JPS6315007Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、高精度の両面ラツピング、特に厚
さの薄い水晶、セラミツク、フエライト等の加工
物における平行度、均整度等が高度に要求される
ラツピングに適する両面ラツピング装置に関す
る。

従来、この種の両面ラツピング装置として、太
陽歯車、内歯歯車及び両歯車とかみ合つて自転及
び公転する遊星歯車からなる遊星歯車機構を使用
し、上記遊星歯車を、歯車両面に貫通する加工物
保持孔を有するキヤリヤ歯車とし、該キヤリヤ歯
車の両面に琢磨粉を供給しつつ上、下定盤を当接
して該加工物の両面を琢磨する構成において、上
記上、下定盤を静止させたもの、及び上、下定盤
を互に反対方向に回転させたものが知られてい
る。しかし前者は、上、下定盤との摩擦抵抗に抗
してキヤリヤ歯車を自転及び公転させるため薄い
キヤリヤ歯車は使用できず、従つて薄もの加工
物、例えば厚さ40〜50ミクロンの水晶振動子等の
ラツピングは容易でなく、しかも太陽歯車及び内
歯歯車の歯の損傷がはなはだしい欠点があり、又
後者では、上、下定盤が回転するため両定盤のラ
ツピング面にわずかのうねりがあつてもキヤリヤ
歯車が波うち又は上、下動しつつ回転し、それに
より加工物の琢磨代にバラツキが生じ、平行度、
均整度が低下する難点があつた。

本案は従来の欠点を除いた両面ラツピング装置
を提供することを目的とするもので、その特徴
は、遊星歯車機構における上記キヤリヤ歯車の両
面に当接する上、下定盤のうち、下定盤を静止さ
せると共に上定盤を上記キヤリヤ歯車の公転と同
方向へ回転させるようにしたところにある。以下
図面を参照して本案の実施例について説明する。

第１，２図において、ボツクスＦ上に、中心部
に円筒状軸受部２を有する扁平円筒状琢磨粉受け
皿１を固定し、該軸受部２内に内歯歯車用支持枠
３の円筒状ボス４をベアリング５を介して回転自
在に支承し、該ボス４から斜め上方へ突出した複
数本のアーム６…上端に環状の支持枠３が固定さ
れ、該支持枠上に内歯歯車７がボルト８…により
水平に固定され、又上記ボス４内には下定盤用支
持枠９の円筒状軸受部１０を挿入し、該軸受部１
０下端を上記受け皿１の軸受部２の底部にボルト
１１…により固定すると共に上記支持枠３のボス
４との間にベアリング１２，１２を介在させ、こ
の軸受部１０から上方へ突出したアーム１３…の
上端に環状の支持枠９が固定され、該支持枠上に
環状円板からなる下定盤１４を水平にのせると共
に支持枠９上面に突設されたホゾ１５…を下定盤
１４下面に凹設されたホゾ穴１６…に係止して下
定盤１４を回転不能に保持してある。上記軸受部
１０内には太陽歯車支持用軸１７をベアリング１
８，１８を介して回転自在に支承し、該軸１７の
上端部に太陽歯車１９を固着すると共に、軸１７
上端に、外周面に係止溝２１，２１を有する上定
盤用回し金２０を固着してある。

上定盤２２は下定盤１４とほぼ同寸法の環状円
板で、該下定盤１４上にキヤリヤ歯車２３…をは
さんでのせてあり、その上面から下面に貫通する
琢磨粉供給孔２４…を開設すると共に、各供給孔
２４…の開口上端に、第１図示のように上記回し
金２０上に設置した琢磨粉ホツパー２５に接続さ
れた投入管２６…の下端をのぞませて琢磨粉を投
入するようにし、又盤上面に突設したブラケツト
２８，２８に係止爪２９，２９を揺動自在に支持
し、該係止爪を上記回し金２０の係止溝２１，２
１に係脱自在に係止してある。

上記キヤリヤ歯車２３は両面に貫通する孔から
なる材料保持孔３０を本例では４個有し、上記内
歯歯車７と太陽歯車１９とにかみ合つている。

各部の回転駆動機構は次のようである。モータ
及び減速機（図示略）の回転は、歯車３１、受け
皿１の下面に軸３２により支承された歯車３３、
上記軸１７の下端に固着した歯車３４及び軸１７
を経て太陽歯車１９へ、又回し金２０及び係止爪
２９を経て上定盤２２へそれぞれ伝達され、一
方、上記歯車３３と固着された歯車３５、上記ボ
ス４の下端に固着された歯車３６、ボス４及び支
持枠３を経て内歯歯車７へ伝達される。この場
合、内歯歯車７と太陽歯車１９とを一定の速度比
で互に反対方向に回転させ、それによりキヤリヤ
歯車２３…を自転及び公転させ、又上定盤２２を
キヤリヤ歯車２３…の公転と同方向へ回転させ
る。本例では上記上定盤２２をキヤリヤ歯車２３
…の公転速度の２倍の速度で同方向へ回転させて
いる。

本装置の作用は次のようである。まず、加工物
の厚さ及び大きさに応じた厚さ及び保持孔３０…
を有するキヤリヤ歯車２３…を選択し、これを下
定盤１４上にのせ、その各保持孔３０…内に加工
物を入れ、その上に上定盤２２をセツトする。こ
の状態でモータを始動すると、各キヤリヤ歯車２
３…が自転及び公転を行い、それにより加工物が
上、上定盤２２，１４によるラツピングを受け
る。ここで下定盤１４が静止して各キヤリヤ歯車
２３…を安定に支持しているので、各キヤリヤ歯
車の波うちや上下動はほとんどない。又、上定盤
２２がキヤリヤ歯車２３…の公転速度の２倍の速
度で同方向へ回転するので、キヤリヤ歯車２３を
中心にしてみると、キヤリヤ歯車に対する下定盤
１４の相対的公転速度と、キヤリヤ歯車に対する
上定盤２２の相対的公転速度とが等しく且互に方
向反対で、互に相殺関係となり、それによりキヤ
リヤ歯車２３に加わる上、下定盤からの負荷が大
巾に減少されることとなる。

本案においては、上定盤２２のキヤリヤ歯車２
３の公転に対する速度比は上例の２倍に限定され
るものではなく、適宜の速度比で同方向の回転で
あればよい。

この考案の両面ラツピング装置によれば、下定
盤が静止してキヤリヤ歯車を支持するから、キヤ
リヤ歯車を波うちや上下動のほとんどない安定状
態で回転させることができ、それにより平行度、
均整度のすぐれたラツピングを行うことができる
ようになり、しかも下定盤が静止し、上定盤がキ
ヤリヤ歯車の公転方向と同方向に回転するから、
キヤリヤ歯車の回転に対する上、下定盤からの負
荷が従来装置よりも大巾に減少し、それによりキ
ヤリヤ歯車が軽快に回転することができるように
なり、それに伴い薄いキヤリヤ歯車の使用が可能
となつて薄もの加工物のラツピングも容易になる
と共に、太陽歯車及び内歯歯車の歯の損傷も減少
できる利点が得られるのである。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の実施例を示し、第１図は縦断
正面図、第２図はホツパーを除いた平面図であ
る。 ７……内歯歯車、１４……下定盤、１９……太
陽歯車、２２……上定盤、２３……キヤリヤ歯
車、３０……加工物保持孔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 太陽歯車、内歯歯車及び両歯車とかみ合つて自
   転及び公転するキヤリヤ歯車（遊星歯車）からな
   る遊星歯車機構において、 上記キヤリヤ歯車にその両面に貫通する加工物
   保持孔を設け、該キヤリヤ歯車を静止状態の下定
   盤の上面にのせると共に、該キヤリヤ歯車の上面
   に環状円板形上定盤を上記太陽歯車と同心的に回
   転自在にのせ、 上記上定盤を上記キヤリヤ歯車の公転と同方向
   に回転させるようにした、 両面ラツピング装置。