JPS6130369A

JPS6130369A - 研磨装置

Info

Publication number: JPS6130369A
Application number: JP14861384A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Suzuki; 鈴木　靖男; Masahiro Hashimoto; 政弘橋本; Kiyotaka Kumochi; 雲地　清隆; Iwane Ooyama; 大山　岩根; Takashi Miyatani; 孝宮谷; Junji Nakada; 順二中田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-07-19
Filing date: 1984-07-19
Publication date: 1986-02-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、被研磨物を径方向に多段に配設して研磨加工
する研磨装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来、円板砥石が上面に装着された円盤状の定盤を回転
させると同時に、被加工物を円板砥石の研磨面に押し付
けて研磨加工する方式がある。この方式においては１通
常量産を目的として被加工物を複数個同時に研磨面に押
し付けるようにしている。この場合、被研磨物が押し付
けられている研磨面の半径位置によって周速が異なる。

つｔｂ、研磨面の中心部よシも外周部の方が周速が大き
くなる。したがって、研磨加工量は、研磨面の中心部よ
シも外周部に押しつけられている被研磨物の方が大きく
なってしまう。そのため、複数の被研磨物を同時に研磨
加工する場合には、研磨物を同一円周上に配設する必要
がある。そのため、同時に研磨できる被研磨物の数が制
約を受けてしまう不具合を生じている。しかも、砥石の
一部が損傷した場合でも、砥石全体を交換せねばならな
い欠点をもっていた。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を勘案してなされたもので、被研磨
物を径方向に配設して同時かつ均一に研磨することので
きる研磨装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕　　　　　　□ 円環状の砥石を同軸に配設し、これら砥石の周速がほぼ
一定となるように、これらの砥石を各別に支持する支持
体を歯車機構を利用して独立に異なる回転数で回転させ
るようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

第１図及び第２図ゆ、この実施例の研磨装置を示してい
る。この研磨装置は、床（１）に固設された支持部（２
）と、この支持部（２）に載設された駆動部（３）と、
この駆動部（３）に連設され２段に同時変速を行う変速
部（４）と、この変速部（４）に連設され上面に板状の
例えばダイヤモンドペレット砥石（５）　、　（６）が
それらの研磨面が面一となるように装着された研磨部（
７）と、被研磨物（８）、（８）を保持して砥石（５）
、（６）に押し付ける被研磨物保持部（９）とから構成
されている。上記支持部（２）は、円筒状の基体θ０）
と、この基体０（ｌＩｌの中途部に取着された２枚の円
板状支持板←υ。

（１１）とからなっている。また、駆動部（３）は、支
持板Ｉ、圓中央に基体（１（１）と同軸に固定されたモ
ータ（Ｌａと、とのモータ四の回転軸に同軸に連結され
先端が上方を向いている原動軸０■と、この原動軸（を
艷に取付けられた第１の平歯車αａと、同じく原動軸０
３）に第１の平歯車（１４）の直上部に取付けられた第
２の平歯車０句とからなっている。一方、変速部（４）
は、支持板（１１）、（１１）に原動軸（１３）をはさ
んで左右対称となるように取付けられた一対の軸受体（
１６）、（１７）と、これら軸受体（１ｅ、（ｌのに軸
支された従動軸αＬＭと。

これら従動軸側、α鋳に取付けられ第１の平歯車αくに
歯合する第３の平歯車ｃｏ＋、（２Ｉ）と、上記従動軸
α樽。

０優に取付けられ第２の平歯車α（イ）に歯合する第４
の１’；Ｃ、’Ｃ’　ｎ−ｉ　ｎ　　ｌ”　’Ｆａｌ　
ｍ　１．１２５ａノ、　（１９ａ）　と、４上則９（１
８Ｄ）。

（１９ｂ）と、これら下軸部（１８ａ）、　（１９ａ）
及び上軸部（ｌｓｂ）、　（１９ｂ）間に介装され下軸
部（１８ａ）、　（１９ａ）及び上軸部（１８ｂ）、　
（１９ｂ）を同軸かつ独立して回転させる複式スラスト
玉軸受（１８Ｃ）、　（１９Ｃ）とからなっている。そ
して、下軸部（１８ａ）、　（１９りには、それぞれ第
３の平歯車（イ）、　（２Ｄが、また上軸部（１８ｂ）
。

（１９ｂ）には、それぞれ第４の平歯車（２ａ、ｎが取
付けられている。さらに、研磨部（力は、基体α〔の内
壁面に隣接して基体α＠と同軸に配設された円筒状の外
側研磨体（財）と、この外側研磨体２４）の内壁面に隣
接して基体（１０）と同軸に配設された円筒状の内側研
磨体（ハ）とからなっている。上記外側研磨体■は。

上端部が内側に鍔状に突出している本体（２４ａ）と。

この本体（２４ａ）上面に固着された円環状の砥石（５
）とからなっている。また、内側研磨体（ハ）は、上端
部外側に本体（２４ａ）が嵌入する段部（２５ａ、）が
形成され下端部に下方に突出する突出部（２５ｂ）が形
成された本体（２５Ｃ）と、この本体（２５Ｃ）上面に
固着された円環状の砥石（６）とからなっている。そう
して、外側研磨体（財）の本体（２４りの下端部は、ス
ラスト軸受（２Ｅ９を介して支持板αυ上に載設されて
いる。

また１本体（２４ａ）上端部の鍔状突出部分は、スラス
ト軸受（ハ）を介して内側研磨体（２最に支持されてい
る。さらに、外側研磨体（財）の本体（２４ａ　、）の
下端部内面には第３の平歯車（２０）　、　ＣＩ！Ｉ）
に歯合する内歯車（至）が形成されている。一方、内側
研磨体（ハ）の本体（２５Ｃ）の外側下端部は、スラス
ト軸受（５）を介して。

本体（２４ａ）の内壁に取着された円環状の受板（２９
ａ）に載設されている。また、本体（２５Ｃ）の内側下
端部は、スラスト軸受働を介して第２の平歯車（１９に
載設されている。また、内側研磨体ｆ２！１９の突出部
（２ｓｂ）の内面には、第４の平歯車（２の、ｒ２３が
歯合する内歯車Ｃ３１）が形、成されている。さらに、
前記被研磨物保持部（９）は、被研磨物（８）　、　（
８）を把持して砥石（５）　、　（６）に同時に押圧す
る把持機構０ａと、との把持機構を適時に昇降させる昇
降機構（図示せず）とから在っている。上記把持機構（
３？は、下端部が開口している有底円筒状の一対の把持
体Ｇ■、（財）と。

これら把持体（至）、（財）の上端部を砥石（５）、（
６）に跨がって支持するコの字状の取付体く（ωとから
なっている。しかして、被研磨物（８）、（８）は、一
端面が被研磨面となっている円柱状の本体（８ａ）、　
Ｃ８８）と、これら本体（８ａ）、　（８ａ）の背面に
同軸に突設された円柱状突出部（８ｂ）、　（８ｂ）と
からなっていて、突出部（８ｂ）、　（８ｂ）が把持体
端、（ロ）に遊嵌されて砥石（５）、（６）に押圧され
るよりになっている。したがって、被研磨物（８）　、
　（８）は、砥石（５）　、　（６）の回転に追従して
。

連れ回シ運動（自転）を行うように設けられている。か
くして、砥石（５）、（６）は、同心的に配設された状
態で同一方向に回転するが、この実施例の研磨装置にお
いては１把持機構（３諺によシ砥石（５）　、　（６）
に押圧されている被研磨物（８）、（８）の加工中心（
至）、Ｇ７）における砥石（５）　、　（６）の回転速
度が等しくなるように、つｔｂ加工速度がほぼ等しくな
るように設定されている。そのためには、加工中心（３
６）がのっている円周の直径をＤ３．加工中心Ｇ７）が
のっている円周の直径をり、とじて、砥石（５）の回転
数をＮｓ、砥石（６）の回転数をＮ４とすれば１次式の
を満足すればよいり、　Ｎ、　＝＝　Ｄ、　Ｎ、　　　　　　　・・・・
・・・・　［Ｆ］ここで、第１の平歯車（１４）の歯数
をＺｌ＋第２の平歯車（１９）歯数をＺｔ　＋第３の平
歯１１Ｋ（２（１）、　（２１）ノ歯ｉヲＺ３゜回転数
ヲＮｓ　、　第４　（Ｄ　千１１４　車（２２１、（２
３）　（Ｄ　歯’ａ　’ｉ　Ｚ４　、回転数をＮ４．原
軸（１りの回転数をＮ、とすれば１次式■。

■が成立する。

゛、　Ｎシ１　””　Ｎ、　ｚ３　　　　　・・・・・
・　■ＮＺ、＝Ｎ、Ｚ、　　　　　・・・−・・・　■
したがって、式■、■、■よシ次式■を得る。

よって１式■を満足するように歯数ｚｉ、　ｚ２．　ｚ
、　、　ｚ。

を設定すれば、加工中心（至）、　ｅ′？）における加
工速度は、はぼ等しくなる。

つぎに、上記構成の研磨装置の作動について述べろ。

まず、被研磨物（８）、（８）を把持体０階、（財）に
遊嵌し　　　　　“て昇降機構を作動させて把持機構Ｏ
ａを下降させ、砥石（５）　、　（６）に被研磨物（８
）、　（８）を押圧させる。つぎに、モータ（１望を起
動し、原動軸（１３を矢印（至）方向に回転させる。す
ると、外側研磨体０句は、第１の平歯車α荀、第３の平
歯車ｍ、＋２１）を介して矢印（至）方向＼　　に回転
する。一方、内側研磨体（ハ）は、第２の平歯車（１５
，第４の平歯車ａａ、（２３を介して、矢印（至）方向
に回転する。これら外側研磨体（至）及び内側研磨体（
ハ）の回転に追従して、被研磨物（８）、　（８）は連
υ回シ運動を行う。かくして、被研磨物（８）　、　（
８）は、押し付けられている半径位置が異なるにもかか
わらず、はぼ等しい加工速度で研磨加工が進行する。そ
れゆえ、加工終了時点も二つの被研磨物（８）、（８）
間では等しくなる。しかして、加工終了後は、モータ（
１４の回転を停止し、被研磨物（８）、（８）を取り出
す。

このように、この実施例の研磨装置は、外側研磨体（財
）と内側研磨体（ハ）とで加工速度の差がないので、被
研磨物を径方向に２段に配設することができる。したが
って、生産能率が向上し、量産に適するものとなる。ま
た、砥石（５）、（６）が２分割されているので、いず
れか一方が破損しても、他方は交換する必要がないので
、経済的となる。

なお、上記実施例においては、研磨体は、外側と内側の
計２個設けているが、必要に応じて任意に増加してよい
。また、被研磨物保持部は、複数の被研磨物を同時に異
なる砥石に押圧することができるものであれば１例えば
ロボットノ・ンドなどのようにどのようなものでもよい
。この場合、連れ回ル運動させる代シに、径方向に揺動
させるようにしてもよい。さらにまた、上記実施例にお
いては、被研磨物保持部は、一台であるが、これを砥石
（５）　、　（６）の周シに等配して複数台設置するよ
う。

にしてもよい。

〔発明の効果〕

本発明の研磨装置は、砥石を同心状に核数個配設し、か
つ各砥石の周速をほぼ一定となるように構成したので、
被研磨物を回転する砥石の径方向に多段に配設して研磨
することができる。したがって、生産能率が向上し、量
産に適するものと々る。また、゛砥石が分割されている
ので、一部の砥石が破損しても、破損した砥石のみ新し
いものと交換すればよいので経済的となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の研磨装置の要部を切欠して
示す正面図、第２図は同じく平面図である。（３）：駆動部、　　　　　（４）　：変速部。（５）、（６）　：砥　石、　　　　　　（７）　：研
磨部。（８）：被研磨物、　　　　　　（９）　：被研磨物保
持部。（Ｉ鴫：原動軸。 α４：第１の平歯車（原動側歯車）。（Ｌ９：第２の平歯車（原動側歯車）。（社）、ｏｌ）：第３の平歯車（従動側歯車）、（２功
、（ハ）：第４の平歯車（従動側歯車）。（２４ａ）　：本体（支持体）、（２５８）　：本体（支持体）。代理人　弁理士　　則　近　憲　佑（紙か１名）第２図

Claims

【特許請求の範囲】

同心円状に多段に配設された複数の円環状の砥石及びこ
れら砥石を各別に支持し且つ内歯車が形成された複数の
支持体からなる研磨部と、上記砥石と同軸に設けられた
原動軸及びこの原動軸に上記各内歯車に対応して多段に
取付けられた複数の原動側歯車を有し上記原動軸を回転
駆動する駆動部と、上記各内歯車と上記原動側歯車との
間に介装された複数の従動側歯車を有し上記原動軸の回
転を上記砥石に伝達して上記砥石を異なる回転数で回転
させる変速部と、複数の被研磨物を保持して保持した上
記被研磨物を上記各砥石に同時に押圧する被研磨物保持
部とを具備し、上記原動側歯車の歯数及び上記従動側歯
車の歯数は上記各砥石の周速がほぼ一定となる歯数に設
定されていることを特徴とする研磨装置。