JPH0369241U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0369241U JPH0369241U JP13087289U JP13087289U JPH0369241U JP H0369241 U JPH0369241 U JP H0369241U JP 13087289 U JP13087289 U JP 13087289U JP 13087289 U JP13087289 U JP 13087289U JP H0369241 U JPH0369241 U JP H0369241U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transportation box
- carrier
- stored
- semiconductor substrate
- certain angle
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案の一実施例の運搬箱の平面図、
第2図は第1図の断面図である。 1……運搬箱、2……キヤリア、3……半導体
基板、4……ストツパー。
第2図は第1図の断面図である。 1……運搬箱、2……キヤリア、3……半導体
基板、4……ストツパー。
Claims (1)
- 半導体基板の周縁部を、相対向する側壁に設け
られた平行溝により支持して収納するキヤリアを
運搬する半導体基板の運搬箱において、前記運搬
箱の内側の底面を水平面から一定角度傾け、かつ
前記キヤリアの平行溝を垂直方向から一定角度傾
けて収納することを特徴とする半導体基板の運搬
箱。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13087289U JPH0369241U (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13087289U JPH0369241U (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0369241U true JPH0369241U (ja) | 1991-07-09 |
Family
ID=31678416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13087289U Pending JPH0369241U (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0369241U (ja) |
-
1989
- 1989-11-08 JP JP13087289U patent/JPH0369241U/ja active Pending
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