JPS63171411A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS63171411A JPS63171411A JP62002374A JP237487A JPS63171411A JP S63171411 A JPS63171411 A JP S63171411A JP 62002374 A JP62002374 A JP 62002374A JP 237487 A JP237487 A JP 237487A JP S63171411 A JPS63171411 A JP S63171411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- thin film
- magnetic
- head
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 36
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は薄膜磁気ヘッドに関する。
従来の技術
従来より薄膜磁気ヘッドの代表的な構造として、第３図
及び第４図のようなものが知られている。第３図はヘッ
ド主要部分を拡大した斜視図、第４図は第３図の平面Ａ
における断面図である。
及び第４図のようなものが知られている。第３図はヘッ
ド主要部分を拡大した斜視図、第４図は第３図の平面Ａ
における断面図である。
第４図において１は基板、２は下部絶縁層、３は下部磁
性層、４はギャップ層、５は絶縁層、６はコイル、７は
絶縁層、８は上部磁性層、９は保護層、１０は絶縁層で
ある。これらの構成要素は基板１以外いわゆる薄膜技術
で形成されている。ただし図を簡単にするため、第３図
では第４図における保護層９および絶縁層１０は省略し
である。
性層、４はギャップ層、５は絶縁層、６はコイル、７は
絶縁層、８は上部磁性層、９は保護層、１０は絶縁層で
ある。これらの構成要素は基板１以外いわゆる薄膜技術
で形成されている。ただし図を簡単にするため、第３図
では第４図における保護層９および絶縁層１０は省略し
である。
ここでコイルの形状はその作製を容易にするために第３
図に示すような形でスパイラル状に形成されている場合
が最も多い。
図に示すような形でスパイラル状に形成されている場合
が最も多い。
発明が解決しようとする問題点
第３図及び第４図の場合、ヘッド巻数として３ターンの
ものを示したが、通常巻数としては数ターンから数１０
ターンのものが使用されている。
ものを示したが、通常巻数としては数ターンから数１０
ターンのものが使用されている。
この様にヘッドの巻数が多くなると、コイル自体の長さ
が長（なるため、コイルの電気抵抗Ｒが太き（なる。こ
の電気抵抗Ｒが大きくなるとインピーダンスノイズが次
式の関係で増加するため、信号とノイズの比（Ｓ／Ｎ比
）が悪（なる。
が長（なるため、コイルの電気抵抗Ｒが太き（なる。こ
の電気抵抗Ｒが大きくなるとインピーダンスノイズが次
式の関係で増加するため、信号とノイズの比（Ｓ／Ｎ比
）が悪（なる。
インピーダンスノイズ＝、ｒ（４ｋＴＲ）・・・・■（
ｋ・・・・ボルツマン定数、Ｔ・・・・絶対温度）従っ
て、良好なＳ／Ｎ比を得るためには電気抵抗Ｒを小さく
しインピーダンスノイズを下げる必要がある。電気抵抗
Ｒはコイルの材料の比抵抗及びコイル長に比例し、断面
積に反比例する。しかしコイル長及びコイル幅は、巻数
やヘッド再生効率などの他の要因によって決定されるた
め、車にコ′ イル長を短くしたり、コイル幅を太き（
したりすることは簡単に出来ない。またコイルの厚さは
パターニング技術によって制約された厚みになるため、
コイル厚さを太き（する方法で抵抗Ｒをさげることは出
来にくい。また第４図のＸ、Ｙで示した部分の上部磁性
層８の磁気特性は他の平坦な部分に形成された部分の磁
気特性よりも劣化していることが多い。この斜面Ｘ、Ｙ
部分における磁気特性の劣化は当然この段差が大きいほ
ど大きくなる。従ってパターニング技術の改良や、コイ
ルを単に二層にする等の方法でコイルの厚さを太き（す
ることができても、斜面Ｘ、Ｙ部分の上部磁性層８の磁
気特性劣化がより大きくなるため好ましくない。このた
めコイル厚を大きくすることも出来に（い。以上述べて
きた理由で、従来の薄膜磁気ヘッドではコイルの抵抗が
小さいものが得られにくい。
ｋ・・・・ボルツマン定数、Ｔ・・・・絶対温度）従っ
て、良好なＳ／Ｎ比を得るためには電気抵抗Ｒを小さく
しインピーダンスノイズを下げる必要がある。電気抵抗
Ｒはコイルの材料の比抵抗及びコイル長に比例し、断面
積に反比例する。しかしコイル長及びコイル幅は、巻数
やヘッド再生効率などの他の要因によって決定されるた
め、車にコ′ イル長を短くしたり、コイル幅を太き（
したりすることは簡単に出来ない。またコイルの厚さは
パターニング技術によって制約された厚みになるため、
コイル厚さを太き（する方法で抵抗Ｒをさげることは出
来にくい。また第４図のＸ、Ｙで示した部分の上部磁性
層８の磁気特性は他の平坦な部分に形成された部分の磁
気特性よりも劣化していることが多い。この斜面Ｘ、Ｙ
部分における磁気特性の劣化は当然この段差が大きいほ
ど大きくなる。従ってパターニング技術の改良や、コイ
ルを単に二層にする等の方法でコイルの厚さを太き（す
ることができても、斜面Ｘ、Ｙ部分の上部磁性層８の磁
気特性劣化がより大きくなるため好ましくない。このた
めコイル厚を大きくすることも出来に（い。以上述べて
きた理由で、従来の薄膜磁気ヘッドではコイルの抵抗が
小さいものが得られにくい。
問題点を解決するための手段
基板上に形成された薄膜ヘッド磁気回路と、前記薄膜ヘ
ッド磁気回路と交差するように薄膜形成されたコイルを
設け、前記薄膜ヘッド磁気回路と交差しない部分の前記
コイルの厚さが前記薄膜ヘッド磁気回路と交差している
部分の前記コイルの厚さより大きいように設定するる。
ッド磁気回路と交差するように薄膜形成されたコイルを
設け、前記薄膜ヘッド磁気回路と交差しない部分の前記
コイルの厚さが前記薄膜ヘッド磁気回路と交差している
部分の前記コイルの厚さより大きいように設定するる。
作用
薄膜ヘッド磁気回路と交差していない部分のコイルの厚
さを太き（することで、この部分の電気抵抗は小さくな
る。薄膜磁気ヘッドのコイルのほとんどは、ヘッド磁気
回路と交差していないコイル部分にしめられ、磁気回路
と交差している部分の割合は極めて小さいので、コイル
全体の電気抵抗を効果的に下げることができる。従って
インピーダンスノイズを小さくすることができる。
さを太き（することで、この部分の電気抵抗は小さくな
る。薄膜磁気ヘッドのコイルのほとんどは、ヘッド磁気
回路と交差していないコイル部分にしめられ、磁気回路
と交差している部分の割合は極めて小さいので、コイル
全体の電気抵抗を効果的に下げることができる。従って
インピーダンスノイズを小さくすることができる。
実施例
以下、本発明の実施例を図を用いて説明する。
第１図は本発明の第１実施例を示す斜視図である。ただ
し従来例を示す第３図と同一の構成要素は同一の番号を
つけて説明は省略する。第１図において、１１は第１コ
イルで、同コイルは３．８の上下磁性層と交差している
。その上に第２コイル１２を形成する。第２コイル１２
は第１コイル１１がヘッド磁気回路３．８と交差する部
分、及び第１コイル１１の内債のコイルと外側のリード
パターンを接続する導電層１３が第１コイルの上部を交
差する部分を除いてパターニングされている。第１図か
ら分かるように、上部磁性層８と導電層１３が第１コイ
ルと交差する部分の占める面積は他の部分のコイル面積
に比べ極めて小さい。
し従来例を示す第３図と同一の構成要素は同一の番号を
つけて説明は省略する。第１図において、１１は第１コ
イルで、同コイルは３．８の上下磁性層と交差している
。その上に第２コイル１２を形成する。第２コイル１２
は第１コイル１１がヘッド磁気回路３．８と交差する部
分、及び第１コイル１１の内債のコイルと外側のリード
パターンを接続する導電層１３が第１コイルの上部を交
差する部分を除いてパターニングされている。第１図か
ら分かるように、上部磁性層８と導電層１３が第１コイ
ルと交差する部分の占める面積は他の部分のコイル面積
に比べ極めて小さい。
したがって第２コイル１２の形成により、断面積を増加
させることができるため、コイルの電気抵抗は断面積が
増加したぶんだけ小さくなる。また第１コイル１１や絶
縁層７で生じる段差は従来と変わらないため、斜面部分
に形成された上部磁性層８の磁気特性劣化は従来と同程
度に抑えることが出来る。従って本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドでは、上部磁性層８の磁気特性を損なわずに、コイ
ルの電気抵抗を下げることが出来る。なお、凹凸や斜面
による影響は導電層より磁性層の方がより大きいので、
導電層１３と交差するコイル部分は２層の厚みのままと
してもよい。
させることができるため、コイルの電気抵抗は断面積が
増加したぶんだけ小さくなる。また第１コイル１１や絶
縁層７で生じる段差は従来と変わらないため、斜面部分
に形成された上部磁性層８の磁気特性劣化は従来と同程
度に抑えることが出来る。従って本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドでは、上部磁性層８の磁気特性を損なわずに、コイ
ルの電気抵抗を下げることが出来る。なお、凹凸や斜面
による影響は導電層より磁性層の方がより大きいので、
導電層１３と交差するコイル部分は２層の厚みのままと
してもよい。
次に本発明の第２実施例を第２図に示した斜視図を用い
て説明する。ただし同図は説明のため一部分を切り欠い
ている。本実施例ではヘッド磁気回路と交差する第２コ
イル１４の一部の厚さを増すために、３．８の上下磁性
層と交差していない部分だけ凹になるように絶縁膜１６
がリフトオフされ、そのリフトオフされた部分に第１コ
イル１５を形成し、その後第２コイル１４を形成する。
て説明する。ただし同図は説明のため一部分を切り欠い
ている。本実施例ではヘッド磁気回路と交差する第２コ
イル１４の一部の厚さを増すために、３．８の上下磁性
層と交差していない部分だけ凹になるように絶縁膜１６
がリフトオフされ、そのリフトオフされた部分に第１コ
イル１５を形成し、その後第２コイル１４を形成する。
このような構成をとると、絶縁層１６と第１コイル１５
が平坦化され、その上に第２コイル１４を形成すること
になるので、第２コイル１４の形成が容易になる。
が平坦化され、その上に第２コイル１４を形成すること
になるので、第２コイル１４の形成が容易になる。
また以上述べてきた第１実施例と第２実施例を組み合わ
せることで、さらに電気抵抗を小さくすることか出来る
。
せることで、さらに電気抵抗を小さくすることか出来る
。
更にコイル層は厚い層を一層形成して必要部分のみエツ
チング等で薄くするようにしてもよい。
チング等で薄くするようにしてもよい。
発明の効果
本発明の構造をとることにより、断面積が増加しただけ
コイルの電気抵抗が下がり、インピーダンスノイズを小
さくすることができる。また磁気回路上のコイルや絶縁
層で生じる段差は従来と変わらないため、斜面部分に形
成された上部磁性層の磁気特性劣化は従来と同程度に抑
えることが出来る。従って本実施例の薄膜磁気ヘッドで
は、上部磁性層の磁気特性を損なわずに、コイルの電気
抵抗を下げることが出来る。
コイルの電気抵抗が下がり、インピーダンスノイズを小
さくすることができる。また磁気回路上のコイルや絶縁
層で生じる段差は従来と変わらないため、斜面部分に形
成された上部磁性層の磁気特性劣化は従来と同程度に抑
えることが出来る。従って本実施例の薄膜磁気ヘッドで
は、上部磁性層の磁気特性を損なわずに、コイルの電気
抵抗を下げることが出来る。
第１図は本発明の第１実施例を示す斜視図、第２図は本
発明の第２実施例を示す斜視図、第３図及び第４図は従
来例を示す図で、第３図はヘッド主要部分を拡大した斜
視図、第４図は第３図の平面Ａにおける断面図である。 １・・・・基板、２・・・・下部絶縁層、３・・・・下
部磁性層、４・・・・ギャップ層、５・・・・絶縁層、
７・・・・絶縁層、８・・・・上部磁性層、９・・・・
保護層、１０・・・・絶縁層、１１・・・・下部コイル
、１２・・・・上部コイル、１３・・・・導電層。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名！一基板 ４−キ、７フλ屯 ６−刹す沫１ ７−綻ツ撮１ １３−一情電肩 第 ２ 図
発明の第２実施例を示す斜視図、第３図及び第４図は従
来例を示す図で、第３図はヘッド主要部分を拡大した斜
視図、第４図は第３図の平面Ａにおける断面図である。 １・・・・基板、２・・・・下部絶縁層、３・・・・下
部磁性層、４・・・・ギャップ層、５・・・・絶縁層、
７・・・・絶縁層、８・・・・上部磁性層、９・・・・
保護層、１０・・・・絶縁層、１１・・・・下部コイル
、１２・・・・上部コイル、１３・・・・導電層。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名！一基板 ４−キ、７フλ屯 ６−刹す沫１ ７−綻ツ撮１ １３−一情電肩 第 ２ 図
Claims (1)
- （１）基板上に形成された薄膜ヘッド磁気回路と、前記
薄膜ヘッド磁気回路と交差するように薄膜形成されたコ
イルによって構成される薄膜ヘッドにおいて、前記薄膜
ヘッド磁気回路と交差していない部分の前記コイルの厚
さが前記薄膜ヘッド磁気回路と交差する部分の前記コイ
ルの厚さより大きいことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62002374A JPS63171411A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62002374A JPS63171411A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63171411A true JPS63171411A (ja) | 1988-07-15 |
Family
ID=11527473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62002374A Pending JPS63171411A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63171411A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0517005A2 (en) * | 1991-06-03 | 1992-12-09 | Read-Rite Corporation | Thin film head with coils of varying thickness |
-
1987
- 1987-01-08 JP JP62002374A patent/JPS63171411A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0517005A2 (en) * | 1991-06-03 | 1992-12-09 | Read-Rite Corporation | Thin film head with coils of varying thickness |
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