JPS63188940U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63188940U JPS63188940U JP8131287U JP8131287U JPS63188940U JP S63188940 U JPS63188940 U JP S63188940U JP 8131287 U JP8131287 U JP 8131287U JP 8131287 U JP8131287 U JP 8131287U JP S63188940 U JPS63188940 U JP S63188940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitrogen gas
- gas inlet
- wafer
- spinner cup
- guides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す構成図、
第２図はスピンナーカツプカバーを示す平面図、
第３図ａは本考案の第２の実施例を示す構成図、
第３図ｂはチツ素ガスブロー開口部を示す平面図
、第４図は本考案の第３の実施例を示す構成図で
ある。 １…スピンナーカツプカバー、２…チツ素ガス
分散板、３…第１チツ素ガス導入口、４…長穴、
５…チツ素ガス分散板の支持具、６…ナツト、７
…スピンナーカツプ、８…排気口、９…第２チツ
素ガス導入口、１０…第１整流板、１１…レギユ
レータ、１２…ウエハチヤツク、１３…ノズル、
１４…モーター、１５…電源、１６…スイツチ、
１７…電磁弁、１８…真空吸着配管、１９…ウエ
ハ、２０…チツ素ガスブロー開口部、２１…第３
チツ素ガス導入口、２２…第２整流板、２３…キ
シレン、２４…容器、２５…ポンプ。
第２図はスピンナーカツプカバーを示す平面図、
第３図ａは本考案の第２の実施例を示す構成図、
第３図ｂはチツ素ガスブロー開口部を示す平面図
、第４図は本考案の第３の実施例を示す構成図で
ある。 １…スピンナーカツプカバー、２…チツ素ガス
分散板、３…第１チツ素ガス導入口、４…長穴、
５…チツ素ガス分散板の支持具、６…ナツト、７
…スピンナーカツプ、８…排気口、９…第２チツ
素ガス導入口、１０…第１整流板、１１…レギユ
レータ、１２…ウエハチヤツク、１３…ノズル、
１４…モーター、１５…電源、１６…スイツチ、
１７…電磁弁、１８…真空吸着配管、１９…ウエ
ハ、２０…チツ素ガスブロー開口部、２１…第３
チツ素ガス導入口、２２…第２整流板、２３…キ
シレン、２４…容器、２５…ポンプ。
Claims (1)
- スピンナーカツプ内のウエハに遠心力を与え、
該ウエハにノズルから滴下させたレジストを塗布
するレジスト塗布装置において、前記スピンナー
カツプの上部に開口させたチツ素ガス導入口と、
該チツ素ガス導入口からのチツ素ガスをウエハの
表面部に案内誘導させるチツ素ガス分散板と、前
記スピンナーカツプの下部に開口させたチツ素ガ
ス導入口と、該チツ素ガス導入口からのチツ素ガ
スをウエハの裏面部に案内誘導させる整流板と、
前記スピンナーカツプ内を強制排気させる排気口
とを有することを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987081312U JPH0521864Y2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987081312U JPH0521864Y2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63188940U true JPS63188940U (ja) | 1988-12-05 |
| JPH0521864Y2 JPH0521864Y2 (ja) | 1993-06-04 |
Family
ID=30932936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987081312U Expired - Lifetime JPH0521864Y2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521864Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5771666A (en) * | 1980-10-20 | 1982-05-04 | Seiko Epson Corp | Apparatus for coating resist |
| JPS58174282U (ja) * | 1982-05-17 | 1983-11-21 | 沖電気工業株式会社 | スプレ−装置 |
| JPS6271567A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-02 | Sharp Corp | スピンコ−テイング装置 |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP1987081312U patent/JPH0521864Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5771666A (en) * | 1980-10-20 | 1982-05-04 | Seiko Epson Corp | Apparatus for coating resist |
| JPS58174282U (ja) * | 1982-05-17 | 1983-11-21 | 沖電気工業株式会社 | スプレ−装置 |
| JPS6271567A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-02 | Sharp Corp | スピンコ−テイング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521864Y2 (ja) | 1993-06-04 |