JPS63177427A

JPS63177427A - リ−ドフレ−ム供給装置

Info

Publication number: JPS63177427A
Application number: JP62007573A
Authority: JP
Inventors: Kojiro Shibuya; 渋谷　幸二郎
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1987-01-16
Filing date: 1987-01-16
Publication date: 1988-07-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半°導体素子を樹脂で封止したのち、リード
フレームを自動的に供給するためのリードフレーム供給
装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程においては、通常、樹脂封止直後
のリードフレームの表面上に樹脂のぼりが発生する。こ
の樹脂ばりを除去するための一つの手段として、樹脂封
止後のリードフレームに電解処理を施してその上に発生
している樹脂のぼりを浮かし、この浮上がった樹脂のぼ
りに高圧の水を噴射して除去するという手段が用いられ
ている。このような樹脂のぼりを高圧の水で除去する装
置にリードフレームを供給するとき、リードフレーム供
給装置を使用している。このリードフレーム供給装置は
、リードフレームマガジンに多数積層して搭載されたリ
ードフレームを、エレベー夕によって下方から押し上げ
、複数個のリードフレームをその上方から１枚ずつ吸着
ノズルによって吸着して樹脂のぼり取り工程に供給して
いる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述のような樹脂のぼり取り工程に供給されるリードフ
レームは、電解処理後に水洗された直後のものであるた
め、上下に積層されているリードフレームの間に水膜が
形成されて、その水膜によって上下の２個のリードフレ
ームが互に付着しやすくなっている。すなわち、吸着ノ
ズルが吸着した最上位のリードフレームからその下位に
ある２枚目のリードフレームが離れずに付着した状態で
搬送されたり、あるいは付着したリードフレームが搬送
途中で落下したりして、安定したリードフレームの供給
ができず、樹脂のぼり取り装置の稼働率を低下させると
いう問題がある。

本発明の目的は、上述のような従来のリードフレーム供
給装置の欠点を除去して、安定したリードフレームの供
給ができ、従って樹脂ぼり取り装置の稼働率を向上させ
ることのできるリードフレーム供給装置を提供すること
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のリードフレーム供給装置は、複数個のリードフ
レームを積層して搭載するマガジンと、前記マガジンの
下部に設けられて前記複数個のリードフレームを上方に
押し上げるエレベータと、前記マガジンの上部に配設さ
れ上下方向に運動自在なマガジン押えと、前記マガジン
押えの側壁に設けられ前記マガジン押えの内部に水平に
突出可能な突出し棒を有する突出しシリンダと、前記複
数個のリードフレームの最上位のリードフレームの上面
を吸着する吸着ノズルを先端部に有し上方に移動可能な
吸着ヘッドとを備え、前記吸着ノズルが前記最上位のリ
ードフレームを吸着した位置において前記突出し棒を前
記最上位のリードフレームとその下面に密着している二
番目のリードフレームとの間に突出させて構成される。

〔実施例〕

次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第一の実施例を示す斜視図、第２図は
第１図の実施例のＡ−Ａ線断面図である。

第１図および第２図において、マガジン１０にはリード
フレーム１が規則正しく積み重ねられて搭載されており
、マガジン１０の上部には上下方向に運動が可能なマガ
ジン押え９が配設されている。マガジン押え９の下部に
は数個の固定された爪１４があり、これによってマガジ
ン１０が位置決めされる。積み重ねられたリードフレー
ム１は、下方からエレベータ１１によってマガジン押え
９の内部にまで持ち上げられている。マガジン押え９の
側面の外側にはリードフレーム検出センサ１３ａおよび
１３ｂが設けられており、マガジン押え９の側面に開口
された六１５ａおよび１５ｂを介して最上位のリードフ
レーム１がこのす′−ドフレーム検出センサ１３ａおよ
び１３ｂの位置に到達したとき、これを検出してその位
置に停止させる。マガジン押え９の他の側面には、最上
位のリードフレーム停止位置から約１０ｍｍ高い位置に
設けた突出しシリンダ６がシリンダ取付板８上に固定さ
れている。突出しシリンダ６の軸には、直径約２市の突
出し棒７が固定されており、突出し棒７はマガジン押え
９の側面に開口している穴１６を通して前後方向に往復
運動が可能である。突出し棒７がマガジン押え９の内部
に突き出る量は５〜１０ｍｍ程度である。一方リードフ
レーム１の上方には、最上位のリードフレームを吸着す
るための吸着ヘッド３が配設されており、アーム５に固
定されている吸着ヘッド上下シリンダ４によって上下に
運動することが可能である。吸着ヘッド上下シリンダ４
は２段階に上昇するシリンダであり、第１段目から第２
段目への間で一定時間（０，２秒程度）停止する。吸着
ヘッド３の下部には３個の吸着ノズル２が設けられてお
り、それぞれ下方からの荷重をバネ１２によって吸収す
る。アーム５は吸着ノズル２によって吸着されたリード
フレーム１を搬送レール（図示省略）の上方に移送する
。

次に上述の実施例の動作について説明する。

エレベータ１１によって押し上げられたリードフレーム
１は、マガジン押え９に設けられた穴１５ａおよび１５
ｂを介して、リードフレーム検出センサ１３ａおよび１
３ｂによって検出されてその上昇運動を停止する。次に
吸着ヘッド３がアーム５によってリードフレーム１の真
上に移動する。つづいて吸着ヘッド上下シリンダ４によ
って吸着ヘッド３が下降し、吸着ノズル２がリードフレ
ームｌのパッケージ部に押し当てられる。この時、ばね
１２によって、吸着ノズル２のパッケージ部への押し当
て荷重は吸収される。また吸着ヘッド３が下降した時点
で真空装置（図示省略）によって吸着ノズル２はリード
フレーム１を吸収する。さらに、吸着されたリードフレ
ーム１は吸着位置から約１０ｍｍ程上昇した位置で（第
２図参照）約０．２秒間停止する。このとき１．突出し
棒７が、リードフレーム１の停止した位置から１〜２關
下の位置に５〜１０ｍｍの長さだけ突き出る。

これによって最上位のリードフレームに付着した２個目
のリードフレームが分離される。次に、再び吸着ヘッド
３が上昇し、アーム５によって搬送レール（図示省略）
にリードフレーム１が搬送される。以上の動作を繰り返
すことによってリードフレームを確実に１個ずつ搬送す
ることができる。

第３図（ａ）および（ｂ）は本発明の第二の実施例を示
す断面図および右側面図である。

本実施例は、第３図に示すようにリードフレーム１を検
出するための近接センサ２７が突出し棒１７の位置から
１〜２　ｍｍ上方の位置で、突出し棒１７から右方に約
５　ｍｍ離れたところに、マガジン押え１９の側面に設
けた穴２８に挿入されて固定されている。近接センサ２
７を突出し棒１７の近傍に配置した理由は、リードフレ
ーム１にはうねりがあるため、確実にリードフレーム１
が停止した位置から１〜２ＩＩＩａ下方の位置を突出し
棒１７で押して最上位のリードフレームに付着している
２個目のリードフレームを分離することができるように
するためである。その他の構成は第１図の実施例と同じ
である。

本実施例の動作としては、エレベータ２１によって押し
上げられたリードフレーム１は、近接センサ２７によっ
て検出されその上昇運動を停止する。次に突出しシリン
ダ１６によって突出し棒１７が最上位のリードフレーム
１より１〜２龍下方を押して２個のリードフレームを分
離し、吸着ヘッド３が下降して吸着ノズルによってリー
ドフレーム１を吸着して搬送部へ搬送する。この実施例
では、吸着ヘッド上下シリンダは２段階の上昇動作を行
わなくてもよく、従って停止時間がないため、搬送時間
が短縮できるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明のリードフレーム供給装置
は、最上位のリードフレームとこれに付着している次の
リードフレームとの間に突出し棒を突き出すことによっ
て、水腹等によって付着した両者を分離し、最上位のリ
ードフレームのみを吸着ヘッドによって吸着して搬送で
きるという効果がある。このとき分離された下側のリー
ドフレームは、マガジン押えの内部にあるため、正常の
姿勢で落下して次の動作のとき、確実に吸着される。従
って本発明のリードフレーム供給装置は、常に安定した
リードフレームの供給ができるため、樹脂ぼり取り装置
の稼働率を向上させることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第一の実施例を示す斜視図、第２図は
第１図の実施例のＡ−Ａ線断面図、第３図（ａ）および
（ｂ）は本発明の第二の実施例の断面図および右側面図
である。１・・・リードフレーム、２・・・吸着ノズル、３・・
・吸着ヘッド、４・・・吸着ヘッド上下シリンダ、５・
・・アーム、６・１６・・・突出しシリンダ、７・１７
・・・突出し棒、８・１８・・・シリンダ取付板、９・
１９・・・マガジン押え、１０・２０・・・マガジン、
１１・２１・・・エレベータ、１２・・・ばね、１３ａ
・１３ｂ・・・リードフレーム検出センサ、１４・・・
爪、１５ａ・１５ｂ・・・穴、１６・２６・・・穴、２
７・・・近接センサ、１８・２８・・・穴。

Claims

【特許請求の範囲】

　複数個のリードフレームを積層して搭載するマガジン
と、前記マガジンの下部に設けられて前記複数個のリー
ドフレームを上方に押し上げるエレベータと、前記マガ
ジンの上部に配設され上下方向に運動自在なマガジン押
えと、前記マガジン押えの側壁に設けられ前記マガジン
押えの内部に水平に突出し可能な突出し棒を有する突出
しシリンダと、前記複数個のリードフレームの最上位の
リードフレームの上面を吸着する吸着ノズルを先端部に
有し上方に移動可能な吸着ヘッドとを備え、前記吸着ノ
ズルが前記最上位のリードフレームを吸着した位置にお
いて前記突出し棒を前記最上位のリードフレームとその
下面に密着している二番目のリードフレームとの間に突
出させることを特徴とするリードフレーム供給装置。