JP2005066773A - ラップ加工用キャリアの厚み加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下の定盤1,2とサンギヤ4とリングギヤ5とを備えたラップ盤を用い、上下の定盤の間に遊星ギヤ形状のキャリア3を配置し、ラップ液を供給しながら、キャリアと噛み合うサンギヤ及びリングギヤの少なくとも一方を回転させて、キャリアと上下の定盤とを摺動させることによりキャリアの厚みを加工する方法であって、キャリア3がほぼ自転しないようにサンギヤ4とリングギヤ5との回転速度を設定し、上下の定盤の一方とキャリア3との相対回転速度を1とした場合に、上下の定盤の他方とキャリア3との相対回転速度を3以上とする。このようにキャリア3を主に片面研磨することで、皺を発生させずに30μm以下の薄さに加工できる。
【選択図】 図1
Description
このラップ盤で使用されるキャリアは、上下の定盤とほぼ同径またはそれ以上の大径な円板であり、大きなワークを加工できる利点がある。しかし、このラップ盤をキャリアラップ加工に利用した場合、キャリアの中心部付近では上下の定盤との間の相対速度差が小さいため、研磨速度が遅い。そのため、キャリアの周辺部に比べて中心部付近の厚みが厚くなり、研磨の偏りが発生するという欠点がある。また、特許文献1に記載のラップ装置は、サンギヤおよびリングギヤを備えていない特殊な構造であるため、コスト上昇となるという欠点がある。
このようにキャリアを殆ど自転させることなく、かつキャリアの片面研磨を主に実施すれば、キャリアにかかる加工負荷量が小さいため、回転中のキャリアの変形が起こりにくい。その結果、初期厚み40μmの圧延材料を用いてキャリアラップ加工を開始しても、圧延しわの発生がなく、目標とする厚みまで薄くすることが可能になった。
キャリアは公転してもよいし、公転しなくてもよい。キャリアを全く自転させずに公転のみを行わせることも可能であるが、これではキャリアに部分的に研磨の偏りが発生するので、例えば複数回転の公転に対して1回転程度の自転を行わせるようにしてもよい。これによりキャリアは均一に研磨される。
キャリアの表裏面に対する上下定盤の相対的な回転速度は、例えば上定盤とキャリアとの相対回転速度を1とした時、下定盤とキャリアとの相対回転速度を3以上とすることにより、意図的に上下定盤の回転速度をアンバランスとしている。このようにキャリアの表裏面のラップ量に大きな差を設けることで、キャリアに皺を発生させずに厚み加工できる。
キャリアの材質にもよるが、一般のラップ盤における上下定盤の加圧力は50±10g/cm2 である。これに対し、上記のように加圧力を3倍程度まで高くし、強い摩擦力でラップ加工することで、硬度の高いキャリア材料であっても、比較的短時間(例えば数分程度)で所望の厚みに加工できる。
φ100mm以上の大口径キャリアの場合、キャリア材料となるSK材などの圧延素材の供給厚み限界が40μm程度であるからである。このような大口径キャリアを30μm以下に加工する場合に、本発明の厚み加工方法が有効である。
また、初期キャリア厚みを100μmとする必要がなく、40μmからの開始でよいため、狙いとする厚みに到達する時間を大幅に短縮でき、コスト削減が可能になる。
さらに、既存のラップ盤におけるサンギヤ、リングギヤ、および上下の定盤の回転速度を設定するだけで、キャリアラップ加工を行うことができるので、特殊な加工装置を必要とせず、安価に実施できるという利点がある。
このラップ盤は、公知の4ウエイ駆動方式のラップ盤であり、上下の定盤1,2と、その間に回転自在に配置された複数のキャリア3と、定盤1,2の中心部に配置されたサンギヤ4と、定盤1,2の外周部に配置されたリングギヤ5とを備えている。キャリア3はサンギヤ4とリングギヤ5とに噛み合っている。キャリア3は、φ100mm以上の外径を有しており、ワークを保持するための複数の保持穴3aが貫通形成されている。キャリア3は、例えばSK材などの圧延材を後述する方法によって20μm〜30μmの厚みにラップ加工したものである。
上定盤1の上方には加圧手段(図示せず)が設けられ、上定盤1を120g/cm2 〜200g/cm2 、好ましくは180g/cm2 以上の圧力で加圧している。
(1)は上定盤1が停止しており、キャリア3が左回り方向に相対速度1で回転(公転)し、下定盤3が右回り方向に2以上の相対速度で回転する例である。この場合には上下定盤とキャリアの回転エネルギーを同等とすれば、相対速度の合計が最小の3以上となるので、回転エネルギーが最小となる。
(2)は上定盤1が左回り方向に相対速度2で回転し、キャリア3が同方向に相対速度1で回転(公転)し、下定盤3が右回り方向に2以上の相対速度で回転する例である。
(3)は上定盤1が左回り方向に相対速度2で回転し、キャリア3が同方向に相対速度1で回転(公転)し、さらに下定盤3も左回り方向に4以上の相対速度で回転する例である。
(4)は上定盤1が左回り方向に相対速度1で回転し、キャリア3が同方向に相対速度2で回転(公転)し、さらに下定盤3も同方向に5以上の相対速度で回転する例である。
(5)は上定盤1が右回り方向に相対速度0.5で回転し、キャリア3が左回り方向に相対速度0.5で回転(公転)し、下定盤3が右回り方向に2.5以上の相対速度で回転する例である。
(6)は上定盤が右回り方向に相対速度1で回転し、キャリア3が停止し、さらに下定盤3が左回り方向に3以上の相対速度で回転する例である。
いずれの場合も、上下の定盤1,2の一方とキャリア3との相対回転速度(回転速度差)を1とした場合に、上下の定盤1,2の他方とキャリア3との相対回転速度(回転速度差)を3以上としてある。
なお、図3は上定盤1、キャリア3および下定盤2の回転速度および回転方向のほんの数例を示すに過ぎず、上記以外の例も考えうる。例えば、(4)では下定盤3を左回り方向に回転させたが、右回り方向に1以上の相対速度で回転させてもよい。また、(6)では下定盤3を左回り方向に回転させたが、右回り方向に3以上の相対速度で回転させてもよい。さらに、上定盤と下定盤の動きを逆にしてもよい。
まず、予め40μm程度の厚みに圧延されたキャリア3を、上下の定盤1,2の間にセットし、サンギヤ4およびリングギヤ5とかみ合わせる。
次に、上下の定盤1,2の間に砥粒が混合されたラップ液を供給し、上定盤1を180g/cm2 以上の圧力で加圧しながら、第1〜第3駆動装置7,9,11を所定の方向に所定の速度で駆動する。すなわち、上下の定盤1,2の一方とキャリア3との相対回転速度を1とした場合に、上下の定盤1,2の他方とキャリア3との相対回転速度が3以上となるように駆動する。これによって、図2に矢印で示すようにキャリア3は殆ど自転せずに公転し、キャリア3の一面と上下の定盤1,2の一方とは殆ど相対回転せず、キャリア3の他面と上下の定盤1,2の他方とが相対回転し、キャリア3の片面が主に研磨される。
なお、キャリア3の片面について1〜3分の研磨を実施した後、キャリア3の裏返しを行い、狙いとする20〜30μmmの厚みまで加工を継続する。
上記のような方法でキャリアラップ加工を行うと、従来の加工で発生していたしわ状のキャリア変形がなく、狙いとする20〜30μmmの薄さまで仕上げることができた。
また、上記実施例では上定盤1とサンギヤ4とリングギヤ5とがほぼ同一速度で同一方向に回転するため、上定盤1を駆動する駆動装置7を省略し、第2駆動装置9で上定盤1も駆動してもよい。
さらに、回転要素である上定盤1、下定盤2、サンギヤ4およびリングギヤ5のすべてを1台の駆動装置で駆動することも可能である。
2 下定盤
3 キャリア
3a 保持穴
4 サンギヤ
5 リングギヤ
7 第1駆動装置
9 第2駆動装置
11 第3駆動装置
Claims (3)
- 上下の定盤とサンギヤとリングギヤとを備えたラップ盤を用い、上下の定盤の間に遊星ギヤ形状のキャリアを配置し、ラップ液を供給しながら、キャリアと噛み合うサンギヤ及びリングギヤの少なくとも一方を回転させて、キャリアと上下の定盤とを摺動させることによりキャリアの厚みを加工する方法であって、
上記キャリアがほぼ自転しないように上記サンギヤとリングギヤとの回転速度を設定し、
上下の定盤の一方とキャリアとの相対回転速度を1とした場合に、上下の定盤の他方とキャリアとの相対回転速度を3以上とすることを特徴とするラップ加工用キャリアの厚み加工方法。 - 上下の定盤のキャリアに対する加圧力を、120g/cm2 〜200g/cm2 としたことを特徴とする請求項1に記載のラップ加工用キャリアの厚み加工方法。
- 上記キャリアの直径は100mm以上で、修正前の厚みが40μm以上であり、修正後の厚みが30μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のラップ加工用キャリアの厚み加工方法。
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