JPS63151919A - Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法 - Google Patents

Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法

Info

Publication number
JPS63151919A
JPS63151919A JP29759386A JP29759386A JPS63151919A JP S63151919 A JPS63151919 A JP S63151919A JP 29759386 A JP29759386 A JP 29759386A JP 29759386 A JP29759386 A JP 29759386A JP S63151919 A JPS63151919 A JP S63151919A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
hologram pattern
hologram
laser light
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29759386A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryuichi Toyoda
隆一 豊田
Tadashi Kaneko
正 金子
Koichi Kawada
耕一 河田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP29759386A priority Critical patent/JPS63151919A/ja
Publication of JPS63151919A publication Critical patent/JPS63151919A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、火炎、噴煙等を含む悪環境下で、物体把握を
行なう場合に用いるCO,レーザー光走査用ホログラム
の製造方法て関するものである。
従来の技術 CO,レーザー光走査用ホログラムの製造方法について
は、他のレーザー光走査用ホログラムと同様に、感光体
に2方向からCO,レーザー光を当て、発生する干渉縞
パターンを感光体に記録させる方法が考えられている。
発明が解決しようとする問題点 しかし、上記従来の製造方法では、CO,レーザーに適
した感光体が必要であるが、現在のところ、それは無く
、CO,レーザー光のホログラムパターンを形成するこ
とができな(・。
本発明は、上記従来例の問題点を解決するものであり、
CO,レーザー光を感光体に当てることなく、従ってC
O2レーザー光に適した感光体を要することなく製造す
ることができるようにしたCO。
レーザー光走査用ホログラムの製造方法を提供しようと
するものである。
問題点を解決するための手段 そして、上記問題点を解決するための本発明の技術的な
手段は、計算機シミュレーションによりCO,レーザー
光を任意の走置方向、走査幅に偏光するためのホログラ
ムパターンをプロッタ出力し、このホログラムパターン
を写真撮影により縮小し。
この縮小したホログラムパターンに基づきCO,レーザ
ー光の透過性を有する材料よりなり、その両面が研摩さ
れた基板の一方の面にリフトオフ工法により薄膜を用い
てホログラムパターンを形成するものである。
作    用 上記技術的手段による作用は次のようになる。
すなわち、CO,レーザー光を感光体に当てることなく
、CO2レーザー光走査用ホログラムを製造することが
でき、これを使用することにより、CO,レーザー光の
任意の走査方向、走査幅選択、飛越し走査を高速で行な
うことが可能となり、現在の監視用TV等で物体把握で
きない、火炎、噴煙を含む悪環境下において、正確で高
速な状況把握ができる。
実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。第1図(al〜(61は本発明の一実施例におけるC
O,レーザー光走査用ホログラムの製造方法を示し、第
2図(al、(blは本発明の製造方法により製造した
CO2レーザー光走査用ホログラムを示す。
第1[Pl(alに示すように、まず、用紙1に計算機
シミュレーションによりCO,レーザー光を任意の走査
方向、走査幅に偏光するためのネガとなるホロクラムパ
ターン(干渉縞)2をプロッタ出カスる。次に第1図(
b)〜te+に示すように上記ホログラムパターン2を
写真撮影して縮小したネガとなるホログラムパターンに
基づき、CO,レーザー光の透過性に優れた材料よりな
り、その両面を研摩した基板の一方に面にリフトオフ工
法により薄膜を甲いてホログラムパターンを形成する。
このリフトオフ工法の詳細について説明すると、まず、
第1図fblに示すようにガラス基板3上に上記COt
レーザーホログラムパターン2を写真撮影して縮小した
ホログラムパターン4を形成する。一方、CO,レーザ
ー光の透過性の良いZn5e %Kct1ゲルマニウム
等の材料よりなる基板5上に感光体6を塗布して乾燥す
る。次にガラス基板3の上方よシ紫外線8によ如露光し
、ガラス基板3の透過部に対応する感光部6aとホログ
ラムパターン4に対応する未感光部6bを得る。次にこ
の現像を行ない、第1図(c)に示すように現像液によ
り露光部6aを除去し、基板5上に未感光部6bを残す
次に第7図(d)に示すように基板5上と未感光部6b
上にアルミ薄膜7を蒸着によシ形成し、形成後、未感光
部6bをその上面のアルミ薄膜7と共に基板5より剥離
し、第1図(e)に示すように基板5上にアルミ薄膜に
よるCO□レーザー光走査用ホログラムパターン7aを
形成することができる。第2図(a)、(b)はそれぞ
れ基板5上にアルミ薄膜によるCO2レーザー光走査用
ホログラム・くターy7aが形成された状態を示す平面
図、正面図を示しつるgなお、上記実施例では、ネガと
なるホログラムパターン2をプロッタ出力するようにし
ているが、リフトオフ工法におけるレジスタの選択によ
シポジとなるホログラムパターン2をプロッタ出力する
こともできる0 発明の効果 以上述べたように、本発明によれば、計算機シミュレー
ションによりCO,レーザー光を任意の走査方向走査幅
に偏光するためのホログラムパターンをプロッタ出力し
、このホログラムパターンを写真撮影により縮小し、こ
の縮小したホログラムパターンに基づきCO2レーザー
光の透過性を有する材料よりなり、その両面が研摩され
た基板の一方の面にリフトオフ工法により薄膜を用いて
ホログラムパターンを形成するようにしているので。
COtレーザー光を感光体に当てることなく、従ってC
oto−レーザー光した感光体を要することな(製造す
ることができる。そしてこのようにした製造したCO!
レーザー光走査用ホログラムを使用することにより従来
の監視用TVで困難であった火炎、噴煙を含む悪環境下
においても、正確で高速な物体把拶が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図(al〜(elは本発明の一実施例におけるCO
tレーザー光走査用ホログラムの製造方法を示し、第x
llUl(alは計算様シミュレーションにより用紙に
Co2レーザーホログラムパターンをプロッタ出力した
状態を示す平面図、第1図山)〜(e)はリフトオフ工
法によりホログラムパターンを基板上に形成する工程を
示す断面図、第2図(a)、(b)はそれぞれ基板上に
ホログラムパターンを形成したCO□レーザー走査用ホ
ログラムの平面図、正面図である。 1・・・用紙、2・・・ホログラムパターン、3・・・
ガラス基板、4・・・縮小したホログラムパターン、5
・・・基板、6・・・感光体、6a・・・感光部、6b
・・・未感光部、7・・・アルミ薄膜、7a・・・CO
□レーザー光走査用ホロクラムパターン、8・・・紫外
線。 特許出願人 工業技術院長 飯 塚 幸 三第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 計算機シミュレーションによりCO_2レーザー光を任
    意の走査方向、走査幅に偏光するためのホログラムパタ
    ーンをプロッタ出力し、このホログラムパターンを写真
    撮影により縮小し、この縮小したホログラムパターンに
    基づき、CO_2レーザー光の透過性を有する材料より
    なり、その両面が研摩された基板の一方の面にリフトオ
    フ工法により薄膜を用いてホログラムパターンを形成す
    ることを特徴とするCO_2レーザー光走査用ホログラ
    ムの製造方法。
JP29759386A 1986-12-16 1986-12-16 Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法 Pending JPS63151919A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29759386A JPS63151919A (ja) 1986-12-16 1986-12-16 Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29759386A JPS63151919A (ja) 1986-12-16 1986-12-16 Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63151919A true JPS63151919A (ja) 1988-06-24

Family

ID=17848563

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29759386A Pending JPS63151919A (ja) 1986-12-16 1986-12-16 Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63151919A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0274916A (ja) * 1988-09-12 1990-03-14 Agency Of Ind Science & Technol Co2レーザ光走査用ホログラムの製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS524853A (en) * 1975-06-25 1977-01-14 Xerox Corp Method of and apparatus for light flux scanning
JPS60146282A (ja) * 1984-01-10 1985-08-01 Nec Corp ホログラムの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS524853A (en) * 1975-06-25 1977-01-14 Xerox Corp Method of and apparatus for light flux scanning
JPS60146282A (ja) * 1984-01-10 1985-08-01 Nec Corp ホログラムの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0274916A (ja) * 1988-09-12 1990-03-14 Agency Of Ind Science & Technol Co2レーザ光走査用ホログラムの製造方法
JPH0664256B2 (ja) * 1988-09-12 1994-08-22 工業技術院長 Co2レーザ光走査用ホログラムの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR920006800A (ko) 마스크, 그 제조방법과 그것을 사용한 패턴 형성방법및 마스크 블랭크
US4294913A (en) Information carriers, method of forming and copying said carriers
EP0210926A3 (en) Infra-red laser shield
US4372649A (en) Extended area diffractive subtractive color filters
US4225659A (en) Method for making thermochromic photomasks
SE7703844L (sv) Forfarande vid pregling av substraktiva filter
JPS63151919A (ja) Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラムの製造方法
JP3202393B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPS59160144A (ja) ホトマスク
JPS63216052A (ja) 露光方法
US3945827A (en) Methods of making printed circuit boards utilizing an image transparency mode with Herschel-effect film
JPH0229955A (ja) 光ディスク製造方法
US4362796A (en) Process of making photographic prints simulating depth and resultant article
EP0517923A4 (en) Method of forming minute resist pattern
KR930018661A (ko) 콘택트홀의 형성방법
KR910020802A (ko) 마스크의 제작방법
JPS58172679A (ja) ホログラム作成方法
JP3173025B2 (ja) 露光方法及び半導体素子の製造方法
JPS63151920A (ja) Co↓2レ−ザ−光走査用ホログラム
JPS5983111A (ja) 光集積回路作製法
JPS60156087A (ja) 浮上りパタ−ン作製方法
JPH03172848A (ja) ホトマスクの製造方法
JPS58204532A (ja) パタ−ン形成方法
KR950012630A (ko) 위상반전 마스크 및 그 제조 방법
JPH04158522A (ja) 微細なホールパターンを形成する方法