JPH0343731U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案の気相成長装置の一
実施例を示すもので、第１図は断面正面図、第２
図は第１図の−断面図、第３図及び第４図は
従来の気相成長装置を示すもので、第３図は断面
正面図、第４図は断面平面図である。 ２……気相成長室、３……ゲート弁、４……基
板交換室、５……保持台、７……トレイ、９……
ホーク、１１……気相成長装置、１２……固定フ
ローチヤンネル、１３……可搬フローチヤンネル
、１３ｂ……連通用開口部、１３ｃ……ガス排出
口、１４……段部、１５……開口部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 気相成長室内に気相成長ガスのガス導入管と
   連設するフローチヤンネルを設けると共に、該気
   相成長室内の保持台と気相成長室に連設する基板
   交換室とに、前記保持台より大径のトレイを介し
   て基板を搬送する基板搬送機構を設けてなる気相
   成長装置において、前記フローチヤンネルを前記
   ガス導入管に連設する固定フローチヤンネルと、
   該固定フローチヤンネルに着脱自在に連設する可
   搬フローチヤンネルとから構成し、該可搬フロー
   チヤンネルを、固定フローチヤンネルとの連通用
   開口部を有する箱型筒状に形成し、かつ、下流側
   に気相成長室に連設するガス導出管に連通するガ
   ス排出口を設け、さらに該可搬フローチヤンネル
   に前記基板搬送機構に係止される係止部を設ける
   と共に、可搬フローチヤンネルの底面に前記トレ
   イより小径で、かつ、保持台より大径の開口部を
   形成し、該開口部の縁部に前記トレイを載置して
   該トレイ上の基板と共に可搬フローチヤンネルを
   搬送できるよう構成したことを特徴とする気相成
   長装置。 ２ 前記可搬フローチヤンネルの底面に前記トレ
   イより大径にして下方に突設した段部を形成し、
   該段部の底面に前記開口部を形成したことを特徴
   とする請求項１記載の気相成長装置。