JPS63190338A - ホルダ供給装置 - Google Patents
ホルダ供給装置Info
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- JPS63190338A JPS63190338A JP62022068A JP2206887A JPS63190338A JP S63190338 A JPS63190338 A JP S63190338A JP 62022068 A JP62022068 A JP 62022068A JP 2206887 A JP2206887 A JP 2206887A JP S63190338 A JPS63190338 A JP S63190338A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する技術分野］
本発明は荷電ビーム描画装置に使用する特に大型のホル
ダ供給装置に関する。
ダ供給装置に関する。
［従来技術］
従来のホルダ供給装置の一例を第７図により述べる。エ
アロツクチャンバ１１内のマガジン１２は被描画材であ
るマスク等を保持する複数のホルダ１３が収納されてお
り、エアロツクチャンバ１１（７）左方にゲートバルブ
１４を置いて試料室１５が設けてありここでマスク等に
描画する。試料室１５にホルダ１３を供給するときはエ
アロックチャンバ１１の右方に設けた搬送機構１６によ
り行う。
アロツクチャンバ１１内のマガジン１２は被描画材であ
るマスク等を保持する複数のホルダ１３が収納されてお
り、エアロツクチャンバ１１（７）左方にゲートバルブ
１４を置いて試料室１５が設けてありここでマスク等に
描画する。試料室１５にホルダ１３を供給するときはエ
アロックチャンバ１１の右方に設けた搬送機構１６によ
り行う。
先
搬送機構１６は冥端をＴ字状にしかっ一側にラック（図
示せず）を有するアーム１７と、このアーム１７を支持
する２組のガイド１８と、上記ラックに噛み合うピニオ
ン１９等からなっており、ホルダ１３を供給するときは
先づアーム１７を図示の状態から９０°回転させること
によりＴ字状部も９０°回転させ、この状態でアーム１
７を左進させればＴ字状部はホルダ１３のＴ字溝２０に
入り込みこの後アーム１７を９０°回転させればアーム
１７とホルダ１３とは係合する。
示せず）を有するアーム１７と、このアーム１７を支持
する２組のガイド１８と、上記ラックに噛み合うピニオ
ン１９等からなっており、ホルダ１３を供給するときは
先づアーム１７を図示の状態から９０°回転させること
によりＴ字状部も９０°回転させ、この状態でアーム１
７を左進させればＴ字状部はホルダ１３のＴ字溝２０に
入り込みこの後アーム１７を９０°回転させればアーム
１７とホルダ１３とは係合する。
次いでゲートバルブ１４を開いてアーム１７を左進させ
図の一点鎖線で示す１３Ａの位置にホルダ１３が進んだ
とき、アーム１７を停止しかつ９０°回転させた後アー
ム１７を後退すればホルダ１３は試料室１５に載置され
る。ホルダ１３を交換するときはエアロツクチャンバ１
１の下方に設けた開閉フタ２１を右方に移動して開いた
後、マガジン１２を下方の一点鎖線で示した１２Ａのこ
のような従来装置では、ホルダー３が大型化するとその
搬送ストロークも長くなるためストロークに比例してア
ームの長さも長くなる、従って描画装置本体からアーム
が長く突き出す形状になり、設置スペースは最外形の単
純化した包絡線を基本にするため大きな設置スペースが
要求される。さらに搬送方向の後部からアームを送り込
む形式であり、エアロツクチャンバー１へのマスク角 供給は搬送方向の直Ｘ方向から行っている。このため供
給機構が複雑になりエアロツクチャンバー１内のマガジ
ンを分離式にして、マガジンをエアロツクチャンバー１
外に引き出しマガジンに搬送方向からホルダを装填して
いるが、マスクが大型化するとホルダやマガジンも大型
化しハンドリングが困難になって実現が難しくなった。
図の一点鎖線で示す１３Ａの位置にホルダ１３が進んだ
とき、アーム１７を停止しかつ９０°回転させた後アー
ム１７を後退すればホルダ１３は試料室１５に載置され
る。ホルダ１３を交換するときはエアロツクチャンバ１
１の下方に設けた開閉フタ２１を右方に移動して開いた
後、マガジン１２を下方の一点鎖線で示した１２Ａのこ
のような従来装置では、ホルダー３が大型化するとその
搬送ストロークも長くなるためストロークに比例してア
ームの長さも長くなる、従って描画装置本体からアーム
が長く突き出す形状になり、設置スペースは最外形の単
純化した包絡線を基本にするため大きな設置スペースが
要求される。さらに搬送方向の後部からアームを送り込
む形式であり、エアロツクチャンバー１へのマスク角 供給は搬送方向の直Ｘ方向から行っている。このため供
給機構が複雑になりエアロツクチャンバー１内のマガジ
ンを分離式にして、マガジンをエアロツクチャンバー１
外に引き出しマガジンに搬送方向からホルダを装填して
いるが、マスクが大型化するとホルダやマガジンも大型
化しハンドリングが困難になって実現が難しくなった。
［発明の目的］
本発明はこのような問題を解決したものでその目的は、
マガジンへのホルダ装填とエアロツクチャンバへのマガ
ジン装填とが容易であると共に、エアロツクチャンバか
ら試料室へのホルダ供給機構がエアロツクチャンバから
突出しないようにして設置スペースを小さくしたホルダ
供給装置を提供することにある。
マガジンへのホルダ装填とエアロツクチャンバへのマガ
ジン装填とが容易であると共に、エアロツクチャンバか
ら試料室へのホルダ供給機構がエアロツクチャンバから
突出しないようにして設置スペースを小さくしたホルダ
供給装置を提供することにある。
［発明の要点］
本発明のウェハ供給装置は、エアロツクチャンバと、エ
アロツクチャンバに設けられたホルダ搬送用のガイドと
、エアロツクチャンバの壁のガイドの後方に位置する箇
所に設けられたホルダ出入用の開閉フタと、ガイド上に
置かれたホルダの側方に沿って設けられホルダに形成さ
れた凹または凸部に対して係脱可能になされたホルダ搬
送機構とからなることを特徴にしている。
アロツクチャンバに設けられたホルダ搬送用のガイドと
、エアロツクチャンバの壁のガイドの後方に位置する箇
所に設けられたホルダ出入用の開閉フタと、ガイド上に
置かれたホルダの側方に沿って設けられホルダに形成さ
れた凹または凸部に対して係脱可能になされたホルダ搬
送機構とからなることを特徴にしている。
［発明の実施例］
以下本発明の一実施例を示した第１図ないし第３図につ
いて説明する。第１図においてエアロツクチャンバ３１
はゲートバルブ１４を介して試料室１５に接続されてお
り、エアロツクチャンバ３１内には上下動可能なエレベ
ータ３３が設けられている。エレベータ３３には平行な
２本１組のガイド３４が上下に２組設けられ、２枚のホ
ルダ３２をそれぞれ左右動可能に載置している。なおガ
イド３４にはホルダ３２を案内するため水平方向に回転
するローラ３５と垂直方向に回転するローラ３６とが設
けである。またホルダ３２にはこれの左右動に使用する
ピン３７と３８とが設けである。
いて説明する。第１図においてエアロツクチャンバ３１
はゲートバルブ１４を介して試料室１５に接続されてお
り、エアロツクチャンバ３１内には上下動可能なエレベ
ータ３３が設けられている。エレベータ３３には平行な
２本１組のガイド３４が上下に２組設けられ、２枚のホ
ルダ３２をそれぞれ左右動可能に載置している。なおガ
イド３４にはホルダ３２を案内するため水平方向に回転
するローラ３５と垂直方向に回転するローラ３６とが設
けである。またホルダ３２にはこれの左右動に使用する
ピン３７と３８とが設けである。
ここでホルダ３２の搬送機構４１を説明する。
エレベータ３３が上位置にあるときは下側のホルダ３２
−１ （図示せず）に設けられているピン３７−１ （
図示せず）が、またエレベータ３３が下位置にあるとき
は図示の上側のホルダ３２に設けられているピン３７に
搬送用のツメ４２が係合するようになっている。ツメ４
２は、それに固着したポールメネジ４３がブラケット４
４に軸受支 ４５を介してＸ持されているポールオネジ４６に螺合し
ていることにより、ポールオネジ４６が回汁１ 転するとツメ４２即ちγシダ３２を左右動させる。ポー
ルオネジ４６の図において右端に固着されたカサ歯車４
７はカサ歯車４８と噛み合っておリ、カサ歯車４８は軸
受５１によりブラケット４４に回転のみ可能に取り付け
られ、電動機４９にカップ０リング５０を介して連結さ
れているボールスプライン軸５２を軸方向移動のみ可能
に係合している。またボールスプライン軸５２は図にお
いて下方の軸受５１下方に設けたウィルソンシール５３
によりエアロツクチャンバ３１の真空を保持している。
−１ （図示せず）に設けられているピン３７−１ （
図示せず）が、またエレベータ３３が下位置にあるとき
は図示の上側のホルダ３２に設けられているピン３７に
搬送用のツメ４２が係合するようになっている。ツメ４
２は、それに固着したポールメネジ４３がブラケット４
４に軸受支 ４５を介してＸ持されているポールオネジ４６に螺合し
ていることにより、ポールオネジ４６が回汁１ 転するとツメ４２即ちγシダ３２を左右動させる。ポー
ルオネジ４６の図において右端に固着されたカサ歯車４
７はカサ歯車４８と噛み合っておリ、カサ歯車４８は軸
受５１によりブラケット４４に回転のみ可能に取り付け
られ、電動機４９にカップ０リング５０を介して連結さ
れているボールスプライン軸５２を軸方向移動のみ可能
に係合している。またボールスプライン軸５２は図にお
いて下方の軸受５１下方に設けたウィルソンシール５３
によりエアロツクチャンバ３１の真空を保持している。
ブラケット４４には一対のガイドバー６１とその中間の
ロッド６２とが固着されており、ガイドバー６１はエア
ロツクチャンバ３１の壁６３に取り付けたポールブシュ
６４に案内されると共に、エアロツクチャンバ３１を貫
通した端部はカバー６５により覆われ、ロッド６２はベ
ローズ６６を介してエアロツクチャンバ３１を貫通しそ
の先端はエアシリンダ６７に連結されている。従ってエ
アシリンダ６７を作動させるとツメ４２はプラオ ケラト４４、ポールネジ４６等を介して図において上下
動され、図示の位置から下降するとツメ４２とホルダ３
２のピン３７との係合は脱却される。またカバー６５と
ベローズ６６によりガイドバー６１とロッド６２とに対
するエアロツクチャンバー３１の真空は保持されている
。エアロツクチャン／＜３１の図において右側の壁６３
にはホルダ３２を交換するための開閉フタ７０が取り付
しすである。
ロッド６２とが固着されており、ガイドバー６１はエア
ロツクチャンバ３１の壁６３に取り付けたポールブシュ
６４に案内されると共に、エアロツクチャンバ３１を貫
通した端部はカバー６５により覆われ、ロッド６２はベ
ローズ６６を介してエアロツクチャンバ３１を貫通しそ
の先端はエアシリンダ６７に連結されている。従ってエ
アシリンダ６７を作動させるとツメ４２はプラオ ケラト４４、ポールネジ４６等を介して図において上下
動され、図示の位置から下降するとツメ４２とホルダ３
２のピン３７との係合は脱却される。またカバー６５と
ベローズ６６によりガイドバー６１とロッド６２とに対
するエアロツクチャンバー３１の真空は保持されている
。エアロツクチャン／＜３１の図において右側の壁６３
にはホルダ３２を交換するための開閉フタ７０が取り付
しすである。
一方試料室１５内部にも前述したエアロツクチャンバ３
１内の搬送機構４１と類似した搬送機構７１（詳細な図
示は省略する）が第２図およびツメ、４４′はブラケッ
ト、４９′は電動機６５′はカバー、６７′はエアシリ
ンダであり、この搬送機構７１は、第１図および第２図
にのおいてホルダ３２の左下方の隅に設けたピン３８に
上方から係脱するように構成されている。
１内の搬送機構４１と類似した搬送機構７１（詳細な図
示は省略する）が第２図およびツメ、４４′はブラケッ
ト、４９′は電動機６５′はカバー、６７′はエアシリ
ンダであり、この搬送機構７１は、第１図および第２図
にのおいてホルダ３２の左下方の隅に設けたピン３８に
上方から係脱するように構成されている。
次に前述した実施例の動作を説明する。第１図において
先づゲートバルブ１４を閉じた状態で開閉フタ７０を開
きエアロツクチャンバ３１内のエレベータ３３の上下２
段のガイド３４上にそれぞれホルダ３２を載置する。こ
のときエレベータ３３は下位置にあって上側のガイド３
４が試料室１５に対して搬送可能な位置に置かれている
。この後開閉フタ７０を閉じエアロツクチャンバ３１の
真空引を行う。真空引と同時にエアロツクチャンバ３１
側のエアシリンダ６７によりブラケット４４を前進（第
１図において上方向移動）させ、ツメ４２を上側のホル
ダ３２のピン３７に係合させる。
先づゲートバルブ１４を閉じた状態で開閉フタ７０を開
きエアロツクチャンバ３１内のエレベータ３３の上下２
段のガイド３４上にそれぞれホルダ３２を載置する。こ
のときエレベータ３３は下位置にあって上側のガイド３
４が試料室１５に対して搬送可能な位置に置かれている
。この後開閉フタ７０を閉じエアロツクチャンバ３１の
真空引を行う。真空引と同時にエアロツクチャンバ３１
側のエアシリンダ６７によりブラケット４４を前進（第
１図において上方向移動）させ、ツメ４２を上側のホル
ダ３２のピン３７に係合させる。
エアロツクチャンバ３１の真空度が試料室ト
１５のそれと等しくなったときグーＸバルブ１４を開く
。次いでエアロツクチャンバ３１側の電動機４９を駆動
することによりツメ４２即ち上側のホルダ３２は左進し
、第２図に示すようにホト ルダ３２がゲートバルブ１４の上部付近の中間位置まで
移動したとき電動機４９を停止させる。ホルダ３２が停
止したとき試料室１５側のブラケット４４′をエアシリ
ンダ６７′により第３図において下降させればツメ４２
′はホルダ３２のピン３８に係合する。一方エアロツク
チャンバ３１側のブラケット４４をエアシリンダ６７に
より下方に移動させてツメ４２とピン３７との係合を脱
却する。
。次いでエアロツクチャンバ３１側の電動機４９を駆動
することによりツメ４２即ち上側のホルダ３２は左進し
、第２図に示すようにホト ルダ３２がゲートバルブ１４の上部付近の中間位置まで
移動したとき電動機４９を停止させる。ホルダ３２が停
止したとき試料室１５側のブラケット４４′をエアシリ
ンダ６７′により第３図において下降させればツメ４２
′はホルダ３２のピン３８に係合する。一方エアロツク
チャンバ３１側のブラケット４４をエアシリンダ６７に
より下方に移動させてツメ４２とピン３７との係合を脱
却する。
この状態で試料室１５側の電動機４９′を駆動すること
によりホルダ３２を試料室１５の所定位置に移動させた
後、ツメ４２′を第３図において上方に移動させてこれ
とピン３８との保合を脱却して描画作業を行う。描画作
業が終了したとき試料室１５側のツメ４２′とピン３８
とを係合させてこれとピン３８との保合を解除し、同時
にエアロツクチャンバ３１側のツメ４２を前進させてピ
ン３７と係合させた後ツメ４２を右進させることにより
ホルダ３２を出発位置に戻す。
によりホルダ３２を試料室１５の所定位置に移動させた
後、ツメ４２′を第３図において上方に移動させてこれ
とピン３８との保合を脱却して描画作業を行う。描画作
業が終了したとき試料室１５側のツメ４２′とピン３８
とを係合させてこれとピン３８との保合を解除し、同時
にエアロツクチャンバ３１側のツメ４２を前進させてピ
ン３７と係合させた後ツメ４２を右進させることにより
ホルダ３２を出発位置に戻す。
次いでエレベータ３３を上昇させ下側のホルダ３２−１
を試料室１５に対する搬送高さ位置に一致させる。この
後の下側のホルダ３２−１に対する処置は前述したホル
ダ３２と同じであるから説明を省略する。２枚のホルダ
３２に対する描画が−ｌ Ｏ− 終了したときはゲートバルブ１４を閉じ開閉フタ７０を
開いてホルダ３２を外部に出して新しいポ４２ 、４２
”に凹部を形成しこの凹部がホルダ３２に形成したピ
ン３７．３８による凸部に係合するようになっているが
、これとは逆にツメ４２ 、４２ ’に凸部を形成しホ
ルダ３２に四部を形成するようにしてもよい。
を試料室１５に対する搬送高さ位置に一致させる。この
後の下側のホルダ３２−１に対する処置は前述したホル
ダ３２と同じであるから説明を省略する。２枚のホルダ
３２に対する描画が−ｌ Ｏ− 終了したときはゲートバルブ１４を閉じ開閉フタ７０を
開いてホルダ３２を外部に出して新しいポ４２ 、４２
”に凹部を形成しこの凹部がホルダ３２に形成したピ
ン３７．３８による凸部に係合するようになっているが
、これとは逆にツメ４２ 、４２ ’に凸部を形成しホ
ルダ３２に四部を形成するようにしてもよい。
第４図は本発明の他の実施例で前述した第１実施例がホ
ルダ搬送用のツメをポールネジで送っていたのに対し本
実施例ではベル）８１を使用している。第４図において
ベル）８１はブラケット３４に支持されたアイドラタイ
ヤ８２と駆動タイヤ８３に張り渡され、かつツメ４２を
設けており、駆動タイヤ８３はスプライン軸５２に係合
して回転を与えられる。ここでスプライン軸５２によっ
てツメ４２が電動機４９により第４図において左右動さ
れることと、ブラケット８４と共にツメ４２がエアシリ
ンダ６７により図において上下動することは、前述した
第１実施例と全く同様であり動作も全く同様であるため
説明を省略する。
ルダ搬送用のツメをポールネジで送っていたのに対し本
実施例ではベル）８１を使用している。第４図において
ベル）８１はブラケット３４に支持されたアイドラタイ
ヤ８２と駆動タイヤ８３に張り渡され、かつツメ４２を
設けており、駆動タイヤ８３はスプライン軸５２に係合
して回転を与えられる。ここでスプライン軸５２によっ
てツメ４２が電動機４９により第４図において左右動さ
れることと、ブラケット８４と共にツメ４２がエアシリ
ンダ６７により図において上下動することは、前述した
第１実施例と全く同様であり動作も全く同様であるため
説明を省略する。
なおベルト８１の代りにチェ７やワイヤを使用してもよ
い。
い。
第５図および第６図も本発明の他の実施例であり、前述
した第１実施例はホルダ３２のピン３７等に対しツメ４
２が直線的に移動して係合或いは脱却したのに対し、本
実施例では回転により行うようにしである。第５図にお
いてポールオネジ４６Ａの右端にはスブロケッ）９１が
固着され、一方電動機４９はカップリング５０を介して
スプロケット９２に接続され両スプロケット９１と９２
にはチェ７９３が張り渡しである。
した第１実施例はホルダ３２のピン３７等に対しツメ４
２が直線的に移動して係合或いは脱却したのに対し、本
実施例では回転により行うようにしである。第５図にお
いてポールオネジ４６Ａの右端にはスブロケッ）９１が
固着され、一方電動機４９はカップリング５０を介して
スプロケット９２に接続され両スプロケット９１と９２
にはチェ７９３が張り渡しである。
ポールオネジ４６Ａを支持しているブラケット４４Ａに
はアーム９６の一端が取り付けてあり、アーム９６の他
端にはエアロツクチャンバ３工の内壁に固着した支点ブ
ロック９７に回転自在に支持されている軸９８が嵌合し
ている。アーム９６には軸９８の軸線上に歯車９９が取
り付けてあり、歯車９９はエアロツクチャンバ３１の外
壁に固着したロータリーアクチュエータｌＯＯの出力軸
に取り付けた歯車ｌＯ１に噛み合っている。
はアーム９６の一端が取り付けてあり、アーム９６の他
端にはエアロツクチャンバ３工の内壁に固着した支点ブ
ロック９７に回転自在に支持されている軸９８が嵌合し
ている。アーム９６には軸９８の軸線上に歯車９９が取
り付けてあり、歯車９９はエアロツクチャンバ３１の外
壁に固着したロータリーアクチュエータｌＯＯの出力軸
に取り付けた歯車ｌＯ１に噛み合っている。
従ってロータリーアクチュエータ１００を駆動するとア
ーム９６は回転しツメ４２はホルダ３２のビン３７に対
し係合或いは脱却される。
ーム９６は回転しツメ４２はホルダ３２のビン３７に対
し係合或いは脱却される。
［発明の効果］
本発明のホルダ供給装置は以上説明したように、搬送機
構をホルダの搬送方向と直列ではなく搬送機構がエアロ
ツクチャンバから大きく出っ張らず設置スペースを減少
する等の利点を有する。
構をホルダの搬送方向と直列ではなく搬送機構がエアロ
ツクチャンバから大きく出っ張らず設置スペースを減少
する等の利点を有する。
第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示し第１図は
一部を断面した平面図、第２図は説明才 図、第３図は２図の３−３米線断面図、第４図は八 本発明の他の実施例における一部を断面した平面図、第
５図はさらに本発明の他の実施例における一部を断面し
た平面図、第６図は第５図の一部側面図、第７図は従来
例の平面図である。 １４・・・ゲートバルブ、１５・・・試料室、３１・・
・エアロツクチャンバー、３２・・・ホルダ、３４・・
・ガイド、４１・７１・・・搬送機構、５２・・・ボー
ルスプライン軸、６３・・・壁、７０・・・開閉フタ。
一部を断面した平面図、第２図は説明才 図、第３図は２図の３−３米線断面図、第４図は八 本発明の他の実施例における一部を断面した平面図、第
５図はさらに本発明の他の実施例における一部を断面し
た平面図、第６図は第５図の一部側面図、第７図は従来
例の平面図である。 １４・・・ゲートバルブ、１５・・・試料室、３１・・
・エアロツクチャンバー、３２・・・ホルダ、３４・・
・ガイド、４１・７１・・・搬送機構、５２・・・ボー
ルスプライン軸、６３・・・壁、７０・・・開閉フタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）エアロックチャンバと、同エアロックチャンバに設
けられたホルダ搬送用のガイドと、前記エアロックチャ
ンバの壁の前記ガイドの後方に位置する箇所に設けられ
た前記ホルダ出入用の開閉フタと、前記ガイド上に置か
れた前記ホルダの側方に沿って設けられ前記ホルダに形
成された凹または凸部に対して係脱可能になされたホル
ダ搬送機構とからなるホルダ供給装置。 ２）ホルダ搬送機構がホルダに形成した凹または凸部と
係合して前記ホルダを搬送する直線運動送り機構と、そ
の駆動力を伝達する機構の全体を前記ホルダと係合する
方向に移動ができるように構成し、ホルダに対する係合
分離を可能としかつ固定された駆動源から移動しても駆
動力を伝達できる事を特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のホルダ供給装置。 ３）駆動源と移動体との駆動力の伝達をボールスプライ
ンで行う事を特徴とする特許請求の範囲第２項記載のホ
ルダ供給装置。 ４）ホルダ搬送機構がゲートバルブを介して仕切られて
いる試料室とエアロックチャンバのそれぞれに設けられ
、両搬送機構でホルダの受け渡しをして前記試料室とエ
アロックチャンバ間を搬送できる事を特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のホルダ供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2206887A JP2515530B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | ホルダ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2206887A JP2515530B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | ホルダ供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190338A true JPS63190338A (ja) | 1988-08-05 |
| JP2515530B2 JP2515530B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=12072573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2206887A Expired - Lifetime JP2515530B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | ホルダ供給装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2515530B2 (ja) |
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1987
- 1987-02-02 JP JP2206887A patent/JP2515530B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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| JP2515530B2 (ja) | 1996-07-10 |
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