JP2794557B2 - ラッピング機における定盤修正研磨装置 - Google Patents

ラッピング機における定盤修正研磨装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、太陽歯車、内歯
歯車および両歯車とかみ合って自転および公転する遊星
歯車からなる遊星歯車機構における上記遊星歯車を、両
面に貫通する加工物保持孔を有するキャリヤ歯車とし、
該キャリヤ歯車の両面に上、下定盤を当接して加工物の
両面を研磨するラッピング機において、上記遊星歯車機
構を利用して修正研磨部材を作動させて上記上、下定盤
の荒れた研磨面を修正研磨する定盤修正研磨装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のラッピング機における定
盤修正研磨装置として、遊星歯車機構におけるキャリヤ
歯車を取りはずし、それに代えて上、下定盤間におい
て、図6のように内歯歯車(a)の内径より外径の小さ
いリング状体であって内、外周に内歯および外歯を設け
てなる修正研磨リング(c)を、その外歯を上記内歯歯
車(a)とかみ合わせた状態で、上記内歯歯車の内側に
位置させると共に、小歯車(d)を、上記修正研磨リン
グ(c)の内歯および太陽歯車(b)にかみ合わせた状
態で、上記修正研磨リング(c)の内側に位置させた構
造とし、上記内歯歯車(a)の回転が修正研磨リング
(c)に伝達されると、該修正研磨リング(c)が同方
向に自転しつつ公転して上、下定盤の研磨面を修正研磨
し、その際小歯車(d)は、上記修正研磨リング(c)
および太陽歯車(b)にかみ合って自転しつつ太陽歯車
(b)の周りを公転して、内歯歯車(a)と修正研磨リ
ング(c)とのかみ合い点、修正研磨リング(c)と小
歯車(d)とのかみ合い点および小歯車(d)と太陽歯
車(b)とのかみ合い点を内歯歯車(a)の中心線
(R)上にそれぞれ保持して上記修正研磨リング(c)
の公転を継続させるものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来装
置では、上記小歯車の太陽歯車との公転かみ合いにおい
て互の歯が反対方向へ移動してかみ合うため、両歯車の
歯にきわめて高度の設計と精密な加工を必要とし、通常
の設計と加工で仕上げた場合円滑なかみ合いがえられ
ず、相手歯車に相当の負荷を与えて歯の激しい摩耗を招
く結果となっていた。
【0004】本願発明は、従来の装置の欠点を除くこと
を課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題解決の手段とし
て、本願発明は、太陽歯車、内歯歯車および両歯車とか
み合って自転および公転する加工物保持用キャリヤ歯車
(遊星歯車)からなる遊星歯車機構と、上記キャリヤ歯
車の両面に当接された研磨定盤とを有するラッピング機
において、上記キャリヤ歯車を取りはずし、それに代え
上記両研磨定盤間において、上記内歯歯車の内径より外
径の小さいリング状体の外周に歯を設けてなる修正研磨
リングを、上記内歯歯車とかみ合わせた状態で、該内歯
歯車の内側に位置させ、歯をもたない小輪を、上記修正
研磨リングの内周および太陽歯車にそれぞれ接した状態
で、該修正研磨リングと太陽歯車との間のほぼ最大間隔
の箇所に位置させた、ラッピング機における定盤修正研
磨装置を提案する。
【0006】本発明に用いられるラッピング機は、上記
両研磨定盤を固定し、キャリヤ歯車を自転および公転さ
せる2ウエイ方式、一方の研磨定盤を固定するが他方の
研磨定盤を回転させ、キャリヤ歯車を自転および公転さ
せる3ウエイ方式、両研磨定盤を回転させ、キャリヤ歯
車を自転および公転させる4ウエイ方式その他各種のタ
イプのものがある。以下図面を参照して本願発明の実施
例について説明する。
【0007】
【実施例】まずラッピング機について説明する。図1、
2は3ウエイ方式のもので、ボックス(F)上に、中心
部に円筒状軸受部(2)を有する偏平円筒状研磨粉受け
皿(1)を固定し、該軸受部(2)内に内歯歯車用支持
枠(3)の円筒状ボス(4)をベアリング(5)を介し
て回転自在に支承し、該ボス(4)から斜め上方へ突出
した複数本のアーム(6)…上端に環状の支持枠(3)
が固定され、該支持枠上に内歯歯車(7)がボルト
(8)…により水平に固定され、又上記ボス(4)内に
は下定盤用支持枠(9)の円筒状軸受部(10)を挿入
し、該軸受部(10)下端を上記受け皿(1)の軸受部
(2)の底部にボルト(11)…により固定すると共に
上記支持枠(3)のボス(4)との間にベアリング(1
2)、(12)を介在させ、この軸受部(10)から上
方へ突出したアーム(13)…の上端に環状の支持枠
(9)が固定され、該支持枠上に環状円板からなる下研
磨定盤(14)を水平にのせると共に支持枠(9)上面
に突設されたホゾ(15)…を下定盤(14)下面に凹
設されたホゾ穴(16)…に係止して下定盤(14)を
回転不能に保持してある。上記軸受部(10)内には太
陽歯車支持用軸(17)をベアリング(18)、(1
8)を介して回転自在に支承し、該軸(17)の上端部
に太陽歯車(19)を固着すると共に、軸(17)上端
に、外周面に係止溝(21)、(21)を有する上定盤
用回し金(20)を固着してある。
【0008】上研磨定盤(22)は下定盤(14)とほ
ぼ同寸法の環状円板で、該下定盤(14)上にキャリヤ
歯車(23)…をはさんでのせてあり、その上面から下
面に貫通する研磨粉供給孔(24)3個を1組として4
組を開設すると共に、各供給孔(24)…4組の上面
に、4本の研磨粉投入管兼支持脚(26)…を立て、各
投入管(26)…の上端に研磨粉ホッパー(25)を支
持してあり、又盤上面に突設したブラケット(28)、
(28)に係止爪(29)、(29)を揺動自在に支持
し、該係止爪を上記回し金(20)の係止溝(21)、
(21)に係脱自在に係止してある。
【0009】上記キャリヤ歯車(23)は両面に貫通す
る孔からなる材料保持孔(30)を本例では4個有し、
上記内歯歯車(7)と太陽歯車(19)とにかみ合って
いる。
【0010】各部の回転駆動機構は次のようである。モ
ータ及び減速機(図示略)の回転は、軸(32)により
支承された歯車(33)、上記軸(17)の下端に固着
した歯車(34)及び軸(17)を経て太陽歯車(1
9)へ、又回し金(20)及び係止爪(29)を経て上
定盤(22)へそれぞれ伝達され、一方、上記歯車(3
3)と固着された歯車(35)、上記ボス(4)の下端
に固着された歯車(36)、ボス(4)及び支持枠
(3)を経て内歯歯車(7)へ伝達される。この場合、
内歯歯車(7)と太陽歯車(19)とを一定の速度比で
互に同方向に回転させ、それによりキャリヤ歯車(2
3)…を自転及び公転させ、又上定盤(22)をキャリ
ヤ歯車(23)…の公転と同方向へ回転させる。
【0011】水晶、セラミック、フェライト等の加工物
は上記キャリヤ歯車(23)…の各保持孔(30)…に
入れて上、下研磨定盤(22)、(14)により上下か
ら挾持し、その状態で研磨粉を供給しつつ3ウエイ研磨
を行う。
【0012】上記ラッピング機を利用して上記上、下定
盤(22)、(14)を修正研磨する装置について次に
説明する。上記ラッピング機において、上定盤(22)
を一旦取りはずしてキャリヤ歯車(23)…を分離し、
これに代えて、図3、4に示すように上記内歯歯車
(7)の内径より外径の小さいリング状体の外周に歯を
設けてなる修正研磨リング(37)を、上記内歯歯車
(7)とかみ合わせた状態で、該内歯歯車(7)の内側
で下定盤(14)上にのせ、またポリアミド系、ポリア
セタール系等合成樹脂でつくられた歯をもたない円板状
小輪(38)を、上記修正リング(37)の内周および
太陽歯車(19)にそれぞれ接した状態で、該修正リン
グ(37)と太陽歯車(19)との間の最大間隔の個所
で下定盤(14)上にのせ、その状態で上記上定盤(2
2)を上記修正リング(37)および小輪(38)上に
のせ、その係止爪(29)、(29)を上記回し金(2
0)の係止溝(21)、(21)に係止させる。
【0013】モータおよび減速機の回転を歯車(33)
に伝達し、内歯歯車(7)および太陽歯車(19)を図
4時計方向へそれぞれ回転させると、内歯歯車(7)か
ら回転を伝えられる修正リング(37)が時計方向へ自
転しつつ同方向へ公転し、上方からの研磨粉の供給と相
まって上、下定盤(22)、(14)の研磨面を修正研
磨する。その際小輪(38)は修正リング(37)の内
周面との接触により時計方向に自転しつつ太陽歯車(1
9)の周りを公転して内歯歯車(7)と修正リング(3
7)とのかみ合い点、修正リング(37)と小輪(3
8)との接触点および小輪(38)と太陽歯車(19)
との接触点をそれぞれ内歯歯車(7)の中心線(R)上
に保持して上記修正リング(37)の公転を継続維持さ
せる。
【0014】万一、小輪(38)が図4仮想線で示す位
置にスリップにより移動したときは、その移動した小輪
(38)の中心を通る内歯歯車(7)の新たな中心線
(R’)上に上記かみ合い点および接触点を変位させて
上記公転を続けることとなる。
【0015】本願発明の他の構成として、上記小輪(3
8)を太陽歯車(19)の歯から保護するため、図5に
示すように金属、合成樹脂等でつくった横断面カギ形の
環状保護キャップ(39)を着脱自在に被装してその歯
面を覆ってある。この場合キャップ(39)の上辺部を
回し金(20)と太陽歯車(19)との間に挾持させる
とよい。
【0016】
【発明の効果】本願第1発明のラッピング機における定
盤修正研磨装置によれば、修正研磨リングおよび小輪
に、従来のようなきわめて高度の設計と精密な加工が全
く必要なくなり、しかも修正研磨リングの円滑な自転お
よび公転を継続することができ、研磨定盤の修正研磨を
有効に行うことができるのである。
【0017】本願第2発明のラッピング機における定盤
修正研磨装置によれば、上記第1発明の効果に加え、保
護キャップにより小輪を太陽歯車の歯から保護すること
ができるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】ラッピング機の縦断正面図である。
【図2】ホッパーを除いた同上一部切欠平面図である。
【図3】定盤修正研磨装置に利用した状態の一部省略縦
断正面図である。
【図4】図3のIV−IV線断面図である。
【図5】他の構成の一部省略縦断正面図である。
【図6】従来例の略線平面図である。
【符号の説明】
7 内歯歯車 14 下研磨定盤 19 太陽歯車 22 上研磨定盤 23 キャリヤ歯車 37 修正研磨リング 38 小輪 39 保護キャップ

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 太陽歯車、内歯歯車および両歯車とかみ
    合って自転および公転する加工物保持用キャリヤ歯車
    (遊星歯車)からなる遊星歯車機構と、上記キャリヤ歯
    車の両面に当接された研磨定盤とを有するラッピング機
    において、 上記キャリヤ歯車を取りはずし、それに代え上記両研磨
    定盤間において、上記内歯歯車の内径より外径の小さい
    リング状体の外周に歯を設けてなる修正研磨リングを、
    上記内歯歯車とかみ合わせた状態で、該内歯歯車の内側
    に位置させ、 歯をもたない小輪を、上記修正研磨リングの内周および
    太陽歯車にそれぞれ接した状態で、該修正研磨リングと
    太陽歯車との間のほぼ最大間隔の箇所に位置させた、ラ
    ッピング機における定盤修正研磨装置。
  2. 【請求項2】 上記太陽歯車の上記小輪と接すべき外周
    面に、保護キャップを着脱自在に被着した、請求項1に
    記載のラッピング機における定盤修正研磨装置。
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