JPS63166764A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPS63166764A JPS63166764A JP61313196A JP31319686A JPS63166764A JP S63166764 A JPS63166764 A JP S63166764A JP 61313196 A JP61313196 A JP 61313196A JP 31319686 A JP31319686 A JP 31319686A JP S63166764 A JPS63166764 A JP S63166764A
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- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 8
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 6
- -1 hafnium nitride Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229940043430 calcium compound Drugs 0.000 description 1
- 150000001674 calcium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000012255 calcium oxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、常圧焼結によって窒化アルミニウム焼結体
を製造する方法に関するものである。
を製造する方法に関するものである。
近年、ＩＣ，ＬＳＩをはじめとする集積回路の高集積化
、高出力化が進み、これに伴うシリコン素子の放熱の問
題が生じてきている。このような現状に従い、従来のア
ルミナ焼結体からなる絶縁性基板から、さらに高い熱伝
導性を有し、シリコンとの熱膨張率の整合性にすぐれた
窒化アルミニウム焼結体からなる基板の開発が進められ
てきている。
、高出力化が進み、これに伴うシリコン素子の放熱の問
題が生じてきている。このような現状に従い、従来のア
ルミナ焼結体からなる絶縁性基板から、さらに高い熱伝
導性を有し、シリコンとの熱膨張率の整合性にすぐれた
窒化アルミニウム焼結体からなる基板の開発が進められ
てきている。
ところで、常圧焼結法による窒化アルミニウム焼結体は
、焼結助剤としてイツトリア、又はイツトリウム化合物
、カルシア、又はカルシウム化合物などを添加し、１７
００℃から２０００℃の高温、窒素雰囲気中で焼成する
ことにより製造されている。
、焼結助剤としてイツトリア、又はイツトリウム化合物
、カルシア、又はカルシウム化合物などを添加し、１７
００℃から２０００℃の高温、窒素雰囲気中で焼成する
ことにより製造されている。
一方方案窒化アルミニウム焼結体特性は、その焼結体に
混入する不純物や酸素含有艦に強く依存し、一般にその
含有量の増加に従って特性を損う傾向がある。そのため
、このような不純物の混入を防ぐには、高純度の耐熱容
器の中に窒化アルミニウムの粉末成形体を置いて密封し
、焼結することが考えられるが、上記のような高温中で
は、炭素を主成分とする耐熱材料を容器として使用する
と、焼結体への炭素不純物の混入は避けられず。
混入する不純物や酸素含有艦に強く依存し、一般にその
含有量の増加に従って特性を損う傾向がある。そのため
、このような不純物の混入を防ぐには、高純度の耐熱容
器の中に窒化アルミニウムの粉末成形体を置いて密封し
、焼結することが考えられるが、上記のような高温中で
は、炭素を主成分とする耐熱材料を容器として使用する
と、焼結体への炭素不純物の混入は避けられず。
焼結体の電気的特性を著しく損う。
また、アルミナなどの酸化物系耐熱材料についても、焼
結体への酸素混入が生じ、容器の材料としては好ましく
ない等の問題点があった。
結体への酸素混入が生じ、容器の材料としては好ましく
ない等の問題点があった。
このようなことから、窒化アルミニウムの常圧焼結法に
おいて、容器、または容器外からの不純物混入がない焼
結体の製造方法の開発が要望される。
おいて、容器、または容器外からの不純物混入がない焼
結体の製造方法の開発が要望される。
この発明は、常圧焼結法において、成形体への不純物の
混入を防ぎ、電気的特性にすぐれた窒化アルミニウム焼
結体を製造する方法を提供することを目的とする。
混入を防ぎ、電気的特性にすぐれた窒化アルミニウム焼
結体を製造する方法を提供することを目的とする。
この発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法は、窒化
アルミニウム粉末に焼結助剤を添加した後、混合、成形
する工程と、この成形体を窒化物からなる耐熱容器に収
納、密閉し、常圧焼結する工程を施すものである。
アルミニウム粉末に焼結助剤を添加した後、混合、成形
する工程と、この成形体を窒化物からなる耐熱容器に収
納、密閉し、常圧焼結する工程を施すものである。
この発明は窒化アルミニウム成形体を窒化物からなる耐
熱容器に収納することにより、焼結中に生じる容器外、
または容器からの不純物の混入を防ぐことができ、電気
的特注にすぐれた窒化アルミニウム焼結体が得られる。
熱容器に収納することにより、焼結中に生じる容器外、
または容器からの不純物の混入を防ぐことができ、電気
的特注にすぐれた窒化アルミニウム焼結体が得られる。
以下、この発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
まず、窒化アルミニウム粉末にイツトリウム化合物、あ
るいはカルシュラム化合物などを焼結助剤として添加し
、ボールミル等によって充分に混合する。この混合物に
バインダーを加えて、造粒。
るいはカルシュラム化合物などを焼結助剤として添加し
、ボールミル等によって充分に混合する。この混合物に
バインダーを加えて、造粒。
整粒し、金型成形法、静水圧プレス法などにより成形を
行うか、あるいは上記混合物に分散剤、結合剤を加え、
媒液中にて混゛合、スラリーとし、ドクターブレード法
などによりシート成形を行う。
行うか、あるいは上記混合物に分散剤、結合剤を加え、
媒液中にて混゛合、スラリーとし、ドクターブレード法
などによりシート成形を行う。
次いで、上記成形体を、窒化物製耐熱容器の中に収納し
、脱脂（上記バインダー、分散剤の除去工程を以下脱脂
と記す）の後、該容器に蓋をして密閉し、常圧焼結を行
う。焼結は窒素ガス雰囲気Ｓこて１７００〜２０００℃
で行い、窒化アルミニウム焼結体を得る。
、脱脂（上記バインダー、分散剤の除去工程を以下脱脂
と記す）の後、該容器に蓋をして密閉し、常圧焼結を行
う。焼結は窒素ガス雰囲気Ｓこて１７００〜２０００℃
で行い、窒化アルミニウム焼結体を得る。
次に、この発明を実施例をあげて具体的に説明する。
実施例１
平均粒径０，５μｍの窒化アルミニウム粉末に高純度の
イツトリア粉末３重量％を添加し、結合剤。
イツトリア粉末３重量％を添加し、結合剤。
可塑剤を加え、媒液中にて混合、スラリーとし。
ドクターブレード法によりシート状成形体とした。
この成形体を窒化ホウ素製容器の中に置き、空気中ＳＯ
Ｏ℃にて脱脂を行った。脱脂終了後、窒化ホウ素製容器
に蓋をして密閉し、窒素ガス中にて１８００℃２時間の
常圧焼結を行って窒化アルミニウム焼結体を製造した。
Ｏ℃にて脱脂を行った。脱脂終了後、窒化ホウ素製容器
に蓋をして密閉し、窒素ガス中にて１８００℃２時間の
常圧焼結を行って窒化アルミニウム焼結体を製造した。
比較例１
実施例１と同じ成形体を、窒化ホウ素粉末を塗布した黒
鉛製容器の中に置き、脱脂終了後、蓋をして密閉し、実
施例１と同様の条件で常圧焼結を行って窒化アルミニウ
ム焼結体を製造した。
鉛製容器の中に置き、脱脂終了後、蓋をして密閉し、実
施例１と同様の条件で常圧焼結を行って窒化アルミニウ
ム焼結体を製造した。
この実施例１及び比較例１の焼結体の炭素含有量を調べ
た。実施例１の焼結体の炭素含有量は５０−以下と少な
く、白色、透光性を有しているが、比較例１の焼結体の
炭素含有量は６５０ｐｐｍと高く、黒色を呈していた。
た。実施例１の焼結体の炭素含有量は５０−以下と少な
く、白色、透光性を有しているが、比較例１の焼結体の
炭素含有量は６５０ｐｐｍと高く、黒色を呈していた。
また、実施例１．比較例１より得た焼結体の電気抵抗を
求めた。その結果を表１に示す。
求めた。その結果を表１に示す。
表１
表１より明らかな如（、窒化アルミニウム成形体を窒化
ホウ素製容器の中で焼結した実施例１の焼結体は、電気
抵抗が高く、基板材料として望ましい特性を有している
が、黒鉛製容器の中で焼結した比較例１の焼結体は、抵
抗値が低く、基板材料として適さない。
ホウ素製容器の中で焼結した実施例１の焼結体は、電気
抵抗が高く、基板材料として望ましい特性を有している
が、黒鉛製容器の中で焼結した比較例１の焼結体は、抵
抗値が低く、基板材料として適さない。
また、実施例１の焼結体と、比較例１の焼結体で電気抵
抗が１０７Ωぼのものの誘電率と誘電損失を求めた。そ
の結果を表２に示す。
抗が１０７Ωぼのものの誘電率と誘電損失を求めた。そ
の結果を表２に示す。
表２
表２より明らかな如く、窒化アルミニウム成形体を窒化
ホウ素製容器の中で焼結した実施例１の焼結体は、黒鉛
製容器の中で焼結した比較例１の焼結体に比べ、誘電率
が低く、かつまた、誘電損失も小さく、基板材料として
優れている。
ホウ素製容器の中で焼結した実施例１の焼結体は、黒鉛
製容器の中で焼結した比較例１の焼結体に比べ、誘電率
が低く、かつまた、誘電損失も小さく、基板材料として
優れている。
以上のように、この発明によれば、窒化アルミニウム粉
末に焼結助剤を添加した後、混合、成する工程と、この
成形体を窒化物からなる耐熱容器に収納、密閉し、常圧
焼結する工程を施すことにより、窒化アルミニウムの常
圧焼結に際し、容器。
末に焼結助剤を添加した後、混合、成する工程と、この
成形体を窒化物からなる耐熱容器に収納、密閉し、常圧
焼結する工程を施すことにより、窒化アルミニウムの常
圧焼結に際し、容器。
あるいは容器外からの成形体への不純物の混入を防ぐこ
とができるので、電気的特性に優れた窒化アルミニウム
焼結体を得られる効果がある。
とができるので、電気的特性に優れた窒化アルミニウム
焼結体を得られる効果がある。
Claims (2)
- （１）窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添加した後、
混合、成形する工程と、この成形体を窒化物からなる耐
熱容器に収納、密閉し、常圧焼結する工程を施す窒化ア
ルミニウム焼結体の製造方法。 - （２）窒化物からなる耐熱容器が、窒化ホウ素、窒化チ
タン、窒化ハフニウム、または窒化ジルコニウムを組成
とする容器である特許請求の範囲第１項記載の窒化アル
ミニウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61313196A JPS63166764A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61313196A JPS63166764A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63166764A true JPS63166764A (ja) | 1988-07-09 |
Family
ID=18038258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61313196A Pending JPS63166764A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63166764A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0336790A (ja) * | 1989-07-04 | 1991-02-18 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム多層配線基板の焼成方法 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61313196A patent/JPS63166764A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0336790A (ja) * | 1989-07-04 | 1991-02-18 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム多層配線基板の焼成方法 |
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