される２個の磁気抵抗
素子を直列に接続した４個の抵抗群を対向する二
つの辺は各々同位相にかつ隣接する辺とはλ／４
の位相ずれを有するようにブリツジ接続すること
により、波長がλ／２の擬sin波の出力信号が得
られるので、従来に比べて半分の数の磁気スケー
ル用センサで従来と同等の分解能の磁気スケール
を得ることができ、従つて、増幅回路、矩形化回
路、パルス化回路の数が半分ですみかつ電力消費
量を低減できるという効果がある。
第１図ａ及びｂは本考案の一実施例の平面図及
びＡ−A′線断面図、第２図は第１図の実施例の
等価回路図、第３図は第１図の実施例を用いて生
成される出力信号の波形図、第４図は従来の磁気
スケール用センサの一例の平面図、第５図は第４
図の磁気スケール用センサの等価回路図である。 １〜８，１′〜４′……磁気抵抗素子、９，９′，
１０，１０′……出力端子、１１……着磁体、１
２，１２′……磁気スケール用センサ。
びＡ−A′線断面図、第２図は第１図の実施例の
等価回路図、第３図は第１図の実施例を用いて生
成される出力信号の波形図、第４図は従来の磁気
スケール用センサの一例の平面図、第５図は第４
図の磁気スケール用センサの等価回路図である。 １〜８，１′〜４′……磁気抵抗素子、９，９′，
１０，１０′……出力端子、１１……着磁体、１
２，１２′……磁気スケール用センサ。
Claims (1)
- Ｎ−Ｓ間距離λの間隔で着磁媒体の長手方向に
磁気書込みされた着磁体の上空に配置され、前記
着磁体の長手方向に沿つて走行して前記Ｎ−Ｓ間
距離λに対応した信号を出力する磁気抵抗素子を
４辺からなるブリツジの構成に電気的に接続する
磁気スケール用センサにおいて、λ／２の位相ず
れを有して配置される２個の前記磁気抵抗素子を
直列に接続する４個の抵抗群を備え、対向する二
つの辺は各々同位相にかつ隣接する辺とはλ／４
の位相ずれを有するように前記４個の抵抗群を前
記ブリツジの構成とすることを特徴とする磁気ス
ケール用センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15597686U JPH0511442Y2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15597686U JPH0511442Y2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360904U JPS6360904U (ja) | 1988-04-22 |
| JPH0511442Y2 true JPH0511442Y2 (ja) | 1993-03-22 |
Family
ID=31077160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15597686U Expired - Lifetime JPH0511442Y2 (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511442Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2649573B2 (ja) * | 1989-03-10 | 1997-09-03 | 株式会社ダイフク | 移動車走行制御用の磁気検出センサー |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP15597686U patent/JPH0511442Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6360904U (ja) | 1988-04-22 |
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